示例.0082(1.0) 6rN.)dL.#N X`fer%` 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 8]xYE19=
i?'|}tK 1. 描述 )^j62uv ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 8l
>Xbz ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 <4.j]BE ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 p4z
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iB5'mb* 2. 系统 1abQoe h|OWtf4 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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3. 透镜系统组件编辑 ?~tx@k$;Es
X1^Q1?0
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 OF O,5
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Dh)(?"^9A
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 c2fw;)j&X
■ 包括序列光学表面和光学介质。 !Mj28
8Bx58$xRq =!DpW VsQ 4. 光线追迹系统分析器-选项 =s,}@iqNO4 -mG ,_}F >lF@M-
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 E*d UJ.>
■ 可以选择选取光线的方法: 'm.+ S8
— 在x-y-网格 G@scz!Nt
— 六边形 0t6DD
— 自由选取 Jo:S*D
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 '8;'V%[+ G$;cA:p-j 5. 系统的3维视图 zB'_YwW O[ F
5'n$aFqI 6. 其他系统参数 Zhc99 L&K ■ 系统由单色平面波照明 t@q==VHF ■ 照明波长266.08nm aq- | ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ?vQ:z{BO — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 #q6#nfi" — 一个虚拟屏位于焦平面 ,91 n — 光束尺寸探测器置于焦平面 L)"CE]. ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +6:jm54 D_ XOYzN} yacN=]SW5 Em(Okr,0 FA{(gib@9 7. 光线追迹系统分析器的结果 ;Swy5z0=ro uj+{
tc 光线经过整个光学系统的三维视图
|g1Pr9{wy 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
C@u}tH
) >tm4Rg~y %$67*pY'JH 5E
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g -Sa-eWP Y)D F.ca( 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 aev(CY,z }H|'W[Q. }4kQu#0o")
■ VirtualLab可用于计算点列图。 '3xK1Am
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 gnw">H
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 0/uy'JvWru
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
>v)V2,P
-
vb3hDy 9. 焦平面上的结果 Ezr q2/~Q
gObafIA
yYdh+ x
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 +3Z+#nGtk
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 nK#%Od{GF
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm v
,zD52
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 mSGpxZ,IE
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 8Z3:jSgk M"6J"s 10. 总结 g!^mewtd ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ~cV";cD5 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 *'@sm* ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ,s/laZ)V ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 gZ8JfA_\R(