摘要 gWH9=%! Vg~
kpgB 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
Y"rV[oe )j|y.[ 简介 yB{o_1tc
ko> O~@r e+ w 步骤 1
:k/U7 2 - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
LA %al @ 步骤 2
y1My,
?"? - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
Tv)y} 步骤 3
rw0lXs#K<E - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
lBZ*G 步骤 4
GZVl384@ - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
Xq!tXJ) 步骤 5
J}KktD@!O - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
>Io7h#[u 步骤 6
.ehvhMuG| - 将导入的数据阵列加载到采样界面
H[k3)r2 cP=mJ1 步骤 7 .
ioCkPj - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
CyDf[C)= 8'Bl=C|0X 步骤 8
lj*913aFh - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
:I(gz~u6 Nb^:_0&H@ 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 )K3
vzX w=o m7%J@l x%ag.g2I 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
=e{KtX. B4&pBiG&f6 文件信息 Q&Ahr qk1D#1vl