摘要 GqXnOmk 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
XO+^q9 k zqW&`xn? 设计任务 X !g"D6' M-3kF" IcMfZ {H1 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
.eA N`-t; NDW6UFd>1 光栅级次分析模块设置 Cpu L[|51 Q#
w`ZQX3 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
Amf
gc>eJ 37DyDzW)' 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
hPa:>e 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
PG<tic<? 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
m$ZPQ0X 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
<(dHh9$~ 衍射分束器表面 GsG.9nd 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
\kU0D D<5;4Mb 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) \ jDD=ew l d8 E!t[ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
-xS{{ "- 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
-&JUg
o= 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
K,{P
b? p< i;@H;: 光栅级次和可编程光栅分析仪 c RPW
MaDdiyeC &<}vs`W 设计与评估结果 j^#4!Ue 相位功能设计
0|kkwZVPn 结构设计
qjQR0M C TEA评价
FES_:?.0 FMM评估
T8( \:v *Y"Kbn 6 通用设置 o$]wd*+ 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
kR2kV"-l 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
`)Z"||8K ~ .99H 纯相位传输设计 ]v&)mK]n=o @v^;,cu'8 84v7g`lrR 结构设计 ]hNio6CVm EXDZehLD<] 7e[3Pu_/X 更深的分析 LpwjP4vWJ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
!n9H [QP^9 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
`|maf=SnY5 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
H 9}z0VI 
`}t<5_ 使用TEA进行性能评估 dm8N;r/w
2P3,\L G?`{OW3:_ 使用FMM进行性能评估 iNj*G j v_M-:e3` }LK +w+h~ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 T1,Nb>gBq^ P2la/jN h9<*+T 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 M)sM G
C +9LIpU&5 \ZN> 7?Vs 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
