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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) d\FJFMW*9  
    W"k8KODOY  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 hDp6YV,q  
    Xixqxm*8  
    1. 描述 HH@qz2w  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 vMs$ceq  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 i7utKj*57  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 NbGV1q']  
    3Bx:Ntx<  
    2. 系统 C,pJ`:P  
    -atGlu2  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    OLvcivf  
    3. 透镜系统组件编辑 zdEPDd B  
    ]/B$br'O{?  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !k/Pv\j/R  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 sPb=82~z  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =pk)3<GwF  
    包括序列光学表面和光学介质。 %bD}m!  
    @bnG:np  
    {!K-E9_,S  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 )"m!YuS Y  
    pIKSs<IP  
    {M?vBg R\B  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 a /:@"&Y  
    可以选择选取光线的方法: !grVR157P  
    — 在x-y-网格 ^-a8V'  
    — 六边形 ]+m/;&0  
    — 自由选取 WzI8_uM  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ocyb5j  
    A,) VM9M_l  
    5. 系统的3维视图 T1r3=Y4  
    4L73]3&  
    60)iw4<wf  
    6. 其他系统参数 a+9 *@z2  
    系统由单色平面波照明 QZ?=M@|f  
    照明波长266.08nm 5zIAhg@o:q  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: \J6hI\/4^  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 XK5<Tg  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 R3!@?mcr  
    光束尺寸探测器置于焦平面 )#}mH@  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Z xb_K  
    ,~);EC=`  
    nxJee=qH  
    k,uK6$Z  
    'vbc#_;  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ;kJu$U  
    f(eQ+0D  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ~6 I)|^Z  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    @Kgl%[NmX  
    P@]8pIB0d^  
    @y/wEBb  
    " sgjWo6  
    !gmH$1w  
    -.|4Y#b:&  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 z 8*8OWM  
    0K-*WQ*#9  
    Z^9/v  
    VirtualLab可用于计算点列图。 }I!hOD>]O  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 tdF9NFMD  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 7 ua6l[c  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 *E~VKx1  
    o|j*t7  
    9. 焦平面上的结果 34QfgMyH  
    '>v^6i S  
    1,V`8 [  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Ji;mHFZ*FU  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 2F8|I7R  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 6st^4S5  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 L@^~N$G&u  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    e\b`n}nC  
    ItX5JV)  
    10. 总结 $oLU; q%  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 SjEdyN#  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 9%IlW  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 M- 0i7%  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 a? R[J==  
     
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