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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) X@7K#@5  
    oNV(C'A  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 'd@Vusq}2  
    7J%v""\1!  
    1. 描述 6@ HY+RCx  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 T\ h_8  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 NX*9nwp^  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 8@a|~\3-  
    WxS=Aip'  
    2. 系统 ~Zd n#z\  
    \T_?<t,UT  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    8c'0"G@S  
    3. 透镜系统组件编辑 &sx|sLw)  
    ^Y:Q%?uB/  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \'L6m1UZ%  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 g loo].z  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =c8U:\0  
    包括序列光学表面和光学介质。 )LYj,do  
    $u4esg  
    uXNf)?MpA  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 @zJ#16V i  
    7=ZB;(`L1  
    NW9k.D%  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 5W!E.fz*T  
    可以选择选取光线的方法: s geP`O%  
    — 在x-y-网格 m(3bO[u1  
    — 六边形 ::vw 1Es  
    — 自由选取 GfQP@R"  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    o+O\VNW  
    -7" >A~c  
    5. 系统的3维视图 NC vwg  
    ~::gLm+f  
    gHlahg  
    6. 其他系统参数 ^tuJM:  
    系统由单色平面波照明 ,U'Er#U  
    照明波长266.08nm =fHt|}.K  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: M{7EFTy!y  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 -c=IO(B/  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 qgca4VV|z  
    光束尺寸探测器置于焦平面 d~| qx  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 xL>0&R  
    @/JGC%!  
    {F k]X#j  
    \+MR`\|3  
    \FTv N  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ]'_z (s}  
    n37( sKG  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    4:<0i0)5  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    hBE}?J>  
    ~9oS~fP?I  
    ~|J6M  
    cp?`\P  
    B>Nxc@=D  
    O|j5ulO}&"  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 =WEfo;  
    BJj~fNm1Zr  
    Y=3Y~  
    VirtualLab可用于计算点列图。 \hM6 ykY-  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 MO#%w  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Ir\3c9  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 G)43Y!  
    g\(7z P  
    9. 焦平面上的结果 x\Sp~]o3C  
    ']vX  
    (I[o;0w  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Lp ]d4"L;3  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 TTE#7\K~B  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm RL&3 P@r  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 h'-TZXs0e1  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    @/0aj  
    Z^fF^3x  
    10. 总结 }(tGjx]  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Tz*5;y%4  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 !)9zH  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ?|hzAF"U  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 KFV]2mFN  
     
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