示例.0082(1.0) S+^*rw {sn RS)- 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 "P)f,n
4K_rL{s0U 1. 描述 _i_^s0J ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 A>@ i
TI ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 n[~kcF ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 #k%$A}9
P.L$qe>O 2. 系统 dWK;
h `SdvXn 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
J9!}8uD 3. 透镜系统组件编辑 xbbQ)sH&m
&cnciEw1
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 .<0|V
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 xq`mo
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 T r|B:)X
■ 包括序列光学表面和光学介质。 CH!>RRF
ch|4"&g nQe^Bn 4. 光线追迹系统分析器-选项 ,$"*X-1
+#%#QL >o=O^:/L
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 }V20~ hi
■ 可以选择选取光线的方法: }HO3D.HE^
— 在x-y-网格 V}?*kx~T2C
— 六边形 ( v<l9}!
— 自由选取 Gjhpi5?%8
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 d']CBoK !*[Fw1-J 5. 系统的3维视图 }BTK+Tk8 N_3$B=
F8u;C:^d 6. 其他系统参数 m=g\@&N ■ 系统由单色平面波照明 )uj:k*`) ■ 照明波长266.08nm 4RPc&% ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ?8ZOiY( — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 g+g0iS — 一个虚拟屏位于焦平面 1~J:hjKQ — 光束尺寸探测器置于焦平面 O!uZykdX4! ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 $KSdNFtM)A R,+Pcn$ws uu5AW=j 5Q)hl.<{o7 M)m( 7. 光线追迹系统分析器的结果 %y7&~me }XOTK^YA 光线经过整个光学系统的三维视图
d-GU164 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
54X=58Q r;>2L' {RG4 m{#9 `S`,H Ijg//= , %8keGhl 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8i
epG ^{<!pvT eo#2n8I>=1
■ VirtualLab可用于计算点列图。 XZh1/b^DMN
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 )$EmKOTt:
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 FfeX;pi
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Ch] `@(l
v&7yqEm}B 9. 焦平面上的结果 *5e"suS2
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0|Rt[qwKb@
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2F}D?]A
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 0mt lM(
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm n]%T>\gw
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 x=S8UKUx
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 +'-i (]@!' TnuaP'xZ 10. 总结 QPD[uJ(I ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ]'.D@vFGO ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ",v!geMvu ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 =c-Y > ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 \!51I./Q/