摘要 %? -E)n[ 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
^h\& l{e Mtq\ xF,/+ 设计任务 EIQ`?8KSR
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*S]: r 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
bl yU5 3g [QwEidX| 光栅级次分析模块设置 "%]<Co<S !1(*D*31 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
AH-B/c5 In13crr4! 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
y``[CBj 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
U1 nObA 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
c[VVCN8dA 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
0+S ;0 衍射分束器表面 6)=`&>9 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
w]1hoYuV BPO)<bx_ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) FJ-X~^ [~_)]"pU 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
BV;dV6`z 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
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Z p` 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
+ q*WY*gX 4 , EX2 光栅级次和可编程光栅分析仪 =)b!M^=X-a !U: :kr=t ' _ZiZ4O 设计与评估结果 R ?62g H 相位功能设计
Mbm'cM&} 结构设计
VN3 [B
eH TEA评价
At<D36, ^" FMM评估
/td RUX ^ k J>4 通用设置 2`d KnaF| 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
*RYok{w 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
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6 8` 纯相位传输设计 R<djW5 ()f !( gMr1}w '8w}m8{y 结构设计 Uv ) B gUr #3# y:',)f } 更深的分析 R E0ud_q2 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
{ "PIS&]tR •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
)&6ZgRq •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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'nIKkQ" N 使用TEA进行性能评估 ]A&pX AM Y;)l z{H=;"+rh 使用FMM进行性能评估 mV'- 1 eC{St0 Nn#;Kjul. 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 yQcIfl]f +R8G*2 Y 'y
yrn} 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 &j}:8Tst "T@9#7Obu u|"y&>!R- 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
