示例.0082(1.0) "\M^jO qFYM2 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 XfH[:XG3
$23dcC*hI 1. 描述 f8836<c ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ^N:bT;;$nZ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [&a=vE ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ;*XH[>I
B1Cu?k);. 2. 系统 YB'BAX<lI 5]yby"Z?} 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
_G=k^f_ 3. 透镜系统组件编辑 _mn2bc9M
j?y_ H[Z
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ^26}j uQ
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Ov PTgiI!N
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Z</.Ss 4
■ 包括序列光学表面和光学介质。 &F#K=R| .j
$z5 Sn!5/9Y 4. 光线追迹系统分析器-选项 Ea\Khf]2 b;%>?U`>p e.jbFSnA
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :J6lJ8w
?
■ 可以选择选取光线的方法: Y('?Z]
— 在x-y-网格 Y]6kA5
— 六边形 @j|=M7B
— 自由选取 'WQ?%da
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 0JM`*f%n ;_Z[' % 5. 系统的3维视图 ErXzKf .DG`~Fpk
)7s(]~z 6. 其他系统参数 G"|`&r@ ■ 系统由单色平面波照明 9B<aYp) ■ 照明波长266.08nm Ne9S90HsB6 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: p]erk — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 A{Dy3tm= — 一个虚拟屏位于焦平面 Ny2. C?2 — 光束尺寸探测器置于焦平面 oK#UEn ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 HS
>B\Ip" ^ ^T e ft><Ql3 {~cM 6W]f 3P2x%G p 7. 光线追迹系统分析器的结果 AMf{E
9qvKg`YSh 光线经过整个光学系统的三维视图
j;SK{Oq 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
ykat0iqo K|sk]2. 5~GH*!h%; BOdd~f%&tn )
o`ep{<t 9mRP%c#( 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 R;3nL[{U GLWEoV9< &\$~
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Ev>P|kV&A
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 8$`$24Wx
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {U"=}j(
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
^i8"eF
SS*3Qx:[ 9. 焦平面上的结果 l#bE_PD;
|e{ ^Yf4
0"J0JcFX
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 K;j0cxl
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 b>]k=zd
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm uF<}zFS
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 pPsT,i?
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 _Nacqa ;:obg/;uJ 10. 总结 7 >-(g+NF! ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 s
a{x.2/o} ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 7A"v:e ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ^?5HagA ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ,{2= nb[