示例.0082(1.0) }i!J/tJ)b e%W$*f 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 |Ph3#^rM?
K98i[,rP 1. 描述 I%urz!CNE* ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ^n0]dizB ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Sna4wkbS ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 3_A
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! VjFW5'{ 2. 系统 f 2l{^E#h #m={yck * 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
,@5I:X!rR 3. 透镜系统组件编辑 S6fb f>[
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 O$4yAaD
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Mw9 \EhA
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #c2ymQm
■ 包括序列光学表面和光学介质。 sH\5/'?
Dc)dE2 (Cqn6dWK 4. 光线追迹系统分析器-选项 8V~vXnkM 2;w*oop,O $ `7^+8vHV
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 7g3>jh
■ 可以选择选取光线的方法: /hO1QT}xd
— 在x-y-网格 GgKEP,O
— 六边形 5ZBKRu
— 自由选取 .9.2Be
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
W%\C_ av~5l4YL 5. 系统的3维视图 (y^vqMz %j7XEh<'
f5 `g 6. 其他系统参数 K$d$m < ■ 系统由单色平面波照明 n0is\ZK 0 ■ 照明波长266.08nm )m. 4i =X ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 13Lr}M& — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Wl}&?v&@ — 一个虚拟屏位于焦平面 mkR2i> — 光束尺寸探测器置于焦平面 Vx-7\NB ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 i&n'N8D@ a0Zv p>Ft |ZQ@fmvL/p U,LTVYrO PdvqDa8 7. 光线追迹系统分析器的结果 7x<i :x3 71l%MH 光线经过整个光学系统的三维视图
Ps<d('= 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
V dn&c eY e, r edPUG
N yxc=Z0~1 3)RsLI9 '}9JCJ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 h;0S%ZC KI+VXH}Y5{ F;>!&[h}G
■ VirtualLab可用于计算点列图。 9VbOQ {8
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 E6 WA}_
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ?^N3&ukkyo
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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y8DhOlewQ 9. 焦平面上的结果 jQ)T6 7
J4\ qEO
?C/Te)
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 C$5[X7'
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 oqeSG.1
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm =yy5D$\
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 *Aa?yg:=
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 b3VS\[p C/-63O_ 10. 总结 \!ej<T+JR> ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 hh[jN7K ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Kde9
$ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 wT{nu[=GH* ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 1w&!H]%{