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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) ]JjK#eh  
    Es.nHN^]%K  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 tnb$sulc+  
     B +Aj*\Y.  
    1. 描述 #`ls)-`7  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 x<ax9{  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 | o0RP|l  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 i#W*'   
     lb~E0U`\E`  
    2. 系统 uS<_4A;sD,  
    %NajFjBI  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    |g-b8+.=]  
    3. 透镜系统组件编辑 KX3KM!*  
    >72JV; W]  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 h*w6/ZL1  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 jL>:>r  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 uzBz}<M=  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ZFvyL8o  
     j~`\XX{>  
    v`DI<Lt  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 s8<gK.atl  
    4=[7Em?oLb  
    #E$X ,[ZFo  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ]@ M5_%p  
    ■ 可以选择选取光线的方法： 6f)2F< 7  
    — 在x-y-网格 K84^ Oq  
    — 六边形 9&Ne+MY^%  
    — 自由选取 nJZ6? V  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     jQh^WmN  
    sL^yB  
    5. 系统的3维视图 9$1)k;ChP/  
    \9{F5S z  
    \Kav w  
    6. 其他系统参数 A??@AP[7M  
    ■ 系统由单色平面波照明 3 hKBc0  
    ■ 照明波长266.08nm @jy41eIo  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： lr@#^  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 zsXpA0~3s  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 _\8qwDg"#e  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 _. V?A*  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 c EnkU]  
    9X}I>  
    jO~:<y3 =  
    1X1 N tS @  
    ZKpvDH'  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 X/0v'N  
    ,!#ccv+Vm%  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    :aAEJ  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    JXqr3 Np1  
    1B=>_3_  
    '0RwO[A#1  
    TQ@d~GR  
    PWr(*ZP>hI  
    R^#@lI~  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ]lOh&Cz[  
    3_$w| ET  
    ,e722wz  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 P9Q~r<7n  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 OO) ~HV4\  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 UUe#{6Jx_  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 XGrue6 ya  
     YDJ4c;37  
    9. 焦平面上的结果 &a0r%L()X  
    'tgKe!-@  
    .="bzgC3A  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 *e>]~Z,  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 ,:2'YB  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm / ~ %KVe  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 Kv&g5&N,  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     }T2xXbU  
    8IQtz2  
    10. 总结 (2ot5x}`j  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 tRb] 7 z  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 C4$:mJ>y  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 DOS0;^f  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 #6v27:XK  
     
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