摘要 Ot]Ru,y->+ c+2FC@q{l 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
EY \H=@A cK 06]-Y 简介 N 5 $c]E
rL}YLR ?2>FdtH 步骤 1
g55`A`5%C - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
_cu:aktf2 步骤 2
jAud {m*T - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
D}vmwg@3 步骤 3
A]XZnQ - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
4._(| 步骤 4
y
K"kEA[; - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
r3>i+i42 步骤 5
vsa92c@T - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
4fe7U=# ;Y 步骤 6
U*3uq7 - 将导入的数据阵列加载到采样界面
bR V+>;L0@ !%c'$f/ 步骤 7 .
Ox@sI:CT - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
3\Xbmq8} \|K;-pL 步骤 8
!H ~<
- 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
]8T!qS(UJd G#?Sfn O0 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 og0*Nt+ VqS#waNrx |_yYLYH'
我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
9D4NX<_ hiUD]5Kp 文件信息 yR4|S2D3xn ;6!Pwb;hY