摘要 DK\XC%~m 3o%vV* 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
d=PX}o^ 8o$rF7.- 简介 M'PZ{6;
U}RBgPX! ;^5k_\ 步骤 1
4"|Xndh1. - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
h6Z:+ 步骤 2
A~2)ZdAN - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
d_,5;M^k 步骤 3
Q$c6l[(g - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
N2v/< 步骤 4
-GAF> - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
z# ^fS
| 步骤 5
1)56ec<c - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
Y%.o
TB& 步骤 6
OT%E|) 6' - 将导入的数据阵列加载到采样界面
YQn<CjZ8af UqOBr2UmG 步骤 7 .
X.eOw>. - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
V4n~Z+k C9!t&<\} 步骤 8
m&:&z7^p - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
) *~A|[ 5To@d|{ 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 eQuu\/z*H fQJ`&9m*BF ^#HaH 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
7$'AH:K nm- 文件信息 ]JrD@ Vy >A$L&8'C