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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) pn|p(6  
    \y[Bu^tk  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 7Nd*,DV_  
    ]NbX`'  
    1. 描述 E]\D>[0O  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 4}+xeGA$  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 `i=JjgG@  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ZGA)r0] P`  
    B%TXw#|  
    2. 系统 +:fqL  
    <"hb#Tn  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    U?JiVxE^  
    3. 透镜系统组件编辑 $Z,i|K;  
    t8t}7XD   
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A<mj8qz  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 txj wZ_p  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;R/k2^uF  
    包括序列光学表面和光学介质。 +ylxezc  
    1RCXc>}/  
    T"n>h  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 mfu*o0   
    @>M8Pe  
    zhuy ePn  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 s.VUd R"  
    可以选择选取光线的方法: D LNa6  
    — 在x-y-网格 zt-'SY  
    — 六边形 rn5"o8|  
    — 自由选取 .Ln;m8  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    O|HIO&M  
    \d `dV0X  
    5. 系统的3维视图 ov?.:M  
    '.]e._T  
    dNOX&$/=  
    6. 其他系统参数 cSY2#u|v  
    系统由单色平面波照明 Ko1AaX(I'+  
    照明波长266.08nm  KYnW7|*  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: kyy0&L  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 [SCw<<l<  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 _L?v6MTj  
    光束尺寸探测器置于焦平面 C<r(-qO{5  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ` %FIgE^  
    xIS\4]F?r  
    Ix*BI9E  
    vh<]aiY  
    "V*kOb&'*Z  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Zx}N Fcn  
    9=Y,["br$_  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    zWF 5m )-  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    v9Z lNA7m!  
    WpXODkQL  
    Py|H? ,6=  
    Q mb[ e>  
    UiJ^~rn  
    o,*folL  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1bV2  
    _ff=B  
    h g%@W  
    VirtualLab可用于计算点列图。 6Y;Y}E  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 4a(g<5wfI  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Z_iAn TT  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Y&?|k'7  
    >/7KL2*  
    9. 焦平面上的结果 T^/Gj|N*  
    t` }20=I+  
    }u(d'9u  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 )z]q"s5 Y  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 anHBy SI3  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm B'G*y2UnG  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 "wT ~$I"  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Ov $N"  
    (t]lP/  
    10. 总结 v\vE^|-\/  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 o~i]W.SI(  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 o7_MMeQ4  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ?RgU6/2  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 jw:4fb  
     
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