示例.0082(1.0) pn|p(6 \y[Bu^tk 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 7Nd*,DV_
]NbX`' 1. 描述 E]\D>[0O ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 4}+xeGA$ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 `i=JjgG@ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ZGA)r0]
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B%TXw#| 2. 系统 +:fqL <"hb#Tn 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
U?JiVxE^ 3. 透镜系统组件编辑 $Z,i|K;
t8t}7XD
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A<mj8qz
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 txj wZ_p
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;R/k2^uF
■ 包括序列光学表面和光学介质。 +ylxezc
1RCXc>}/
T"n>h 4. 光线追迹系统分析器-选项 mfu*o0 @>M8Pe zhuyePn
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 s.VUdR"
■ 可以选择选取光线的方法: DLNa6
— 在x-y-网格 zt-'SY
— 六边形 rn5"o8|
— 自由选取 .Ln;m8
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 O|HIO&M \d `dV0X 5. 系统的3维视图 ov?.:M '.]e._T
dNOX&$/= 6. 其他系统参数 cSY2#u|v ■ 系统由单色平面波照明 Ko1AaX(I'+ ■ 照明波长266.08nm KYnW7|* ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: kyy0&L — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 [SCw<<l< — 一个虚拟屏位于焦平面 _L?v6MTj — 光束尺寸探测器置于焦平面 C<r(-qO{5 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `%FIgE^ xIS\4]F?r Ix*BI9E vh<]aiY "V*kOb&'*Z 7. 光线追迹系统分析器的结果 Zx}NFcn 9=Y,["br$_ 光线经过整个光学系统的三维视图
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5m )- 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
v9Z lNA7m! WpXODkQL Py|H?
, 6= Q
mb[ e> UiJ^~rn o,*folL 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1bV 2 _ff=B hg%@ W
■ VirtualLab可用于计算点列图。 6Y;Y}E
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 4a(g<5wfI
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Z_iAn TT
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Y&?|k'7
>/7KL2* 9. 焦平面上的结果 T^/Gj|N*
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}20=I+
}u(d'9u
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 )z]q"s5 Y
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 anHBySI3
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm B'G*y2UnG
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 "wT~$I"
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Ov$N" (t]lP/
10. 总结 v\vE^|-\/ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 o~i]W.SI( ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 o7_MMeQ4 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ?RgU6/2 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 jw:4fb