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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) M3U*'A\  
    9=J+5V^qD<  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 :q0TS>l  
    _Fz]QxO  
    1. 描述 MM*B.y~TxZ  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 %|:Gn)8  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 D 1Q@4  g  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 \qA g] -  
    Is $I;`  
    2. 系统 8i=c|k,GL.  
    YnzhvE  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    5DEK`#*  
    3. 透镜系统组件编辑 69{BJ] q  
    1@)kNg)*$  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。  TM1isZ  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 oWu2}#~z_  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 1yS [;  
    包括序列光学表面和光学介质。  0#AS>K5  
    :QGd/JX$n`  
    t0 1@h_ WS  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 *,:>EcDr  
    wsnR$FhQ`  
    IezOal  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 PtUea  
    可以选择选取光线的方法: WPmH4L>T  
    — 在x-y-网格 0Y_?r$M  
    — 六边形 'edd6yTd  
    — 自由选取 0@K?'6  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    M?i U$qI  
    3 ?1qI'5  
    5. 系统的3维视图 O]\6Pv@N  
    SM;*vkwz~  
    3 %ppvvQ  
    6. 其他系统参数 o"te7nBI  
    系统由单色平面波照明 vU:FDkx*nn  
    照明波长266.08nm 4$);x/ a  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 7*9a`p3w  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 -K 7jigac  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 )"W(0M] >  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ^usZ&9"@P  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ''{REFjK7  
    |,3>A@  
    o7/S'Haxc]  
    dr|>P*  
    cjf 8N:4N0  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 0]3 ,0s $}  
    u3"0K['3  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    iYqZBLf{S  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    gn2*'_V~3  
    eI+<^p_j2  
    s$cr|p;7#  
    }e7os0;s  
    X"4 :#s  
    >UUcKq1M:  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 \~sc6ho  
    DqfWu*  
    ?ztI8 I/  
    VirtualLab可用于计算点列图。 wLF;nzv  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 qXOWCYqs  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 w\"~ *(M  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 qO;.{f  
    lO (MF  
    9. 焦平面上的结果 $pKlF0 .  
    g*]hmkYe9  
    Vs[A  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Q[j'FtP%  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Dl a }-A:  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm pyvH [  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 WH>=*\  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    BBV"nm_(/  
     ;Y6XX_  
    10. 总结 jGg,)~)Y  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 N\,[(LbA&  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 7Ei,L[{\i#  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 04K[U9W3  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 [>2iz  
     
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