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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) N GSS:  
    HNFhH0+^  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 rV~T>x  
    ~BtKd*~*  
    1. 描述 Hy;901( %  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 a! ?.F_T9A  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。  Db,= 2e  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 )+*{Y$/U  
    j,4,zA1j|  
    2. 系统 b^%?S8]h  
    $mD>r x  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    aSTFcz"  
    3. 透镜系统组件编辑 Liij{ahm  
    Gj5>Y!9  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ) (+)Q'*  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 p; F2z;#  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Q QT G9s  
    包括序列光学表面和光学介质。 ^A- sS~w  
    TMNfJz   
    [h^f%  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Vk WO}  
    [\88@B=jXP  
    X:R%1+&*  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 m:b^,2"g  
    可以选择选取光线的方法: y%2%^wF  
    — 在x-y-网格 |GuKU!  
    — 六边形 2|$lk8/,  
    — 自由选取 q%DVDq( z  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Z6NJ)XQy6F  
    J &{qppN  
    5. 系统的3维视图 7TnM4@*f  
    m';#R9\Fz  
    sE-x"c  
    6. 其他系统参数 Q6eN+i2 ;  
    系统由单色平面波照明 ~Vwk:+):  
    照明波长266.08nm Gee~>:_Q{J  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "$]ls9-%n  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 nZ&T8@m  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Mp^^!AP9  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Td5bDO  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ~."!l'a  
    f V*}c`  
    +g)_4fV0|  
    wH+FFXGJs  
    zjea4>!A2  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Ft)t`E'%j  
    mVa?aWpez  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    \5t`p67Ve_  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    <"hb#Tn  
    7WgIhQ~  
    JL?Cnk$!  
    Tt{U"EFO  
    &fCP2]hj'  
    *Kp}B}}J  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~g*Y, Y  
    <9ePi9D(  
    oSN8Xn*qr  
    VirtualLab可用于计算点列图。 P/C&R-{')  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 N$C{f;xV  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 f#'8"ff*1  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 di"C]" ;  
    oK#\HD4U  
    9. 焦平面上的结果 P#w}3^  
    (m<R0  
    XyvZ&d6(d  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 /_ $~rW  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 `l+ >iM  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm <sgZ3*,A  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 UedvA9$&;  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    I/^q+l.=`{  
    =Dh$yC-Zr  
    10. 总结 ls[Ls  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 uo]Hi^r.l  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 xN e_qO  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #=`FM:WH  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 nu#aa#ex>  
     
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