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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 6rN.)dL.#N  
    X`fer%`  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 8]xYE19=  
    i?'|}tK  
    1. 描述 )^j62uv  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 8l >Xbz  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 <4.j] BE  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 p4z thdN[  
    iB5'mb*  
    2. 系统 1 abQoe  
    h|OWtf4  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Er<!8;{?  
    3. 透镜系统组件编辑 ?~tx@k$;Es  
    X1^Q1?0  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。  OF O,5  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Dh)(?"^9A  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 c2fw;)j&X  
    包括序列光学表面和光学介质。 !Mj28  
    8Bx58$xRq  
    =!DpWVsQ  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 =s,}@iqNO4  
    -mG ,_}F  
    >lF@M-  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 E*d UJ.>  
    可以选择选取光线的方法: 'm.+S8  
    — 在x-y-网格 G@scz!Nt  
    — 六边形 0t6DD  
    — 自由选取 Jo:S *D  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    '8;'V%[+  
    G$;cA:p-j  
    5. 系统的3维视图 zB'_YwW  
    O[F  
    5'n$aFqI  
    6. 其他系统参数 Zhc99L&K  
    系统由单色平面波照明 t@q==VHF  
    照明波长266.08nm aq - |  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ?vQ:z{BO  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 #q6#nfi"  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ,91n  
    光束尺寸探测器置于焦平面 L)"CE].  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +6:jm54  
    D_ XOYzN}  
    yacN=]SW5  
    Em(Okr,0  
    FA{(gib@9  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ;Swy5z0=ro  
    uj+{ tc  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    |g1Pr9{wy  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    C@u}tH )  
    >tm4Rg~y  
    %$67*pY'JH  
    5E =!L g  
    -Sa-eWP  
    Y)DF.ca(  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 aev(CY,z  
    }H|'W[Q.  
    }4kQu#0o")  
    VirtualLab可用于计算点列图。  '3xK1Am  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 g nw">H  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 0/uy'JvWru  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 >v )V2,P -  
    vb3hDy  
    9. 焦平面上的结果 Ezr q2/~Q  
    gObafIA  
    yYdh+x  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 +3Z+#nGtk  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 nK#%Od{GF  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm v ,zD52  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 mSGpxZ,IE  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    8Z3:jSgk  
    M"6J"s  
    10. 总结 g!^mewtd  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ~cV";cD5  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 *'@ sm*  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ,s/laZ)V  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 gZ8JfA_\R(  
     
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