示例.0082(1.0) :\"V5 (hi{i 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ]j+J^g
c\.7Z=D 1. 描述 .FeVbZW ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 7?p>v34A ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 w!rw% ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .L8g(F(=:
`9&~fWu 2. 系统 FT
Ytf4t [;pL15-}4 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
^u+#x2$Mg 3. 透镜系统组件编辑 ~F.kgX
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 _W
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {lbNYjknS
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 y41~
■ 包括序列光学表面和光学介质。 NI85|*h
,DD}o #:xv]qb`k 4. 光线追迹系统分析器-选项 sP@7%p>wt 62 9g_P) K)#6&\0tT
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 BV)) #D9
■ 可以选择选取光线的方法: !7n`-#)
— 在x-y-网格 |lMc6C
— 六边形 7_~_$I~g*
— 自由选取 z#GrwE,r
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 sf Zb$T
J oIGF=x,e8 5. 系统的3维视图 u+m9DNPF }t0JI3
P*/ig0_fM 6. 其他系统参数 9cQ;h37J> ■ 系统由单色平面波照明 Ge ?Q)N ■ 照明波长266.08nm "J{A}g[ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: }oL
l?L — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 qZ%0p*P#_ — 一个虚拟屏位于焦平面 ttY[\D&ZS — 光束尺寸探测器置于焦平面 9.wZhcqqU ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ~Z}DN*S R,`3 SW() IweNe`Z qHu\3@px v9 8s78 7. 光线追迹系统分析器的结果 i>
dLp :KI0j%>2y 光线经过整个光学系统的三维视图
~_|CXPiQ8 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
NEt_UcC br')%f}m a)'
P/P [sl"\3) =%d.wH?dZ/ lmYyaui 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ,VZ<r5NT 5P[urOvV 0RHjA&r3v
■ VirtualLab可用于计算点列图。 CcZM0
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 XnB-1{a1
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 g^))
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
SN;_.46k
h]WW?. 9. 焦平面上的结果 P,)\#([vc
|XJ|vQGU
m0N{%Mf-
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 *0z'!m12
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 #kp+e)F
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm YJ>P+e\o9
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 vk<4P;A(G
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 #zg"E< S$qpClXS, 10. 总结 ~b})=7 n. ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 SHQgI<D7 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :Fi$-g ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 _ .xicov ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 %JuT'7VB