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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) .Mw'P\GtM  
    5yO6szg  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 n}qHt0N  
    RV|: mI  
    1. 描述 tZ[Y~],F  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 85l 1  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 tqIz$84G  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 IBWUeB:b  
    Zg|z\VR  
    2. 系统 @M?N[LG  
    =/" Of  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    -L6 rXQV@j  
    3. 透镜系统组件编辑 N G1]!Vz5  
    T"'"T]^ X  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 I-i)D  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 SG8H~]CO)  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 50(/LV1  
    包括序列光学表面和光学介质。 EW$ Je  
    /J8AnA1  
    viAvD6e  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 FK{ YRt  
    W?G4\ubM3<  
    =eSG7QfS  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 rB}UFS)  
    可以选择选取光线的方法: cU5x8[2  
    — 在x-y-网格  FZnkQ  
    — 六边形 9tXLC|yl?  
    — 自由选取 pK4I?=A'  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    5B .+>u"e  
    cn=~}T@~Z  
    5. 系统的3维视图 Tn/T :7C  
    Xd66"k\b+  
    -[v:1\Vv  
    6. 其他系统参数 (hd^  
    系统由单色平面波照明 ^v3ytS  
    照明波长266.08nm UKQ ,]VC  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: cg<10KT  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 1&Rz'JQ+  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 X}_}`wIn  
    光束尺寸探测器置于焦平面 QR'"Zw&q5/  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 J& +s  
    B @UaaWh  
    FgNO#%  
    R* E/E  
    4>{q("r,  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ;or(:Yoc-  
    {LY$  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    OqY8\>f-  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    rZe"*$e  
    *(s+u~, I  
    OAR1u}  
    s7SW4ff1  
    V{$(#r  
    0X`Qt[  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Mvrc[s+o  
    s9~W( Wi  
    RqXcL,,9  
    VirtualLab可用于计算点列图。 LCRreIIgZ  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 f$iv+7<B^  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 U{RW=sYB~9  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 zVZZdG~8  
    b3MgJT"mN  
    9. 焦平面上的结果 >yg mE`g  
    AASw^A3p  
    ,!|/|4vh  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 g[44YrRD  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 II)\rVP5  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm m7^aa@^m  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 z6B/H2  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    nu}$wLM  
    nE+sbfC   
    10. 总结 yd`xmc)  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ZBcZG  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 F5wCl2I  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 qWGnIPk  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Iujly f  
     
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