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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) co [  
    FG6mh,C!  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 && E)  
     ,G!mO,DX  
    1. 描述 u[?M{E/HU  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 {BS`v5*  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8u4FagQ,  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 { '1e?  
     =%oQIx  
    2. 系统 p|o?nI  
    7bC)Co#:   
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ])iw|`@dJ  
    3. 透镜系统组件编辑 LP:F'Q:<  
    i.G"21M  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 z]bcg$m  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 z`KP }-  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 A~%h*nZc%I  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 APM!xX=N  
     @]xH t&j  
    1_0\_|  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 l~c# X3E  
    ZAa:f:[#f  
    DZ5QC aA  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G*\U'w4w|*  
    ■ 可以选择选取光线的方法： `=JGlN7  
    — 在x-y-网格 ~fR-cXj"  
    — 六边形 6h3TU,$r  
    — 自由选取 DfV'1s4y  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     aYd`E4S+  
    *e}1KcJ  
    5. 系统的3维视图 `d6,]'  
    uPQrDr5  
    d gRTV<vM  
    6. 其他系统参数 =%ZR0cWPoI  
    ■ 系统由单色平面波照明 UcxMA%Pw7$  
    ■ 照明波长266.08nm 5BsfbLKC  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： F  uJ=]T  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 unN=yeut  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 +#MQ8d  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 wS}Rl}#Oh?  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 6 ~d\+aV  
    NQqq\h  
    tX7TP(  
    'e5,%"5(c  
    v7@O ,%  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Sxg&73;ZV  
    1G62Qu$O  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    PuoN<9 #  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    $1b x\  
    vQhi2J'  
    JDj^7\`  
    \bzT=^Z;2  
    `R{ ZED l'  
    9i*Xd$ G  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 71inHg  
    #;~dA  
    XX|wle1Kg  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 XbMAcgS  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ti}G/*4  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 rtY4 B~_  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 z}f;_NX  
      &j_:VP  
    9. 焦平面上的结果 |cd=7[B  
    /!HFi>   
    T^XU5qgN  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 )'Yoii{dSU  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 Hg%8Q@  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ;OD+6@Sr  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 vhj^R5=  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。      Im8c  
    ZFO*D79:K  
    10. 总结 sksop4gu5  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 r]'Q5l4j6"  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 aq<QKn U  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 v'W`\MKY)  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 q26%Z)'nf  
     
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