摘要 ^ SW9J^9 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
!H<%X~| , I6gduvkXi4 设计任务 \=` j o$S ,oPxt pf+VYZ#) 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
VE1j2=3+o Aon.Y Z 光栅级次分析模块设置 wA)n ryXV %iJ}H6m 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
,V^$Me h o^MoU2c 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
@8+v6z 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
[hk/Rp7{ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
TJ_6:;4,|_ 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
y$_]}<b 衍射分束器表面 8 ?x:PkK 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
?Zk;NL9 RCxwiZaf33 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 3-)}.8F e&Q
w\Ze 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
<"xqt 7f 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
m~fDDQs 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
M%W#0 b`,Sd.2=(' 光栅级次和可编程光栅分析仪 (d
(>0YMv xU6dRjYhH9 K{V.N< / 设计与评估结果 ; DVg[# 相位功能设计
fn y6`_O 结构设计
zr_L
V_e TEA评价
vy2"B ch FMM评估
9_e_Ne`i`? b&
-8/t 通用设置 /L@6Ae 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
~C>Q+tR8 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
ir >+p>s. KaH e( 纯相位传输设计 F-
u"zox SBf=d<j 1) {6wXDZxv 结构设计 t)g %9 k^ :XPat9 3w V@TA~'$| 更深的分析 o_[~{@ RoR •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
[?;L •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
B., B P •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
`Mcg&M i~ 
7Kb&BF|Q 使用TEA进行性能评估 H\N} 0^ ea _@gg,2
u- wL^x9O|`p9 使用FMM进行性能评估 C dPQhv)m a? PH`5O PMW@xk^<Y 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ?~#[ cx 8Q{9AoQ3' 5MZv!N 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 D/%v/mpj$ :(tKc 3z OYn5k6 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
