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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) (tY0/s  
    e$ pXnMx7  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 J*I G]2'H  
    QV&yVH=Xs  
    1. 描述  AW[_k%  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。  :oN$w\A  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 5}v<?<l9\  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 q-tm `t*7  
    "~:AsZ"7  
    2. 系统 @cc4]>4  
    yAyq-G"sO  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    qHQWiu% h  
    3. 透镜系统组件编辑 Wjf,AjL\  
    d<,'9/a>  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 m@A?'gD  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 JJE3\  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 tV'>9YVdG  
    包括序列光学表面和光学介质。 3$TU2-x;g  
    3_5]0:?]-  
    KO!.VxG]_  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 C*C;n4AT  
    N?Nu'  
    _/\U  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 [p:mja.6y  
    可以选择选取光线的方法: V{D~e0i/v  
    — 在x-y-网格 C]- !u Ly  
    — 六边形 \jHHj\LLr.  
    — 自由选取 16cc9%   
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    :b~5nftr  
    V]{^}AKc  
    5. 系统的3维视图 O5v)}4  
    X"sc'#G T  
    gt>k]0  
    6. 其他系统参数 Fk4T>8q2;  
    系统由单色平面波照明 9| {t%F=-  
    照明波长266.08nm +m>)q4e  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 2d60o~ E  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Sy0-tK4  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 aS $ J `  
    光束尺寸探测器置于焦平面 [ 11D7L%1t  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 \GP0FdpV  
    +9fQ YJBA  
    wRj||yay#-  
    8N,mp>~  
    K'@lXA:  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 t(.jJ>|+*  
    7] }2`^9  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    H'_v  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    s9\N{ar#  
    />0 Bm`A  
    *~%QXNn`  
    Pxy+W*t  
    }fqy vI  
    04E S>'@  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 zu! #   
    K @h9 4Ni6  
    PJn|  
    VirtualLab可用于计算点列图。 } b/Xui9Q  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 v~AD7k2{8  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 o+% ($p  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 0/4"Jh$t  
    d>1cKmH!  
    9. 焦平面上的结果 $MYAYj9r)  
    (/^dyG|X'  
    @p 2XaqZ  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 1Pp2wpD4iC  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 87p tab@  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 9:4m@dguh-  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ai$s  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    'S'Z-7h>0  
     oHR@*2b  
    10. 总结 (p!w`MSv  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 VC.zmCglo^  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。  Uip-qWI  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 |Ca %dg9$@  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 2SRmh!hr  
     
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