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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 3B|o   
    eg-,;X#  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 pRj1b^F5y  
    fNx3\<~V=  
    1. 描述 X &6p_Lo  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 _S#uxgL<  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Hay`lA2@  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 NQ!jkojD  
    |,Y(YSg.  
    2. 系统 /nRi19a%xU  
    Jx@3zl  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    iFW)}_.  
    3. 透镜系统组件编辑 M:qeqn+  
    =x~HcsJ8!R  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 _{6QvD3kg.  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 :'!,L0I|t  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 {ls$#a+d  
    包括序列光学表面和光学介质。 Y zSUJ=0/  
    D`LcL|nmH  
    <w.W[ak  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Qsc%qt-l  
    5 d S5,  
    A5zT^!`[  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Z| Z447_  
    可以选择选取光线的方法: Uax- z  
    — 在x-y-网格 >9(lFh0P  
    — 六边形 V7!x-E/  
    — 自由选取 &<-Sxjj  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    wz5xJ:Tj  
    m#mM2Guxe  
    5. 系统的3维视图 < Vr"  
    h \b]>q@  
    HP2]b?C  
    6. 其他系统参数 Ex~[Hk4ow  
    系统由单色平面波照明 jx&pRjP  
    照明波长266.08nm UfSWdR)  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: $cFanra  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2;NIUMAMM  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 =usx' #rb  
    光束尺寸探测器置于焦平面 6';'pHqe  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 qIa|sV\w0  
    JB a:))lw  
    1_THBL26d  
    ;GO>#yg4Eh  
    -82Rz   
    7. 光线追迹系统分析器的结果 %zyO}  
    ~fn2B  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    `AeId/A4n  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    +s c|PB  
    Nrva?W_i  
    LZV  
    L{;q^  
    k`6T% [D]  
    R}a,.C  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 <*~vZT i(  
    -@-cG\{  
    r@0HqZx`  
    VirtualLab可用于计算点列图。 s!``OyI/Z  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ]L%qfy4  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 .0S.7w3dZo  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 gd-4hR  
    a-,!K  
    9. 焦平面上的结果 2GA6@-u\  
    -kxNJ Gc?  
    @kn0f`  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %p)6m 2Sb  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 xxgS!J  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm /pZLt)=P  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 V= U=  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    B@` 87  
    xWD=",0+  
    10. 总结 &xMR{:  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 C] qY  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 v_"p)4&'  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 7-.Y VM~R  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 E$; =*0w  
     
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