摘要 \/
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V|E 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
]&kzIxh M.QXwIT 设计任务 ]/C1pG*o -+#g.1UL/ 2~BId&] 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
)s';m$ B \z4o\am% 光栅级次分析模块设置 7
*#pv}Y rBUdHd9 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
Axtf,x+lH m+Bt9|d 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
DTw3$: 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
Gj}P6V_ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
L8zY?v(bG 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
.5PcprE/ 衍射分束器表面 B{0m0-l 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
1vF^<{%v Y)=89s&t 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) WV'FW)% ou[_ y 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
Zg@NMT 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
t6)wR 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
^KsiTVY Jc:gNQCsP 光栅级次和可编程光栅分析仪 =os%22* z7H[\ 4A!> 4Fr\=TX 设计与评估结果 *CH lg1 相位功能设计
TCd1JF0 结构设计
[foZO&+! TEA评价
-H%806NAX7 FMM评估
=N9a!ii| 27t23@{YL 通用设置 Rj|8lK;, 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
U&D"fM8 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
J=gerdIk i7fQj,
q 纯相位传输设计 U[a;eOLx $Qv+*%c 9W{=6D86e 结构设计 q,JMmhWaT 2B#
]z /l,V0+p 更深的分析 (
*(#;|m •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
~7W?W< •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
^+JpI*, •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
R18jju>Zr
0wLu*K5$4E 使用TEA进行性能评估 (= H%VXQH aIv>X@U} aMSX"N"ot 使用FMM进行性能评估 _U.D*f<3) _91g=pM /.<T^p@\& 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 z\,g %u41 (>x4X@b lEBt< 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 @N,EoSb : 9=j"kXFf S=>54!{`x 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化