示例.0082(1.0) 65`'Upu #&`WMLl+8 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 %]:vT&M
p?`|CE@h7 1. 描述 ,ovv ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 wor'=byh\ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 KiRt' ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 WNlSve)]ie
@,>=X:7 2. 系统 C&s }m0R 5,
"^"*@< 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
e5/DCz 3. 透镜系统组件编辑 52C-D+zCJ
^D>M Dj6
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 YI\Cs=T/
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 V.a]IkK'K
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 n+F-,=0
■ 包括序列光学表面和光学介质。 t[yD8h
4kY{X%9 x;?1#W 4. 光线追迹系统分析器-选项 )}9}"jrDlx 7J!d3j2TR F~@1n,[
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 WSB|-Qj}W
■ 可以选择选取光线的方法: ht
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— 在x-y-网格 Vx4pP$S
— 六边形 bHH}x"d[x
— 自由选取 \#oV<MR
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o-i.'L)X +so o2cb 5. 系统的3维视图 t T/*ZzMq# &7kSLat+9{
VA
r?teY 6. 其他系统参数 2Lu{@* ■ 系统由单色平面波照明 d?qO`-
~$ ■ 照明波长266.08nm $6?KH7lA ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: hB<z]sl — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 )mZy>45 — 一个虚拟屏位于焦平面 ;\&bvGj8V — 光束尺寸探测器置于焦平面 %fSk
"%u%< ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 o!dkS/u-m 1bAp{u& 8; N}d)*O +CHO0n 8lb
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7. 光线追迹系统分析器的结果 UY& W] (8X8<>w~ 光线经过整个光学系统的三维视图
CvSG!l.6f< 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
#7:9XID / g_!xO2LH,8 .BTT*vL- ~#x!N=q &aht K}u X
OtS+p 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 rTiuQdvo 0<Y&2<v 'eXw`kw(
■ VirtualLab可用于计算点列图。 O9IjU10:
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 x@\'@>_GM
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 5GpKX
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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-Z&{$J 9. 焦平面上的结果 ",@g
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 L}pFb@
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 qO'5*d;!d
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm O g~"+IGp
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 @wZ_VE7B
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 '(:J|DN W n mRRq^ 10. 总结 QlXF:Gx"= ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 R20GjWy= ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 bL[W.O0 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 IY6S\Gn ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 /[T8/7;_l