示例.0082(1.0) "1!.^<V* 8U<.16+5Q 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ,eeL5V
/-{O\7-D 1. 描述 P}+|`>L ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 CESe}^)n ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 nUud?F^_ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .l( r8qY#
"UoCT7X 2. 系统 wAYzR$i J;=aIiN]R 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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jX+ox 3. 透镜系统组件编辑 ( X
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_UBJPb@=U
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 /cL9?k;o
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 fteyG$-s
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 F0BOhlK
■ 包括序列光学表面和光学介质。 i. u15$
h"BhTx7E} dVVvG] 4. 光线追迹系统分析器-选项 +wz`_i)! $: 4mOl j |'#5H`
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 7o965h
■ 可以选择选取光线的方法: ZaRr2Z:!
— 在x-y-网格 !QQ<Ai!E
— 六边形 0K$WSGB?6j
— 自由选取 ]O[+c*|w
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 U=c5zrs Nn,vdu{^2 5. 系统的3维视图 lk*0c{_L o]|oAN9
KM_)7?` 6. 其他系统参数 $dx1[V+_ ■ 系统由单色平面波照明 ~b>nCP8q ■ 照明波长266.08nm (}*\ { ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: s=q%:uCO — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 p-T~x$"c| — 一个虚拟屏位于焦平面 ~4=]%XYz — 光束尺寸探测器置于焦平面 _cxm}*}\# ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 g/U$!d_ 2\nBqCxR =#.8$oa^ f
gK2.;> \]f5 7. 光线追迹系统分析器的结果 Ersr\ZB d739UhKC 光线经过整个光学系统的三维视图
gfdPx:7^ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
B7Ki@) LM"W)S xI`Uk8- 8 o7c%\v[ B
c,"12 ,yHzo 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 fR]p+\#8u* i_[
HcgT- DJ1XNpm
■ VirtualLab可用于计算点列图。 nJldz;
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 H7z>S G0
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 .^[fG59
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Pg*?[^*
a2cx 9. 焦平面上的结果 z`86-Ov
q7O,I`KaJ
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ;uM34^
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 vWqyZ-p,q
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm hV3,^#9o
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 !7:EE,W~
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ^Ei*M0fF o
:.~X 10. 总结 "?oo\op ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;eS;AHZ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 |QnUK5D$ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 17V\2=Io ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 t Y:G54d=_