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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Ut xe  
    .5~W3v <  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 WrGz`  
    8>|@O<2\  
    1. 描述 yNb :zoT  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 I2wT]L UV  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 k5@_8Rc  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 \#A=twp  
    *I}_B\kY  
    2. 系统 CXs i  
    ;#$zHR  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    D?w-uR%Y  
    3. 透镜系统组件编辑 ",ic" ~  
    ] PnE%  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [i'\d}  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 2ju1<t,8)  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +(3PY  e\  
    包括序列光学表面和光学介质。 CDcs~PR@B  
    A*h)p@3t<  
    pr-{/6j6  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 wBcDL/(>  
    Mdh(Mp(w  
    } V4"-;P  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 A&5$eGe9  
    可以选择选取光线的方法: LwUvM  
    — 在x-y-网格 IEzZ$9,A5  
    — 六边形 utwh"E&W  
    — 自由选取 kmW!0hm;e  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    D0QXvrf  
    +V |]:{3W  
    5. 系统的3维视图 zck)D^,aO  
    6x@-<{L  
    i=2+1 ;K  
    6. 其他系统参数 No[xf9>t  
    系统由单色平面波照明 @F7QQs3  
    照明波长266.08nm XB;;OP12  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Zt` ,DM  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 n?,fF(  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 8}\"LXRbo  
    光束尺寸探测器置于焦平面 C-6+ZIk4  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 0t4i'??  
    {8jG6  
    TU. h  
    q>omCk%h  
    5 ?vIkf  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 &P {%C5?{  
    \W@?revK  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    %)aDh }  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    x@k9]6/zs  
    wOk:Q4OjL  
    2dI:],7  
    ng 6G<hi  
    ohh 1DsB  
    |]]fcJOBP  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 L]tyL)  
    ]jYl:41yI  
    O>>8%=5Q  
    VirtualLab可用于计算点列图。 @LmUCP~  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 PHOW,8)dZh  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 kB:R- St  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ,#m\W8j  
    ><DE1tG  
    9. 焦平面上的结果 j"dbl?og  
    bIhL!Ty T.  
    $H 9xM  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 p*'?(o:=  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 #nd,cn  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm K4tX4U[Z  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 9PBmBP ~  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Yk5kC 0B  
    <*\J 6:^n  
    10. 总结 Ylf4q/-  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 &0"`\~lA  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 -_}EQ9Q  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 xWMMHIu  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ZA P+jX;  
     
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