示例.0082(1.0) NGSS: HNFhH0+^ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 rV~T>x
~BtKd* ~* 1. 描述 Hy;901( % ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 a!?.F_T9A ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Db,= 2e ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 )+*{Y$/U
j,4,zA1j| 2. 系统 b^%?S8]h $mD>rx 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
aSTFcz" 3. 透镜系统组件编辑 Li ij{ahm
Gj5>Y!9
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ) (+)Q'*
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 p;F2z;#
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 QQT G9s
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ^A- sS~w
TMNfJz [h^f% 4. 光线追迹系统分析器-选项 VkWO} [\88@B=jXP X:R%1+&*
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 m:b^,2"g
■ 可以选择选取光线的方法: y%2%^wF
— 在x-y-网格 |GuKU!
— 六边形 2|$lk8 /,
— 自由选取 q%DVDq( z
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Z6NJ)XQy6F J
&{qppN 5. 系统的3维视图 7TnM4@*f m';#R9\Fz
sE-x"c 6. 其他系统参数 Q6eN+i2 ; ■ 系统由单色平面波照明 ~Vwk:+): ■ 照明波长266.08nm Gee~>:_Q{J ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "$]ls9-%n — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 nZ&T8@m — 一个虚拟屏位于焦平面 Mp^^!AP 9 — 光束尺寸探测器置于焦平面 Td5bDO ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ~."!l'a fV*}c` +g)_4fV0| wH+FFXGJs zjea4>!A2 7. 光线追迹系统分析器的结果 Ft )t`E'%j mVa?aWpez 光线经过整个光学系统的三维视图
\5t`p67Ve_ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
<"hb#Tn 7WgIhQ~ JL?Cnk$! Tt{U"EFO &fCP2]hj' *Kp}B}}J 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~g*Y,
Y <9ePi9D( oSN8Xn*qr
■ VirtualLab可用于计算点列图。 P/C&R-{')
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 N$C{f;xV
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 f#'8"ff*1
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
di"C]" ;
oK#\HD4U 9. 焦平面上的结果 P#w}3^
(m<R0
XyvZ&d6(d
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 /_$~rW
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 `l+ >iM
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm <sgZ3*,A
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 UedvA9$&;
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 I/^q+l.=`{ =Dh$yC-Zr 10. 总结 ls [Ls ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 uo]Hi^r.l ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 xN e_qO ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #=`FM:WH ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 nu#aa#ex>