摘要 ?mJNzHrq; 0,a;N%K- 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
[i18$q5D ]xlV;m 简介 #,0PLU3%
^tS{a *Yn d{cd+An 步骤 1
9 )1 8 - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
M ABrf`<b 步骤 2
|,*N>e - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
F?UI8 步骤 3
9yU(ei:GUo - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
Aofk< O!M 步骤 4
DQC=f8 - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
]ow$VF{y 步骤 5
K(&I8vAp - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
>?-etl 步骤 6
b.h:~ATgN - 将导入的数据阵列加载到采样界面
uY{zZ4iw ]>j>bHG 步骤 7 .
]i$<<u - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
.[%^~q7 WJ%4IaT 步骤 8
g8=j{]~C - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
;Jh=7wx 2O|jVGap5x 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 HPGIz!o T^z h>w(Th\H 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
^bD)Tg5K [8kufMY| 文件信息 5L?_AUL i1c
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