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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) R*&3i$S  
    in+`zfUJ9  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 A(s/Nz>  
    k2+Z7#2n  
    1. 描述 wK\SeX  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6|jE3rHw  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 *v5y]E%aW  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 /?6y2t  
    Ahwu'mgnC  
    2. 系统 Bkz   
    7olA@;$  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ?b7vc^E&  
    3. 透镜系统组件编辑 [R:O'AP}@}  
    #{ ?oUg>$  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 GYs4#40  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 kU^@R<Fo  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &WRoNc  
    包括序列光学表面和光学介质。 eb8_guZ  
    TX+t   
    "1nd~ BBOw  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 { U<h tl4  
    oz0-'_  
    02+^rqIx5  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 D0]9 -h  
    可以选择选取光线的方法: kN) pi "  
    — 在x-y-网格 ]E3g8?L  
    — 六边形 ?nn,RBS-  
    — 自由选取 ;s!H  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    G^OSXf5  
    JH5])i0  
    5. 系统的3维视图 Bh.'%[',  
    nbRg<@  
    \G"/Myi  
    6. 其他系统参数 (l^lS=x  
    系统由单色平面波照明 V,"'k<y  
    照明波长266.08nm ejQCMG7  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: XDWERv Ij  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 x~z 2l#ow  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 rTJWftH!  
    光束尺寸探测器置于焦平面 IpP0|:}  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 0jS/U|0  
    x?F{=\z/o  
    %2+]3h>g  
    LH8?0 N[  
    :({<"H)!'  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 th<]L<BP/  
    ^ Q}1&w%  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    oF^BJ8%Lm  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    (l,o UBRr  
    loB/w{r*x  
    :Ry 24X  
    utE:HD.PN  
    9..k/cH  
     %!S  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ig,|3(  
    y{sA["   
    ^`7t@G$ D  
    VirtualLab可用于计算点列图。 *l^'v9  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 *LVM}| f  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 3{z|301<m  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ?uN(" I  
    ..:V3]-D  
    9. 焦平面上的结果 :&%;s*-9  
    `lhLIQ'j  
    6b|`[t  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 lN'/Z&62  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Y P c<  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm t;]egk  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 (?!0__NN;  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    57>ne)51  
    #V 6 -*  
    10. 总结 #77UKYj2L-  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 < &2,G5XA  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ;`B35K  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "Zk6B"o)  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 \gkajY-?  
     
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