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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 4Z*|Dsw  
    0;}Aj8Fle  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 zLh Fbyn(  
    m])Lw@#9W  
    1. 描述 -Bj.hx*  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ;xL67e%?  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Gu2_dT  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 &kb\,mQ  
    ir]Mn.(Y  
    2. 系统 F#6cF=};@  
    uii7b 7[w  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    [1NaH  
    3. 透镜系统组件编辑 <lFdexH"T  
    ?RDO] I>  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ]22C )<  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 EY]a6@;  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 USprsaj  
    包括序列光学表面和光学介质。 $)Wb#B  
    Z+0?yQ=%  
    +i+tp8T+7  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 -)X{n?i  
    q&Q/?g>f  
    U M@naU  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 }f0u5:;Zth  
    可以选择选取光线的方法: S9J5(lYv~N  
    — 在x-y-网格 SWT:frki`  
    — 六边形 M2dmG<  
    — 自由选取  *. 8JP  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    8\DME  
    L7m`HVCt&  
    5. 系统的3维视图 90p3V\LO  
    82|q7*M*.  
    Oo kxg *!5  
    6. 其他系统参数 !Vb,zQ  
    系统由单色平面波照明 q8/ihA6:  
    照明波长266.08nm >&1um5K  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: >{QdMn  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 %bXsGPB  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 m`c#:s'_  
    光束尺寸探测器置于焦平面  [@<G+j  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 [7RheXO <  
    ]/_G-2.R  
    Wk}D]o0^@  
    -Un=T X  
    ) o xIzF  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 E3f9<hm   
    P% Q@9kO>  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    (`pNXQ0n  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    %@P``  
    =5Wp&SM6  
    _jmkl B  
    O~6Q;qP  
    7 WP%J-   
    =-qf;5[|  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 [fxuUmU  
    k}zd' /b  
    Xem5@ (u  
    VirtualLab可用于计算点列图。 +2Ql~w@$^l  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ]`d2_mu  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )v1CC..  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 \TUE<<?1s  
    87<9V.s 2  
    9. 焦平面上的结果 cOb4c*  
    *NlpotW,f  
    +T2HE\  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 sT`^ljp4  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 13a(FG  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm VgMP^&/gZ  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 #Qd' + M  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    O:^'x*}  
    ?/'}JS(Sm  
    10. 总结 _!!}'fMC  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 {6O0.}q]&  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 FJT1i@N  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 8%ik853`  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 J &{xP8uq_  
     
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