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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) :Ek3]`q#  
    ,-.=]r/s  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 t`0(5v  
    $]b&3_O$N8  
    1. 描述 aIE\B4w  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 EU()Nnm2  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 tmC9p6%  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 HgRfMiC  
    9z(h8H  
    2. 系统 !Op18hP$  
    }J:WbIr0!  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ]K%D$x{+\  
    3. 透镜系统组件编辑 s`,.&  
    `pXC= []B2  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 #J4,mFMr  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 <~Tfi*^+  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Q$2^m(?;  
    包括序列光学表面和光学介质。 _ 3>|1RB  
    y{\(|j  
    0'Qo eFKG  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 I[I]C9D  
    k N$L8U8f  
    EB>rY  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 B9h>  
    可以选择选取光线的方法: ,6a }l;lv  
    — 在x-y-网格 E %> ){Y)  
    — 六边形 FZtILlw  
    — 自由选取 f%Bmx{Ttq  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    As*59jkB  
    "a >a "Ei  
    5. 系统的3维视图 PRF^<%mkI  
    cx(b5Z  
    Gex%~';+q  
    6. 其他系统参数 wz] OM  
    系统由单色平面波照明 ;hp?wb  
    照明波长266.08nm dDla?)F  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +Pm }_"GU  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 } g[(h=Qi  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 [KjL`  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Oo 95\Yf$N  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 4U1"F 7'  
    j*;/Cah]k  
    '|N9xL m  
    VR_bX|  
    z|>f*Z  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 z"lRfOWI  
    sp$W=Wu7  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    OQh(qa  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    c{t(),nAA  
    h|Uy!?l  
    UBxQ4)%  
    ssC5YtF7X  
    />9?/&N6"  
    j8gi/07l  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 sGD b<  
    *QpKeI  
    &D~70N\L  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Px))O&w{  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 hkL[hD  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 qZ7/d,w  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 MM%c   
    0Ie9T1D=  
    9. 焦平面上的结果 [bvIT]Z  
    N;6WfdA-  
    3QrYH @7zx  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 YEx7 6  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 xl$#00|y  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm B[0XzV]Z  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 fw1g;;E  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ,&IBj6%Y  
    (9J,Qs[;  
    10. 总结 bh1WD_  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 bu#}`/\_  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 O5Xu(q5+  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 }]H_|V*f  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 <99Xg_e  
     
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