摘要 yC]xYn) |HjoaN ) 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
<h$Nh0 ,Tb~+z|-[ 简介 g=*`6@_=
=*icCng zH1pW( 步骤 1
&nc0stuL - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
_86#$|kw 步骤 2
]kN<N0;\d - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
SG&VZY 步骤 3
=5UT'3p> - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
M*r/TT 步骤 4
!Od?69W, $ - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
CDy *8<-& 步骤 5
an4^(SY - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
~{#$`o= 步骤 6
d$3;o&VUNI - 将导入的数据阵列加载到采样界面
>y2;sJ4]D% ~\4B 1n7 步骤 7 .
%{fa
.>6 - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
arCi$:-z@ fQ\nK H~ 步骤 8
^V
DJGBk - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
B@:c8}2. BZ] 6W/0 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 ')d&:K*M `]Uu` b LqH<HGMFD 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
fZ9EE3 p19[qy~. 文件信息 YL )epi^ (RDY-~#~