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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) wtS*-;W  
    E0ED[d,  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 )ce 6~   
    I[?\ Or  
    1. 描述 gH//@`6  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 s!IIvF  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 'D21A8*N  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 flCT]ZR  
    x?L[*N_ml  
    2. 系统 N`W[Q>n  
    ">[#Ops-;$  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    3m>YR-n$  
    3. 透镜系统组件编辑 i.E2a)  
    .8YxEnXw)(  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 >eTbg"\  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 =+iY<~8  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 x0# Bc7y  
    包括序列光学表面和光学介质。 :-RB< Lj  
    cC-8.2  
    Lap?L/NS  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 _V"0g=&Hc  
    ]Q"T8drL  
    X /c8XLe"  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 xX&B&"]5  
    可以选择选取光线的方法: M+%Xq0`T  
    — 在x-y-网格 UBwl2Di  
    — 六边形 >/n];fl>8  
    — 自由选取 T?RY~GA  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ov+{<0Q  
    4kL6aSqT  
    5. 系统的3维视图 {4S UG o>  
    $5XA S  
    |.@!CqJ  
    6. 其他系统参数 ~:Rbd9IB  
    系统由单色平面波照明 YYT;a$GTo  
    照明波长266.08nm "}71z  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 'iW  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 BeUyt  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 wa[L[mw  
    光束尺寸探测器置于焦平面 7n5gXiI"  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 5len} ){  
    d`/8Q9tQ  
    t oA}0MI(:  
    FxlH;'+Q  
    8c) eaDu  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Y#@D% a8  
    Ur+U#}  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    "w?0f["  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    $+80V{J#  
    MnD}i&k[  
    $2uC%er"H  
    DZqG7p$u4i  
    no+ m.B  
    j/aJDE(+  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 0h1u W26^  
    2WS*c7Ct  
    Qhj']>#g  
    VirtualLab可用于计算点列图。 w>B}w  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 wNUT0+  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 qiet<F  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 'u.Dt*.Uq  
    OP\jO DX  
    9. 焦平面上的结果 {]6-,/3UR  
    u4hn9**a1  
    suQTi'K1  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 &-*l{"7p+%  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 WHx #;  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm $T K*w8@:  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ;?{^LiD+F  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    %fg6', 2  
    <Z.`X7]Uk  
    10. 总结 `i.fm1I]  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 e\X[\ve  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 p*PzfSLN  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 KH,f'`  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 hr]+ 4!/  
     
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