示例.0082(1.0) .[}G{%M~[ )q[P&f(h 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 8Z0x*Ssk
hbOXR.0z 1. 描述 f4fBUZ^ A ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 s/=% kCo ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 *I)J%# ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 mUbm3JIjJ
r|=1{Nx 2. 系统 ]'`E S~i9~jA 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
0muC4 3. 透镜系统组件编辑 4/Y?e UQ
$8)XN-%(
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 X3\PVsH$K
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 "~5cz0
H3v
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 H.m]Dm,z
■ 包括序列光学表面和光学介质。 H;
NV?CD
R7/S SuG6\ vY-CXWC7 4. 光线追迹系统分析器-选项 `^Vd* n&njSj/ )Cl>% 9
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Z^:_,aJ?
■ 可以选择选取光线的方法: J(l\VvK
— 在x-y-网格 :YI5O/gsk?
— 六边形 dMH_:jb
— 自由选取 |gA@WV-%
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Zp>v 1o`1W4Q 5. 系统的3维视图 `*3A7y AP=h*1udk
l S)^8 6. 其他系统参数 &t^*0/~ ■ 系统由单色平面波照明 Lw}-oE
!U ■ 照明波长266.08nm oI;ho6y) ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: gS5REC4I/ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 6u0>3-[6OD — 一个虚拟屏位于焦平面 q<
XFw-Pv — 光束尺寸探测器置于焦平面 4<i#TCGex3 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 r8s>s6vm -N*[f9EJB Jy)=TJ!y rx2)uUbR 1zPS#K/3 7. 光线追迹系统分析器的结果 z2iMpZ ?$|tT\SFV 光线经过整个光学系统的三维视图
2iG+Ek-?" 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
J'}+0mln [)Nt;|U <= o<lRU A|\A|8=b f~NS{gL* x/DV> Nfn 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 +]eG=.
u N4vcd=uG# qWhW4$7x
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Wx:v~/r
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;k!.ey$S
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 #<xFO^TB
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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q[\ 3,Y 9. 焦平面上的结果 LP"g(D2'n
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 <=NnrZOF
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 gD9CA*
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 93]63NY
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 uOA/r@7I}S
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 h-96 2(LG U4"^NLAq 10. 总结 G`!,>n 3 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;\7`G!q ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Ak?9a_f ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 tg\Nm7I ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 uVqc:Q"