摘要 E0!0 uSg& XMxm2-%olP 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
=dQF}-{! d:cOdm>, 简介 YT)1_>*\
5*90t{# B_8JwMJu3 步骤 1
el<[Ng[ - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
5s4x%L (~} 步骤 2
MA%g-} - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
AxO.adQE% 步骤 3
2sEG#/Y= - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
!g|[A7<| 步骤 4
c3<H272\ - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
Y$|KY/)H) 步骤 5
3(*vZ - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
~Xr[d07bC 步骤 6
c2s73iz - 将导入的数据阵列加载到采样界面
LCH w. (58r9WhS 步骤 7 .
3fYfj - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
}h3[QUVf% or7l}X 步骤 8
Y10 - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
~0Zy$L/D :Z83*SPc 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 !<X/_+G\ R.GDCGAL E=,fdyj. 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
s~5rP: 1n.F`%YG 文件信息 ^0I" ChNT;G<6$