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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 65`'Upu  
    #&`WMLl+8  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 %]:vT&M  
    p?`|CE@h7  
    1. 描述 ,ov v  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 w or'=byh\  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 KiRt'  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 WNlSve)]ie  
    @,>=X:7  
    2. 系统 C&s }m0R  
    5, "^"*@<  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    e5/ DCz  
    3. 透镜系统组件编辑 52C-D+zCJ  
    ^D> MDj6  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 YI\Cs=T/  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 V.a]IkK'K  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 n+F-,=0  
    包括序列光学表面和光学介质。 t[yD8h  
    4kY{X%9  
    x ;?1#W  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 )}9}"jrDlx  
    7J!d3j2TR  
    F~@1n ,[  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 WSB|-Qj}W  
    可以选择选取光线的方法: ht cO ~b  
    — 在x-y-网格 Vx4pP$S  
    — 六边形 bHH}x"d[x  
    — 自由选取 \#oV<MR  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    o-i.'L)X  
    +so o2cb  
    5. 系统的3维视图 t T/*ZzMq#  
    &7kSLat+9{  
    VA r?teY  
    6. 其他系统参数 2Lu{@*  
    系统由单色平面波照明 d?qO`- ~$  
    照明波长266.08nm $6?KH7lA  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: hB<z]sl  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 )mZy>45  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ;\&bvGj8V  
    光束尺寸探测器置于焦平面 %fSk "%u%<  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 o!dkS/u-m  
    1bAp{u&  
    8; N}d)*O  
    +CHO0n  
    8lb `   
    7. 光线追迹系统分析器的结果 UY& W]  
    (8X8<>w~  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    CvSG!l.6f<  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    #7:9XID /  
    g_!xO2LH,8  
    .BTT*vL-  
    ~#x!N=q  
    &aht K}u  
    X OtS+p  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 rTiuQdvo  
    0<Y&2<v  
    'eXw`kw(  
    VirtualLab可用于计算点列图。 O9IjU10:  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 x@\'@>_GM  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 5GpKX  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 (c7{dYV  
    -Z& {$J  
    9. 焦平面上的结果 ",@g  
    /r{5Lyk*  
    e ^& 8x  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 L}pFb@  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 qO'5*d;!d  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm O g~"+IGp  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 @wZ_VE7B  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    '(:J|DN  
    W n mRRq^  
    10. 总结 QlXF:Gx"=  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 R20GjWy=  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 bL[W.O0  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 IY6S\Gn  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 /[T8/7;_l  
     
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