示例.0082(1.0) hD6JW- ZD)0P=% 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 au~]
0L:V#y-* 1. 描述 *Mwfod ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 X
a"XB ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 xvR?~ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 T9z4W]T
6Z(*cf/s 2. 系统 LG=X)w)W4S =R&)hlm 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
3w/( /|0 3. 透镜系统组件编辑 [,<\RviI
3}B5hht"D
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ~V2ajM1Z&O
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 %2Epgh4?
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 lf%b0na?r
■ 包括序列光学表面和光学介质。 -9OMn}w/*
TBZ-17+ #\pP2
4. 光线追迹系统分析器-选项 d7"U WY^ ~reQV6oQua (PS$e~Hs
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 m~u|VgD
■ 可以选择选取光线的方法: 'e.q
7Jpd
— 在x-y-网格 Nush`?]J"_
— 六边形 k42b:W5%
— 自由选取 xLx"*jyL
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 H\^VqNK" !8xKf*y 5. 系统的3维视图 yS[z2:! ybZ} i8Fs0U4" 6. 其他系统参数 3`58ah ■ 系统由单色平面波照明 Z-(} l2\ ■ 照明波长266.08nm <S]KaDu^ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ?k{|Lk — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 w`L~#yu — 一个虚拟屏位于焦平面 Zc-#;/b3T — 光束尺寸探测器置于焦平面 }{ n\tzR ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 =op`fn% u4:\UC' XtCoX\da Bul.RCP' 6nh]* / 7. 光线追迹系统分析器的结果 yeh8z:5Z O 'pan9PW
光线经过整个光学系统的三维视图
BwC<rOU 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
NMXnrvS& i90}Xyt 5 U%MoH I> {!U$ 0$tjNye d CE\^q[{ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Oe/6.h? I*Vt,JYx Bc@30KiQ^
■ VirtualLab可用于计算点列图。 NZ>7dJ
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 H+a~o=/cR
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 &vCeLh:s
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 -yoAxPDW
- %|P 9. 焦平面上的结果 aD2*.ln><
Yp*,Jp1
"OO96F
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 P/ci/y_1
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 \yNQQ$B
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ~L bS~_\C=
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ^|#>zCt^
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 n@
4@, }|Uj"e 10. 总结 RU0i#suiz ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 PWvSbn6 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 VJDoH ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 s2%V4yy% ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 )GVBE%!WEd