示例.0082(1.0) Fl#VKU3h fo!Lp*'0 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 =7J|KoKK
Vav+$l|j@ 1. 描述 +>i<sk ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 [)J49 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 >DL-Q\U ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ?*z(1!
~-`BSR 2. 系统 ok\/5oz _ \v@9Q\ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
sS1J.R 3. 透镜系统组件编辑 RBK>Lws6
[:R P9r}
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 nuQLq^e
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 o+X'(!Trw
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ku[=QsMv
■ 包括序列光学表面和光学介质。 |S>J<]H
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lU50.7<08 gGiV1jN_ 4. 光线追迹系统分析器-选项 v_@#hf3 YP\4XI z)<pqN
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Cs1%g
■ 可以选择选取光线的方法: tO+ %b=Z^
— 在x-y-网格 j]F#p R}p
— 六边形 X_tW#`
— 自由选取 >;' 1k'
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 xeP;"J} N5w]2xz! 5. 系统的3维视图 uZ2v;]\Y6 &;@b&p+
J,^pt Ql 6. 其他系统参数 \")YKN=W ■ 系统由单色平面波照明 e/HX,sf_g ■ 照明波长266.08nm /P8eI3R ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: C1Pt3 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 s!o<Pd yJK — 一个虚拟屏位于焦平面 Dpp52UnTE — 光束尺寸探测器置于焦平面 |Qt`p@W ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 "za*$DU _"w!KNX>(~ ]-s`# i2ml[;*,N
4qSS<SqY 7. 光线追迹系统分析器的结果 ^%*{:0' 0.Ol@fO 光线经过整个光学系统的三维视图
h&)vdCCk 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
MTITIecw= _OxnHf:| fN*4(yw |z7Crz n%ArA])_& yA>p[F 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 piiQ 1d@^,7MF- k}0
■ VirtualLab可用于计算点列图。 wgR@M[]o;
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 DIu72\
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 f+*2K^B
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
2,e|,N"zN
2|NyAtPb5 9. 焦平面上的结果 \=G
Xe.}4d
)J6b:W
eg~^wi
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ]zMBZs
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 -qCJwz30
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm <$3nD b-
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 BLH3$*,H
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 W%XS0k}x cp?P@- 10. 总结 S| -{wC% ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 nPIR1Z ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 =cKk3kJC ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ?QIQ,?. ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Umwg
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