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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) `r9^:TMN  
    ebD{ pc`&  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 "Y(%oJS]D  
    ;3 dM@>5[  
    1. 描述 dL(4mR8  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 sOC| B  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _]_LF[  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 YZ{;%&rB  
    R{ 4u|A?9  
    2. 系统 8ur_/h7  
    S}O5l}E  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    $4: ~* IQ  
    3. 透镜系统组件编辑 X; 5S  
    H<{*ub4'L*  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 MKe *f%  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 "|\94  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 qWkx:-g]  
    包括序列光学表面和光学介质。 CCy .  
    lvG3<ls0K$  
    2t.fD@  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 6XZN>#  
    0x6@{0  
     @}Pw0vC  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 }0krSzcn#,  
    可以选择选取光线的方法: sbpu qOL  
    — 在x-y-网格 U <|B7t4M  
    — 六边形 br10ptEx  
    — 自由选取 hN!.@L  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    2pw>B%1WP)  
    B piEAwh  
    5. 系统的3维视图 3!1&DII4  
    &KLvr|  
    qP@L(_=g  
    6. 其他系统参数 QK,=5~IJ  
    系统由单色平面波照明 Jr|K>  
    照明波长266.08nm "rL"K  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: '\4c "Ho  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 eNHpgj  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 vxF:vI# @  
    光束尺寸探测器置于焦平面 _8Pmv$   
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ?#x'_2  
    `AB~YX%(  
    5X#i65_-  
    hwc:@'  
    8U8P g2  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 .Ydr[  
    oXvdR(Sb^  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    l A 0-?k  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    3KB| NS  
    "Wxo[I  
    ?]759,Q3L  
    JvT %R`i  
    8|fLe\"  
    +!D=SnBGs  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 +?ws !LgF  
    \z&03@Sw  
    uv?8V@x2  
    VirtualLab可用于计算点列图。 A&x ab  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 't||F1X~J  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 AEiWL.*.  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 vQ?MM&6  
    Cij$GYkv  
    9. 焦平面上的结果 Zb 12:?  
    9;}L{yve  
    ]t8{)r  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 m 4wPuW  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 @2)t#~Wc4h  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm L{4),65  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 3U :YA&K(  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    o6`Y7,]  
    "it`X B.  
    10. 总结 ay!6 T`U`  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0[_O+u  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 k^L#,:\&V  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Q"x`+?!  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 PmuEL@'^ U  
     
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