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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) @@"}i7  
    $l@nk@  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 Aw~ =U!  
     0?8O9i  
    1. 描述 {?!=~vp  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 <u]M):b3  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 !K-lO{Z^  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 47 xyS%X  
     [APwHIS  
    2. 系统 l\xcR]O  
    ? C1.g'}7  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    it.Lh'N;T  
    3. 透镜系统组件编辑 V9&7K65-1  
    l2vIKc  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 /'k4NXnW3  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 ebK/cPa8  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 g X75zso  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 z SDRZ!  
     KX D&FDkF  
    meey5}  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 "HX,RJ @^K  
    Q#w mS&$f  
    /~~aK2{^X~  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %Xc50n2Z  
    ■ 可以选择选取光线的方法： ix4O-o{  
    — 在x-y-网格 yw2Mr+9I  
    — 六边形 nX~Qt%  
    — 自由选取 E[q:65xl  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     fy]z<SPhVJ  
    1Tl^mS~k  
    5. 系统的3维视图 <LL+\kfTZO  
    OH.^m6Z  
    @`R#t3)8JP  
    6. 其他系统参数 ^/@Z4(E  
    ■ 系统由单色平面波照明 =h5&:?X  
    ■ 照明波长266.08nm e.-+zkQ8EI  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： WK$75G,  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 k{\wjaf)  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 } DQ<YF+  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 qLC_p)  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 <L'!EcHm%]  
    sNB*S{   
    F{*{f =E!B  
    h,-2+}  
    :&SvjJR  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 h0**[LDH  
    Ao?y2 [sE  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    V /i~IG`h/  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    7`eg;s^  
    ,~8&0p  
    6sceymq  
    W5i{W'  
    @yV.Yx"p_  
    +"J2k9E  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 '`s\_Q)hG_  
    T{ WJf-pI  
    `r#]dT[g  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 A-"2sp*t  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 b'AA*v,b  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ,4W~CkLD  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 z`]sWi F0  
     S<*h1}V3/  
    9. 焦平面上的结果 <Wr n/%tL  
    ,8.Fd|#L  
    g \.O5H9Od  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ]?p 9)d=%<  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 ,zF^^,lO7  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Q*jNJ^IW  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 N[=c|frho  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     'kuLkM,  
    TmviYP gb  
    10. 总结 *ggai?  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 H8!; XB  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 <@.!\  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 {!0f.nv  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 i<\WRzVT  
     
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