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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Fl#VKU3h  
    fo!Lp*'0  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 =7J|KoKK  
    Vav+$l|j@  
    1. 描述 +>i<sk  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 [)J49  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 >DL-Q\U  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ?*z( 1!  
    ~-`BSR  
    2. 系统 ok\/5oz  
    _ \v@9Q\  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    sS1J.R  
    3. 透镜系统组件编辑 RBK>Lws6  
    [:R P9r}  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 nuQLq^e  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 o+X'(!Trw  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ku[=QsMv  
    包括序列光学表面和光学介质。 |S>J<]H p  
    lU50.7<08  
    gGiV1jN _  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 v_@#hf3  
    YP\4XI  
    z)<pqN  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Cs1%g  
    可以选择选取光线的方法: tO+%b=Z^  
    — 在x-y-网格 j]F#p R}p  
    — 六边形 X_tW#`  
    — 自由选取 >;'1k'  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    xeP;"J}  
    N5w]2xz!  
    5. 系统的3维视图 uZ2v;]\Y6  
    &;@b&p+  
    J,^pt Ql  
    6. 其他系统参数 \")YKN=W  
    系统由单色平面波照明 e/HX,sf_g  
    照明波长266.08nm /P8eI3R  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: C1P t3  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 s!o<Pd yJK  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Dpp52UnT E  
    光束尺寸探测器置于焦平面 |Qt`p@W  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 "za*$DU  
    _"w!KNX>(~  
    ]-s`#  
    i2ml[;*,N  
    4qSS<SqY  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ^%*{:0'  
    0.Ol@fO  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    h&)vdCCk  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    MTITIecw=  
    _OxnHf:|  
    fN*4(yw  
    |z7Crz  
    n%ArA])_&  
    yA>p[F  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 piiQ  
    1d@^,7MF-  
    k}0  
    VirtualLab可用于计算点列图。 wgR@M[]o;  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。  DIu72\  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 f+*2K^B  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 2,e|,N"zN  
    2|NyAtPb5  
    9. 焦平面上的结果 \=G Xe.}4d  
    )J6b:W  
    eg~^wi  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ]zMBZs  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 -qCJwz30  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm <$3nD b-  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 BLH3$*,H  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    W%XS0k}x  
    cp?P@-  
    10. 总结 S| -{wC%  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 nPIR 1Z  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 =cKk3kJC  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ?QIQ,?.  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Umwg iw  
     
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