摘要 Bj1?x 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
,.OERw [n \2 设计任务 xlA$:M& %-c*C $ :9QZPsL 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
u*Pibgd< 7ccO93Mz 光栅级次分析模块设置 z^#;~I @M {(r`k;fB 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
W g02 A\ Jl#%uU/sx 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
whi`Z:~ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
TU:7Df 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
5N/%v&1 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
y:~ZLTAv 衍射分束器表面 " @v <Bk 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
A
Q'J9 #a'Ex=%rM 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) auK?](U l'/R&`-n 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
Z
-W(l< 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
6L"%e!be6 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
eHn7iuS8 qI#;j%V 光栅级次和可编程光栅分析仪 0n;<
ge&~R E5I"%9X0H `w.n]TR 设计与评估结果 %oZ6l* 相位功能设计
0K`#>}W#X 结构设计
60J;sGW TEA评价
7UVzp v FMM评估
OY;*zk * +"9%&? 通用设置 ]n_
k` 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
k <=//r 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
lku[dQdk IC1NKn<k 纯相位传输设计 lDYyqG4 VUPXO RS)tO0 结构设计 {2=jAz'? G6/p1xy>o: 5ni~Q 9b 更深的分析 y\Ic@-aWI •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
[|(N_[E|6 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
jbVECi- •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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x[h^[oF0 使用TEA进行性能评估 D~hg$XzK >7I15U &7PG.Ff!r 使用FMM进行性能评估 3RYpJAH PsnWWj?c ^p[rc@+ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 >O*IQ[r- j27?w< N/%WsQp 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 /{+y2.{j OSs&r$ }001K 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化