示例.0082(1.0) 3B|o eg-,;X# 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 pRj1b^F5y
fNx3\<~V= 1. 描述 X&6p_Lo ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 _S#uxgL< ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Hay`lA2@ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 NQ!jkojD
|,Y(YSg. 2. 系统 /nRi19a%xU Jx@3zl 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
iFW)}_. 3. 透镜系统组件编辑 M: qeqn+
=x~HcsJ8!R
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 _{6QvD3kg.
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 :'!,L0I|t
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 {ls$#a+d
■ 包括序列光学表面和光学介质。 YzSUJ=0/
D`LcL|nmH <w.W[ak 4. 光线追迹系统分析器-选项 Qsc%qt-l 5dS5, A5zT^!`[
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Z| Z447_
■ 可以选择选取光线的方法: Uax- z
— 在x-y-网格 >9(lFh0P
— 六边形 V7!x-E/
— 自由选取 &<-Sxjj
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 wz5xJ:T j m#mM2Guxe 5. 系统的3维视图 <Vr" h\b]>q@
HP2]b?C 6. 其他系统参数 Ex~[Hk4ow ■ 系统由单色平面波照明 jx&pRjP
■ 照明波长266.08nm UfSWdR) ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: $cFanra — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2;NIUMAMM — 一个虚拟屏位于焦平面 =usx' #rb — 光束尺寸探测器置于焦平面 6';'pHqe ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 qIa|sV\w0 JB a:))lw 1_THBL26d ;GO>#yg4Eh -82Rz 7. 光线追迹系统分析器的结果 %zyO} ~fn2B 光线经过整个光学系统的三维视图
`AeId/A4n 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
+s
c|PB Nrva?W_i LZV L{;q ^ k`6T% [D] R}a,.C 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 <*~vZT i( -@-cG\{ r@0HqZx`
■ VirtualLab可用于计算点列图。 s!``OyI/Z
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ]L%qfy4
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 .0S.7w3dZo
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
gd-4hR
a -,!K 9. 焦平面上的结果 2GA6@-u\
-kxNJ Gc?
@kn0f`
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %p)6m2Sb
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 xxgS!J
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm /pZLt)=P
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 V=
U=
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 B@` 87 xWD=",0+ 10. 总结 &xMR{: ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 C] qY ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 v_"p)4&' ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 7-.YVM~R ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 E$; =*0w