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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) r)Ml-r =  
    I }8b]  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 hb)C"q=  
    W{j(=<|<  
    1. 描述 KDA2 H>  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Hc8!cATQk  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 $'<$:;4b3  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 nHp$5|r<  
    'SrDc'?  
    2. 系统 Dqd2e&a\  
    S1C#5=  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    t"e%'dFv  
    3. 透镜系统组件编辑 kr!>rqN5  
    yF+mJ >kj  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 8|5+\1!#/)  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 <JvYCWX`  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 a( N;| <  
    包括序列光学表面和光学介质。 6k<3,`VV|  
    ~d ~oC$=TC  
    j8rxhToC  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 'UZ i>Ta  
    LW">9 ;n  
    uX&h~qE/  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %|j`;gYV  
    可以选择选取光线的方法: aOsc_5XDR;  
    — 在x-y-网格 wu b7w#  
    — 六边形 TB84}  
    — 自由选取 ((^v sKT  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Lc "{ePFh  
    &+ H\ST(/  
    5. 系统的3维视图 cFuQ>xR1  
    ")nKFs5  
    PGVP0H+RV  
    6. 其他系统参数 lEb H4 g  
    系统由单色平面波照明 |t;Ktl  
    照明波长266.08nm X?/32~\  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: z=8l@&hYLq  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 q~*|Wd'&  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 [TxvZq*4  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ![MtJo5  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ,JPDPI/a  
    `R lWhdE  
    w7vQ6jkH  
    .f!:@fX>=  
    ]@ Vp:RGMr  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 &?}h)U#:  
    RK)ikLgp  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ~L> &p  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    h96<9L  
    }wEt=zOJ  
    &W&A88FfZU  
    Zu P3/d  
    zn|O)"C  
    8&bNI@:@  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .cmhi3o4  
    #sbW^Q'I  
    yHZ&5  
    VirtualLab可用于计算点列图。 %z"$?Iv  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Vn_>c#B  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。  x_/H  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 $d&7q5[  
    2o W'B^-  
    9. 焦平面上的结果 oB '5':  
    !!Yf>0u#  
    ygUX]*m!  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 m+ #G*  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 h_g "F@  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm gAsjkNt?  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 e%0IE X  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    `H^ H#W  
    5D3&6DCH  
    10. 总结 jDj=a->e^  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 yC!>7@m  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 2%`8  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 OXX D}-t  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 4~WSIR-  
     
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