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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 1q/z&@+B  
    c*LnLK/m  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 5%+T~ E*  
    R(x% <I  
    1. 描述 GY0<\-  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 8f#YUK sW=  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 W*VQ"CW{^]  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 6 0QElJ9D  
    mAXTO7  
    2. 系统 VRMlr.T +  
    Xa%Z0% {  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    J2yq|n?2gq  
    3. 透镜系统组件编辑 q-p4k`]  
    +}z T][9w  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 nj)M$'  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 =g?r.;OO  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <o p !dS  
    包括序列光学表面和光学介质。 7!Fu.Ps >  
    |RHX2sso  
    7dxY07 yu  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 3",6 E(  
    vE{QN<6T  
    Y$Fbi2A4  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ijC;"j/(  
    可以选择选取光线的方法: |1rBK.8  
    — 在x-y-网格 x+%lNR  
    — 六边形 >e8 t  
    — 自由选取 V@T G"YF  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    IHf A;&b  
    Bg;bBA!L  
    5. 系统的3维视图 IzkZ^;(N  
    Cf8(J k`v|  
    m;8_A|$A  
    6. 其他系统参数 + ^4"  
    系统由单色平面波照明 rHN>fySn7  
    照明波长266.08nm *$uKg zv3  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Fx)]AJ~[t  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 _MnMT9  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 b(K.p?bt  
    光束尺寸探测器置于焦平面 qo4AQ}0 <  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 pHKj*Y  
    _d)w, ;m#  
    IjD: hR@  
    #_4L/LV  
    !0E$9Xon  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 C$M^<z  
    mn4j#-  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    EGU? 54  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    '}LH,H:%G  
    {h|3P/?7  
    ENjrv   
    NAHQ:$  
    C6Dq7~{B  
    m6aoh^I  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 R4p bi=  
    <)y'Ot0 y  
    ,_P(!7Z8  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ,T"(97"  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 aD 24)?db-  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 +=U`  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 "fS9Nx3  
    $Iv*?S"2  
    9. 焦平面上的结果 +oe ~j\=  
    T\. 8og  
    [ZDJs`h!`  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ]qhVxeUm  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Mp"] =  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm d<fS52~l  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 u&r @@p.  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    !>gc!8Y'o  
    oa1&9  
    10. 总结 (f $Y0;v>}  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Z/:( *FC  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 />.&  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 tgc&DT; E  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。  ,Ad\!  
     
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