摘要 Oar%LSkPRz 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
8\rAx P}= 1pP q)}=+ 设计任务 ~(]'ah, [~ !9t9+~ `a5,5}7v%` 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
u3\_![Jt? \ESNfL5 光栅级次分析模块设置 zqxN/H]z 0Ok[ `r` 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
='6@^6y N`O0jH{ 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
Kh{_BdN 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
s){R/2O3F 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
\ m(>Q 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
B C R]K 衍射分束器表面 ,15$$3z /E 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
s8SCEpz 7%W@Hr,%F 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) `HILsU=| f!G%$ ?] 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
vy5I#q(k 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
Yu:($//w 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
S+l >@wa)| = Q"(9[Az 光栅级次和可编程光栅分析仪 ([]\7}+8
TIxlLOs lHO.pN `2 设计与评估结果 G$ s=P 相位功能设计
tD])&0"( 结构设计
CJ [e^K{ TEA评价
Kir|in)r0 FMM评估
$YK~7 ! ! d.k '\1o 通用设置 aZ}z/.b] 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
-v=tM6 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
qot {#tk
d xLw[
aYy4 纯相位传输设计 X
[;n149o cq9d;~q @}{Fw;,(7n 结构设计 c[EG
cY={ N|w;wF!3 GuQ# 更深的分析 }R`}Ey|{ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
]#dZLm_ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
C3b<Wa]) •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
j 2 jUrl 
c}w[ T 使用TEA进行性能评估 ihIRB9 Tx/ KL%X m^4O jik 使用FMM进行性能评估 9 'IDbe{ jyC>~}? W |+&K0M 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 BF
U#FE)s <"`P;,S _? u} Jy_ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 HK<oNr.d52 uQkQ#'e| E /V`NqC 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
