示例.0082(1.0) 1q/z&@+B c*LnLK/m 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 5% +T~ E*
R(x%<I 1. 描述 GY0<\- ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 8f#YUK
sW= ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 W*VQ"CW{^] ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 60QElJ9D
mAXTO7 2. 系统 VRMlr.T+ Xa%Z0%{ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
J2yq|n?2gq 3. 透镜系统组件编辑 q-p4k`]
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 nj)M$'
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 =g?r.;OO
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <o
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 7!Fu.Ps
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|RHX2sso 7dxY07yu 4. 光线追迹系统分析器-选项 3",6 E( vE{QN<6T Y$Fbi2A4
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ijC;"j/(
■ 可以选择选取光线的方法: |1rBK.8
— 在x-y-网格 x+%lNR
— 六边形 >e8t
— 自由选取 V@T G"YF
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 IHf
A;&b Bg;bBA!L 5. 系统的3维视图 IzkZ^;(N Cf8(Jk`v|
m;8_A|$A 6. 其他系统参数 +^4" ■ 系统由单色平面波照明 rHN>fySn7 ■ 照明波长266.08nm *$uKg zv3 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Fx)]AJ~[t — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 _MnMT9 — 一个虚拟屏位于焦平面 b(K.p? bt — 光束尺寸探测器置于焦平面 qo4AQ}0 < ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 pHKj*Y _d)w, ;m# IjD:
hR@ #_4L/LV !0E$9Xon 7. 光线追迹系统分析器的结果 C$M^<z mn4j#- 光线经过整个光学系统的三维视图
EGU?54 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
'}LH,H:%G {h|3P/?7 ENjrv
NAHQ:$ C6Dq7~{B m6aoh^I 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 R4pbi= <)y'Ot0 y ,_P(!7Z8
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ,T"(97"
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 aD24)?db-
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 +=U`
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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$Iv*?S"2 9. 焦平面上的结果 +oe
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ]qhVxeUm
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Mp"] =
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm d<fS52~l
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 u&r@@p.
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 !>gc!8Y'o oa1&9 10. 总结 (f
$Y0;v>} ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Z/:(*F C ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 />.& ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 tgc&DT;E ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ,Ad\!