示例.0082(1.0) 8*B+@` )~nieQEZQ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 TOa6sB!H
w0H#M)c 1. 描述 ;GOu'34j ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 "j8=%J{ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 r>*+d|c4 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 6<5:m:KE
8s[1-l 2. 系统 v*As:;D_ ~>0H
k}Hv 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
){eQ.yW 3. 透镜系统组件编辑 Nx*1m
BC
4qsxlN>4O
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 3a ZS1]/
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 +7_U(|gO
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <|82)hO
■ 包括序列光学表面和光学介质。 SlT>S1`rnG
w?N>3`Jnf nr}Ols 4. 光线追迹系统分析器-选项 @k'V`ZQF Ix@B*Xz:` vMJ(Ll7/
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 !yq98I'
■ 可以选择选取光线的方法: alNn(0MG
— 在x-y-网格 U:c0s
— 六边形 ^si[L52BZ
— 自由选取 7#9%,6Yi
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 N cGFPi(Z cg9}T[A 5. 系统的3维视图 Z6Kp-z(l3 5e7\tBab
7(^F@,,@ 6. 其他系统参数 :!?Fq/! ■ 系统由单色平面波照明 !g=b=YK ■ 照明波长266.08nm V+l7W ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: OTJMS_IT — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 !)W#|sys& — 一个虚拟屏位于焦平面 Q0x?OL] A — 光束尺寸探测器置于焦平面 UVgSO|Tg ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 m^TN6/]) M_r[wYt! &2q<#b J}#2Wy^{ Iij$ce`nx 7. 光线追迹系统分析器的结果 r{SDJa XAtRA1. 光线经过整个光学系统的三维视图
&o1k_!25 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
8HIX$OX>2 Acd@BL* Z*h}E mieyL9*n7 @>J(1{m=Gy qcQq.cS_'N 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ];b+f@ $MfRw `R.Pz _oe
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ('\sUZ+5
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 j?k|-0
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 2Yd@V}
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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Ip)u6We>I 9. 焦平面上的结果 A^LS^!Jz
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L>M-D4o
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 NPM2qL9&J
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 yaWY>sB
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 7-}5
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■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 0)
F\aJ4Y
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 TqfL
Sm| 0G33hIOS 10. 总结 {9x>@p/ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 DBLM0*B ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 %^nNt:N0 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Fpeokr"i ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 gG}H5uN