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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) ~zE 1'  
    5bF9I H  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 4hsPbUx9  
    .\ ;l-U  
    1. 描述 fH#F"^ A  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 OQytgXED  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Z%Tq1O  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 <t?x 'r?@  
    q7O,I`KaJ  
    2. 系统 E(aX4^]g  
    ;e#>n!<u  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    27Kc -rcB  
    3. 透镜系统组件编辑 g( ]b\rj  
    \yJZvhUk  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 u|_LR5S!j  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 .KT 7le<Zm  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 T=eT^?v  
    包括序列光学表面和光学介质。 S 0R8'Y  
    .iOw0z  
     /gqqKUx  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 '|YtNhWZ?  
    c*S#UD+  
    =Q/w%8G  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ')AByD}Hi]  
    可以选择选取光线的方法: #6*V7@9]3|  
    — 在x-y-网格 Z-4K?;g'k  
    — 六边形 -vv   
    — 自由选取 * ajFZI  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    =,&u_>Dp  
    $\0cJCQ3  
    5. 系统的3维视图 652uZ};e  
    VRtbHam  
    v?Z'[l  
    6. 其他系统参数 g2[K<  
    系统由单色平面波照明 !6XvvTs/<  
    照明波长266.08nm T4V[R N  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: bajC-5R1k  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 iyA*J CD  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ucQezmie  
    光束尺寸探测器置于焦平面 uHfhRc9  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 W9 n^T+2  
    (/T +Wpy?  
    )HJK '@  
    EHH|4;P6  
    #rhVzN-?)W  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 2. StG(Y!  
    #D!$~ h&i  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    QDIsC  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    /-DKV~  
    <h'8w  
    iP~sft6  
    I?f"<5[0  
    1zdYBb6;j  
    CMC?R,d  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 D"`%|`O  
    k TFz_*6.  
    Nawp t%  
    VirtualLab可用于计算点列图。 }R`8h&J  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 b cC\  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 "AT&!t[J  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 YH6snC$u  
    5/Ydv RB67  
    9. 焦平面上的结果 |!$ Q<-]f  
    a^@+%?X  
    eA`]K alH  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 fy9uLl}h  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 WEno+Z~=1'  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ^it4z gx@  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 'g. :MQ8  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Bfbl#ZkyL  
    .?A'6  
    10. 总结 q A.+U:I8  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 gBMta+<fE~  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 jjxIS  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #o"tMh!f  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ]a8eDy  
     
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