摘要 lIhP\:;S& qg2fTe 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
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-6{>P/ 1j_gQ,'20 简介 /]1$Soo
oMNt676 s!IX3rz 步骤 1
C(%b!Q,2 - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
02$d 步骤 2
AONEUSxJ - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
B}(r>8?dm 步骤 3
u+7S/9q8 - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
y:HH@aa) 步骤 4
c1ga{c`Z - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
mAM:Q*a' 步骤 5
"M;aNi^B - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
4j1$1C{ 步骤 6
wPE\?en - 将导入的数据阵列加载到采样界面
<da-iY\5 [%c5MQ?H 步骤 7 .
,*kh{lJ - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
B7QRG0 =vs]Kmm 步骤 8
@=ro/. - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
h`n)
b y9Q#%a8V 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 "Cz0r"N a.z)m}+
a$=He 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
^`S.Mw. r!<)CT}D 文件信息 9u;/l#?@T 'NNfzh