示例.0082(1.0) ,"/_G z/TRqD 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 QEVjXJOt0
HG^8&uh] 1. 描述 -{<%Wt9 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 |`|b&Rhu ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Y,a.9AWw) ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ":Q70*xSm
>ko;CQR 2. 系统 eY-$hnUe 8'YL!moG| 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
4M:oa#gh@ 3. 透镜系统组件编辑 <
;g0?M\
l`1ZS8 [.
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Cr&ua|%F
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 T7,tJk,(
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 u]}Xq{ZN
■ 包括序列光学表面和光学介质。 6`yq4!&v
&@RU}DnvM& 7fVVU+y 4. 光线追迹系统分析器-选项 d ][E;$ K)k!`du!6 $yt|nO
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 0t9G$23
■ 可以选择选取光线的方法: tpVtbh1)u
— 在x-y-网格 7W>T=
@
— 六边形 T}zi P
— 自由选取 )FB)ZK ;
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [Nq4<NK \&cVcAg 5. 系统的3维视图 ^!}lA9\gY x&f?c=\F
|.,yM| 6. 其他系统参数 *Vc}W ■ 系统由单色平面波照明 5/(Dh![l ■ 照明波长266.08nm !~RD>N&n ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: JRG7<s$ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 wM|-u/9+ — 一个虚拟屏位于焦平面 SsaF><{5R — 光束尺寸探测器置于焦平面 3~
qgvAr ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Ao,lEjN I 6L4B$'&KQZ *BF1Sso { u;ntDr z*R"917 7. 光线追迹系统分析器的结果 lUp 7#q f5O*Njl 光线经过整个光学系统的三维视图
"zqt'b0bW 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
U$-FQRM4K -j(/5.a is6JS^Q .Wr7?'D1M Qdtfi1_Y1 *z(.D\{% 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 f>RPh bq| oc15!M3$ Wima=xYe\5
■ VirtualLab可用于计算点列图。 wp@c;gK7
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 c~>M7e(
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 MF& +4$q
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Wy|=F~N
2\7]EW 9. 焦平面上的结果 Z,!Rj7wZ
pE=wP/#
o`&idn|,
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 C[[z3tn
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ?.4u'Dkn=
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Q.5a"(d@
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 a
ZfX |
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 F35e/YfG wK,tq 10. 总结 9'T(Fc ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 za24-q ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 y<5s)OehG ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 GSMP)8W ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 H
>RGX#|