摘要 ZsjDe {TH {L 7O{:J 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
X.V6v4 Aa^%_5 简介 C^vB&3ghi
4?GW]'d fv?vO2nj 步骤 1
B16,c9[ - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
Ic_>[E?k 步骤 2
QAiont ,! - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
w>M8FG(4] 步骤 3
$ K>.|\ - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
<C0~7]XO 步骤 4
~Xa8\> - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
I8=p_Ie 步骤 5
EN^C'n - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
$J8?!Xg 步骤 6
MpZ
# - 将导入的数据阵列加载到采样界面
^^MVd@,i
[0v`E5 步骤 7 .
P9j[
NEV - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
FOz7W EMyMed_ 步骤 8
no_(J>p^& - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
4\*!]5i `/en&l 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 Y_qRW. k
G:TM k4 Ys8p,.OMs 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
X.)caF^j e RiP C 文件信息 Qs(WyP# y8/
7@qw