摘要 ?K2EK' -q 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
ySiZ@i4 r`Fs"n#^-4 设计任务 EHf ,VIC8 l%mp49< sj/k';#g 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
iOv>g-t : @o?Y[BR 光栅级次分析模块设置
qP;1LAX Q~wS2f`) 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
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gK )O+Zbn 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
MLTS<pW/ 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
Hk4k 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
-:=m-3*Tg 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
.kuNn-$ 衍射分束器表面 ,Il) t H 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
3p HI+a 1@'I eywg 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) AHuIA{AdUR 2 Uf/' 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
Y{ dX[^[ 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
;J+iwS*Z 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
&Lzd*}7 t`hes
$E 光栅级次和可编程光栅分析仪
MYVVI1A ,jz~Np_2 x5\D u63 设计与评估结果 nJv=kk1|o 相位功能设计
F%lC%~ -qh 结构设计
5-fASN.Lx TEA评价
5o4KV?" FMM评估
IOxtuR R%}<z*~NE@ 通用设置 `q^qe> ' 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
(Ajg LNB 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
YhRy
C*b K^"l.V#J 纯相位传输设计 w]h8KNt JBc*m =w!9:I&a0 结构设计 I<<1mEk #d[Nm+~ko 5/ U {b5 更深的分析 5"b1 :
w@ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
K@[Hej6d •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
+C7W2!I[G2 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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7p!f+\kM 使用TEA进行性能评估 Qp:m=f6@ 2auJp
. s"$K2k;J 使用FMM进行性能评估 *a|575e< z ^a
/q6{ XGe;v~L 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 g#6R( (#85<|z v
\; /P
进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 PvW4%A@0 B9
?58v& P =Q+VIP& 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
