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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) \J?l7mG  
    xlHC?d0}  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸  9{(A-  
    cy%S5Rz  
    1. 描述 J|gRG0O9Ya  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Osj/={7g  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 \~4IOu  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 W&'[Xj  
    \|wUxijJ*,  
    2. 系统 p2)563#RS  
    @TqqF:c7  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    q"OJF'>w5  
    3. 透镜系统组件编辑 muZ6}&4  
    *y@Xm~ld  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 b$,~S\\c  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 c:OFBVZ   
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 VKtZyhK"h  
    包括序列光学表面和光学介质。 MzP q(`W  
    O&vE 5%x  
    yr"BeTrS.  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 &40# _>W7  
    r,FPTf  
    7#G8qh<  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 !h[xeLlU  
    可以选择选取光线的方法: ,+mH1#-3  
    — 在x-y-网格 !$1'q~sO  
    — 六边形 W_\~CntyZ  
    — 自由选取 %j7HIxZh  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    L2$`S'UW  
    /ZpwJc`e  
    5. 系统的3维视图 #@^mA{Dt5  
    ZPO+ #,  
    4eh~/o&h  
    6. 其他系统参数 UifuRmn  
    系统由单色平面波照明 $bd tiD  
    照明波长266.08nm k  __MYb  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: }s>.Fh  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。  A&8{0  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 _=*ph0nu  
    光束尺寸探测器置于焦平面 a|u&N:v7B  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ab/^z0GT  
    >$ok3-tuU  
    iI 4XM>`a  
    Kx<T;iJ}  
    )o[Jxu'  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 D&C83^m  
    wSGW_{;-  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    .`; bQh'!  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    b>_eD-  
    |u5Xi5q.f  
    Hp}dm93T  
    7sglqf>  
    x4 .Y&Wq#  
    M"l<::z  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 +@5@`"Jry  
    ~V`F5B  
    |w)S &+  
    VirtualLab可用于计算点列图。 |(Q !$  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 \'[C_+;X  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 G~$[(Fhk  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 -q6d&D'B+  
    J~=tR1 k  
    9. 焦平面上的结果 16Gp nb  
    9&VfbrBM  
    *v6 j7<H  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %!HBPLk  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 z pV+W-j]  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm c!20(( 2|I  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 "H"4]m1Wc  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ^\Gukkmh}  
    J*}Qnl+  
    10. 总结 F4$N:J kl  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 U?W?VEOO!7  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 $1< ~J  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 @Z{!T)#}j  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 9d8bh4[  
     
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