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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 'tK5s>gv<  
    ^.Y"<oZSS  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 />fy@nPl|  
    gO-C[j/  
    1. 描述 TRG(W^<F  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 8:,E=swe  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Oqzz9+  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 v#0R   
    d>:(>@wz  
    2. 系统 }J t( H  
    HxJKS*H;  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    4%O*2JAw  
    3. 透镜系统组件编辑 )AOD~T4s7  
    fclmxTy  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 tx;DMxN!W  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {Q8DPkW  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +M%i3A  
    包括序列光学表面和光学介质。 lpkg( J#&  
    XtfO;`   
    }*l V  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 TEOV>Tt  
    GP ;c$pC  
    N m-{$U  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 yv4ki5u`  
    可以选择选取光线的方法: ABEC{3fWpu  
    — 在x-y-网格 U:>'^tkp  
    — 六边形 ^z3-$98=A  
    — 自由选取 C,C%1  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    jzc/Olb  
    NtMK+y  
    5. 系统的3维视图 ")7,ZN;  
    )NZ6!3[@  
    }.|\<8_  
    6. 其他系统参数 .EVy?-   
    系统由单色平面波照明 vBsd.2t~  
    照明波长266.08nm w3:WvA5jt  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: !mK[kXo  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 hNUAwTH6  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 N]: "3?%  
    光束尺寸探测器置于焦平面 sd\>|N?'  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 c+AZ(6O ?\  
    94%gg0azp  
    [.B)W);  
    CFqoD l  
    vTjgW?9  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 "!XeK|Wi  
    ayyn6a8  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    La? q>  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    PaV[{ CD  
    zfL$z,zgf  
    =<(:5ive  
    nL@ "FZ`(  
    {6)fZpd)@  
    I"@X~Y7}  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 W^0F(9~!(  
    8rXq-V_u  
    ([UuO}m-  
    VirtualLab可用于计算点列图。 W5(t+$L.  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 (?xGl V`n  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 j11\t  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 mp0p#8txi  
    JU:!lyd  
    9. 焦平面上的结果 zB\g'F/  
    ?AP2Opsl  
    (.P;VH9R\  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 wq_c^Ioy  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 y#HD1SZ  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm  O/gok+K  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 zy4AFW  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    F }pS'Y  
    >joGG T  
    10. 总结 j2lo~J)  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 )V JAs|  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 +%X_+9bd  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 - t4"BD  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 rfYu8-  
     
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