示例.0082(1.0) 'tK5s>gv< ^.Y"<oZSS 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 />fy@nPl|
gO-C[j/ 1. 描述 TRG(W^<F ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 8:,E=swe ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Oqzz9+ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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d>:(>@wz 2. 系统 }Jt( H HxJKS*H; 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
4%O*2JAw 3. 透镜系统组件编辑 )AOD~T4s7
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 tx;DMxN!W
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {Q8DPkW
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +M%i3A
■ 包括序列光学表面和光学介质。 lpkg(J#&
XtfO;` }*l V 4. 光线追迹系统分析器-选项 TEOV>Tt GP ;c$pC N m-{$U
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 yv4ki5u`
■ 可以选择选取光线的方法: ABEC{3fWpu
— 在x-y-网格 U:>'^tkp
— 六边形 ^z3-$98=A
— 自由选取 C,C%1
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 jz c/Olb NtMK+y 5. 系统的3维视图 ")7,ZN; )NZ6!3[@
}.|\<8_ 6. 其他系统参数 .EVy?-
■ 系统由单色平面波照明 vBsd.2t~ ■ 照明波长266.08nm w3:WvA5jt ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: !mK[kXo — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 hNUAwTH6 — 一个虚拟屏位于焦平面 N]: "3?% — 光束尺寸探测器置于焦平面 sd\>|N?' ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 c+AZ(6O?\ 94%gg0azp [.B)W); CFqoD l vTjgW?9 7. 光线追迹系统分析器的结果 "!XeK| Wi ayyn6a8 光线经过整个光学系统的三维视图
La?q> 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
PaV [{CD zfL$z,zgf =<(:5ive nL@
"FZ`( {6)fZpd)@ I"@X~Y7} 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 W^0F(9~!( 8rXq-V_u ([UuO}m-
■ VirtualLab可用于计算点列图。 W5(t+$L.
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 (?xGlV`n
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 j11 \t
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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JU:!lyd 9. 焦平面上的结果 zB\g'F/
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 wq_c^Ioy
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 y#HD1SZ
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm O/gok+K
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 zy4AFW
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 F
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>joGGT 10. 总结 j2lo~J) ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 )V JAs| ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 +%X_+9bd ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 - t4"BD ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 rfYu8-