示例.0082(1.0) X@7K#@5 oNV(C'A 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 'd@Vusq}2
7J%v""\1! 1. 描述 6@HY+RCx ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 T\h_8 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 NX*9nwp^ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 8@a|~\3-
WxS=Aip' 2. 系统 ~Zd n#z\ \T_?<t,UT 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
8c'0"G@S 3. 透镜系统组件编辑 &sx|sLw)
^Y:Q%?uB/
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \'L6m1UZ%
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 g loo].z
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =c8U:\0
■ 包括序列光学表面和光学介质。 )LYj,do
$u4esg uXNf)?MpA 4. 光线追迹系统分析器-选项 @zJ#16Vi 7=ZB;(`L1 NW9k.D%
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 5W!E.fz*T
■ 可以选择选取光线的方法: s geP`O%
— 在x-y-网格 m(3bO[u1
— 六边形 ::vw1Es
— 自由选取 GfQP@R"
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o+O\VNW -7">A~c 5. 系统的3维视图 NCvwg ~::gLm+f
gHlahg 6. 其他系统参数 ^tuJM: ■ 系统由单色平面波照明 ,U'Er#U ■ 照明波长266.08nm =fHt|}.K ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: M{7EFTy!y — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 -c=IO(B/ — 一个虚拟屏位于焦平面 qgca4VV|z — 光束尺寸探测器置于焦平面 d~|qx ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 xL>0&R @/JGC%! {F
k]X#j \+MR`\|3 \FTvN 7. 光线追迹系统分析器的结果 ]'_z(s} n37( sKG 光线经过整个光学系统的三维视图
4:<0i0)5 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
hBE}?J> ~9oS~fP?I ~|J6M cp?`\P B>Nxc@=D O|j5ulO}&" 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 =WEfo; BJj~fNm1Zr Y=3Y~
■ VirtualLab可用于计算点列图。 \hM6 ykY-
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 MO#%w
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Ir\3c9
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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P 9. 焦平面上的结果 x\Sp~]o3C
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(I[o;0w
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Lp
]d4"L;3
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 TTE#7\K~B
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm RL&3 P@r
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 h'-TZXs0e1
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 @/0aj Z^fF^3x 10. 总结 }(tGjx] ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Tz*5;y%4 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 !)9zH ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ?|hzAF"U ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 KFV]2mFN