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    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) <l$ vnq  
    sn yA  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 `/o|1vv@_  
     C@9K`N[*  
    1. 描述 ]|B_3* A  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 4}*V=>z  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 XPMvAZL  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 MN_1^T5  
     Xb1is\JB  
    2. 系统 Dx.hM[  
    Nd**":i$  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    CiIIlE4  
    3. 透镜系统组件编辑 SHqz &2u  
    &IkHP/  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 z=qxZuFkDs  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 BqDOo(%1)  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 z"V`8D  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 "cDc~~3/@  
     ^*WO*f>y  
    py9`q7F  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 HUx -8<ws  
    ,/UuXX  
    CZ ,2Rq  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *ub"!}$st  
    ■ 可以选择选取光线的方法： 2.&%mSN  
    — 在x-y-网格 >S:+&VN`M  
    — 六边形 G[Jz(/yNH  
    — 自由选取 ,ydn]0SS  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     7'R7J"sY`|  
    b R9iqRbn  
    5. 系统的3维视图 )h/Qxf  
    .a}!!\@  
    -m Sf`1l0  
    6. 其他系统参数 pY(S]i  
    ■ 系统由单色平面波照明 +aRHMH  
    ■ 照明波长266.08nm =[`gfw  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： '#CYw=S+  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 qz|xow/ns@  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 4,:)%KB"V  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 }1P v6L(o)  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 d6~d)E  
    WRN}>]NgQ  
    ` NWmwmWB"  
    q8 Rep  
    > `+lEob  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 -d6PXf5  
    wW0m}L  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    D?r% Y  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    B{lL}"++0  
    WmZ,c_  
    61`tQFx,  
    BHZSc(-o  
    IYB;X  
    ph@2[rUp  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 &Y$)s<u8.  
    "nC=.5/$  
    +c\uBrlZQ;  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 UQCond+K  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ^%Fn|U\u  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 v QDkZ  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 pOIfKd  
     hV"2L4/E  
    9. 焦平面上的结果 vz'<i. Yv4  
    \h7XdmA]~  
    Axx{G~n![  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {;?bC'  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 (JeRJ4  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm g<N3 L [  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 LX iis)1  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     r;OE6}L>  
    \|Ya*8V  
    10. 总结 /BfCh(B  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 X>VxE/  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 [LHfH3[gU  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ($:JI3e[;  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 )J!=X`b  
     
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