示例.0082(1.0) Ij}k>qO/2 k| Ye[GM* 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸
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LAfv1 1. 描述 Nw=mSW^E ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 i%a jL ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [!CIBK99 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 E]26a,^L
!mLD`62. 2. 系统 m_n*_tX X`E3lgfqT 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
^J_rb;m43 3. 透镜系统组件编辑 |.c|\e z/
KW5u.phv
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !;ipLC;e}
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 H^\2,x Z
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 "G,$Sqi@
■ 包括序列光学表面和光学介质。 eFiUB
HLml:B[F( D%=FCmL5@= 4. 光线追迹系统分析器-选项 9X6l`bo' W u9))Ir fR6.:7&
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 5$C]$o}
■ 可以选择选取光线的方法: qe\JO'g#e
— 在x-y-网格 jaq`A'o5
— 六边形 bPHqZ*f
— 自由选取 :?.RZKXQF
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 v1Wz#oP RN"O/b}qQ 5. 系统的3维视图 DD]e0 pa L1i:hgq0]
]@D#<[5\ 6. 其他系统参数 ejuw+@ _ ■ 系统由单色平面波照明 nD8CP[bRo ■ 照明波长266.08nm _jr'A -M ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: h72#AN — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 '3MCb — 一个虚拟屏位于焦平面 ao(lj — 光束尺寸探测器置于焦平面 hn@T ]k ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ' QrvkQ It
.` }&h*bim Cm5:_K`;] 6]*~!al? 7. 光线追迹系统分析器的结果 I3wv6xZ2 '8|y^\ 光线经过整个光学系统的三维视图
UD@u hL 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
!y{t}|U/d _ Db05:r@ =oPc\VYW AM ZWPU ^*fZ 1 ynjDin< 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 7Ib/Cm0d| O0Vtvbj .9Y,N&V<H
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Y,%d_yR[
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 K3WhF
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 T.57Okp
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Gc'CS_L
;GgW&*| 9. 焦平面上的结果 wCwJ#-z.=
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^^-uq)A
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 W=9Zl(2C
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 d
Xiv8B1
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 8<VO>WA>E
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Hik :Sqpox
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 5:o$]LkOWC *nPB+@f 10. 总结 -or^mNB_z ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 u6,NQ^4 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 YR{%pZp ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 38[k o3 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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