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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 9m%7dsv  
    ON:LPf>"-  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 \a{Aa  
    ~+sne7 6 U  
    1. 描述 PpX{+^z-%  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Q3 K;kS  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 113Z@F  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9nP*N`  
    DR.3 J`?K  
    2. 系统 g_3rEvf"4  
    Ws2prh^e(  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    /ig^7+#  
    3. 透镜系统组件编辑 },?-$eyX  
    -~QlHp&SY  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 |N phG|  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ;g;,%jdCS  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |[lxV&SD .  
    包括序列光学表面和光学介质。 yb@X*PW/z  
    cP}5}+  
    TMnT#ypf<5  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 I v 80,hW  
    E9~&f^f  
    ?M*C*/R  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :X1`wBu  
    可以选择选取光线的方法: DzX6U[=  
    — 在x-y-网格 KD[)O7hYC  
    — 六边形 D@/9+]-,  
    — 自由选取 7v4-hfN  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    >tE,8  
    C9"f6>i  
    5. 系统的3维视图 NKIkd  
    ]5qjK~,4b  
     RU3_Fso  
    6. 其他系统参数 \kua9bK  
    系统由单色平面波照明 QjW~6Z.tI  
    照明波长266.08nm VfJX<e=k  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ;DT"S{"7  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 8ESkG  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 RP ScP  
    光束尺寸探测器置于焦平面 |r<.R>  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ;I0yQlx|U  
    3!ajvSOI9j  
    Px^<2Q%Fs  
    o$qFa9|Ec?  
    A ydy=sj  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 &L[8Mju6  
    x r+E  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    B<|q{D$N/  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    IAt+S-q0  
    N?`GZ+5  
    u:{. Hn`  
    NZi'eZ{^`  
    5BGv^Qb_2  
    HeAc(_=C  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .[eSKtbc)  
    s]V{}bY`  
    U 8 .0L  
    VirtualLab可用于计算点列图。 OM.(g%2  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 p lz=G}Y  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 QKL]O*  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 pqNoL* H  
    ua.6?W)  
    9. 焦平面上的结果 +$pO  
    #!F8n`C-  
    JqH.QnKcv  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ) Sh;UW  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 @?($j)9}  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm %CfTqbB  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 (HP={MrV  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    *^&iw$Qx3  
    "}azC|:5  
    10. 总结 B+e~k?O]1  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @tU>~y{E  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :Q%yW%St$  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 h hNFp  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ^LAS9K1.  
     
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