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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) A5`7o9  
    @NH Ruk+  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 jo(Q`oxm!>  
    ]8_h9ziz  
    1. 描述 tZ@ +18  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 TcP1"wc  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 >=`c [=:Z_  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 R^2Uh$kk{A  
    QlS5B.h,  
    2. 系统 ATzNV=2s  
    .3U[@*b(  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    op|mRJBq;  
    3. 透镜系统组件编辑 wrO>#`Z  
    <?zTnue  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 #pe{:f?  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 L~oFW'  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 {''|iwLr  
    包括序列光学表面和光学介质。 9V66~Bf5  
    fD~!t 8J  
    *QG3Jz  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 PD}R7[".>  
    ];I|_fXo%  
    '<0q"juXE  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 {\aSEE /'  
    可以选择选取光线的方法: `es($7}P_W  
    — 在x-y-网格 #c^Q<&B  
    — 六边形 fMQ*2zGu95  
    — 自由选取 +r0eTP=zf  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ^c\IZ5  
    Wv0'?NL.  
    5. 系统的3维视图 }R1`ThTM  
    ' 4~5ez|:  
    HLe^|  
    6. 其他系统参数 =GQ^uVf1  
    系统由单色平面波照明 |\a:]SlH  
    照明波长266.08nm  4 Z}bw#  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Q@2tT&eL  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 mei_aN7zW  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 &Bn; Vi  
    光束尺寸探测器置于焦平面 gx*rSS?=N  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 :6u3Mj{  
    kppRQ Q*[  
    N}Ks[2  
    }o^A^  
    uit-Q5@~  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 eU koVr   
    eh(Q^E;*  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    v\Y}(fD  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    -WUYE  
    B/=q_.1F>  
    16QbB;  
    Q==v!"Gi|  
    #tZf>zrs  
    B~>cNj<  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 qd+[ShrhqZ  
    _GO+fB/Q1  
    {1MGb%xW  
    VirtualLab可用于计算点列图。 zw: C*sY  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 t;!]z-Y>  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 yK077zH_  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 }E5#X R  
    jRG\C=&(x  
    9. 焦平面上的结果 f9,EWuQNS  
    P=^#%7J/l  
    +oy&OKCa  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 .H^P2tp  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 @%<?GNSO  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm hoR=%pC*  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 yIIETE  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    `<J#l;y  
    ahtYSz_FM  
    10. 总结 o}=.  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 8rwYNb.P  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 UQ3@@:L_  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ns#~}2"d  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 gKN}Of@^1  
     
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