摘要 #vvQ 1ub 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
Ba]^0Y
u x ]jJ 设计任务 S9S%7pE %$SO 9PY $ #F7C[2N 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
,hXhcfFl l)(
3] 光栅级次分析模块设置 $2gZpO| W%^;:YQ 9i 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
'#@tovr R8<P}mv 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
L)j<;{J/Q0 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
Mi&jl_& 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
f 8836<c 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
^N:bT;;$nZ 衍射分束器表面 vmK`QPu 2 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
|jE0H!j ww$Ec 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 2uM\?*T@ I9;,qd%<T 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
&S+o oj 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
$:SSm $k 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
2io~pk> _iZ_.3 Ip 光栅级次和可编程光栅分析仪 &x<y4ORH| Ub-q0[6 &)v }oHy,m 设计与评估结果 & a
bR}J[ 相位功能设计
8 [ xl3= 结构设计
sW]fPa(cn, TEA评价
v)J(@>CZ[ FMM评估
:J6lJ8w
? zyi;vu 通用设置 .7|Iausv 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
s'JbG&T[J 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
wPrqFpf 8 rY[Q(] 纯相位传输设计 Cmj+>$')0
$ I }k>F r>ca17 结构设计 r`GA5 }M A$ Ok^ sw$$I~21 更深的分析 K)[D A*W •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
g,] GzHV1 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
X/' t1 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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].r~?9'/ 使用TEA进行性能评估 N(=Z4Nk5 hX9vtV5L nBJ'ak 使用FMM进行性能评估 * faG0le #)PAvBJ;m 4(D/~OG-6 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 5Sv;a(} WCUaXvw SA[wF c 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 w9]H J3qi qbD>)} :1 )]M,OMYq - 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
