摘要 0$r^C6}f &A#~)i5gF 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
Nn>'^KZNG F~ Lx|)0M 简介 4Llo`K4
"~TA SX_? QMv@:Eo 步骤 1
Ym;*Y !~[ - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
)M2F4[vcb 步骤 2
z;@*r}H - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
s3Cc;# 步骤 3
-i-? .: - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
V I%
6.6D 步骤 4
Y^<bl2"y8 - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
!3T&4t 步骤 5
mf'V) - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
26CS6(sn 步骤 6
6q
2_WX - 将导入的数据阵列加载到采样界面
-G6U$ \"hJCP?, 步骤 7 .
;c$ J=h] - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
{v3P9s( e%W$*f 步骤 8
QeF3qXI - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
Cu6%h>@K$ 4&l10fR5 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 Q_l'o3 :1Sl"?xU }1IpON
我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
1;VHM' hMtf.3S7c 文件信息 S*yjee<@ eYx Kp!f