摘要 3P-#NL \ 0<e#0-V 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
BKvF,f/g 8h AI l 简介 #+ n
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ZMx_J *bv
Iqa 步骤 1
$RA"NIZ:! - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
;'J L$= 步骤 2
a-%^!pN\M - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
=797;|B H 步骤 3
#"7:NR^H^ - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
$V5Ol6@2 步骤 4
{MYlW0)~ - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
BAt2m- 步骤 5
u c7Y8iO - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
Oa@X! \ 步骤 6
Y6{p|F?&" - 将导入的数据阵列加载到采样界面
!L3Bvb;Q Pu
axS 步骤 7 .
cRU. - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
N?87Bd Ii[rM/sG 步骤 8
hj4A&`2 - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
2ix_,yTO bk^ :6>{K 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 c#{<|
. d5zzQ]|L GD< Afni 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
(<%i8xu2 @d4zSG/s5w 文件信息 x!"!oJG^k ~r=TVHjqi