示例.0082(1.0) Gm.2!F=R4A ZMGthI}~- 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ukwO%JAr
h;JO"J@H 1. 描述 zn2Qp ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 %Gc)$z/Wd ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 4ZCD@C ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9?.
AZf$XHP2 2. 系统 ~d"9?K^# L,_Z:\^ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Y |'}VU 3. 透镜系统组件编辑 2!Sl!x+i\'
.
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 MNu\=p\Eq
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 nk.j7tu
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @s7wKk
■ 包括序列光学表面和光学介质。 R@A"U[*
i(an]%'v 2 i97 4. 光线追迹系统分析器-选项 b<8,'QgB v18OUPPX ePscSMx&
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 L.Tu7+M4
■ 可以选择选取光线的方法: Kw87 0n<
— 在x-y-网格 |}D5q| d@n
— 六边形 kX "*kD
— 自由选取 Jm[_X
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #j4jZBOTM \Y^GA;AMQQ 5. 系统的3维视图 Wo+^R%K'4 qt`HP3J&
=cWg39$(I 6. 其他系统参数 h42dk(B ■ 系统由单色平面波照明 n#"N"6s ■ 照明波长266.08nm cxpG6c ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: .M( [n- — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 P\{}yd — 一个虚拟屏位于焦平面 O\q-Ai — 光束尺寸探测器置于焦平面 4`'V%)M ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 s7"5NU- ?L+|b5RS sj8lvIY5 \%Lj !\
PaZd^0'!Z 7. 光线追迹系统分析器的结果
ES ?6 `9mc+ 光线经过整个光学系统的三维视图
7_CX6: 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
p@[n(?duC. Z}yd`7 <K {|#ND# pIl[)%F
, )PpE& $ 9
k5a 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ^a?g~G 6!Uk c'r 6wH:jd9,
■ VirtualLab可用于计算点列图。 t`pbEjE0K
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 )*nZ6Cg'
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 tOxTiaa=
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
r;@"s g
K8{ef 9. 焦平面上的结果 9=.7[-6i9
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 \:9<d@?
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ;! ,I1{`
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ?eDZ-u9)
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 MN[D)RKh;
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 EL(BXJrx{ l0=VE#rFl 10. 总结 to(lE2`.da ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Dn:1Mtj- ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 TF~cDn ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 0.0r?T ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ]e(\<R6Gf