摘要 M+j V`J! { 0RwjPYp 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
WWhAm{m
84j6.\, 简介 3q:U0&F
A=JPmsj. t6DgWKT6 步骤 1
"Rr)1x7 - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
-N
$4\yp 步骤 2
{e~#6.$: - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
Y&!-VW 步骤 3
?l/VCEZP - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
~Ap.#VIc' 步骤 4
akATwSrU - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
q4=Gj`\43 步骤 5
6|:K1bI) - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
UCV1 { 步骤 6
4zKmoYt - 将导入的数据阵列加载到采样界面
I!1|);li OIJNOu I 步骤 7 .
r&+8\/{ - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
sB`.G i]x_W@h 步骤 8
3N c#6VI - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
RT`.S
uN o]/*YaB2> 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 v+d}
_rCT Yw=7(} %4' <0 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
V3D`pt\[x n=Ze p{^ 文件信息 FxU a5n B^Sxp=~Au