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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 6pdl,5[x-  
    +8@`lDnr  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 )su <Ji*  
    DJ2]NA$Q*  
    1. 描述 ^Hhw(@`qf  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 r{N{! "G  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 =='{[[J  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 GVHfN5bTqn  
    9'*ZEl^?D  
    2. 系统 4>wIF}\  
    94k)a8-!  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    RNrYT|  
    3. 透镜系统组件编辑 E( 4lu%  
    $rQFM[  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 qer'V  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 8UY=}R2C  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 UEYM;$_@4o  
    包括序列光学表面和光学介质。 w)y9!li  
    V]PhXVJ  
    j?KB8oY`TP  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 q?]@' ^:;  
     '?>O  
    a]=vq(N'r  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 o_KcnVQ\  
    可以选择选取光线的方法: 0jZ{?  
    — 在x-y-网格 X.4ZLwX=  
    — 六边形 P)j9\ muc  
    — 自由选取 @p` CAB  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    SlJ/OcAf#  
    O> ^~SO  
    5. 系统的3维视图 Zow^bzy4  
    lXk-86[M  
    SoGLsO+R  
    6. 其他系统参数 'UG}E@G  
    系统由单色平面波照明 WQmiG=Dw^  
    照明波长266.08nm 7'/2:"  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: A =[f>8  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 GTIfrqT  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 3% 4Mq6Q`  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ysT!^-&p  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 qsRfG~Cg  
    C`T5d  
    DW%K'+@M  
    Cy> +j{%!  
    9n\#s~,  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 w7?9e#> Z  
    >sS:x,-  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    y^|3]G3  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    >W]"a3E  
    Ol h%"=*;  
    &EJ,k'7$  
    pC. 4AkEO  
    ,) jB<`  
     eV=sDx  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 O|TwG:!  
    lGBdQc]IL  
     (mD:[|.  
    VirtualLab可用于计算点列图。 n ~i4yn=  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 w8#>xV^~  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 SK}g(X7IWH  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 R.'Gg  
    AS"|r  
    9. 焦平面上的结果 Y +yvv{01  
    <=2*UD |  
    "8dnFrE  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 G:ngio]G0  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ea}KxLC`,  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ZUI9[A?  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 kL2sJX+  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ~e~Mx=FT0  
    A8/4:>Is  
    10. 总结 OL"5A18;M  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 P2RL\`<"  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 mBkQ 8e  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 R:m=HS_  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 \ iSBLU  
     
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