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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Hc/7x).  
    8Y SvBy  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 NbWEP\dS'z  
    AyJl:aN^  
    1. 描述 |E13W  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 `=Mk6$%Cs  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 #jbC@A9Pe  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 IO7z}![V;  
    e {6wFN  
    2. 系统 )~M@2;@L  
    zB m~J%  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    [w](x  
    3. 透镜系统组件编辑 ( w4XqVT  
    /}u:N:HA%  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 THl:>s  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 o. $ 48h(  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 _9oKW;7f7  
    包括序列光学表面和光学介质。 5REH`-  
    `&I6=,YLp  
    2NFk#_9e~  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Gn7\4,C  
    OL1xxzo  
    w !kk(QMV  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 $d1ow#ROgy  
    可以选择选取光线的方法: }51QUFhL0  
    — 在x-y-网格 I'D3~UI f  
    — 六边形 )g=mv*9>  
    — 自由选取 Fpo}UQQbc  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    v~RxtTu  
    BTsvL>Wy  
    5. 系统的3维视图 H28-;>'`  
    yO-2.2h  
    \*PE#RB#6  
    6. 其他系统参数 /XG7M=A$o  
    系统由单色平面波照明 j gV^{8qG  
    照明波长266.08nm i K@RQi  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 5I* 1CIO  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 pg!mOyn  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 {? yRO]  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ym p*:lH(  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 FoIK, MdJ  
    VK9E{~0=  
    uP7|#>1%  
    ?:q"qwt$F  
    gISA13  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 UB] tKn  
    x8z6 <  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    daY0;,>  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    *{JD= ua  
    Ev#, }l+  
    * *A JFc  
    n n[idw  
    (3 ,7  
    $sL+k 'dY  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 `U?S 9m  
    +vFqHfmP  
    tIA)LF  
    VirtualLab可用于计算点列图。 $IKN7  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 4&]NC2I  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 YC{7;=P f  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 rI)&.5^  
    bz&9]% S<  
    9. 焦平面上的结果 YU87l  
    R^E-9S\@  
    oW7;t  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Pi&\GMzd  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 N}|1oQkjf  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm b9f5  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Z\-Gr 2k  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    #.j:P#  
    qyIy xJ  
    10. 总结 I tn?''~;  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 xoSBMf  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 BZQJ@lk5  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 B]D51R\}VE  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ?s0")R&  
     
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