示例.0082(1.0) `uMc.:5\ \]4EAKJE 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 HI{q#
$)@D(m,ybd 1. 描述 1K#[Ef4 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 u=Ik&^v
Wq ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 &k,DAx`rN; ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 UapU:>!"`
L7{}`O/g7 2. 系统 @gbW: EPn!6W5^ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
L3HC- 3. 透镜系统组件编辑 )bih>>H
Pb;c:HeI/
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 T0dD:s N
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 BFw_T3}zn
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 m
W>Iib|
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ?R)dxuj
y>w;'QR&a e(/F:ZEh 4. 光线追迹系统分析器-选项 "G%</G8M 5b/ ~]v gIz!~I_U
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 wHs1ge (
■ 可以选择选取光线的方法: o/7u7BQl2
— 在x-y-网格 @kh<b<a4
— 六边形 u$^tRz9
— 自由选取 2kDY+AN;
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 PlH~um[J +Mijio 5. 系统的3维视图 ':;k<(<- ^K"BQ~-w
k o[w#j 6. 其他系统参数 2H4vK]]Nl ■ 系统由单色平面波照明 V($V8P/ ■ 照明波长266.08nm :sg}e ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: y8s!sO — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 8lpAe0p(Z — 一个虚拟屏位于焦平面 ,9bnR;f\ — 光束尺寸探测器置于焦平面 GKo&?Tj) ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Cty#|6k 4{kH;~
z$ ]w6Q? %'9 "QdK
Md ;9k>;g3m 7. 光线追迹系统分析器的结果 i$E [@ fYUV[Gm 光线经过整个光学系统的三维视图
b&F9<XLqq 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
pc*)^S swF{}S" z;S-Q, W\kli';jyC 4=tR_s 2HFn\kjj.s 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 %)r ~GCd :82h GU TsTc3
■ VirtualLab可用于计算点列图。 U0_^6zd_
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 bGWfMu=n
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 0ae8Xm3J@R
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
/g<Oh{o8
5^ Qa8yA>7 9. 焦平面上的结果 B`}um;T#~,
sApix=Lr
Z0Z6aZeb
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 FRd"F$U
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 {zFME41>g
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm vamZKm~p
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 qE~_}4\Z9
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Py)ZHML ]b4IO4T 10. 总结 (wDE!H7 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 vQEV,d1 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 2zTi/&K& ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \Rny*px ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 'h*jL@%TT