示例.0082(1.0) r)Ml-r= I
}8b] 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 hb)C"q=
W{j(=<|< 1. 描述 KDA2
H> ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Hc8!cATQk ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 $'<$:;4b3 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 nHp$5|r<
'SrDc'? 2. 系统 Dqd2e&a\ S1C#5= 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
t"e %'dFv 3. 透镜系统组件编辑 kr!>rqN5
yF+mJ >kj
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 8|5+\1!#/)
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 <JvYCWX`
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 a( N;|<
■ 包括序列光学表面和光学介质。 6k<3,`VV|
~d ~oC$=TC j8rxhToC 4. 光线追迹系统分析器-选项 'UZ i>Ta LW">9;n uX&h~qE/
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %|j`;gYV
■ 可以选择选取光线的方法: aOsc_5XDR;
— 在x-y-网格 wub7w#
— 六边形 TB84}
— 自由选取 ((^vsKT
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Lc "{ePFh &+H\ST(/ 5. 系统的3维视图 cFuQ>xR1 ")nKFs5
PGVP0H+RV 6. 其他系统参数 lEb H4 g ■ 系统由单色平面波照明 |t;Ktl ■ 照明波长266.08nm X?/32~\ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: z=8l@&hYLq — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 q~*|Wd'& — 一个虚拟屏位于焦平面 [TxvZq*4 — 光束尺寸探测器置于焦平面 ![MtJo5 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ,JPDPI/a `R lWhdE w7vQ6jkH .f!:@fX>= ]@ Vp:RGMr 7. 光线追迹系统分析器的结果 &?}h)U#: RK)ikLgp 光线经过整个光学系统的三维视图
~L>&p 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
h96<9L }wEt=zOJ &W&A88FfZU Z uP3/d zn|O)"C 8&bNI@:@ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .cmhi3o4 #sbW^Q'I
yHZ&5
■ VirtualLab可用于计算点列图。 %z"$?Iv
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Vn_>c#B
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 x_/H
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
$d&7q5[
2o W'B^- 9. 焦平面上的结果 oB'5':
!!Yf>0u#
ygUX ]*m!
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 m+ #G*
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 h_g"F@
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm gAsjkNt?
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 e%0IEX
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 `H^
H#W 5D3&6DCH 10. 总结 jDj=a->e^ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 yC!>7@m ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 2%`8 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 OXX D}-t ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 4~WSIR-