示例.0082(1.0) ju r1!rg% myffYK, 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 I}1fEw>8
W|~q<},j 1. 描述 i"KL;t[1 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ]~ >@%v& ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 @gY'YA8m ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 K"G(?<>~4c
@t "~ 2. 系统 |zg=+ 1.uUMW
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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~p` 3. 透镜系统组件编辑 \}n !yYh(
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 7d%A1}Bq$
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 PlF89-
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;cnnqT6
■ 包括序列光学表面和光学介质。 +q$xw}+PK
HarYV : k`{RXx 4. 光线追迹系统分析器-选项 #IbS MP_A<F |qQ{ 8T%)
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?hP<@L6K
■ 可以选择选取光线的方法: nmTm(?yE
— 在x-y-网格 G%y>:$rw[O
— 六边形 .Gjr`6R
— 自由选取 ;*n_N!v
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 4o)(d=q .ou!g&xu 5. 系统的3维视图 $:T<IU[E "m
wl-=
ce 7Yr*ZB 6. 其他系统参数 -ryDsq ■ 系统由单色平面波照明 myEGibhK ■ 照明波长266.08nm &Bj,.dD/a ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ppPG+[ cz — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 pE$|2v — 一个虚拟屏位于焦平面 Mb2:'u[ — 光束尺寸探测器置于焦平面 -[i40
1 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 s
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$D } IIK~d, n1fEdaa7g 7. 光线追迹系统分析器的结果 *%P>x}6w3 !V$6+?2 光线经过整个光学系统的三维视图
UrD=|-r` 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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P:NnKgK ~0'_K1(H b#?ai3E 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 L:|X/c9r[ h(+m<J
c4!c_a2pS
■ VirtualLab可用于计算点列图。 mq|A8>g
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 &hSnB~hi
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {<''OwQF~+
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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E|F!S(.:,M 9. 焦平面上的结果 j]@x Q,y
:,xyVb+
WI*^+E&=*
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 1B9Fb.i
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 $M}k%Z
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm pXpLL_
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 twYB=68
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 al3BWRq'f (R;)
9I\ 10. 总结 zR3lX}g ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 rzYobOKd# ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 !:g>CDA ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 41
c^\1 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 -@gJqoo>