示例.0082(1.0) yVn%Bz'
[ [X@{xF^vBQ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 DH_~,tK9
{P?DkUO} 1. 描述 avG#0AY ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 yRyRH%p) ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 !E00I0W-h ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 1z2v[S&pk
G] tT=X[ 2. 系统 DtGkhq; |SMigSu r` 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
$?:IRgAr 3. 透镜系统组件编辑 >zJk G9a
<T.R%Jys
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 9%ct
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 q2*)e/}H
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 5M)B
■ 包括序列光学表面和光学介质。 (?XIhpd
qx >Z@o CP"5E?dcK 4. 光线追迹系统分析器-选项 (qc<'$o PPpaH!(D *qL2=2
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 K]>4*)A:
■ 可以选择选取光线的方法: 9,Dw;|A]
— 在x-y-网格 ;*Y+. ?>a
— 六边形 Wx;%W"a
— 自由选取 <daH0l0
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 H)*%e G~ 'i3-mZ/|8 5. 系统的3维视图 %O(W;O wp~KrUlR
xK1w->[ 6. 其他系统参数 &V&beq4)p ■ 系统由单色平面波照明 d@Bd*iI< ■ 照明波长266.08nm 4^Ks!S>K{8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: n3/Bs — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 {}"
< — 一个虚拟屏位于焦平面 *E|3Vy{4 — 光束尺寸探测器置于焦平面 O6-';H:I]L ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +\PLUOk ep48 r> yQu/({D <7ag=IgDy |P9)*~\5 7. 光线追迹系统分析器的结果 )r*F.m{&: tg/!=g 光线经过整个光学系统的三维视图
3v#F0s| 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
V%M@zd?u. 3dtL[aVwY wz:,gpH !14v Ovj4{ mv*M2NuhT b|k(:b-G&. 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 pwVGe|h%, '2<N_)43$ ESS1 L$y
■ VirtualLab可用于计算点列图。 kOel
!A
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~ me/ve
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 9I1`* 0A
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
{ueDwnZ
U?:?NC=1{ 9. 焦平面上的结果 !Xq5r8]
_t X1z^
mI^S% HT
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ^v3J
ld
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 `RE
K,^U
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm >v/%R~BuX
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 q?0&0
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 $ O;a~/T xWWVU}fd1 10. 总结 =|
r%
lx ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 !i{5mc\ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ?*QL;[n1 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 .36]>8 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Djp;\.$(