示例.0082(1.0) R*&3i$S in+`zfUJ9 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 A(s/Nz>
k2+Z7#2n 1. 描述 wK\SeX ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6|jE3rHw ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 *v5y]E%aW ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 /?6y2 t
Ahwu'mgnC 2. 系统 Bkz 7olA@;$ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
?b7vc^E& 3. 透镜系统组件编辑 [R:O'AP}@}
#{?oUg>$
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 GYs4#40
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 kU^@R<Fo
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &WRoNc
■ 包括序列光学表面和光学介质。 eb8_guZ
TX+t
"1nd~
BBOw 4. 光线追迹系统分析器-选项 {U<htl4 oz0-'_
02+^rqIx5
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 D0]9
-h
■ 可以选择选取光线的方法: kN) pi "
— 在x-y-网格 ]E3g8?L
— 六边形 ?nn,RBS-
— 自由选取 ;s!H
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 G^OSXf5 JH5])i0 5. 系统的3维视图 Bh.'%[', nbRg<@
\G"/Myi 6. 其他系统参数 (l^lS=x ■ 系统由单色平面波照明 V , "'k<y ■ 照明波长266.08nm ejQCMG7 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: XDWERvIj — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 x~z 2l#ow — 一个虚拟屏位于焦平面 rTJWftH! — 光束尺寸探测器置于焦平面 IpP0|:} ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 0jS/U|0 x?F{=\z/o %2+]3h>g LH8?0N[ :({<"H)!' 7. 光线追迹系统分析器的结果 th<]L<BP/ ^
Q}1&w% 光线经过整个光学系统的三维视图
oF^B J8%Lm 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
(l,o UBRr loB/w{r*x :Ry24X utE:HD.PN 9..k/cH %!S 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ig,|3( y{sA[ " ^`7t@G$ D
■ VirtualLab可用于计算点列图。 *l^'v9
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 *LVM}| f
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 3{z|301<m
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
?uN(" I
..:V3]-D 9. 焦平面上的结果 :&%;s*-9
`lhLIQ'j
6b|`[t
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 lN'/Z&62
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Y Pc<
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm t;]egk
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 (?!0__NN;
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 57>ne)51 #V6
-* 10. 总结 #77UKYj2L- ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <&2,G5XA ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ;`B35K ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "Zk6B"o) ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 \gkajY-?