摘要
n<R?ffy T'Dv.h 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
-;WGS o Y\g3hM 简介 aHK}sr,U
PtiOz
:zV t&e{_|i#+ 步骤 1
ZyFjFHe+ - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
@*KZ}i@._ 步骤 2
R%[ c;i - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
D_zZXbNc 步骤 3
$X,D( - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
)irEM 步骤 4
JYHl,HH#z - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
[FR`Z=% 步骤 5
p>8D;#HmL - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
4ID5q~ 步骤 6
Qj3EXb - 将导入的数据阵列加载到采样界面
HY:7? <r or}[h09qA 步骤 7 .
sdw(R#GE - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
9V*qQS5<p m^;f(IK5 步骤 8
)bscBj@ - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
=U?dbSf1* M[,@{u/ 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 -m~#Bq u;2[AQ. #!+:!_45 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
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