[技术]VirtualLab Fusion应用：非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 81(.{Y839_  
直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 G!y~Y]e  
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设计任务 L_3undy,  
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使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 5CSihw/5  
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光栅级次分析模块设置 (TQx3DGq  
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使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 Cg~GlZk}  
tkN5|95  
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 v=(L>
gg  
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 ]5!}S-uJq  
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 L5E|1T  
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 t-xw=&!w  
衍射分束器表面 hkSK;  
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 WVP^C71  
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衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) +m> %(?=A  
E(5'vr0  
 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 y~&R(x~w  
 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 :r<uH6x|  
 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 F2;k6
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7?@s.Sz|fV  
光栅级次和可编程光栅分析仪
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设计与评估结果 t@a2@dX|  
相位功能设计 i7qG5U  
结构设计 jIZ
pv|t)  
TEA评价
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FMM评估
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CS:"F) at  
通用设置 Kr$ w"]  
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 Us4ijR d  
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 hFDY2Cp]D  
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纯相位传输设计 {X=gjQ9  
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结构设计 dS7?[[pg9  
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更深的分析 __}j {Buk  
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 AE:IXP|c  
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 9=(*#gRd  
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。  ~ccwu  
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使用TEA进行性能评估 N# Ru`;  
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(T1)7%Xs  
使用FMM进行性能评估 P4{8pO]B  
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进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 G(LGa2;Zg  
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进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 o%ZtE  
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进一步优化–设计#3的零阶阶次优化