摘要 Y(!)G!CMc c$SxDYG 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
GC#95 J<$'^AR9"q 简介 jw%FZ
Yw1q2jT {ZYCnS&?CL 步骤 1
h|>n3-k|p - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
`3s-%> 步骤 2
Yiw^@T\H` - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
*l8vCa9Y 步骤 3
$MEbePxe - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
] j?Fk$C 步骤 4
P>,D$-3 - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
E2/U']R 步骤 5
?[fl$EG - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
S5 oHe4#89 步骤 6
8o5^H> - 将导入的数据阵列加载到采样界面
]mU*Y:< a}]@o" 步骤 7 .
^?VT y5yp - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
qpH-P8V ~,4Znuin 步骤 8
iQj{J1V - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
NP(?[W .4)P=* 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器
pq5H{ ,O`*AzjS5Q }Nc!8'@ 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
%+JTQy BTQC1;;N 文件信息 WC&Ltw8 c oz}VMp