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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) aEB_#1  
    [|v][Hwv  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 \<bx [,?  
    ]>!K3kB  
    1. 描述 aHD]k8 m z  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 9p]QM)M  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 &< z1k-&!  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 &s(^@OayE  
    jV i) Efy  
    2. 系统 EAUEQk?9  
    VG5i{1  0  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    e+EQ]<M  
    3. 透镜系统组件编辑 a,,exi  
    u*eV@KK!  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 "MeVE#O  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 nkPh,X\N0  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 9+|$$)  
    包括序列光学表面和光学介质。 /WcG{Wdp  
    6XxvvMA97  
    ~g91Pr   
    4. 光线追迹系统分析器-选项 YP oSRA L  
    #mxPw  
    8\^R~K`sY  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 x>K Or,f  
    可以选择选取光线的方法: gb1V~  
    — 在x-y-网格 }CSDV9).S  
    — 六边形 &C_j\7Dq  
    — 自由选取 3Tcms/n  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    FaAC&F@u  
    g&L!1<, p  
    5. 系统的3维视图 +Ze} B*0  
    M-VX;/&FR  
    b`Zx!^  
    6. 其他系统参数 #\{l"-  
    系统由单色平面波照明 AYBns]!  
    照明波长266.08nm }rUN_.n4z  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: `7E;VL^Y1  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 , >a&"V^k  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 h,:m~0gmj  
    光束尺寸探测器置于焦平面 iQ67l\{R  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 kt#fMd$  
    [>I<#_^~  
    M)Z7k/=<P  
    Oi.C(@^(  
    ;?Tbnn Wn  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 z _$%-6  
    d0!5j  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ,_ H:J.ik  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Qp5VP@t  
    -m zIT4  
    N{!i=A  
    ,Fl)^Gl8?  
    ?>:g?.+  
    0],r0  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果  4\N ;2N  
    Pbn*_/H  
    /{J4:N'B>  
    VirtualLab可用于计算点列图。 L<cx:Vz  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 H7Rx>h_  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 C3f' {}  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 "S]0  
    `g?Negt\v  
    9. 焦平面上的结果 M] %?>G  
    9rX&uP)j^#  
    (S5R!lpO  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 }"H,h)T  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 .hb:s,0mP  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm net@j#}j-  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 a.\:T,cP>  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    8 FK/~,I  
    7aRi5  
    10. 总结 _.Nbt(mz  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 x_}:D *aI  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 &BLJT9Frx  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 gs[uD5oo<  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 k"%~"9  
     
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