摘要 04}c_XFFE 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
?#nk}=;g8 y`/:E<fVk 设计任务 {W%XS E ^?A>)?Sq t~qAA\p}o 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
W* n|T{n vAOThj ) 光栅级次分析模块设置 <Skf
n`). 55,2eg#{O 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
Pf hKomt" qzSm]l?z 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
?/~Q9My 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
(#qQ;ch 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
vo~ Qo;m 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
$`lGPi(Jc 衍射分束器表面 wARd^Iw 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
@B ?'Mu* %.fwNS 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) _U,Hi?b"$} Q]dKyMSSA 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
y"K[#&,0 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
li#ep?5h^ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
J$`5KbT3 o+- 0`!yj 光栅级次和可编程光栅分析仪 SWT)M1O2 '?3(& Z l. ,pcL 设计与评估结果 >]Dn,* R 相位功能设计
&7{yk$]* 结构设计
gXY]NWI TEA评价
kp6 &e FMM评估
Ksk[sf?J& f/m0,EERk 通用设置 '=Acg"aT 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
sn'E}.uhXH 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
^^YP kh6sS nY?&k$n 纯相位传输设计 LF+E5{=:R N7)K\)DS!z $"6Gv 结构设计 ]7q|) S\ X3~@U7 DU ^5k~ 7F. 更深的分析 8LY^>. •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
9j 0o)] •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
B f.- 5 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
8RS@YO 
\J-D@b; 使用TEA进行性能评估 AMK(-= vVjk9_Ul DIkf#} 使用FMM进行性能评估 zkd^5A; ` F^?DnZs bu=RU 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 B!4~A{ o;O Eb !' ; ;q 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ,=: -&~? H6lZ<R{= LYyud 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
