示例.0082(1.0) %?+Lkj& xWY\,'+Q 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 }8}`A\dgV
SOsz=bVx 1. 描述 %4M,f.[e ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ;?iu@h ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 (r?hD*2r ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9\Ff z&
1@LUxU#Uu$ 2. 系统 v36Z*I6)5 |LLpG37_ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
j`@`M*)GB 3. 透镜系统组件编辑 G^h:#T
v\G7V
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ->;2CcpHB
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Ici4y*`M
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 NA0Z~Ug>
■ 包括序列光学表面和光学介质。 n;=FD;}j+
l-c:'n "R)n1,0 4. 光线追迹系统分析器-选项 _XY(Qd ^K J#dT lq3D!+m
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?771e:>S-
■ 可以选择选取光线的方法: r~QE}00@^
— 在x-y-网格 $A,YQH+
— 六边形 oVp/EQ
— 自由选取 Au)~"N~p?
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 R64f0NK. Pz
D30VA 5. 系统的3维视图 6; )5v B9
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<9'2 6. 其他系统参数 L|(U%$ ■ 系统由单色平面波照明 hCgk78O? ■ 照明波长266.08nm H~fF;
I ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: `?l
/HUw — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 UYy #DA — 一个虚拟屏位于焦平面 }C["'tLX — 光束尺寸探测器置于焦平面 G9jf]Ye; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 O+<+yQl Dz2Z
(EXI~ Pq{p\Qkj U%BtBPL PMbq5 7. 光线追迹系统分析器的结果 n?D/bX p e_!Z-#\J% 光线经过整个光学系统的三维视图
q&6|uV])H 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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)ryP K"V 1!U:M8T| b9T6JS j {w"Cr0F, 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1#AxFdm1 {(Mmv[y ~d\V>
■ VirtualLab可用于计算点列图。 qq[Dr|%7
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Sj/v:
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 @ %q>Jd
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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o>yXEg 9. 焦平面上的结果 S&[9Vb
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 |tLD^`bt
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 {wz_ngQ
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm {=gJGP/}_
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 {
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■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 `*kl> }$ r>*+d|c4 10. 总结 HKO]_; :( ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 kou7_4oS ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 X$P(8'[9A ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 bd27])n( ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 gyh8