示例.0082(1.0) 3ZT/>a>@ i2`.#YJ&v 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ]l9,t5Y
PprQq_j 1. 描述 h7Shl<f ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 LRfFn^FPM ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 7%~VOB ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 hO:)=}+H
[rD+8,zVm 2. 系统 $j$\ccG FRs|!\S= 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
z22|Kv;w 3. 透镜系统组件编辑 &@`H^8
^ mQ;CMV
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 h|$zHm
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 )dzjz%B)
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 (STWAwK-
■ 包括序列光学表面和光学介质。 z[<pi:
iq[2H$ reD[j,i&t. 4. 光线追迹系统分析器-选项 ^*4(JR
SWe!9Y$ Xs#?~~"aC
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ^$Me#ls!
■ 可以选择选取光线的方法: 4)c"@Zf
— 在x-y-网格 SIyS.!k>
— 六边形 &Pn%zfmMN
— 自由选取 ,<Do ^HB/
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 m+G0<E% ~-o^eI4_ 5. 系统的3维视图 &<[]X@ bY SFm.<^6
qH}62DP3 6. 其他系统参数 r4z}yt+ ■ 系统由单色平面波照明 ~O7cUsAi' ■ 照明波长266.08nm joSr,'x ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: y:(C=*^<t — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 1v8:,!C — 一个虚拟屏位于焦平面 njx\$,ruN — 光束尺寸探测器置于焦平面 G~mB=] ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 } cH"lppX 6nhfI\q3wY hPCSLJ |Jx2"0:M _sD]Viqc 7. 光线追迹系统分析器的结果 z2EI"'4\9 ysw6hVb 光线经过整个光学系统的三维视图
Fr Q-v]c 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
e]L3=R; bI6V &Dd ^.$r1/U VIlQzM;%^ 8^ ZM U{ ef1N#z%gt 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 TVEF+t dpOL1rrE ZkVvL4yIK
■ VirtualLab可用于计算点列图。 )]e d;V
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 V,*0<7h
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 5)zj){wL
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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-|iA!w#31 9. 焦平面上的结果 }A&Xxh!Fwo
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ,-NLUS
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■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 1'._SMP
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Ia>th\_&
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 yl]Cm?8
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Fq\`1Ee{ otnY{r* 10. 总结 \crb&EgID ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 )T~ +>+t ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 MxvxY,~{0 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 !6i ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 mDt",#g