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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) }i!J/tJ)b  
    e%W$*f  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 |Ph3#^rM?  
    K98i[,rP  
    1. 描述 I%urz!CNE*  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ^n0]dizB  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Sna4wkbS  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 3_A *$  
    ! VjFW5'{  
    2. 系统 f 2l{^E#h  
    #m={yck *  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ,@5I:X!rR  
    3. 透镜系统组件编辑 S6fbf>[  
    vm>b m  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 O$4yAaD X  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Mw9 \EhA  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #c2ymQm  
    包括序列光学表面和光学介质。 sH\5/'?  
    Dc)dE2  
    (Cq n6 dWK  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 8V~vXnkM  
    2;w*oop,O  
    $ `7^+8vHV  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 7g3 >jh  
    可以选择选取光线的方法: /hO1QT}xd  
    — 在x-y-网格 GgKEP,O  
    — 六边形 5ZBKRu  
    — 自由选取 .9.2Be  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
     W%\C_  
    av~5l4YL  
    5. 系统的3维视图 (y^vqMz  
    %j7XEh<'  
    f5` g  
    6. 其他系统参数 K$d$m <  
    系统由单色平面波照明 n0is\ZK 0  
    照明波长266.08nm )m. 4i=X  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 13Lr }M&  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Wl}&?v&@  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 mkR2i>  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Vx-7\NB  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 i&n'N8D@  
    a0Zv p>Ft  
    |ZQ@fmvL/p  
    U,LTVYrO  
    PdvqDa8  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 7 x<i :x3  
    71l%MH  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Ps<d('=  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    V dn&c  
    eY e,r  
    edPUG N  
    yxc=Z0~1  
    3)RsLI9  
    '}9JCJ  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 h;0S%ZC  
    KI+VXH}Y5{  
    F;>!&[h}G  
    VirtualLab可用于计算点列图。 9VbOQ{8  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。  E6WA}_  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ?^N3&ukkyo  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 3g6j?yYqb  
    y8DhOlewQ  
    9. 焦平面上的结果 jQ)T67  
    J4\qEO  
    ? C/Te)  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 C$5[X7'  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 oqeSG.1  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm =yy5D$\  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 *Aa?yg:=  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    b3VS\[p  
    C/-63O_  
    10. 总结 \!ej<T+JR>  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 hh[jN 7K  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Kde9 $  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 wT{nu[=GH*  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 1w&!H ]%{  
     
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