示例.0082(1.0) :\RB ^3; Z] }@#/
n 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 @S):a`J
j
pV 1. 描述 U++UG5 c ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 )}5rs ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 /RJSkF+! ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 \C|06Bs$
]h@:Y] 2. 系统 ]0E- lD0J IQ8AsV&'C 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
xy>mM"DOH 3. 透镜系统组件编辑 &ayoTE^0,
z"`?<A&u
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 +[+Jd)Z
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 p(%x&*)f
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 VTa8.(i6v
■ 包括序列光学表面和光学介质。 %Kp}Wo6
1XRVbQt dGjvSK<1@ 4. 光线追迹系统分析器-选项 $i
Tgv?.Q V"73^ B;Vl+}R
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ]f?LQCTq<b
■ 可以选择选取光线的方法: 0}N^l=jQ
— 在x-y-网格 :8g \B{
— 六边形 o}z}79Z
— 自由选取 ?9A[;j|a0
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )
|a5Qxz @hPbD?)M 5. 系统的3维视图 ok'1 uv!/DX# lhU# /}Z 6. 其他系统参数 ?hYe4tc-# ■ 系统由单色平面波照明 #S)*MT4ke ■ 照明波长266.08nm OMU#Sx!6 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: &\r%&IX/ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 hyp`6?f — 一个虚拟屏位于焦平面 Ql
1# l:Q — 光束尺寸探测器置于焦平面 sEa:p:! ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 oCS NA.z `shB[Lt *RO ~%g NR5A"_' l{4\Wn Va 7. 光线追迹系统分析器的结果 b;{C1aa>} zoU.\]#C 光线经过整个光学系统的三维视图
(@Bm2gH 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
<Jx{Uv ia[wVxd kMA>)\ M<729M 6~s,j({^ JcP'+@X" 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Velmq'n V4>P8cE c/u;v69r
■ VirtualLab可用于计算点列图。 [Zf<r1m
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 jn[a23;G)
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ntT|G0E
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
tXx9N_/
\ gN) GR 9. 焦平面上的结果 -:QyWw/d
1Sy#*
vR,'':
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 +2?[=g4;}
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 LLE~V~j
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm H_Yy.yi
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 !l~hO
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 1#V0g Q [qz6_WOo 10. 总结 3O.-'U1K ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 1L0ku@%t9Y ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ?OSd8E+itM ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 xfzR>NU ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 YANEdH`d