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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) :?gp}.  
    )SaMfP1=v  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 =>e> r~cW  
    > =Na,D  
    1. 描述 !^aJS'aq  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ZQsVSz( 1  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Q*9Y.W.8  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 g T0@pxl  
    ^HWa owy=  
    2. 系统 |4Os_*tRKU  
    AD7&-=p&w  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    q3u:Tpn4%  
    3. 透镜系统组件编辑 Go7 oj'"  
    5[`f(;  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 iG{xDj{CKv  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 b}ODc]3  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &3 x [0DV  
    包括序列光学表面和光学介质。 :>3?|Z"Aj  
    CeUC[cUQU  
    T?*f}J  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 u"U7aYGkY  
    <SSkCw  
    U ?6.UtNf  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 gq.l=xS  
    可以选择选取光线的方法: % 3<7HY]~  
    — 在x-y-网格 }u;`k'J@  
    — 六边形 q]Af I(  
    — 自由选取 V?n=yg  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    B# o6UO\  
    _rW75n=3b7  
    5. 系统的3维视图 ey`E E/WV  
    T@ zV   
    a6"-,Kg  
    6. 其他系统参数 Bh65qHQO  
    系统由单色平面波照明 (~?p`g+I.P  
    照明波长266.08nm ZtX CPA!  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: RVh{wg  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Ed1y%mR>  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 7DWGYvv[  
    光束尺寸探测器置于焦平面 +?6@%mW'  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 -7VQ {nC  
    wAc;{60s]  
    X?'pcYSL  
    jaQH1^~l/-  
    T1(*dVU?  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 n]jw!;  
    ,k}(]{ -  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    aqv'c j>  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    IJDE{)  
    E^m;Ab=  
    L fZF  
    M[QQi2:&  
    #j)"#1IE2W  
    *rA]q' jM  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 k\-h-0[|  
    OU<v9`<  
    8"o@$;C  
    VirtualLab可用于计算点列图。 plM:7#eA  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 '%y;{,g*  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ~,.;2K73  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 k +Cwnp  
    _Sl3)  
    9. 焦平面上的结果 TrBW0Bn>p  
    gKtgW&PYm  
    ]D,\(|  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 LX#gc.c  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 }ldpudU  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm o_03Io ~Bf  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 }l Gui>/D  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    M[(pLYq:  
    S:1g(f*85  
    10. 总结 #@F.wV0  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0B: v0 R  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 eg24.W9c  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 WWATG=  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ;RYIc0%  
     
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