摘要 h$[}lZDg {qO[93yg)/ 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
\6A-eWIQif H^ _[IkuA% 简介 {fXD@lhi
yRt]i> p/jC}[$v 步骤 1
,!U._ic'B - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
gMe)\5`\Y 步骤 2
5o;M - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
o*OYZ/_L 步骤 3
1eue.iuQ - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
$j61IL3+ 步骤 4
d?dZ=]~C - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
L{y%\:] 步骤 5
[DS.@97n - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
k<p$BZ 步骤 6
<SeK3@Gi - 将导入的数据阵列加载到采样界面
h}PeXnRU
;0G+>&C8 步骤 7 .
2pR+2p` - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
-#Xo^-& &DoYz[q 步骤 8
oujg(
^E - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
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cU]@j}2 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 _;baZ- kSJWXNC +"1@6,M 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
=6FA(R|QU LWG%]m|C 文件信息 WGwpryaya ktlI(#\%