示例.0082(1.0) !*QA;*e M`g Kt(3 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 7*8nUq
&^Q~G>A 1. 描述 &G5I0:a
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 b|pNc'u:Cn ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 .dq.F#2B; ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 IU"!oM ^
:~YyHX 2. 系统 7}HA_@[ LSOwa 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
c\?/^xr'!} 3. 透镜系统组件编辑 KHC(MdZ
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Lm2cW$s
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 N
pIlQaMo4
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 BqJrL/(
■ 包括序列光学表面和光学介质。 (TK
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\V7x3*nA p<.!::* %( 4. 光线追迹系统分析器-选项 )pj \b[ \VzQ1B>k L?5t<`#lw
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 P6Ol+SI#m
■ 可以选择选取光线的方法: HH7gT
— 在x-y-网格 e@MCumc~+
— 六边形 m*WEge*$t
— 自由选取 =>TtX@ Q{
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 .6]cu{K( .
*+7xL 5. 系统的3维视图 -^%"w cF6@.)
Wa<NId 6. 其他系统参数 &]A1 _dy ■ 系统由单色平面波照明 /IR5[67 ■ 照明波长266.08nm mTu9'/$( ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: LA(JA — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 x~I1(l7r — 一个虚拟屏位于焦平面 *^m.V= — 光束尺寸探测器置于焦平面 #rL@
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 IBHG1<3 nK;
rEL SVeU7Q6- :)S4MoG YXOD
fd%L 7. 光线追迹系统分析器的结果 B3=/iOb#
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光线经过整个光学系统的三维视图
`o- <, 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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7o MA QY/s~F .Zm } 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 y(g
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 6:X\vw
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6@361f[
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 e=$xn3)McY
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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y9mZQq 9. 焦平面上的结果 66;O 3g'
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tG&B D\
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 clV/i&]Qa
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 dXN&<Q,
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ;0{*V5A
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 vUExS Z^
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 /v<8x?= 8hV:bz" 10. 总结 &~i
&~AJ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <\
c8q3N ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 kKO]q#9sO ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 +#9 (T
■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 G7xjW6^T