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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) hgYZOwQ  
    Yg]-wQrH  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 u_w#gjiC  
    132{# tG]  
    1. 描述 PS)4 I&;U  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 \tf <B\oa  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 9vuyv*-}e  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 fiK6@,  
    ,k +IPkN+  
    2. 系统 hci6P>h<ia  
    >N^Jj:~l  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    lHN5Dr  
    3. 透镜系统组件编辑 cvn@/qBq*t  
    bn|I> e  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 BRw .]&/  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 d~9A+m3b_  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Jj; L3S  
    包括序列光学表面和光学介质。 hQ,ch[j'  
    \j@OZ   
    dN$0OS`s[  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ($q-_m  
    Nyku4r0  
    Z;h t  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Fco`^kql.D  
    可以选择选取光线的方法: QyEn pZ8?a  
    — 在x-y-网格 l.67++_  
    — 六边形 \r/rBa\  
    — 自由选取 3@etRd;]Kr  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    R5N%e%[  
    +F R0(T  
    5. 系统的3维视图 &|s0P   
    x>**;#7)  
    Y+kfBvxyf  
    6. 其他系统参数 NH[kNi'  
    系统由单色平面波照明 [`ebM,W  
    照明波长266.08nm Z+*9#!?J  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: !EvAB+`jLI  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 u0JB\)(-/h  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 :y'Ah#  
    光束尺寸探测器置于焦平面 W>${zVu  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 iFd+2S%  
    ]i|h(>QWP  
    Gt\lFQ  
    =2`[&  
    D>`xzt'.6  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 tIWmp30S  
    ux=w!y;}  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    d6Ht2  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    $h+1u$po  
    G"r1+#  
    DBo%fYst  
    u }#(.)a:  
    R|6Cv3:  
    ,1y@Z 5wy  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1auIR/=-  
    j b!x:  
    q_MPju&*  
    VirtualLab可用于计算点列图。 :N:yLd} &  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .yMEIUm  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 NpE*fR')  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 4.k0<  
    ^ sOQi6pL  
    9. 焦平面上的结果 Lz |? ek7Q  
    NG=@ -eu  
    `"Jj1O@  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 LGq'WU31:)  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 YDIG,%uv  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 2bv=N4ly  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 U&g@.,Y#  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    1D7nkAy  
    +vw\y  
    10. 总结 uFX#`^r`  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 {dhXIs  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 =Z{O<xw'  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 y8d]9sX{  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ^-TE([bW  
     
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