摘要 ERp:EZ' @9_nwf~X4 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
!sg%6H?} ~a'nHy1 简介 K,x$c % xZ^ywa_ ?vZWUWa 步骤 1
7XUhJN3n - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
V~'k1P4 步骤 2
-d|BO[4j - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
n\Z^K 步骤 3
n!UMU ^ - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
Rz.i/wg} 步骤 4
9M1a*frxZ - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
?*CRa$_I| 步骤 5
(y=dR1p - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
6PiEa( 步骤 6
'fS?xDs-v - 将导入的数据阵列加载到采样界面
.HyjL5r- zo_k\K`{@ 步骤 7 .
k k
8R - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
2yl6~(JC+ m5e\rMN~>\ 步骤 8
Z -pyFK\ - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
+DicP"~* f|X[gL,B 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 .>k=A|3G $|Q".dD F`fGz)Mk 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
P-[fHCg~ jZa25Z00 文件信息 IgLVn<5n GMEw