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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 8?ldD  
    \M~M  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 C8qA+dri  
    Kh<xQ:eMy  
    1. 描述 %n-:mSus  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 MP/6AAt7=|  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 =e'b*KTL,  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 M{gtu'.  
    1&A@Zo5|  
    2. 系统 ".jY3<bQg  
    mM.-MIp  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    %a%x`S3  
    3. 透镜系统组件编辑 gqR?hZD  
    fZU#%b6G  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 0j*-ZvE)30  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 PjriAlxD  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 UELni,$  
    包括序列光学表面和光学介质。 >Q&E4jC  
    @!z9.o;  
    r|t ;#  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 1:]iV}OFqR  
    Jolr"F?  
    p!^.;c  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 RD_IGV   
    可以选择选取光线的方法: Ei!5Qya>  
    — 在x-y-网格 r8\"'4B1  
    — 六边形 a nK7j2  
    — 自由选取 }HB)%C50.  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    V?U->0>Z4  
    0{bGVLp  
    5. 系统的3维视图 `$j"nP F_  
    CAg\-*P|  
    MQc|j'vEY  
    6. 其他系统参数 .]+Z<5Fo  
    系统由单色平面波照明 :A%|'HxH3  
    照明波长266.08nm Vy-N3L  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: d<mj=V@bd  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 !~5;Jb>s[/  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 L'k )  
    光束尺寸探测器置于焦平面 (=:9pbP  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 X;JptF^  
    b X.S`  
    %Od?(m"&  
    :G$f)NMK  
    O>e2MT|#k  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ycAQHY~n  
    2_lgy?OE`  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    RRh0G>*  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    _[|~(lDJl  
    :wiQ^ea  
    d~f_wN&r  
    (S/f!Dk&3  
    vto^[a6?  
    {qO[93yg)/  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 }C1&}hZ  
    Zcq'u jU  
    II$B"-  
    VirtualLab可用于计算点列图。 _:oB#-0  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Ara D_D  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Pg[XIfBva  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 7UQFAt_r  
    5o;M  
    9. 焦平面上的结果 *Dx&}"  
    1eue.iuQ  
    ^2-2Jz@  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ^|yw)N]Q/  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 L{y%\:]  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm >`Xikn(  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 k<p$BZ  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    >Micc   
    G gmv(!  
    10. 总结 hM~9p{O  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 &,B\ig1Jf  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 $'D|}=h<Y  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 b77Iw%x7  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 J^tLKTB  
     
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