示例.0082(1.0) 6pdl,5[x- +8@`lDnr 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 )su
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DJ2]NA$Q* 1. 描述 ^Hhw(@`qf ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 r{N{!"G
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 =='{[[J ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 GVHfN5bTqn
9'*ZEl^?D 2. 系统 4>wIF }\ 94k)a8-! 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
RNrYT| 3. 透镜系统组件编辑 E(4lu%
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 qer'V
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 8UY=}R2C
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 UEYM;$_@4o
■ 包括序列光学表面和光学介质。 w)y9!li
V]PhXVJ j?KB8oY`TP 4. 光线追迹系统分析器-选项 q?]@' ^:; '?>O
a]=vq(N'r
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 o_Kc nVQ\
■ 可以选择选取光线的方法: 0jZ{ ?
— 在x-y-网格 X.4ZLwX=
— 六边形 P)j9\ muc
— 自由选取 @p` CAB
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 SlJ/OcAf# O> ^~SO 5. 系统的3维视图 Zow^bzy4 lX k-86[M
SoGLsO+R 6. 其他系统参数 'UG}E@G ■ 系统由单色平面波照明 WQmiG=Dw^ ■ 照明波长266.08nm 7'/2 :" ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: A=[f>8 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 GTIfrqT — 一个虚拟屏位于焦平面 3%4Mq6Q` — 光束尺寸探测器置于焦平面 ysT!^-&p ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 qsRfG~Cg C`T5d DW%K'+@M Cy> +j{%! 9n\#s~, 7. 光线追迹系统分析器的结果 w7?9e#>Z >sS:x,- 光线经过整个光学系统的三维视图
y^|3]G3 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
>W]"a3E Olh%"=*; &EJ,k'7$ pC.4AkEO ,) jB<` eV=sDx 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 O|TwG:! lGBdQc]IL
(mD:[|.
■ VirtualLab可用于计算点列图。 n~i4yn=
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 w8#>xV^~
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 SK}g(X7IWH
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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AS"|r 9. 焦平面上的结果 Y+yvv{01
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 G:ngio]G0
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ea}KxLC`,
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ZUI9[A?
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 kL2sJX+
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ~e~Mx=FT0 A8/4:>Is 10. 总结 OL"5A18;M ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 P2RL\`<" ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 mBkQ
8e ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 R:m=HS_ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 \iSBLU