示例.0082(1.0) H c/7x). 8YSvBy 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 NbWEP\dS'z
AyJl:aN^ 1. 描述 |E13W ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 `=Mk6$%Cs ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 #jbC@A9Pe ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 IO7z}定义的。 o.$48h(
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 _9oKW;7f7
■ 包括序列光学表面和光学介质。 5REH`-
`&I6=,YLp 2NFk#_9e~ 4. 光线追迹系统分析器-选项 Gn7\4,C OL1xxzo w !kk(QMV
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 $d1ow#ROgy
■ 可以选择选取光线的方法: }51QUFhL0
— 在x-y-网格 I'D 3~UIf
— 六边形 )g=mv*9>
— 自由选取 Fpo}UQQbc
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 v~RxtTu BTsvL>Wy 5. 系统的3维视图 H28-;>'` yO-2.2h
\*PE#RB#6 6. 其他系统参数 /XG7M=A$o ■ 系统由单色平面波照明 j gV^{8qG ■ 照明波长266.08nm i K@RQi ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 5I* 1CIO — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 pg!mOyn — 一个虚拟屏位于焦平面 {?
yRO] — 光束尺寸探测器置于焦平面 ym
p*:lH( ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 FoIK, MdJ VK9E{~0= uP7|#>1% ?:q"qwt$F gISA13 7. 光线追迹系统分析器的结果 UB] tKn x8z6 < 光线经过整个光学系统的三维视图
daY0;,> 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
*{JD=ua Ev#,}l+ **AJFc n n[idw ( 3,7 $sL+k 'dY 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 `U?S 9m +vFqHfmP tIA)LF
■ VirtualLab可用于计算点列图。 $IKN7
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 4&]NC2I
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 YC{7;=Pf
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
rI)&.5^
bz&9]%S< 9. 焦平面上的结果 YU87l
R^E-9S\@
oW7;t
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Pi&\GMzd
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 N}|1oQkjf
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm b9f5
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Z\-Gr
2k
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 #.j:P# qyIy xJ 10. 总结 I
tn?''~; ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 xoSBMf ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 BZQJ@lk5 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 B]D51R\}VE ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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