摘要 sX@e1*YE_ :Z&ipd!yY 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
w $2-t }P^n / 简介 fV[xv4D.
_&yQW&vH# M?]ObIM:5 步骤 1
`7'(U)x,F - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
hI/p9
`w 步骤 2
e_,_:|t - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
j^LnHVHk1 步骤 3
;M}bQ88 - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
aHb,4 wY 步骤 4
Ws(BouJ - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
}~\J7R' 步骤 5
0E+ + - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
aIkxN& 步骤 6
d'DS7F(c{ - 将导入的数据阵列加载到采样界面
@ '<lD*W =niU6Q} 步骤 7 .
E?%k - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
M8
++JI &0Nd9%> 步骤 8
*6k
(xL - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
h~<#1'/< {%~Sbcq4F 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 S,J'Z:spf 3`-[95w pW!] 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
k%c ?$n" <y!6HJ" 文件信息 ZP?](RV>xg eeuAo&L&