示例.0082(1.0) wtS*-;W E0ED[d, 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 )ce 6~
I[?\Or 1. 描述 gH//@`6 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 s!IIvF ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 'D21A8*N ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 flCT]ZR
x?L[*N_ml 2. 系统 N`W[Q>n ">[#Ops-;$ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
3m>YR-n$ 3. 透镜系统组件编辑 i.E2a)
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 >eTbg"\
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 =+iY<~8
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 x0# Bc7y
■ 包括序列光学表面和光学介质。 :-RB< Lj
cC-8.2 Lap?L/NS 4. 光线追迹系统分析器-选项 _V"0g=&Hc ]Q"T8drL X /c8XLe"
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 xX&B&"]5
■ 可以选择选取光线的方法: M+%Xq0`T
— 在x-y-网格 UBwl2Di
— 六边形 >/n];fl>8
— 自由选取 T?RY~GA
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ov+{<0Q
4kL6aSqT 5. 系统的3维视图 {4S UGo> $5XAS
|.@!CqJ 6. 其他系统参数 ~:Rbd9IB ■ 系统由单色平面波照明 YYT;a$GTo ■ 照明波长266.08nm "}71z ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 'iW — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 BeUyt — 一个虚拟屏位于焦平面 wa[L[mw — 光束尺寸探测器置于焦平面 7n5gXiI" ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 5len}){ d`/8Q9tQ toA}0MI(: FxlH;'+Q 8c) eaDu 7. 光线追迹系统分析器的结果 Y#@D%
a 8 Ur+U#} 光线经过整个光学系统的三维视图
"w?0f[" 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
$+80V{J# MnD}i&k[ $2uC%er"H DZqG7p$u4i no+m.B j/aJD E(+ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 0h1u W26^ 2WS*c7Ct Qhj']>#g
■ VirtualLab可用于计算点列图。 w>B}w
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 wNUT0 +
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 qiet<F
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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OP\jO DX 9. 焦平面上的结果 {]6-,/3UR
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 &-*l{"7p+%
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 WHx#;
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm $TK*w8@:
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ;?{^LiD+F
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 %fg6',2 <Z.`X7]Uk 10. 总结 `i.fm1I] ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 e\X[\ve ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 p*PzfSLN ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 KH,f'` ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 hr]+4!/