示例.0082(1.0) :Ek3]`q# ,-.=]r/s 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 t`0(5v
$]b&3_O$N8 1. 描述 aIE\B4w ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 EU()Nnm2 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 tmC9p6% ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 HgRfMiC
9z(h8H 2. 系统 !Op18hP$ }J:WbIr0! 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
]K%D$x{+\ 3. 透镜系统组件编辑 s`,. &
`pXC= []B2
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 #J4,mFMr
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 <~Tfi*^+
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Q$2^m(?;
■ 包括序列光学表面和光学介质。 _ 3>|1RB
y{\(|j 0'Qo eFKG 4. 光线追迹系统分析器-选项 I[ I]C9D kN$L8U8f EB>rY
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 B9h>
■ 可以选择选取光线的方法: ,6a }l;lv
— 在x-y-网格 E%>){Y)
— 六边形 FZtILlw
— 自由选取 f%Bm x{Ttq
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 As*59jkB "a>a
"Ei 5. 系统的3维视图 PRF^<%mkI cx(b5Z
Gex%~';+q 6. 其他系统参数 wz]OM ■ 系统由单色平面波照明 ;hp?wb ■ 照明波长266.08nm dDla?)F ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +Pm}_"GU — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }g[(h=Qi — 一个虚拟屏位于焦平面 [KjL` — 光束尺寸探测器置于焦平面 Oo95\Yf$N ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 4U1"F 7' j*;/Cah]k '|N9xLm VR_ bX| z|>f*Z 7. 光线追迹系统分析器的结果 z"lRfOWI sp$W=Wu7 光线经过整个光学系统的三维视图
OQh(qa 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
c{t(),nAA h|Uy!?l
UBxQ4)% ssC5YtF7X />9?/&N6" j8gi/07l 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 sGD b< *QpKeI &D~70N\L
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Px))O&w{
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 hkL[hD
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 qZ7/d,w
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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0Ie9T1D= 9. 焦平面上的结果 [bvI T]Z
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 YEx76
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 xl$#00|y
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm B[0XzV]Z
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 fw1 g;;E
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ,&IBj6%Y (9J,Qs[; 10. 总结 bh1WD_ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 bu#}`/\_ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 O5Xu(q5+ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 }]H_|V*f ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 <99Xg_e