示例.0082(1.0) q!zsGf{ Arb-,[kwN 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 q+-Bl
x?B 8b-* 1. 描述 (t)a u ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 {n>W8sN< ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Fps.Fhm ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ~'l.g^p bv
v'zf*]9 2. 系统 wmr8[n&c 9fL48f$ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Lcyj,R 3. 透镜系统组件编辑 e7.!=R{6
kdrya
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [8QE}TFic
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 jFBnP,WQ
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 FWbA+{8
■ 包括序列光学表面和光学介质。 xc+h
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#E(
n wN
![SM/+ 4. 光线追迹系统分析器-选项 :2fz4n0{/ Qm\VZ<6/5 a~F`{(Q2
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 T;%ceLD
■ 可以选择选取光线的方法: M6J/S
— 在x-y-网格 "sf]I[a
— 六边形 |H4/a;]~
— 自由选取 Rg6e7JVu
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 GUyc1{6 /#M|V6n 5. 系统的3维视图 wb
}W;C@ f`jRLo*L
X>#!s Lt 6. 其他系统参数 3wBc`vJ! ■ 系统由单色平面波照明 Uv06f+P( ■ 照明波长266.08nm +FoR;v)z=F ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: J!:ss — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ega< {t — 一个虚拟屏位于焦平面 |'2E'?\/x — 光束尺寸探测器置于焦平面 %HJ_0qg ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 F:CqB| nO~TW N(]>(S
o UEJX0= PQ2u R
7. 光线追迹系统分析器的结果 [lsr[`SJ< $e! i4pM 光线经过整个光学系统的三维视图
\7}X^]UV x 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
LV&tu7c c4R6E~S Pv`^#BX' wK[xLf {}ZQK EV@xUq!x. 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 tF)aNtX4^ J0}OmNTzD a<[@p
■ VirtualLab可用于计算点列图。 cvbv\G'aT
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;&|ja]r
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 hIw<gb4J%
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
7:1c5F~M
1x]U&{do 9. 焦平面上的结果 AO9F.A<T5
i8nCTW
33\{S$p
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4
~17s`+
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 NwmO[pt+
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 'Z-jj2t}
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 o_<o8!]l"
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 EeKEw
Sg "6n~,$ 10. 总结 ~_SV`io ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Z^AACKME ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 N`/6
By ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 1dOVH7 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 g[j"]~