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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) S+^*rw  
    {sn RS)-  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 "P) f,n  
    4K_rL{s0U  
    1. 描述 _i_^s0J  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 A>@ i TI  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 n[~kcF  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 #k %$A}9  
    P.L$qe>O  
    2. 系统 dW K; h  
    `SdvX n  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    J9!}8uD  
    3. 透镜系统组件编辑 xbbQ)sH&m  
    &cnciEw1  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 .<0|V  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 xq`mo  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 T r|B:)X  
    包括序列光学表面和光学介质。 CH!>RRF  
    ch|4"&g  
    nQe^Bn  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ,$"*X-1  
    +#%#QL  
    >o=O^:/L  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 }V20~ hi  
    可以选择选取光线的方法: }HO3D.HE^  
    — 在x-y-网格 V}?*kx~T2C  
    — 六边形 (v<l9}!  
    — 自由选取 Gjhpi5?%8  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    d']CBoK  
    !*[Fw1-J  
    5. 系统的3维视图 }BTK+Tk8  
    N_ 3$B=  
    F8u;C:^d  
    6. 其他系统参数 m=g\@&N  
    系统由单色平面波照明 )uj:k*`)  
    照明波长266.08nm  4RPc&%  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ?8ZOiY(  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 g+g0iS  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 1~J:hjKQ  
    光束尺寸探测器置于焦平面 O!uZykdX4!  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 $KSdNFtM)A  
    R,+Pcn$ws  
    uu5AW=j  
    5Q)hl.<{o7  
    M)m(  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 %y7&~me  
    }XOTK^YA  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    d-GU164  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    54X=58Q  
    r;>2L'  
    {RG4m{#9  
    `S`,H  
    Ijg //=  
    , %8keGhl  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8i epG  
    ^{<!pvT  
    eo#2n8I>=1  
    VirtualLab可用于计算点列图。 XZh1/b^DMN  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 )$EmKOTt:  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Ff eX;pi  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Ch] `@(l  
    v&7yqEm}B  
    9. 焦平面上的结果 *5e"suS2  
    o\TXW qt  
    0|Rt[qwKb@  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2F}D?] A  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 0mt lM(  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm n]%T>\gw  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 x=S8UKUx  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    +'-i(]@!'  
    TnuaP'xZ  
    10. 总结 QPD[uJ(I  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ]'.D@vFGO  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ",v!geMvu  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 =c-Y >  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 \!51I./Q/  
     
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