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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) k~+(X|!5w  
    ]x<`(  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 B^C!UWN>%X  
    r|W 2I,P  
    1. 描述 V(A p|I:G  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 IS9}@5`'  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 VM[U&g<8n  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7UzbS,$x  
    M^twD*  
    2. 系统 *'&mcEpg  
    j9XRC9   
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Sy?O(BMo  
    3. 透镜系统组件编辑 WP b4L9<  
    j4hiMI;  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 7[}K 2.W.  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Z F&aV?  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Mw,7+  
    包括序列光学表面和光学介质。 TtZ '~cGR  
    u_~*)w+mS@  
    4?s ~S. %  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Spt]<~  
    ^A"TY  
    zld[uhc>  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Np?%pB!Q  
    可以选择选取光线的方法: B-`,h pp  
    — 在x-y-网格 a?]"|tQ'  
    — 六边形 hQT  p&  
    — 自由选取 y:>'1"2`  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    qbwX*E~ ;  
    zYW+Goz/C  
    5. 系统的3维视图 OE4hG xG  
    `J(im  
    ee0)%hc1t  
    6. 其他系统参数 wgeR%#DW  
    系统由单色平面波照明 L-}6}5[  
    照明波长266.08nm #A RQB2V  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: $&!i3#FF  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 >#Obhs|S{C  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 @},25"x)  
    光束尺寸探测器置于焦平面 [-$:XOO  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 !N@d51T=N  
    9Un3La8PX  
    H(~:Ajj+zQ  
    S1B^FLe7X  
    {M.OOEcIp  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 \UF/_'=K  
    _+vE(:T  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    jM'kY|<g;  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    #nv =x&g  
    mT7B#^H  
    Hlr[x  
    el;eyGa  
    ])sIQ{P  
    g{_wMf  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 'fqX^v5n  
    qkEre  
    k\qF> =  
    VirtualLab可用于计算点列图。 /ehmy(zL  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 122%KS  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [vJLj>@  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 (rHS2SA\5  
    <h*r  
    9. 焦平面上的结果 a%"27 n(M  
    t Lz,t&h  
    R@+%~"Z  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 l. 9 i `  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 yFYFFv\?  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm -Dx_:k|k  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 m=hlim;P,  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    @&AUbxoj  
    N '8u}WO  
    10. 总结 cQ?eL,z  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 "zn<\z$l  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 $mV1K)ege  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 C[Ap&S  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 eYN =?  
     
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