示例.0082(1.0) (tY0 /s e$
pXnMx7 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 J*I G]2'H
QV&yVH=Xs 1. 描述
AW[_k% ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。
:oN$w\A ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 5}v<?<l9\ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 q-tm`t*7
"~:AsZ"7 2. 系统 @cc4]>4 yAyq-G"sO 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
qHQWiu%h 3. 透镜系统组件编辑 Wjf,AjL\
d<,'9/a>
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 m@A?'gD
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 JJE3\
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 tV'>9YVdG
■ 包括序列光学表面和光学介质。 3$TU2-x;g
3_5]0:?]- KO!.VxG]_ 4. 光线追迹系统分析器-选项 C*C;n4 AT N?Nu' _/\U
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 [p:mja.6y
■ 可以选择选取光线的方法: V{D~e0i/v
— 在x-y-网格 C]- !uLy
— 六边形 \jHHj\LLr.
— 自由选取 16cc9%
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 :b~5nftr V]{^}AKc 5. 系统的3维视图 O5v)}4 X"sc'#G T
gt>k]0 6. 其他系统参数 Fk4T>8q2; ■ 系统由单色平面波照明 9|{t%F=- ■ 照明波长266.08nm +m>)q4e ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 2d60o~E — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Sy0-tK4 — 一个虚拟屏位于焦平面 aS
$ J ` — 光束尺寸探测器置于焦平面 [11D7L%1t ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 \GP0FdpV +9fQ YJBA wRj||yay#- 8N,mp>~ K'@lXA: 7. 光线追迹系统分析器的结果 t(.jJ>|+* 7]}2`^9 光线经过整个光学系统的三维视图
H'_ v 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
s9\N{ar# />0
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S>'@ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 zu!# K @h94Ni6 PJn|
■ VirtualLab可用于计算点列图。 }b/Xui9Q
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 v~AD7k2{8
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 o+%($p
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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d>1cKmH! 9. 焦平面上的结果 $MYAYj9r)
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 1Pp2wpD4iC
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 87ptab@
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 9:4m@dguh-
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ai$s
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 'S'Z-7h>0
oHR@*2b 10. 总结 (p!w`MSv ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 VC.zmCglo^ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Uip-qWI ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 |Ca
%dg9$@ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 2SRmh!hr