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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) `uMc.:5\  
    \]4EAKJE  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 HI{q#  
    $)@D(m,ybd  
    1. 描述 1K#[Ef4  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 u=Ik&^v Wq  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 &k,DAx`rN;  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 UapU:>!"`  
    L7{}`O/g7  
    2. 系统 @gb W:  
    EPn!6W5^  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    L3HC-  
    3. 透镜系统组件编辑 )bih>>H  
    Pb;c:HeI/  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 T0dD:sN  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 BFw_T3}zn  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 m W>Iib|  
    包括序列光学表面和光学介质。 ?R)dx uj  
    y>w;'QR&a  
    e(/F:ZEh  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 "G%</G8M  
    5b/ ~]v  
    gIz!~I_U  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 wHs1ge(  
    可以选择选取光线的方法: o/7u7BQl2  
    — 在x-y-网格 @k h<b<a4  
    — 六边形 u$^tRz9  
    — 自由选取 2kDY+AN;  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    PlH~um[J  
    +Mijio  
    5. 系统的3维视图 ':;k<(<-  
    ^K"BQ~-w  
    ko[w#j  
    6. 其他系统参数 2H4vK]]Nl  
    系统由单色平面波照明 V($V8P/  
    照明波长266.08nm :sg}e  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: y8s!sO  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 8lpAe0p(Z  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ,9bnR;f\  
    光束尺寸探测器置于焦平面 GKo&?Tj)  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Cty#|6 k  
    4{kH;~ z$  
    ]w6Q?%'9  
    "QdK Md  
    ;9k>; g3m  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 i$E [@  
    fYUV[Gm  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    b&F9<XLqq  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    pc*)^S  
    swF{}S"  
    z;S-Q,  
    W\kli';jyC  
    4=tR_s  
    2HFn\kjj.s  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 %)r ~GCd  
    :82h GU  
    TsTc3  
    VirtualLab可用于计算点列图。 U0_^6zd_  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 bGWfMu=n  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 0ae8Xm3J@R  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 /g<Oh{o8  
    5^Qa8yA>7  
    9. 焦平面上的结果 B`}um;T#~,  
    sApix=Lr  
    Z0Z6a Zeb  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 FRd"F$U  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 {z FME41>g  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm vamZKm~p  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 qE~_}4\Z9  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Py)ZHML  
    ]b4IO4T  
    10. 总结 (wDE!H7  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 vQEV,d1  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 2zTi/&K&  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \Rny*px  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 'h*jL@%TT  
     
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