摘要 `/JR}g{O
01c/;B 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
T7,Gf({ ~`>26BWQz 简介 c^Gwri4
.(dmuV9 C$RAJ 步骤 1
#oroY.o - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
:$cSQ(q9a 步骤 2
HA.NZkq.tV - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
txfwLqx 步骤 3
)]b@eGNGj - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
ua|Z`qUyq 步骤 4
_ K+V?-= - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
{.D2ON 步骤 5
&]yJCzo] - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
~R?dDL 步骤 6
<,X+`m& - 将导入的数据阵列加载到采样界面
v*'iWHCl, Ul713Bjz 步骤 7 .
~2A$R'x b - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
8@W/43K8- FP'u)eU&3 步骤 8
3@ F+ E\k - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
Y\g90 Xq^y<[ 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 Q"6hD?6. E#{WU} `\|3
~_v 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
tY$ty0y-e x:n9dm 文件信息 ;[OJ-|Q jRdhLs,M9