摘要 lWk>z; d (62"8iD6 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
yf.~XUk^ ' ,wFTV& 简介 G^|:N[>B
Pl06:g2I wc@X.Q[ 步骤 1
WF+99?75 - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
St9?RD{4; 步骤 2
#pow ub - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
r EE1sy/# 步骤 3
B2vh-%63 - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
Z9ZPr?C= 步骤 4
\ A#41
- 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
a 7V-C 步骤 5
KhR8 1\ - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
cGzPI+F 步骤 6
,.8KN<A2]' - 将导入的数据阵列加载到采样界面
dh iuI|?@ =U9*'EFr 步骤 7 .
@CL{D:d - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
!X#OOqPr= [#vH'y 步骤 8
[-K&