示例.0082(1.0) :?gp}. )SaMfP1=v 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 =>e>
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>=Na, D 1. 描述 ! ^aJS'aq ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ZQsVSz( 1 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Q*9Y.W. 8 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 g
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^HWa owy= 2. 系统 |4Os_*tRKU AD7&-=p&w 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
q3u:Tpn4% 3. 透镜系统组件编辑 Go7 oj'"
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 iG{xDj{CKv
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 b}ODc]3
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &3 x
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 :>3?|Z"Aj
CeUC[cUQU T?*f}J 4. 光线追迹系统分析器-选项 u"U7aYGkY <SSkCw U ?6.UtNf
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 gq.l=xS
■ 可以选择选取光线的方法: % 3<7HY]~
— 在x-y-网格 }u;`k'J@
— 六边形 q]Af I(
— 自由选取 V?n=yg
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 B#o6UO\ _rW75n=3b7 5. 系统的3维视图 ey`E
E/WV T@ zV
a6 "-,Kg 6. 其他系统参数 Bh65qHQO ■ 系统由单色平面波照明 (~?p`g+I.P ■ 照明波长266.08nm ZtX
CPA! ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: RVh{wg — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Ed1y%mR> — 一个虚拟屏位于焦平面 7DWGYvv[ — 光束尺寸探测器置于焦平面 +?6@%mW' ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 -7VQ{nC wAc;{60s] X?'pcYSL jaQH1^~l/- T1(*dVU? 7. 光线追迹系统分析器的结果 n]jw!; ,k}(]{ - 光线经过整个光学系统的三维视图
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j> 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
IJD E{) E^m;Ab= L fZF M[QQi2:& #j)"#1IE2W *rA]q' jM 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 k\-h-0[| OU<v9`< 8"o@$;C
■ VirtualLab可用于计算点列图。 plM:7#eA
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 '%y;{,g*
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ~,.;2K73
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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_Sl3) 9. 焦平面上的结果 TrBW0Bn>p
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 LX#gc.c
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 }ldpudU
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm o_03Io
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■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 }lGui>/D
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 M[(pLYq: S:1g(f*85 10. 总结 #@F.wV0 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0B:
v0R ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 eg24.W9c ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 WWATG= ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ;RYIc0%