示例.0082(1.0) OBF5Tl4 w9H%u0V? 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 / QSK$ZDC
1!0BE8s"@ 1. 描述 c]t=# ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 OfbM]:}<3 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 !@%m3)T8 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ].7)^
5 S7\m5 2. 系统 x]Nq|XK PHT;%;m= 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
.ye5;A} 3. 透镜系统组件编辑 g>T'R Vb
&&Vz=6N
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 CYes'lr
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 LtXFGPQ f
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 (B7M*e
■ 包括序列光学表面和光学介质。 +8mfq\Y1
&yp_wW- qwiM.b5 4. 光线追迹系统分析器-选项 zA\DI]:+ .' 3;Z'%"g -8#Of)W
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Y]^[|e8
■ 可以选择选取光线的方法: U3ED3)
D
— 在x-y-网格 US@ak4Y6Z
— 六边形
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— 自由选取 CdC&y}u
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &AoXv`l4 \; $j
"i& 5. 系统的3维视图 Mpb|qGi! A
ElNf:
^W3xw[{ 6. 其他系统参数 eiJ $}\qJL ■ 系统由单色平面波照明 _u]Wr%D@ ■ 照明波长266.08nm "qMd%RP ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: u=p([
5] — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Y{f;qbEQH' — 一个虚拟屏位于焦平面 svHs&v — 光束尺寸探测器置于焦平面 JY4 +MApN ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 AW%^Xt wRi!eN? bCy.S.`jHQ vsRn\Y <vhlT#p
7. 光线追迹系统分析器的结果 6- s/\ =Pd3SC})6V 光线经过整个光学系统的三维视图
D)K/zh) 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
b:+.Y$%F- doW_vu 4$@5PS#, SB:-zQ5 PZ
AyHXY |z-A;uL < 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ys u"+J CM!bD\5 roVGS{4T\
■ VirtualLab可用于计算点列图。 pbl;n|
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 L:}hZf{p*
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 _r?H by<b
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
6L}$R`s5H
4pduzO'I 9. 焦平面上的结果 ;SagN
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 @9~6+BZOq
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ;mjk`6p
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm %8DU}}Rj
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 }[ld=9p(
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 4`7N}$j#, tux/@}I 10. 总结 u$X[= ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 +>M^p2l*& ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 MRV4D<NQ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 }N&}6U ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 si.ZTG9m