切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 692阅读
    • 0回复

    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6569
    光币
    26994
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) yVn%Bz' [  
    [X@{xF^vBQ  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 DH _~,tK9  
    {P?DkUO}  
    1. 描述 avG#0AY  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 yRyRH%p)  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 !E00I0W-h  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 1z2v[S&pk  
    G] tT=X[  
    2. 系统 DtGkhq;  
    |SMigSu r`  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    $?:IRgAr  
    3. 透镜系统组件编辑 >zJkG9a  
    <T.R%Jys  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 9%ct   
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 q2*)e/}H  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 5M)B  
    包括序列光学表面和光学介质。 (?XIhpd  
    qx >Z@o  
    CP"5E?dcK  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 (qc <'$o  
    PPpaH!(D  
    *qL2=2  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 K]>4*)A:  
    可以选择选取光线的方法: 9,Dw;|A]  
    — 在x-y-网格 ;*Y+.?>a  
    — 六边形 Wx;%W"a  
    — 自由选取 <daH0l0  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    H)*%eG~  
    'i3-mZ/|8  
    5. 系统的3维视图  %O(W;O  
    wp~KrUlR  
    xK1w->[  
    6. 其他系统参数 &V &beq4)p  
    系统由单色平面波照明 d@Bd*iI<  
    照明波长266.08nm 4^Ks!S>K{8  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: n3/ Bs  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 {}" <  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 *E|3Vy{4  
    光束尺寸探测器置于焦平面 O6-';H:I]L  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +\PLUOk  
    ep48 r>  
    yQu/({D  
    <7ag=IgDy  
    |P9)*~\5  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 )r*F.m{&:  
    tg/!=g  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    3v#F0s|  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    V%M@zd?u.  
    3dtL[aVwY  
    wz:,gpH  
    !14v Ovj4{  
    mv*M2NuhT  
    b|k(:b-G&.  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 pwVGe|h%,  
    '2<N_)43$  
    ESS1 L$y  
    VirtualLab可用于计算点列图。 kOel !A  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~me/ve  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 9I1`*0A  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 {ueDwnZ  
    U?:?NC=1{  
    9. 焦平面上的结果 !Xq5r8]  
    _t X1z ^  
    mI^S% HT  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ^v3J ld  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 `RE K,^U  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm >v/%R~BuX  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 q?0&0  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    $O;a~/T  
    xWWVU}fd1  
    10. 总结 =| r% lx  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 !i{5mc \  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ?*QL;[n1  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 .36]>8  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Djp;\.$(  
     
    分享到