示例.0082(1.0) d\FJFMW*9 W"k8KODOY 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 hDp6YV,q
Xixqxm*8 1. 描述 HH@qz2 w ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 vMs$ceq ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i7utKj*57 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 NbGV1q']
3Bx:Ntx< 2. 系统 C,pJ`:P -atGlu2 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
OLvcivf 3. 透镜系统组件编辑 zdEPDdB
]/B$br'O{?
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !k/Pv\j/R
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 sPb=82~z
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =pk)3<GwF
■ 包括序列光学表面和光学介质。 %bD}m!
@bnG:np {!K-E9_,S 4. 光线追迹系统分析器-选项 )"m!YuS Y p IKSs<IP {M?vBgR\B
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 a
/:@"&Y
■ 可以选择选取光线的方法: !grVR157P
— 在x-y-网格 ^-a8V'
— 六边形 ]+m/;&0
— 自由选取 WzI8_uM
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ocyb5j A,)VM9M_l 5. 系统的3维视图 T1r3=Y4 4L73]3&
60)iw4<wf 6. 其他系统参数 a+9*@z2 ■ 系统由单色平面波照明 QZ?=M@|f ■ 照明波长266.08nm 5zIAhg@o:q ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: \J6hI\/4^ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 X K5<Tg — 一个虚拟屏位于焦平面 R3!@?mcr — 光束尺寸探测器置于焦平面 )#}mH @ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Zxb_K ,~);EC=` nxJee=qH k,uK6$Z 'vbc#_; 7. 光线追迹系统分析器的结果 ;kJu$U f(eQ+0D 光线经过整个光学系统的三维视图
~6I)|^Z 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
@Kgl%[NmX P@]8pIB0d^ @y/wEBb "sgjWo6 !gmH$1w -.|4Y#b:& 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 z 8*8OWM 0K-*WQ*#9 Z^9/v
■ VirtualLab可用于计算点列图。 }I!hOD>]O
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 tdF9NFMD
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 7 ua6l[c
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
*E~VKx1
o|j*t7 9. 焦平面上的结果 34QfgMyH
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1,V`8 [
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Ji;mHFZ*FU
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 2F8|I7R
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 6st^4S5
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 L@^~N$G&u
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 e\b`n}nC ItX5JV) 10. 总结 $oLU; q% ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 SjEdyN# ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 9%IlW ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 M-
0i7% ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 a?R[J==