示例.0082(1.0) +FBUB ;%<R>gDWv 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 \s@7pM=(
?.~hex#M@ 1. 描述 GE!fh1[[u ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 "Nh}_jO ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 l\DcXgD
x ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Q13>z%Rge
rYfN 2. 系统 #\T5r*W zf.&E3Sn 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
r"hogmFD; 3. 透镜系统组件编辑 :$f9(f&
-VafN
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 YsA.,
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 \1f&D!F]b
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 %SC%#_7
■ 包括序列光学表面和光学介质。 -oMp@2\e
EHlkt,h* V+>.Gf 4. 光线追迹系统分析器-选项 SLjSNuOP 7f_tH_( ^77X?nDz=h
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 @#1T-*
■ 可以选择选取光线的方法: d#cEAy
— 在x-y-网格 O
<#H5/Tq
— 六边形 &<$YR~g5j$
— 自由选取 }HLV'^"k
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 D:.1Be`Tv AD@-H0Y 5. 系统的3维视图 *Hed^[sO \Pt_5.bTs[
VI(2/** 6. 其他系统参数 LQDU8[- ■ 系统由单色平面波照明 p;P
cD ■ 照明波长266.08nm \agT#tTJ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: lr~c w#h* — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 hMQh?sF/ — 一个虚拟屏位于焦平面 <E1ngG — 光束尺寸探测器置于焦平面 )ad6>Y ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 :&\^r=D Cp!Qd e x~n]r[!L 0~=>:^H'`q "jA?s9 7. 光线追迹系统分析器的结果 lCxPR'C| 2E_d$nsJ 光线经过整个光学系统的三维视图
-esq]c%3 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
"Cn<x\E b MgrJ ;?L GI[XcK^*w nmy!.0SQ- r NT>{
^#p+#_*V 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 i$"M'BG Y:KIaYkk %=<