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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Mciq9{8&  
    XaS_3d  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 H^1 a3L]  
    NITx;iC  
    1. 描述 $M<4Bqr  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 QuRg(K%:  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ` +UMZc  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 E0A|+P '?  
    lR2;g:&H  
    2. 系统 TdIFZ[<7  
    r<"/P`r  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    4_0/]:~5  
    3. 透镜系统组件编辑 zXU{p\;)\  
    ;fME4Sp  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 M`fXH 3D  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 qFChZ+3>  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 T*~)9o  
    包括序列光学表面和光学介质。 |ylTy B  
    v!hs~DnUZ  
    ]3u'Qv}o  
    4. 光线追迹系统分析器-选项  CF92AY  
    et}Y4,:  
    2.2a2.I1  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 hg=G//  
    可以选择选取光线的方法: =/!S  
    — 在x-y-网格 -mw \?\2{  
    — 六边形 (NN14  
    — 自由选取 Kf^F#dA  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ER0#$yFpM  
    J}KktD@!O  
    5. 系统的3维视图 >Io7h#[u  
    .p~;U|h"  
    =>%%]0  
    6. 其他系统参数 cP=mJ1  
    系统由单色平面波照明 LK/V]YG  
    照明波长266.08nm Ic!83-  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Qf(e'e  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 0BE^qe  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 nKkTnTSa  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ,O{ 5   
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 G6VHl:e7z  
     8\ ;G+  
    x%ag.g2I  
    !Y(qpC:$  
    6WcbJ_"mq  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 #e269FwN  
    5mVu]T`  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    nqJV1h  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    K -1~K  
    Ao0PFY  
    &YKzK)@  
    Q9zpX{JT  
    zN JyF;3  
    vqZM89 xY  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 tah%jRfT&  
    eW,Pn'  
    "*\3.`Kd  
    VirtualLab可用于计算点列图。 j&GKpt  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Dy@NgHe  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 3h4"Rv=,  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 'p]qN;`'O$  
    $m oa8  
    9. 焦平面上的结果 mLA$ F4/K  
    vUeel%  
    u5M{s;{11r  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 $Ws2g*i  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 (OJ9@_fgG[  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm EA#!h'-s  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 M'7x:Uw;  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    P~Owvs/=  
    boovCW  
    10. 总结 =ab}.dWC  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 `2  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 YWFHiB7x  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Ve) :I  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ox#4|<qM  
     
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