示例.0082(1.0) 4Z*|Dsw 0;}Aj8Fle 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 zLh Fbyn(
m])Lw@#9W 1. 描述 -Bj.hx* ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ;xL67e%? ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Gu2_dT ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 &kb\,mQ
ir]Mn.(Y 2. 系统 F#6cF=};@ uii7b7[w 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
[1NaH 3. 透镜系统组件编辑 <lFdexH"T
?RDO] I>
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ]22C)<
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 EY]a6@;
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 USprsaj
■ 包括序列光学表面和光学介质。 $)Wb#B
Z+0?yQ=% +i+tp8T+7 4. 光线追迹系统分析器-选项 -)X{n?i q&Q/?g>f U M@naU
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 }f0u5:;Zth
■ 可以选择选取光线的方法: S9J5(lYv~N
— 在x-y-网格 SWT:frki`
— 六边形 M2dmG<
— 自由选取 *.8JP
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8\DME L7m`HVCt& 5. 系统的3维视图 90p3V\LO 82|q7*M*.
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kxg *!5 6. 其他系统参数 !Vb,zQ ■ 系统由单色平面波照明 q8/ihA6: ■ 照明波长266.08nm >&1um5K ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: >{QdMn — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 %bXsGPB — 一个虚拟屏位于焦平面 m`c#:s'_ — 光束尺寸探测器置于焦平面 [@<G+j ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 [7RheXO< ]/_G-2.R Wk}D]o0^@ -Un=TX )
oxIzF 7. 光线追迹系统分析器的结果 E3f9<hm P% Q@9kO> 光线经过整个光学系统的三维视图
(`pNXQ0n 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
%@P`` =5Wp&SM6 _jmkl
B O~6Q;q P 7WP%J-
=-qf ;5[| 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 [fxuUmU k}zd'
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 +2Ql~w@$^l
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ]`d2_mu
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )v1CC..
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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87<9V.s2 9. 焦平面上的结果 cOb4c*
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 sT`^ljp4
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 13a(FG
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm VgMP^&/gZ
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 #Qd'+M
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 O:^'x*} ?/'}JS(Sm 10. 总结 _!!}'fMC ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 {6O0.}q]& ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 FJT1i@N ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 8%ik853` ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 J &{xP8uq_