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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) !*QA;*e  
    M`g Kt (3  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 7*8nUq  
    &^Q~G>A  
    1. 描述 &G5I0:a   
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 b|pNc'u:Cn  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 .dq.F#2B;  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 IU"!oM^  
    :~YyHX  
    2. 系统 7}HA_@[  
    LSOwa  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    c\?/^xr'!}  
    3. 透镜系统组件编辑 KHC(MdZ  
    | r*1.V(  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Lm2cW$s  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 N pIlQaMo4  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 BqJrL/(  
    包括序列光学表面和光学介质。 (TK cSVR  
    \V7x3*nA  
    p<.!::*%(  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 )pj \b[  
    \VzQ1B>k  
    L?5t <`#lw  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 P6Ol+SI#m  
    可以选择选取光线的方法: H H7 gT  
    — 在x-y-网格 e @MCumc~+  
    — 六边形 m*WEge*$t  
    — 自由选取 =>TtX@Q{  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    .6]cu{K(  
    . *+7xL  
    5. 系统的3维视图 -^%"w  
    cF6@.)  
    Wa<NId  
    6. 其他系统参数 &]A1 _dy  
    系统由单色平面波照明 /IR5[67  
    照明波长266.08nm mTu9'/$(  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: LA(JA  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 x~I1(l7r  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 *^m.V=  
    光束尺寸探测器置于焦平面 #rL@  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 IBHG1<3  
    nK; rEL  
    SVeU7Q6-  
    :)S4MoG  
    YXOD fd%L  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 B3=/iOb#  
    Rf$6}F  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    `o-<,  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    d:ajD  
    \YyU5f7';  
    P =Gb  
    }Qu 7o  
    MA QY/s~F  
    .Zm }  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 y(g Otg  
    u8\QhUk'G  
    745PCC'FK  
    VirtualLab可用于计算点列图。 6:X\vw  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6@36 1f[  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 e=$xn3)McY  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 )O'<jwp$  
    y 9mZQq  
    9. 焦平面上的结果 6 6;O3g'  
    M& L0n%,y5  
    tG&B D\  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 clV/i&]Qa  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 dXN&<Q,  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ;0{*V5A  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 vUExS Z^  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    /v<8x?=  
    8hV:bz"  
    10. 总结 &~i &~AJ  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <\ c8q3N  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 kKO]q#9sO  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 +#9 (T  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 G7xjW6^T  
     
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