示例.0082(1.0) .Mw'P\GtM 5yO6szg 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 n}qHt0N
RV|: mI 1. 描述 tZ[Y~],F ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 85l 1 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 tqIz$84G ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 IBWUeB:b
Zg|z\VR 2. 系统 @M?N[LG =/"Of 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
-L6 rXQV@j 3. 透镜系统组件编辑 N
G1]!Vz5
T"'"T]^
X
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 I -i)D
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 SG8H~]CO)
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 50(/LV1
■ 包括序列光学表面和光学介质。 EW$ Je
/J8AnA1 viAvD6e 4. 光线追迹系统分析器-选项 FK{YRt W?G4\ubM3< =eSG7QfS
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 rB}UFS)
■ 可以选择选取光线的方法: cU5x8[2
— 在x-y-网格 FZnkQ
— 六边形 9tXLC|yl?
— 自由选取 pK4I?=A'
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 5B
.+>u"e cn=~}T@~Z 5. 系统的3维视图 Tn/T:7C Xd66"k\b+
-[v:1\Vv 6. 其他系统参数 (hd^ ■ 系统由单色平面波照明 ^v3ytS ■ 照明波长266.08nm UKQ,]VC ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: cg<10KT — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 1&Rz'JQ+ — 一个虚拟屏位于焦平面 X}_}`wIn — 光束尺寸探测器置于焦平面 QR'"Zw&q5/ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 J& +s B @UaaWh FgNO# % R*E/E 4>{q("r, 7. 光线追迹系统分析器的结果 ;or(:Yoc- {LY$ 光线经过整个光学系统的三维视图
O qY8\>f- 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
rZe"*$e *(s+u~, I OAR1u} s7SW4ff1 V{$(#r 0X`Qt[ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Mvrc[s+o s9~W( Wi RqXcL,,9
■ VirtualLab可用于计算点列图。 LCRreIIgZ
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 f$iv+7<B^
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 U{RW=sYB~9
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
zVZZdG~8
b3MgJT"mN 9. 焦平面上的结果 >yg mE`g
AASw^A3p
,!|/|4vh
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 g[44YrRD
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 II)\rVP5
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm m7^aa@^m
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 z6B/H2
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 nu}$wLM nE+sbfC 10. 总结 yd`xmc) ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Z BcZG ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 F5wCl2I ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 qWGnIPk ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Iu jly f