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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) yA?ENAM  
    n(Q\' ,C  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 "'F;lzq  
    gP %|:"  
    1. 描述 ?9(o*lp  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 0 .FHdJ<  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Xb<DpBrk  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 W<rTq0~$?  
    ?}=-eJ(7e  
    2. 系统 Tbi]oB#  
    >St. &#c  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    )@<HCRQ'q  
    3. 透镜系统组件编辑 joChML_  
    y7M:b Uh  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 EREolCASb  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 9RCO|J  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 uEScAeQXsI  
    包括序列光学表面和光学介质。 83  i1  
    ,W1a<dl  
    %Le:wC  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 8:P*z  
    H:q)^$s  
    ^nHB1"OCV  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Q5p+W  
    可以选择选取光线的方法: mfeMmKFu\  
    — 在x-y-网格 ?~aZ#%*i8  
    — 六边形 <2)s<S.;  
    — 自由选取 e}'#Xv  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    A$%Q4jC}  
    :H!(?(Pie  
    5. 系统的3维视图 #cj\~T.,,  
    HDF!`  
    i\=z'  
    6. 其他系统参数 fJ)N:q`  
    系统由单色平面波照明 MvFM ,  
    照明波长266.08nm ET,Q3X\Oe  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: [F/^J|VMV  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ]UX`=+{  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 uFwU-LCe  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Si?$\H*:  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 .7 (DxN  
    "t[M'[ `C  
    Fw_ (q!  
    May&@x/oMS  
    zVM4BT(  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 H+4=|mkQ  
    \8;Qv  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    $hG;2v  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    v!NB~"LQ  
    "sF Xl  
    hq/J6 M  
    c%|vUAq*  
    J0^{,eY<  
    i(Ip(n  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 _Ry_K3K  
    az0cS*@  
    mD9STuA$H  
    VirtualLab可用于计算点列图。 j~M#Ss-H8  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Gs[Vu@*  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 :{[<g](  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 FE/$(7rM  
    >f&xJq  
    9. 焦平面上的结果 X'cf&>h  
    + $>N]1  
    :e1'o  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 JXpoCCe  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 n!GWqle  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm CN$I:o04C  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ?n!lUr$:y  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    @Z?7E8(  
    BjM+0[HC  
    10. 总结 Vy]A,Rn7  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ]#F q>E  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 bfFmTI$,  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 S8\+XJ  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 r=h8oUNEJ*  
     
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