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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) .tfal9  
    E,?IIRg&  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 b9?Vpu`?  
    GGHeC/4  
    1. 描述 o(54 A['  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 *HV_$^)=  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 c%b|+4 }x  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 J#@+1 Nt  
    G2!<C-T{2  
    2. 系统 pQ7elv]  
    N|)e {|k  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    t6 -fG/Kc  
    3. 透镜系统组件编辑 .%W.uF^  
    ZWuNl!l>  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 9CwtBil<#g  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 /03 Wst  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 @Bkg<  
    包括序列光学表面和光学介质。 j8?! J^TC  
    q%A>q ;l:  
    ~qL/P 5*+  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 >^#Liwm  
    =$^}"}$  
    Z{#3-O<a+n  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?AxB0d9z  
    可以选择选取光线的方法: jc>B^mqx  
    — 在x-y-网格 l&W:t9o  
    — 六边形 XD!}uDZ^  
    — 自由选取 rWO#h{  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    bqF?!t<B  
    U m`KmM3  
    5. 系统的3维视图 3ErV" R4"$  
    cyjgi /Z  
    v=dN$B5y3  
    6. 其他系统参数 ,_7m<(/f  
    系统由单色平面波照明 '_K`1&#U  
    照明波长266.08nm Mjl,/-0 w  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: g?j^d:  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 w*@9:+  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 %M^Q{` :5  
    光束尺寸探测器置于焦平面  =/ !A  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 wax^iL!  
    l% %cU"  
    :m'(8s8  
    q~AvxO  
    +Ezl.O@z  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 e cvZwL  
    =''*'a-P  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    X^m @*,[s  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    #^-'q`)  
    U&$I!80.  
    .OW5R*  
    \j we  
    kY4h-oZ  
    GV9pet89yu  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 !([v=O#  
    C<^S$  
    3%x-^.  
    VirtualLab可用于计算点列图。  NY[48H  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .Z17X_  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 0q1+5  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 K TE*Du  
    VF7H0XR/k5  
    9. 焦平面上的结果 cIuCuh0I`  
    %uP/v\l  
    8L@@UUjr  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {+9t!'   
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 N=8CVI  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm IeIv k55  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 "(+aWvb  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    !) d  
    7:.!R^5H  
    10. 总结 Z3Xgi~c  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 9*?YES'6  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 %+ MYg^  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 FQMA0"(G$  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 t$Ua&w  
     
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