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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) '{dduHo  
    CF"$&+s9  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 5v <>%=  
    )]WWx-Uf'  
    1. 描述 nfpkWyIu{  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 _J(n~"eR  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 kR$>G2$!  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 D,q=?~  
    jXA!9_L7  
    2. 系统 !$Aijd s5  
    pYZ6-s  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    DTmv2X  
    3. 透镜系统组件编辑 WeDeD\zy  
    2 gz}]_  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 +13h *  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 AzAD76iNv  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ?&;d#z*4  
    包括序列光学表面和光学介质。 J$6h% Eyo  
    w}+#w8hu  
    S^q)DuF5!  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 >dKK [E/[d  
    j1 _ E^  
    7pMl:\  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 r@N 0%JZZ  
    可以选择选取光线的方法: n][/c_]q  
    — 在x-y-网格 !Ic;;<  
    — 六边形 .K`OEdr<  
    — 自由选取 ].F7. zi  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    J-*&&  
    vSty.:bY\p  
    5. 系统的3维视图 }s)MDq9  
    b`"E(S/  
    Q#C;4)e  
    6. 其他系统参数 272j$T  
    系统由单色平面波照明 L9tjH C]  
    照明波长266.08nm ,M2u (9  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: XMhDx  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @X`~r8&  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 K&FGTS,  
    光束尺寸探测器置于焦平面 GMmz`O XN  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 VBc[(8o  
    &v!=\Fig4  
    dWHl<BUm  
    6k6M&a  
    s( @w1tS.  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 iVq4&X_x  
    &<I*;z6%t  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    y,qP$ 5xiq  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    csn/h$`-@  
    q6A!xQs<  
    iku8T*&uc  
    m"Y;GzqQl  
    O%)@> 5#S  
    .G[y^w)w}  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 z;1y7W!v  
    p7(Pymkd  
    Gvo(iOU  
    VirtualLab可用于计算点列图。 .DSn H6O  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Xx{ho 4qq  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 >Gbj1>C}  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 shW$V93<  
    ~;St,Fw<<  
    9. 焦平面上的结果 -r/G)Rs  
    >cwyb9;!kK  
     }* iag\  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 B{|g+c%  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 | \Nj  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm a%*l]S0z"  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 VM{`CJ2  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    u2HkAPhD  
    i^P@?  
    10. 总结 #.O,JG#H  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 d q=>-^o  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 -_=0PW5{  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 v+-f pl&  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 YArNJ5z=  
     
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