示例.0082(1.0) \J?l7mG xlHC?d0} 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 9{(A-
cy%S5Rz 1. 描述 J|gRG0O9Ya ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Osj/={7g ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 \~4IOu ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 W&'[Xj
\|wUxijJ*, 2. 系统 p2)563#RS @TqqF:c7 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
q"OJF'>w5 3. 透镜系统组件编辑 muZ6 }&4
*y@Xm~ld
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 b$,~S\\c
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 c:OFBVZ
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 VKtZyhK"h
■ 包括序列光学表面和光学介质。 MzP
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O&vE 5%x yr"BeTrS. 4. 光线追迹系统分析器-选项 &40# _>W7 r,FPTf
7#G8qh<
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 !h[xeLlU
■ 可以选择选取光线的方法: ,+mH1#-3
— 在x-y-网格 !$1'q~sO
— 六边形 W_\~CntyZ
— 自由选取 %j7HIxZh
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 L2$`S'U W /ZpwJc`e 5. 系统的3维视图 #@^mA{Dt5 ZPO+ #,
4eh~/o&h 6. 其他系统参数 UifuRmn ■ 系统由单色平面波照明 $bdtiD ■ 照明波长266.08nm k __MYb ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: }s>.Fh — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 A&8{0 — 一个虚拟屏位于焦平面 _=*ph0nu — 光束尺寸探测器置于焦平面 a|u&N:v7B ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ab/^z0GT >$ok3-tuU iI
4XM>`a Kx<T;iJ} )o[Jxu' 7. 光线追迹系统分析器的结果 D&C83^m wSGW_{;- 光线经过整个光学系统的三维视图
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bQh'! 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
b>_eD- |u5Xi5q.f Hp}d m93T 7sglqf> x4 .Y&Wq# M"l<::z 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 +@5@`"Jry ~V`F5B |w)S
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 |(Q !$
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 \'[C_+;X
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 G~$[(Fhk
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
-q6d&D'B+
J~=tR1k 9. 焦平面上的结果 16Gp nb
9&VfbrBM
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %!HBPLk
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 z pV+W-j]
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm c!20((2|I
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 "H"4]m1Wc
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ^\Gukkmh} J*}Qnl + 10. 总结 F4$N:Jkl ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 U?W?VEOO!7 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 $1< ~J ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 @Z{!T)#}j ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 9d8bh4[