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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 67<Ym0+ =  
    )r X["=  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 h~|B/.[R:3  
     gYb}<[O!  
    1. 描述 l Q/u#c$n  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 2eNA#^T=  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 h:%L% Y9z  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7\ELr 5  
     &)Y26*(`  
    2. 系统 hes$LH  
    (`%$Aa9J  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    !5 8j xh  
    3. 透镜系统组件编辑 UOh % "h  
    P,1[NW  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 N0`v;4gF$]  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 DdO$&/`)YP  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 Y*oT (  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 6%N.'wf  
     o1I8l7  
    W!.F\H,(  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 wCT. (d_  
    aH@GhI^@  
    X'BFR]cm  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 FwD"Pc2  
    ■ 可以选择选取光线的方法： 'L$%)`;e  
    — 在x-y-网格 ks{y=@ <,  
    — 六边形 !=sM `(=~  
    — 自由选取 )8ub1,C  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     H\W/;Nn  
    LRe2wT>I  
    5. 系统的3维视图 Q#+y}pOLP  
    0|mF /  
    >SS YYy  
    6. 其他系统参数 ~cHpA;x9<^  
    ■ 系统由单色平面波照明 ZcT%H*Ib]9  
    ■ 照明波长266.08nm + Xc s<+b  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： ,LD[R1TU8  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 vE4ce  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 >\J({/ #O  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 WKjE^u  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Yfro^}f  
    CJ'pZ]\G  
    0M[O(.x  
    iv3=J   
    jS_fwuM  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 vR;?~^{*s  
    \J@i:J6x$1  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    cu)ssT  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    iA=QK u!  
    ="yN4+0-p  
    Ab| t E5%  
    TgFj- "L\  
    +@n8DM{b  
    bLSZZfq  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 4$HU=]b6Tf  
    m6'VMW  
    rUg<(/c  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 /Mac:;W`  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .O h4b5  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 pi/Jto25z  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 -o\o{?t,  
     CJn{tP  
    9. 焦平面上的结果 |:yWDZg[  
    r8]y1 Om<  
    b#h}g>l  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 zk#NM"C+  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 %3"xn!'vf  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm wNNInS6  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 Z>9uVBE02  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     QJeL&mf  
    )9oF?l^q  
    10. 总结 C2l=7+X#W  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 HUP~  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 yJyovfJz.  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Jf#Ika&px  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 !c 3c%=W  
     
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