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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) :<qe2Z5k  
    hC<ROD  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 h<G4tjtk  
    q-JTGCFl  
    1. 描述 n%&L&G  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 qVn<c,8#  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 +` Md5.w  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 j<t3bM-G  
    iS$[dC ?N  
    2. 系统 TpKAdrY  
    F^yW3|Sb  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Y!<m8\  
    3. 透镜系统组件编辑 KZppQ0  
    (C!p2f  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 u\*9\ G  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 E3uu vQ#|  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 l00i2w  
    包括序列光学表面和光学介质。 \=ML*Gi*  
    t? GH V3V  
    v"G1vSx)BT  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 pDR~SxBXr  
    v Y[s#*+  
    tIuM9D{P  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Y Zj-%5  
    可以选择选取光线的方法: nGF +a[Z  
    — 在x-y-网格 1sqE/-v1_^  
    — 六边形 TA[%eMvA  
    — 自由选取 ?xj8a3F  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    u H[WlZ4  
    Rt8[P6e"q  
    5. 系统的3维视图 PtfG~$h?  
    C >*z^6Gz  
    rqamBm 5  
    6. 其他系统参数 *S;}&VAZ  
    系统由单色平面波照明 C]ss'  
    照明波长266.08nm l]]NVBA])  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 'UhoKb_p  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 YdhTjvx  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 hi8q?4jE  
    光束尺寸探测器置于焦平面 f8Hq&_Pn   
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 u[GZ~L  
    ^j<v~GT x+  
    *rq*li;  
    G+ /Q!ic  
    (?qCtLZ  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 [DaAvN^0A  
    Yk Ku4f  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    s%jBIeh  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    !1$x4 qxS  
    1w>[&#7  
    w  S  
    :\;9y3  
    I-#!mFl  
    # &v4c  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 FQWjL>NB  
    yq~  
    ;As~TGiT  
    VirtualLab可用于计算点列图。 v `S5[{6  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .}dLqw  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ,cxqr3 o  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 4&*lpl*N  
    f.g!~wGD  
    9. 焦平面上的结果 rc=E%Qv%?  
    3p#UEH3  
    7ZUN;mr  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 SgU@`Pb  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 [MeivrJ+  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Il =6t  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 eXl?f_9  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    D^r g-E[L  
    neEqw +#Z  
    10. 总结 h[(YH ;Y  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ]5'*^rz ^  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 OS[ s Qo5  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 K'&,]r#  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Jk.x^  
     
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