示例.0082(1.0) .tfal9 E,?IIRg& 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 b9?Vpu`?
GGHeC/4 1. 描述 o(54 A[' ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 *HV_$^)= ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 c%b|+4
}x ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 J#@+1 Nt
G2!<C-T{2 2. 系统 pQ7elv] N|)e {|k 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
t6-fG/Kc 3. 透镜系统组件编辑 .%W.uF^
ZWuNl!l>
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 9CwtBil<#g
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 /03Wst
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @Bkg<
■ 包括序列光学表面和光学介质。 j8?! J^TC
q%A>q;l: ~qL/P 5*+ 4. 光线追迹系统分析器-选项 >^#Liwm =$^}"}$
Z{#3-O<a+n
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?AxB0d9z
■ 可以选择选取光线的方法: jc>B^mqx
— 在x-y-网格 l&W:t9o
— 六边形 XD!}uDZ^
— 自由选取 rW O#h{
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 bqF?!t<B Um`KmM3 5. 系统的3维视图 3ErV" R4"$ cyjgi /Z
v=dN$B5y3 6. 其他系统参数 ,_7m<(/f ■ 系统由单色平面波照明 ' _K`1U ■ 照明波长266.08nm Mjl,/-0 w ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: g?j^d: — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 w*@9:+ — 一个虚拟屏位于焦平面 %M^Q{`
:5 — 光束尺寸探测器置于焦平面 =/ !A ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 wax^iL! l%
%c U" :m'(8s8 q~AvxO +Ezl.O@z 7. 光线追迹系统分析器的结果 ecvZwL =''*'a-P 光线经过整个光学系统的三维视图
X^m@*,[s 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
#^-'q`) U&$I!80. .OW5R* \j
we kY4h-oZ GV9pet89yu 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 !([ v=O# C<^S$ 3%x-^.
■ VirtualLab可用于计算点列图。 NY[48H
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .Z 17X_
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 0q1+5
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
K TE*Du
VF7H0XR/k5 9. 焦平面上的结果 cIuCuh0I`
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {+9t!'
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 N=8CVI
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm IeIv k55
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 "(+aWvb
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 !) d 7:.!R^5H 10. 总结 Z3Xgi~c ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 9*?YES'6 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 %+
MYg^ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 FQMA0"(G$ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 t$Ua&w