摘要 RTBBb:eX ^|i\d\ 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
^J~A+CEf"W "`*a)'.'^c 简介 m&0BbyE.z
l~!fQ$~ q }v04Yy,o 步骤 1
HmB[oH"x - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
+xBK^5/x 步骤 2
>fA@tUQB - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
T_tDpq_| 步骤 3
X+E\]X2 - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
GKujDx+h 步骤 4
OK?3,<x - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
nf.:5I. 步骤 5
zo7XmUI3P - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
Dq%r
! ) 步骤 6
^ lc}FN - 将导入的数据阵列加载到采样界面
A~GtK\=; >{qK]xj 步骤 7 .
$<
K)fbG - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
K&IrTA
j} Pn'(8bRm 步骤 8
2]aZe4H. - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
&*]{"^ Ma=6kX] 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 Lr?4Y `KJYm|@ i -wRyMY_D 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
y.*=Ww+ 8Z4?X% 文件信息 ZG/8 Ds [X">vaa