摘要 ?rQIUP{D7 N[sJ5oF 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
6f;20dn6 ] U.*KkQ 简介 US]I[Y6V
)_1;mc8B +?GsIp@>jh 步骤 1
Jmun^Q/h - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
= Tq\Ag: 步骤 2
&>vfm9 - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
q'`LwAU} 步骤 3
2@|,VN V6~ - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
e^or qw/I 步骤 4
T0%l$#6v - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
hfRxZ>O2 步骤 5
6Vu) - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
mh,a}bX{ 步骤 6
x\K,@ - 将导入的数据阵列加载到采样界面
!5>PZ{J u Qz!of%x 步骤 7 .
6~a4-5;>z - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
$)VnHr `hy >4nQ&b.u 步骤 8
Eb9n6Fg - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
`5 MK(K
: |_%q@EID 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 Z8\/Fb ria.MCe\! I"HA(
+G 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
jXYjs8Iy gh.+}8=" 文件信息 y`J8hawp mIv}%hD