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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) %?+Lkj&  
    xWY\,'+Q  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 }8}`A\ dgV  
    SOsz=bVx  
    1. 描述 %4M,f.[e  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ;?iu@h  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 (r?hD*2r  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9\Ff z&  
    1@LUxU#Uu$  
    2. 系统 v36Z*I6)5  
    |LLpG37_  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    j`@`M*)GB  
    3. 透镜系统组件编辑 G^h:#T  
    v\G 7V  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ->;2CcpHB  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Ici4y*`M  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 NA0Z~Ug>  
    包括序列光学表面和光学介质。 n;=FD;}j+  
    l-c:'n  
    "R)n1,0  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 _XY(Qd  
    ^K J#dT  
    lq3D!+ m  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?771e:>S-  
    可以选择选取光线的方法: r~QE}00@^  
    — 在x-y-网格 $A,YQH+  
    — 六边形 oVp/EQ  
    — 自由选取 Au)~"N~p?  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    R64f0N K.  
    Pz D30VA  
    5. 系统的3维视图  6; )5v  
    B9 ?58v&  
    )@Y< <9'2  
    6. 其他系统参数 L|(U%$  
    系统由单色平面波照明 hCgk78O?  
    照明波长266.08nm H ~fF; I  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: `?l /HUw  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 UYy #DA  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 }C[ "'tLX  
    光束尺寸探测器置于焦平面 G9j f]Ye;  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 O+< +yQl  
    Dz2Z (EXI~  
    Pq{p\Qkj  
    U %BtBPL  
    PMbq5  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 n?D/bXp  
    e_!Z-#\J%  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    q&6|uV])H  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    "dOQ)<;  
    v}AjW%rB  
    )ryP K"V  
    1!U:M8T|  
    b9T6JS j  
    {w"Cr0F,  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1#AxFdm1  
    {(Mmv[y  
    ~d\V>  
    VirtualLab可用于计算点列图。 qq[Dr|%7  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Sj/v:  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 @ %q>Jd  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 b&_Ifx_YF  
    o >yXEg  
    9. 焦平面上的结果 S&[9Vb  
    {+{p.  
    _"t>72 `  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 |tLD^`bt  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 {wz_ngQ  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm {=gJGP/}_  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 { JDD"z  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    `*kl>}$  
    r>*+d|c 4  
    10. 总结 HKO]_; :(  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 kou7_4oS  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 X$P(8'[9A  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 bd27])n(  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 gyh8  
     
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