摘要 n(Up?_ 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
)Q\ZYCPOr 6[9E^{(z 设计任务
:*M\z3`k ]k mOX /s%I(iP4 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
0;)6ZU /S;o2\ 光栅级次分析模块设置 6,xoxNoPP3 xLZQ\2q 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
xQ7n$.?y@ ED/-,>[f 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
%uGA + \b 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
!v2,lH 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
Krk Zv$u, 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
Q:~w;I 衍射分束器表面 (nrrzOax 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
skcMGEB HHZ!mYr 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) *eXO?6f%s^ 7atYWz~yG 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
JMOP/]%D 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
z1+rz% 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
nRQIrUNq w c% 光栅级次和可编程光栅分析仪 2al~ ` 3i(k6)H$4 ~~1~ _0?e 设计与评估结果 *vhm 相位功能设计
n @L!{zY 结构设计
U>;itHW/ TEA评价
oQ;f`JC^ FMM评估
oz5o=gt7 F.8{
H9` 通用设置 QBsDO].J< 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
i`] M2Q 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
,.FTw, < %Y Rg1UKY 纯相位传输设计
k7{fkl9|# lO $M6l K=5_jE^e 结构设计 J-PzI FWd ^y6Pkb
P J+* rjd I 更深的分析 P'9aZd •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
J#V `W&\,6 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
IVNNiNN*5 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
?XOeMI 
h/TPd] 使用TEA进行性能评估 ^}1RDdQ"U a3c4#'c|D aJ)5 DlfLR 使用FMM进行性能评估 [ !R%yD; NuO>zAu MZjiJZaO:L 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ,IJ Nuu\ 6vaxp|D c?R.SBr,' 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 f[}SS]d:E <Ab:yD`K! 6$6NVq 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
