摘要 D+@-XU<Lp< 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
[D*J[?yt |A ;o0pL 设计任务 Zu\p;!e nc3sty1` ]]el| 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
pwJ'3NbS mgi,b2 光栅级次分析模块设置 iBG`43; L8K0^~Mk 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
<lC]>L "KMLk 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
6eOrs-ty 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
IZv~[vi_ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
Hze-Ob8 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
lp,\]] 衍射分束器表面 Cw
1 9y 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
o .l;:
Un ,/i_QgP 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) FhWmO R;H?gE^m- 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
r8IX/ , 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
M,crz 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
q^Z~IZ8IT %oAL 光栅级次和可编程光栅分析仪 'dkXYtKCB q\a[S* "kX`FaAhY 设计与评估结果 HV ;; 相位功能设计
92!JKZe
结构设计
Q(lku"U' TEA评价
>4,{6<| FMM评估
OQ6sv/ tC2N>C[N 通用设置 =g@R%NDNV 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
=K .r 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
1 ojhh7< 5 d+<EF+N 纯相位传输设计 mKV'jm0 #e*X0;m j8pFgnQ 结构设计 fCB:733H CoJ55TAW xS"$g9o0 更深的分析 p"KU7-BfvC •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
nB=0T`vQ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
kGm:VYf% •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
#Rc5c+/(
qh-[L 使用TEA进行性能评估 VMx%1^/( 3wZ(+<4i Kh)FyV 使用FMM进行性能评估 vVAb'`ysv 8zZSp z!:'V] 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 job[bhK'Jt m=QCG)s =N_,l'U\^ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 aM$\#Cx J^fm~P>. uArR\k(
进一步优化–设计#3的零阶阶次优化