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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) q!zsGf {  
    Arb-,[kwN  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 q+-Bl  
    x?B8b-*  
    1. 描述 (t)a u  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 {n>W8sN<  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Fps.Fhm  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ~'l.g^p bv  
    v'zf*]9  
    2. 系统 wm r8[n&c  
    9fL48f$  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Lcyj, R  
    3. 透镜系统组件编辑 e7.!=R{6  
    kdry a  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [8QE}TFic  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 jFBnP,WQ  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 FWbA+{8  
    包括序列光学表面和光学介质。 xc+h Fx  
    #E( n  
    wN ![SM/+  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 :2fz4n0{/  
    Qm\VZ<6/5  
    a~F` {(Q2  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 T;%ceLD  
    可以选择选取光线的方法: M6J/S  
    — 在x-y-网格 "sf]I[a  
    — 六边形 |H4/a;]~  
    — 自由选取 Rg6e7JVu  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    GUyc1{6  
    /# M|V6n  
    5. 系统的3维视图 wb }W;C@  
    f`j RLo*L  
    X>#!s Lt  
    6. 其他系统参数 3wBc`vJ!  
    系统由单色平面波照明 Uv06f+P(  
    照明波长266.08nm +FoR;v)z=F  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: J !:ss  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 e ga< {t  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 |'2E'?\/x  
    光束尺寸探测器置于焦平面 %HJ_0qg  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 F:CqB|  
     nO~TW  
    N(]>(S o  
    UEJX0=  
    PQ2u R  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 [lsr[`SJ<  
    $e! i4pM  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    \7}X^]UVx  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    LV&tu7c  
    c4R6E~S  
    Pv`^#BX'  
    wK[xLf  
    {}ZQK  
    EV@xUq!x .  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 tF)aNtX4^  
    J0}OmNTzD  
    a<[@p  
    VirtualLab可用于计算点列图。 cvbv\G'aT  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;&|ja]r  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 hIw<gb4J%  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 7:1c5F~M  
    1x]U&{do  
    9. 焦平面上的结果 AO9F.A<T5  
    i8nCTW  
    33\{S$p  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 4 ~17s`+  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 NwmO[pt+  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 'Z-jj2t}  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 o_<o8!]l"  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    EeKEw Sg  
    "6n~, $  
    10. 总结 ~_SV `io  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Z^AACKME  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 N`/6 By  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 1dOVH7  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 g[j"]~  
     
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