示例.0082(1.0) M3U*'A\ 9=J+5V^qD< 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 :q0TS>l
_Fz]QxO 1. 描述 MM*B.y~TxZ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 %|:Gn) 8 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 D 1Q@4
g ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 \qAg]-
Is $I;` 2. 系统 8i=c|k,GL. YnzhvE 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
5DEK`#* 3. 透镜系统组件编辑 69{BJ]q
1@)kNg)*$
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 TM1isZ
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 oWu2}#~z_
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 1yS[;
■ 包括序列光学表面和光学介质。 0#AS>K5
:QGd/JX$n` t0 1@h_WS 4. 光线追迹系统分析器-选项 *,:>EcDr wsnR$FhQ` IezOal
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 PtUea
■ 可以选择选取光线的方法: WPmH4L>T
— 在x-y-网格 0Y_?r$M
— 六边形 'edd6yTd
— 自由选取 0@K?'6
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 M?iU$qI 3
?1qI'5 5. 系统的3维视图 O]\6Pv@N SM;*vkwz~
3 %ppvvQ 6. 其他系统参数 o"te7nBI ■ 系统由单色平面波照明 vU:FDkx*nn ■ 照明波长266.08nm 4$);x/
a ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 7*9a`p3w — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 -K 7jigac — 一个虚拟屏位于焦平面 )"W(0M]> — 光束尺寸探测器置于焦平面 ^usZ&9"@P ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ''{REFjK7 |,3>A@ o7/S'Haxc] dr|>P* cjf 8N:4N0 7. 光线追迹系统分析器的结果 0]3 ,0s $} u3"0K['3 光线经过整个光学系统的三维视图
iYqZBLf{S 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
gn2*'_V~3 eI+<^p_j2 s$cr|p;7# }e7os0;s X"4 :#s >UUcKq1M: 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 \~sc6ho DqfWu* ?ztI8I/
■ VirtualLab可用于计算点列图。 wLF;nzv
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 qXOWCYqs
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 w\"~*(M
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
qO;.{f
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(MF 9. 焦平面上的结果 $pKlF0 .
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Vs[A
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Q[j'FtP%
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Dl
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■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm pyvH [
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 WH>= *\
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 BBV"nm_(/ ;Y6XX_ 10. 总结 jGg,)~)Y ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 N\,[(LbA& ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 7Ei,L[{\i# ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 04K[U9W3 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 [>2iz