摘要 {
d |lN:B 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
#)b0&wyW6i @b{I0+li"/ 设计任务 ]7DS>%mY( i8|0zI |$+
xVi8 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
`*-rz<G }>$3B5} 光栅级次分析模块设置 n&\DJzW\# ]Mb:zs<r 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
B`mTp01 /w
"h'u 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
Zt/4|&w 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
i)=dp!Bx^ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
!cNw8"SIU 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
Cc&SHG*R 衍射分束器表面 CX3yIe~u 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
p,K!'\ u`?v- 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) hF`Qs Ju"K" 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
hOj(*7__ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
y#v<V1b] 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
Zonr/sA ~ ^?R8>97_? 光栅级次和可编程光栅分析仪 'dJ(x BFvRU5&Sz cxz\1Vphd 设计与评估结果 F2!]T = 相位功能设计
1<F6{?,z 结构设计
Dks"(0g TEA评价
~%!"!Z4 FMM评估
f^|r*@o Nq"J[l*+g 通用设置 'cPE7uNT 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
qQp;i{X 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
*('Vyd!n se*!OiOt 纯相位传输设计 #tN!^LLi l?O%yf`s dhV6r 结构设计 (y5]]l Kb~i9x& "@UyUL 更深的分析 En{<
OMg •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
.f9&.H# •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
( 9(NP_s •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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]ASTw(4 使用TEA进行性能评估 *T2kxN,Ik p%-;hL! \kP1 Jr 使用FMM进行性能评估 an)Z.x V|)nUsU V-ONC 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 'o|=_0-7W AA5UOg\jI KqvM5$3 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Da
]zbz%% eA-$TSWh t: 03 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化