摘要 q'(z #h,cv 6/mF2&&g 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
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; kfh. o7xgRSz\ 简介 PCfo
Ttv9"z .]76!(fWZ 步骤 1
xX@FWAj - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
/r.6XZs6 步骤 2
>xd<YwXZ - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
w+f=RHX"{ 步骤 3
U w Eiz - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
g*-2*
\ 步骤 4
:%tuNJjj - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
_ 6:ww/ 步骤 5
u3dsQU - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
if~rp-\P 步骤 6
Q_}/ Pn$1 - 将导入的数据阵列加载到采样界面
fA8ozL T dbO# 步骤 7 .
Jyu`-=It - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
YU\Gj S~>& ,d
7Z 步骤 8
3ps,uozj - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
HZ\k-!2 O{n<WQd{CY 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 (K!4Kp^m `fW{yb 9e5gy 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
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