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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) :\"V5  
    (hi{ i  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ]j+J^g  
    c\.7Z=D  
    1. 描述 .FeVbZW  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 7?p>v34A  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 w!rw%  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .L8g( F(=:  
    `9& ~fWu  
    2. 系统 FT Ytf4t  
    [;pL15-}4  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ^u+#x2$Mg  
    3. 透镜系统组件编辑 ~F.kgX  
    zF@ /8#  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。  _W  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {lbNYjknS  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 y41~  
    包括序列光学表面和光学介质。 NI85|*h  
    ,DD}o  
    #:xv]qb`k  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 sP@7%p>wt  
    62 9g_P)  
    K)#6&\0tT  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 BV)) #D9  
    可以选择选取光线的方法: !7n`-#)  
    — 在x-y-网格 |lMc6C  
    — 六边形 7_~_$I~g*  
    — 自由选取 z#GrwE,r   
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    sf Zb$T J  
    oIGF=x,e8  
    5. 系统的3维视图 u+m9DNPF  
    }t0JI3  
    P*/ig0_fM  
    6. 其他系统参数 9cQ;h37J>  
    系统由单色平面波照明 Ge ?Q)N  
    照明波长266.08nm "J{A}g[  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: }oL l? L  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 qZ%0p*P#_  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ttY[\D&ZS  
    光束尺寸探测器置于焦平面 9.wZhcqqU  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ~Z}DN*S  
    R,`3 SW()  
    IweNe`Z  
    qHu\3@px  
    v9 8s78  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 i> dLp  
    :KI0j%>2y  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ~_|CXPiQ8  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    NEt_UcC  
    br')%f}m  
    a)' P/P  
    [sl"\3)  
    =%d.wH?dZ/  
    &#;lmYyaui  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ,VZ<r5NT  
    5P[urOvV  
    0RHjA& r3v  
    VirtualLab可用于计算点列图。 CcZM0  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 X nB-1{a1  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。  g^))  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 SN;_.46k  
    h]WW?.   
    9. 焦平面上的结果 P,)\#([vc  
    |XJ|vQGU  
    m0N{%Mf-  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 *0z'!m12  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 #kp +e)F  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm YJ>P+e\o9  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 vk<4P;A(G  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
     #zg"E<  
    S$qpClXS,  
    10. 总结 ~b})=7n.  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 SHQgI<D7  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :Fi$-g  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 _.xicov  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 %JuT'7VB  
     
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