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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Gm.2!F=R4A  
    ZMGthI}~-  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ukwO%JAr  
    h;JO"J@H  
    1. 描述 zn2Qp  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 %Gc)$z/Wd  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 4ZCD@C  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9?.  
    AZf$XHP2  
    2. 系统 ~d"9?K^#  
    L,_Z:\^  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Y |'}VU  
    3. 透镜系统组件编辑 2!Sl!x+i\'  
    . l-eJ  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 MNu\=p\Eq  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 nk.j7tu  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。  @s7wKk  
    包括序列光学表面和光学介质。 R@A"U[*  
    i(an]%'v  
    2 i97  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 b<8,'QgB  
    v18OUPPX  
    ePscSMx&  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 L.Tu7+M4  
    可以选择选取光线的方法: Kw87 0n<  
    — 在x-y-网格 |}D5q| d@n  
    — 六边形 kX "*kD  
    — 自由选取 Jm[_X  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    #j4jZBOTM  
    \Y^GA;AMQQ  
    5. 系统的3维视图 Wo+^R%K' 4  
    qt`HP3J&  
    =cWg 39$(I  
    6. 其他系统参数 h42dk(B  
    系统由单色平面波照明 n# "N"6s  
    照明波长266.08nm cxpG6c  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: .M([n-  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 P\{ }yd  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 O\q-Ai  
    光束尺寸探测器置于焦平面 4`'V%)M  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 s7"5NU-  
    ?L+|b5RS  
    sj8lvIY5  
    \%Lj !\  
    PaZd^0'!Z  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ES ?6  
    `9mc+  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    7_CX6:  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    p@[n(?duC.  
    Z}yd` 7  
    <K {|#ND#  
    pIl[)%F  
    ,)PpE&  
    $ 9 k5a  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ^a?g~G  
    6!Uk c'r  
    6wH:jd9,  
    VirtualLab可用于计算点列图。 t`pbEjE0K  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 )*nZ6Cg'  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 tOxTiaa=  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 r;@"s g  
    K8{ef  
    9. 焦平面上的结果 9=.7[-6i9  
    =?[:Nj636  
    >oL| nwn  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 \:9<d@?  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ;!,I1{`  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ?eDZ-u9)  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 MN[D)RKh;  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    EL(B XJrx{  
    l0=VE#rFl  
    10. 总结 to(lE2`.da  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Dn:1Mtj-  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 TF~cDn  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 0.0r?T  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ]e(\<R6Gf  
     
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