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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) !_Y%+Rkp0  
    mmwc'-jU:  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 }vZfp5Y  
    I!F&8B+|  
    1. 描述 oG22;  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 &2:WezDF  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 g&RhPrtl  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Nj4r[5K  
    ;xq;c\N  
    2. 系统 0R unex[  
    MuO(%.H  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Qv,ORm h5  
    3. 透镜系统组件编辑 1V5N)ty  
    ^Zpz@T>m  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 E5gt_,j>  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 B$c'^ )  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 4Tuh]5  
    包括序列光学表面和光学介质。 (| O(BxS  
    LP7jCt  
    :V"e+I  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 /W>?p@j+K  
    c9gm%  
    @6_w{6:b  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 T#E,^|WEk  
    可以选择选取光线的方法: 0XE6H w  
    — 在x-y-网格 ,X| >d  
    — 六边形 vzAY+EEx  
    — 自由选取 %N\45nYU:  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    K\}qY dPF  
    EP4?+"Z  
    5. 系统的3维视图 =s AOWI,8!  
    M$v\7vBgO!  
    c~M'O26bW  
    6. 其他系统参数 V 7 p{'C   
    系统由单色平面波照明 *` -  
    照明波长266.08nm B*`[8kb,  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: }q_Iep  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 heES [  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ,~=+]9t  
    光束尺寸探测器置于焦平面 9;gy38.3  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Cs]\3R|D`  
    Ayw {I#"  
    K_j*9@  
    ktY  
    yqb$,$  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Nc EPPl 0I  
    tR=1.M96Y  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    x;JC{d#  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    w$qdV,s 7  
    Fyz1LOH[X  
    HlxgJw~<  
    7 A{R0@  
    0 4ceDe  
    ,=u!hg  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 sEb*GF*.V  
    ~!fOl)F  
    c~Y  g(  
    VirtualLab可用于计算点列图。 #%CB`l  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 qpB8ujj<V  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Wsw/ D  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 =b3<}]  
    fQfd1=4  
    9. 焦平面上的结果 a{I(Qh!}  
    "f!H[F1~  
    P#KT lH  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 St3/mDtH  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 pr \OjpvD  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm G7#<Jo<8  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 meD?<g4n~"  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    n~yhX%=_Du  
    K}dvXO@=|c  
    10. 总结 |r`0< `  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \S#![NC  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 lt C  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;:~-=\  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 d-UQc2r  
     
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