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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) ,"/_G  
    z/TRqD  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 QEVjXJOt0  
    HG^8&uh]  
    1. 描述 -{< %Wt9  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 |`|b&Rhu  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Y,a.9AWw)  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ":Q70*xSm  
    >ko;CQR  
    2. 系统 eY-$h nUe  
    8'YL!moG|  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    4M:oa#gh@  
    3. 透镜系统组件编辑 < ;g0?M\  
    l`1ZS8 [.  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Cr&ua|%F  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 T7,tJk,(  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 u]}Xq{ZN  
    包括序列光学表面和光学介质。 6`yq4!&v  
    &@RU}DnvM&  
    7fVVU+y  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 d ] [E;$  
    K)k!`du!6  
    $yt|nO  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 0t9G $23  
    可以选择选取光线的方法: tpVtbh1)u  
    — 在x-y-网格 7W>T= @  
    — 六边形 T}zi P  
    — 自由选取 )FB)ZK;  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    [Nq4<NK  
    \&cVcA g  
    5. 系统的3维视图 ^!}lA9\gY  
    x&f?c=\F  
    |.,y M|  
    6. 其他系统参数  *Vc}W  
    系统由单色平面波照明 5/(Dh![l  
    照明波长266.08nm !~RD>N&n  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: JRG7<s $  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 wM|-u/9+  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 SsaF><{5R  
    光束尺寸探测器置于焦平面 3~ qgvAr  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Ao,lEjNI  
    6L4B$'&KQZ  
    *BF1 Sso  
    { u;ntDr  
    z*R"917  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 lUp 7#q  
    f5O*Njl  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    "z qt'b0bW  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    U$-FQRM4K  
    -j(/5.a  
    is6JS^Q  
    .Wr7?'D1M  
    Qdtfi1_Y1  
    *z(.D\{%  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 f>RPh bq|  
    oc15!M3$  
    Wima=xYe\5  
    VirtualLab可用于计算点列图。 wp@c;gK7  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 c~>M7e(  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 M F& +4$q  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Wy|=F~N  
    2\7]EW  
    9. 焦平面上的结果 Z,!Rj7wZ  
    pE=wP/#  
    o`& idn|,  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 C[[z3tn  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ?.4u'Dkn=  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Q.5a"(d@  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 a ZfX |  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    F35e/YfG  
    wK,t q  
    10. 总结 9'T(Fc  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 za24-q  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 y<5s)OehG  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 GSMP)8 W  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 H >RGX#|  
     
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