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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) "|WKK}  
    za.^vwkBk2  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 =xH>,-8}  
     Y}\3PaUa  
    1. 描述 :W'.SRD  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 s,laJf  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 !cO<N~0*5x  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 1 !.P H   
     /PBK:B  
    2. 系统 b3=XWzK5  
    N9H qFp  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    C0>)WVCK  
    3. 透镜系统组件编辑 Hc0V4NHCaL  
    q~\[P4m  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 Pj^Ccd'>=  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 xLbF9ASim  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 Vx n-  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 _2})URU< S  
     2ZxZ2?.uJ  
    b Olb  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 w (,x{Bg\  
    k~1{|HxrE  
    i?F~]8  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 2$ \#BG  
    ■ 可以选择选取光线的方法： wD<W'K   
    — 在x-y-网格 ;p( Doy)i  
    — 六边形 i+Xb3+R  
    — 自由选取 aXD|XE%  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     {f>e~o  
    VB+y9$Y'  
    5. 系统的3维视图 WODgG@w  
    Dd,]Y}P  
    B{Lzgw u;  
    6. 其他系统参数 ZN`I4Ak  
    ■ 系统由单色平面波照明 #fF';Y7  
    ■ 照明波长266.08nm V#-8[G6Ra  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： }4*~*NoQ  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 p:4oA<V  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 `[4{]jX+<  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 T!H }^v  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 s9?H#^Y5u  
    eOd'i{f@F  
    Ar$ Am  
    >uz3 O?z P  
    Z1+1>|-iW  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 xNxSgvco ,  
    oSs~*mf  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    cfW;gFf  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    J po(O>\P  
    meyO=>  
    Cy\! H&0wg  
    <3b Ft[  
    :\G`}_db'  
    bjs{_?  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 RMxFo\TK;  
    -IG@v0_w  
    {cAGOxwd  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 <SNu`,/I  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 $[*<e~?  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 kCU (Hi`Q  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 $+[ v17lF  
     fUS1`  
    9. 焦平面上的结果 UJQGwTA W  
    n]P,5  
    IdWFG?b3  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 p#AQXIF0  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 IM~2=+  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm a.s5>:Ct  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 7 +kU8}  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     yK:b $S  
    ABnJ{$=n#  
    10. 总结 Ouc$M2m0!  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 [#C(^J*@c  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 @L5s.]vg=  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 HO9w"){d$  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 CR'1,  
     
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