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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) O BF5Tl4  
    w9H%u0V?  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 / QSK$ZDC  
    1!0BE8s"@  
    1. 描述 c]t =#  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 OfbM]:}<3  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 !@%m3)T8  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ].7)^  
    5 S7\m5  
    2. 系统 x]Nq|XK  
    PHT;%;m=  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    .ye5 ;A}  
    3. 透镜系统组件编辑 g>T'R Vb  
    &&Vz=6N  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 CYes'lr  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 LtXFGPQf  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 (B7M*e  
    包括序列光学表面和光学介质。 +8mfq\ Y1  
    &yp_wW-  
    qwiM .b5  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 zA\DI]:+  
    .' 3;Z'%"g  
    -8#Of)W  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Y]^[|e8  
    可以选择选取光线的方法: U3 ED3) D  
    — 在x-y-网格 US@ak4Y6Z  
    — 六边形 QU8?/  
    — 自由选取 CdC&y}u  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    &AoXv`l4  
    \;$j "i&  
    5. 系统的3维视图 Mpb|qGi!  
    A ElNf:  
    ^W3xw[{  
    6. 其他系统参数 eiJ $}\qJL  
    系统由单色平面波照明 _u]Wr%D@  
    照明波长266.08nm "qMd%RP  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: u=p([ 5]  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Y{f;qbEQH'  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 svHs&v  
    光束尺寸探测器置于焦平面 JY4 +MApN  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 AW%^Xt  
    wRi!eN?  
    bCy.S.`jHQ  
    vsRn \Y  
    <vhlT#p   
    7. 光线追迹系统分析器的结果 6- s/\  
    =Pd3SC})6V  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    D)K/zh)  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    b: +.Y$%F-  
    doW_v u  
    4$@5PS#,  
    SB:-zQ5  
    PZ AyHXY  
    |z-A;uL<  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ysu"+J  
    CM!bD\5  
    roVGS{4T\  
    VirtualLab可用于计算点列图。 pbl;n|  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 L:}hZf{p*  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 _r?H by<b  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 6L}$R`s5H  
    4pduzO'I  
    9. 焦平面上的结果 ; SagN  
    "6FZX~]s!  
    '[I?G6  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 @9~6+BZOq  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ;mjk`6p  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm %8DU}}Rj  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 }[ld=9p(  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    4`7N}$j#,  
    t ux/@}I  
    10. 总结 u$X [=  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 +>M^p2l*&  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 MRV4D<NQ  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 }N&}6U  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 si.ZTG9m  
     
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