切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 621阅读
    • 0回复

    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6441
    光币
    26350
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) q6wr=OWD  
    ]]cYLaq(  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 s(&;q4|  
    i_F$&?)  
    1. 描述 137Xl>nO  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 L|^o7 1t|  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Sd:.KRTu.  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 )9P&=  
    "L3Xd][  
    2. 系统 L"rcv:QWZa  
    1.R kIB  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    wH!#aB>kP  
    3. 透镜系统组件编辑 2[dIOb4b  
    ggou*;'  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [U_[</L7  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 9B)lGLL}q  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 wq4nMY:#  
    包括序列光学表面和光学介质。 K!b8= K`  
    8mgQu]>  
    jNy?[ )  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 2q %K)h  
    m{&w{3pQk  
    _=6OP8  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 V:\]cGA{  
    可以选择选取光线的方法: 3c u9[~K  
    — 在x-y-网格 9bn2UiJ k  
    — 六边形 k,X74D+  
    — 自由选取 ek[kq[U9  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ozxYH],  
    ?`A9(#ySM  
    5. 系统的3维视图 2cjEex:&  
    '\L0xw4  
    &r:m&?!|VQ  
    6. 其他系统参数 Wy(pLBmb  
    系统由单色平面波照明 zKJ. Tj W  
    照明波长266.08nm L*O>IQh2  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: J"bD\%  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 {{E jMBg{  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ~@YQ,\Y  
    光束尺寸探测器置于焦平面 sJ7sjrEp 1  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 DoG%T(M!a9  
    &Y=.D:z<  
    fqX~xp  
    K6(.KEW  
    6oA~J]<  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 8;8YA1@w  
    (!ZV9S  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    mo*'"/  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    +l.|kkZ?  
    CfY7<o1>  
    t]r7cA  
    FbBX}n  
    3/l\ <{  
    +]_nbWL(%  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 N)P((>S;  
     Db,= 2e  
    }z?xGW/k  
    VirtualLab可用于计算点列图。 }<.7xz|V  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ret0z|  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 h*G#<M  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ) (+)Q'*  
    w'|&5cS  
    9. 焦平面上的结果 @7 )Z  
    2J)74SeH  
    K`~BL=KI  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 e/ WBgiLw  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 "NJ ,0A  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm yS+ (<  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 j=FMYd8$y  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    @uoT{E[  
    {zY`h6d  
    10. 总结 \ibCR~W4  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <sO?ev[  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 0GS{F8f~,  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 2rF?Q?$,B  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 a5X`jo  
     
    分享到