示例.0082(1.0) ~zE 1' 5bF9IH 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 4hsPbUx9
.\ ;l-U 1. 描述 f H#F"^A ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 OQytgXED ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Z%Tq1O ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 <t?x 'r?@
q7O,I`KaJ 2. 系统 E(aX4^]g ;e#>n!<u 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
27Kc-rcB 3. 透镜系统组件编辑
g( ]b\rj
\yJZvhUk
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 u|_LR5S!j
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 .KT 7le<Zm
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 T =eT^?v
■ 包括序列光学表面和光学介质。 S 0R8'Y
.iOw0z /gqqKUx 4. 光线追迹系统分析器-选项 '|YtNhWZ? c*S#UD+ =Q/w% 8G
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ')AByD}Hi]
■ 可以选择选取光线的方法: #6*V7@9]3|
— 在x-y-网格 Z-4K?;g'k
— 六边形 -vv
— 自由选取 *ajFZI
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =,&u_>Dp $\0cJCQ3 5. 系统的3维视图 652u Z};e VRtbHam
v?Z'[l 6. 其他系统参数 g2[K< ■ 系统由单色平面波照明 !6XvvTs/< ■ 照明波长266.08nm T4V[RN
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: bajC-5R1k — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 iyA*JCD — 一个虚拟屏位于焦平面 ucQezmie — 光束尺寸探测器置于焦平面 uHfhRc9 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 W9
n^T+2 (/T+Wpy? )HJK '@ EHH|4;P6 #rhVzN-?)W 7. 光线追迹系统分析器的结果 2.StG(Y! #D!$~h&i 光线经过整个光学系统的三维视图
QDIsC 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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