示例.0082(1.0)
A5`7o9 @NHRuk+ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 jo(Q`oxm!>
]8_h9ziz 1. 描述 tZ@+18 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 TcP1"wc ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 >=`c [=:Z_ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 R^2Uh$kk{A
QlS5B.h, 2. 系统 ATzNV=2s .3U[@ *b( 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
op|mRJBq; 3. 透镜系统组件编辑 wrO>#`Z
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 #pe{:f?
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 L~oFW'
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 9V66~Bf5
fD~!t 8J *QG3 Jz 4. 光线追迹系统分析器-选项 PD}R7[".> ];I| _fXo% '<0q"juXE
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 {\aSEE/'
■ 可以选择选取光线的方法: `es($7}P_W
— 在x-y-网格 #c^Q<&B
— 六边形 fMQ*2zGu95
— 自由选取 +r0eTP=zf
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^c\ IZ5 Wv0'?NL. 5. 系统的3维视图 }R1`ThTM ' 4~5ez|:
HLe^| 6. 其他系统参数 =GQ^uVf1 ■ 系统由单色平面波照明 |\a:]SlH ■ 照明波长266.08nm 4Z}bw# ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Q@2tT&eL — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 mei_aN7zW — 一个虚拟屏位于焦平面 &Bn; Vi — 光束尺寸探测器置于焦平面 gx*rSS?=N ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 :6u3Mj{ kppRQ Q*[ N}Ks[2 }o^A^ uit-Q5@~ 7. 光线追迹系统分析器的结果 eUkoVr eh(Q^E;* 光线经过整个光学系统的三维视图
v\Y}(fD 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
-WUYE B/=q_.1F> 16QbB; Q==v!"Gi| #tZf>zrs B~>cNj< 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 qd+[ShrhqZ _GO+fB/Q1 {1MGb%xW
■ VirtualLab可用于计算点列图。 zw:C*sY
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 t;!]z-Y>
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 yK077zH_
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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jRG\C=&(x 9. 焦平面上的结果 f9,EWuQNS
P=^#%7J/l
+oy&OKCa
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 .H^P2tp
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 @%<?GNS O
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm hoR=%pC*
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 yIIETE
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 `<J#l;y ahtYSz_FM 10. 总结 o}=. ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 8rwYNb.P ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 UQ3@@:L_ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ns#~}2"d ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 gKN}Of@^1