示例.0082(1.0) q6wr=OWD ]]cYLaq( 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 s(&;q4|
i_F$&?) 1. 描述 137Xl>nO ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 L|^o71t| ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Sd:.KRTu. ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 )9P&=
"L3Xd][ 2. 系统 L"rcv:QWZa 1.R
kIB 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
wH!#aB>kP 3. 透镜系统组件编辑 2[dIOb4b
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [U_[</L7
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 9B)lGLL}q
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 wq4nMY:#
■ 包括序列光学表面和光学介质。 K!b8= K`
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) 4. 光线追迹系统分析器-选项 2q%K)h m{&w{3pQk _=6 OP8
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 V:\]cGA{
■ 可以选择选取光线的方法: 3cu9[~K
— 在x-y-网格 9bn2UiJk
— 六边形 k,X74D+
— 自由选取 ek[kq[U9
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ozxYH], ?`A9(#ySM 5. 系统的3维视图 2cjEex:& '\L0xw4
&r:m&?!|VQ 6. 其他系统参数 Wy(pLBmb ■ 系统由单色平面波照明 zKJ.Tj W ■ 照明波长266.08nm L*O>IQh2 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: J" bD\% — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 {{E jMBg{ — 一个虚拟屏位于焦平面 ~@YQ,\Y — 光束尺寸探测器置于焦平面 sJ7sjrEp1 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 DoG%T(M!a9 &Y=.D:z< fqX~xp K6(.KEW 6oA~J]< 7. 光线追迹系统分析器的结果 8;8YA1@w (!ZV9S 光线经过整个光学系统的三维视图
mo*'"/ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
+l.|kkZ? CfY7<o1> t]r7cA FbBX}n 3/l\ <{ +]_nbWL(% 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
N)P((>S;
Db,= 2e }z?xGW/k
■ VirtualLab可用于计算点列图。 }<.7 xz|V
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ret0z|
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 h*G#<M
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
) (+)Q'*
w'|&5cS 9. 焦平面上的结果 @7 )Z
2J)74SeH
K`~BL=KI
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 e/ WBgiLw
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 "NJ,0A
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm yS+(<
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 j=FMYd8$y
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 @uoT{E[ {zY`h6d 10. 总结 \ibCR~W4 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <sO?ev[ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 0GS{F8f~, ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 2rF?Q?$,B ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 a5X`jo