摘要 U/rFH9e$ 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
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cN 设计任务 HuD~(CI. bGB5]%v, -PiZvge 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
#Z_f/@b p!K]c D 光栅级次分析模块设置 |q_Hiap#a 7{f{SIB 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
7bkh")^ %Vsg4DRy 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
;AarpUw' 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
#)KQ-x, 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
93Qx+oK] 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
r9^~I 衍射分束器表面 ~$4!C'0 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
n(Ry~Xu_ 7I {rhA 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Ymg,NkiP0 gAy"W$F 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
X.ZY1vO 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
~NO'8Mr 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
DEpn> B]cV|S| 光栅级次和可编程光栅分析仪 I;?np JB!KOzw M 0RVEhX 设计与评估结果 4p`z%U~=u 相位功能设计
IeE6?!,) 结构设计
*3!ixDX[r TEA评价
"& q])3h = FMM评估
uy=E92n3 6C*4' P9> 通用设置 xO'xZ%cUI 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
",Fqpu&M 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
#K[6Ai=We} Kdb:Q0B 纯相位传输设计 @LDu08lr %0Ke4c (k5d.E]CK 结构设计 !tv+,l&L TZS:(MJ9M )'t&LWS~ 更深的分析 'xc=N •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
4ew#@ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
:.NCS`z_ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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ndB*^nT 使用TEA进行性能评估 >WW5;7$ 83YQ c FKu^{'Y6E0 使用FMM进行性能评估 }q[IhjD% $8Y|&P 6ALUd^ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 LDq(WPI1# yM*<BV \dc*!Es 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ^Dw18gqr=@ 7W\aX*] E,:E u< 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化