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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) +FBUB  
    ;%<R>gDWv  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 \s@7pM=(  
    ?.~hex#M@  
    1. 描述 GE!fh1[[u  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 "Nh}_jO  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 l\DcXgD x  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Q13>z%Rge  
    rYfN  
    2. 系统 #\T5r*W  
    zf.&E3Sn  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    r"hogmFD;  
    3. 透镜系统组件编辑 :$f9(f&  
    -VafN   
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 YsA.,   
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 \1f&D!F]b  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 %SC%#_7  
    包括序列光学表面和光学介质。 -oMp@2\e  
    EHlkt,h*  
    V+>.Gf  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 SLjSNuOP  
    7f_tH_(  
    ^77X?nDz=h  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 @#1T-*  
    可以选择选取光线的方法: d#cEAy  
    — 在x-y-网格 O <#H5/Tq  
    — 六边形 &<$YR~g5j$  
    — 自由选取 }HLV'^"k  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    D:.1Be`Tv  
    AD@-H0Y  
    5. 系统的3维视图 *Hed^[sO  
    \Pt_5.bTs[  
    VI(2/**  
    6. 其他系统参数 LQDU8[-  
    系统由单色平面波照明 p;P cD  
    照明波长266.08nm \agT#tT J  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: lr~c w#h*  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 hMQh?sF/  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 <E1ngG  
    光束尺寸探测器置于焦平面 )ad6>Y  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 :&\^r=D  
    Cp!Qd e  
    x~n]r[!L  
    0~=>:^H'`q  
    "jA?s9  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 lCxPR'C|  
    2E_d$nsJ  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    -esq]c%3  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    "Cn<x\E b  
    MgrJ ;?L  
    GI[XcK^*w  
    nmy!.0SQ-  
     r NT>{  
    ^#p+#_*V  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 i$"M'BG  
    Y:KIaYkk  
    %=<Kb\  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Ek,$XH  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 } U_z XuUz  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ?a{es!  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 |L%d^m  
    .EdQ]c-E=  
    9. 焦平面上的结果 g>;u} +lO  
    ]h 4r@L3  
    Gid6,J  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 oQ/ Dg+Xp  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。  zPW_  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Cy2)M(RW  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 p{W'[A{J .  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    C~q&  
    )Nkf'&  
    10. 总结 :7DXLI|L#?  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 `71(wf1q[f  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 W*.6'u)9  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 NsUP0B}.  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 u[+/WFH  
     
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