示例.0082(1.0) ~LHG }Fyf?TZ$T 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 gOO\` #
g!D?Yj4 1. 描述 J}KATpHs ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 T eG5|`t], ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 %|o4 U0c ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 6ndt1W
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eUVE8pZl 2. 系统 +|Xx=1_?BK d/- f] 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Eti;(>"@ 3. 透镜系统组件编辑 =4/lJm``
NXDdU^w7B
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 E@R7b(:*
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {Rjj
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +K;(H']Z<-
■ 包括序列光学表面和光学介质。 I8`@Srw8
Fc7mAV= (<(8(}x 4. 光线追迹系统分析器-选项 &BCl>^wn} 4&r^mGs, [st4FaQ36
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 (5;w^E9*n;
■ 可以选择选取光线的方法: Wze\z
— 在x-y-网格 >Rjk d>K3
— 六边形 jUZ84Gm{
— 自由选取 4iRcmsP
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &I:5<zK{ &voyEvX/S 5. 系统的3维视图 lycY1 lK 5)2lZ(5.A#
PE|_V 6. 其他系统参数 :|M0n%-X ■ 系统由单色平面波照明 }9aYU;9D ■ 照明波长266.08nm 8{@|M l ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: /'u-Fr(Q+ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 65\'(99yU — 一个虚拟屏位于焦平面 X&TTw/J!^ — 光束尺寸探测器置于焦平面 :o&qJ% ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 =\ iV=1iB !GURn1vcAe vR3'B3y .4Jea#M&x \d2Ku10v[ 7. 光线追迹系统分析器的结果 :xm,Ok 8{ 8J(~ 光线经过整个光学系统的三维视图
)Pakb!0H@t 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
vp1IYW -{>JF B5~S&HQ?B6 |#L U"D c-z
,}` CbVU z< 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 /z>G=kA 8Sd<!
cclx$)X1X
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ?V4?r2$c
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 b\Y<1EV^[
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 (xBS~}e
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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PF2PMEBx! 9. 焦平面上的结果 #;)Oi9{9;
xqs{d&W
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 PB_+:S^8
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 :Gsh
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm zp:kdN7!^
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 l<>syHCH;L
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 n#Q ;bSw uPr'by 10. 总结 )q8w+'z ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 I} m\(TS-" ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ;!q _+P ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 {Iy<iV ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 !}<d6&!py