摘要 o_^d>Klb8 H\>I&gC' 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
A2FU}Ym0= wjGjVTtHs 简介 `:
ZN]c>w[
)I 8@*|T?r 步骤 1
?01""Om - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
a/`Yh>ou 步骤 2
.L|ax).D - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
UE;)mZ=l| 步骤 3
uz2s- , - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
7%x+7 步骤 4
xWZcSIH! - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
>Ezwl5b 步骤 5
%Yn)t3d - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
)h!l%72 步骤 6
1X}Tp\e - 将导入的数据阵列加载到采样界面
wLp
t2b8S V.[#$ip6: 步骤 7 .
P+|8MT0 - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
%YAiSSsV NjyIwo0 步骤 8
NB#*`|qt - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
hd
BC ^n aw~EK0yU
使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 bHT@]`@@ xa*gQ%+F ti2_kYq 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
pNWp3+a' {mitF 文件信息 #C7j|9Ew1] P&^7wud-sb