摘要 anKflt3 \^'-=8<*> 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
G;pc,\MF :;]O;RXt 简介 ^7:UC\_
YQ1rS X3 #2*R0_b 步骤 1
+t]Ge
>S - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
cwHbm% 步骤 2
x97L>>| - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
zf\$T,t) 步骤 3
e?GzvM'2 - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
! bX 步骤 4
#,"[sag - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
T&<ee|t@{ 步骤 5
(
~JtKSq% - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
p~-)6)We? 步骤 6
szOa yAS - 将导入的数据阵列加载到采样界面
:o:/RR p[ vNm4xa% 步骤 7 .
3]&le[. - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
F}B2nL& Q:ql~qew 步骤 8
aCfWbJ@qiG - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
M pz9}[`3g b>}
)G7b} 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 NR^3
1&}It _?Ly7*UML Yic4|N?u 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
!|J2o8g (3j f_ 文件信息 MTbCL53!- c'bh`H4