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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 4H#-2LV`  
    >5CK&6  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 Pf[E..HF*d  
     sUG!dwqqd  
    1. 描述 g$K\rA  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 aJ+V]WmA  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 3YvKHn|V"  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 5%I3eL%s  
     0vv~G\yM  
    2. 系统 n~ *|JJ*`  
    I\Op/`_=E  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    iJzBd7  
    3. 透镜系统组件编辑 TPN+jK  
    cyCh^- <l@  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 izl6L  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 aFTWzz  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 )pHtsd.eP  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 g6,DBkv2  
     s)E  \  
    g+#awi7  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 MKBDWLCB  
    &&&-P\3  
    +x2JC' -H  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 UY(T>4H+h  
    ■ 可以选择选取光线的方法： \qG ?'Iy  
    — 在x-y-网格 8&2 +=<Q~  
    — 六边形 2o SM|  
    — 自由选取 lb_N"90p  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     , #)d  
    "8f4s|@ 3  
    5. 系统的3维视图 4mvR]: G  
    oqJ Ybim  
    E=8'!  
    6. 其他系统参数 j*.;6}\o  
    ■ 系统由单色平面波照明 %B$ftsYXmu  
    ■ 照明波长266.08nm 3}|[<^$  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： ;u<Ah?w=Z  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^QS`H@+Z  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ]X6<yzu&+l  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 :{%[6lE^G  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 &e^;;<*w  
    '7?Y+R@|L  
    QEr<(wM-y  
    4}H+hk8-  
    PeJ#9hI~rQ  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 #gC [L=01  
    R l ]x:  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    H,(vTthd  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    q<:8{Y|  
    OijuOLt  
    AT&K>NG  
    s 47R,K$  
    aC,adNub  
    'zYS:W  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 /QQRy_Z1)  
    d,^O[9UWo  
    WoTeIkM9  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 O(-p md,  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 a3yNd  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 aj5HtP-  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 JQ%hh&M\0  
     kSz+UMC-7:  
    9. 焦平面上的结果 n6oOk nCna  
    R #wZW&N  
    \ptO4E  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 =ANr|d  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 z x-[@G  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm <U3X4)r  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 Ih.+-!w  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     0"R>:f}  
    B'yjMY![  
    10. 总结 M {jXo%C  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 /WnCAdDgZ  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 (l99a&] t  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 $'V^_|EL7  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 HA0!>_I dC  
     
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