摘要 ^+gD;a|t KT AQ6k 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
P{Q$(rOe K4I/a#S'@6 简介 I]3!M`IMG
IGab~`c-[ #\O'*mz 步骤 1
gA3f@7}d - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
dP>FXgY 步骤 2
D=Yr/qc? - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
bfpoX,: 步骤 3
)n[=)"rf - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
(m=1yj9 步骤 4
U!E}(9
tb - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
$Il 步骤 5
{M=*>P]E - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
ic l]H 步骤 6
a=v H:D - 将导入的数据阵列加载到采样界面
i CB:p vj]h[=: 步骤 7 .
Ug4o2n0sk - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
+rhBC
V BxZ7Bk 步骤 8
q]*jTb - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
F
IB)cpo 0F%?<:
& 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 +oHbAPs8 H]f[r~ 2]FRIy
d 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
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bf2r8 文件信息 fr$6&HDZ9 LB9W.cA