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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) :\RB ^3;  
    Z] }@#/ n  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 @S):a`J  
    j pV  
    1. 描述 U++UG5c  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 )}5r s  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 /RJSkF+!  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 \C|06Bs $  
    ]h@:Y]  
    2. 系统 ]0E-lD0J  
    IQ8AsV&'C  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    xy>mM"DOH  
    3. 透镜系统组件编辑 &ayoTE^0,  
    z"`?<A&u  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 +[+ Jd)Z  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 p(%x&*)f  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 VTa8.(i6v  
    包括序列光学表面和光学介质。 %Kp}Wo6  
    1XRVbQt  
    dGjvSK<1@  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 $i Tgv?.Q  
    V" 73^  
    B;Vl+}R  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ]f?LQCTq<b  
    可以选择选取光线的方法: 0}N^l=jQ  
    — 在x-y-网格 :8g \B{  
    — 六边形 o}z}79Z  
    — 自由选取 ?9A[;j|a0  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ) |a5Qxz  
    @hPbD?)M  
    5. 系统的3维视图 ok'1  
    uv!/DX#  
    lhU#/}Z  
    6. 其他系统参数 ?hYe4tc-#  
    系统由单色平面波照明 #S)*MT4ke  
    照明波长266.08nm OMU#Sx!6  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: &\r%&IX/  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 hyp`6?f  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Ql 1# l:Q  
    光束尺寸探测器置于焦平面 sEa:p: !  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 oCS NA.z  
    `shB[Lt  
    *RO ~%g  
    NR5A"_'  
    l{4\Wn Va  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 b;{C1aa>}  
    zoU.\]#C  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    (@Bm2gH  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    <Jx{Uv  
    ia[wVxd  
    kMA>)\  
    M<729M  
    6~s,j({^  
    JcP'+@X"  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Velmq'n  
    V4>P8cE  
    c/u;v69r  
    VirtualLab可用于计算点列图。 [Zf<r1m  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 jn[a23;G)  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ntT| G0E  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 tXx9N_/  
    \ gN) GR  
    9. 焦平面上的结果 -:QyWw/d  
    1Sy#*  
    vR,'':  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 +2?[=g4;}  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 LLE~V~j  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm H_Yy.yi  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 !l~hO  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    1#V0g Q  
    [q z6_WOo  
    10. 总结 3O.-'U1K  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 1L0ku@%t9Y  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ?OSd8E+itM  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 xfzR>NU  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 YANEdH`d  
     
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