示例.0082(1.0) Ut
xe .5~W3v
< 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 WrGz`
8>|@O<2\ 1. 描述 yNb
:zoT ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 I2wT]L UV ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 k5@_8Rc ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 \#A=twp
*I}_B\kY 2. 系统 CXsi ;#$zHR 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
D?w-uR%Y 3. 透镜系统组件编辑 ",ic"
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [i '\d}
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 2ju1<t,8)
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +(3PY e\
■ 包括序列光学表面和光学介质。 CDcs~PR@B
A*h)p@3t< pr-{/6j6 4. 光线追迹系统分析器-选项 wBcDL/(> Mdh(Mp(w } V4"-;P
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 A&5$eGe9
■ 可以选择选取光线的方法: LwUvM
— 在x-y-网格 IEzZ$9,A5
— 六边形 utwh"E&W
— 自由选取 kmW!0hm;e
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 D0QXvrf +V|]:{3W 5. 系统的3维视图 zck)D^,aO 6x@-<{L
i=2+1;K 6. 其他系统参数 No[xf9>t ■ 系统由单色平面波照明 @F7QQs3 ■ 照明波长266.08nm XB;;OP12 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Zt` ,DM — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 n?,fF( — 一个虚拟屏位于焦平面 8}\"LXRbo — 光束尺寸探测器置于焦平面 C-6+ZIk4 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 0t4i'?? {8jG6 TU. h q>omCk%h 5?vIkf 7. 光线追迹系统分析器的结果 &P{%C5?{ \W@?revK 光线经过整个光学系统的三维视图
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光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
x@k9]6/zs wOk:Q4OjL 2dI:],7 ng 6G<hi ohh 1DsB |]]fcJOBP 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 L]tyL) ]jYl:41yI O>>8%=5Q
■ VirtualLab可用于计算点列图。 @LmUCP~
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 PHOW,8)dZh
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 kB:R-St
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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><DE1tG 9. 焦平面上的结果 j"dbl?og
bIhL!Ty T.
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 p*'?(o:=
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 #nd,c n
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm K4tX4U[Z
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 9PBmBP~
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Yk5kC0B <*\J 6:^n 10. 总结 Yl f4q/- ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 &0"`\~lA ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 -_}EQ9Q ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 xWMMHIu ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ZAP+jX;