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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) "1!.^<V*  
    8U<.16+5Q  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸  ,eeL5V  
    /-{O\7-D  
    1. 描述 P}+|`>L  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 CESe}^)n  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 nUud?F^_  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .l( r8qY#  
    "UoCT7X  
    2. 系统 wAYzR$i  
    J;=aIiN]R  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ! jX+ox  
    3. 透镜系统组件编辑 ( X 'FQ  
    _UBJPb@=U  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 /cL9 ?k;o  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 fteyG$-s  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 F0BOhlK  
    包括序列光学表面和光学介质。 i. u15$  
    h"BhTx7E}  
    dVVvG]  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 +wz`_i)!  
    $: 4mOl  
    j |'# 5H`  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 7o965h  
    可以选择选取光线的方法: ZaRr2Z:!  
    — 在x-y-网格 !QQ<Ai!E  
    — 六边形 0K$WSGB?6j  
    — 自由选取 ]O[+c*|w  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    U= c5zrs  
    Nn,vdu{^2  
    5. 系统的3维视图 lk*0c {_L  
    o]|oAN9  
    KM_)7?`  
    6. 其他系统参数 $dx1[ V+_  
    系统由单色平面波照明 ~b>nCP8q  
    照明波长266.08nm (}*\ {  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: s=q%:uCO  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 p-T~x$"c|  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ~4=]%XYz  
    光束尺寸探测器置于焦平面 _cxm}*}\#  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 g/U$!d_  
    2\nBqCxR  
    =#.8$oa^  
    f gK2.;>  
     \]f5  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Ersr\ZB  
    d739UhKC  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    gfdPx:7^  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    B7Ki @)  
    LM"W)S  
    xI`Uk8-8  
    o7c%\v[  
    B c,"12  
    ,yHzo  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 fR]p+\#8u*  
    i_[ HcgT-  
    DJ1XN pm  
    VirtualLab可用于计算点列图。 nJldz;  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 H7z>S G0  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 .^[fG59  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Pg*?[^*  
    a2c x  
    9. 焦平面上的结果 z`86-Ov  
    q7O,I`KaJ  
    ==-7F3QP  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ;uM34^  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 vWqyZ-p,q  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm hV3,^#9o  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 !7:EE,W~  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ^Ei*M0fF  
    o :.~X  
    10. 总结 "?oo\op  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;eS;AHZ  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 |QnUK5D$  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 17V\2=Io  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 t Y:G54d=_  
     
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