示例.0082(1.0) [i&tE.7 n287@Y4Ru 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 o]k[l;
~%sDQt\S 1. 描述 /=-E`%R}! ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 D{G#|&; ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Xv'64Nc!; ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 '9RHwKu&s
Wc+ e>* 2. 系统 \w`Il"}V E%$FX'8& 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
cvc.-7IO 3. 透镜系统组件编辑 c{&sf
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 oR3$A :!P=
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 eJ?SLMLY
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 6:h!gY
■ 包括序列光学表面和光学介质。 wdp4- *
QMkLAZ BfhOe~+i 4. 光线追迹系统分析器-选项 &uk?1Z#j sy]1Ba% EI/_=.d
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 a0.)zgWr
■ 可以选择选取光线的方法: h{>8W0W*
— 在x-y-网格 hQX|wWh
— 六边形 qt3\*U7x
— 自由选取 Bv/v4(G5g
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 McA, TrHBbyqk 5. 系统的3维视图 k deJB- ?2.<y_1
G =lC[i 6. 其他系统参数 ,!Ah+x ■ 系统由单色平面波照明 4J_18.JHP ■ 照明波长266.08nm |ukEnjI`u ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: :a`l_RMU — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 <;_X=s`f, — 一个虚拟屏位于焦平面 ~sk 4v:- — 光束尺寸探测器置于焦平面 oBIKtS*L ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 c)lMi}/ u QCQ$ QDSB
<0j CQ13fu+|6 3D%I=p( 7. 光线追迹系统分析器的结果 g3"`b)M wn|Sdp 光线经过整个光学系统的三维视图
YZ'gd10T 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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$S o3%Gc/6% G$`/86A ) n?:s/6tP M-0BQs`N *Q5/d9B8TN 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 7FfzMs[\e |8V+(Vzl G9^!=
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 b+3{ bE
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 8+
Hho@=
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 +FyG{1?<
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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6(X(f;MEl 9. 焦平面上的结果 YHg4WW$
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 MJDFm,
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 +*F ;l\R
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Q>= :$I
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ={8ClUV#
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 QnVYZUgJeV r!j_KiUy 10. 总结 )1&[uE#L ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 * UBU? ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 8 w^i ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 *G2p;n=2 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 v(]\o;/O