示例.0082(1.0) l!Q |]-.@ @kU{ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 :ie7HF
I#(D.\P 1. 描述 h%e}4U@X ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 M$O}roOa ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _%WJ7~> ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `_{'qqRhe
I}oxwc 2. 系统 PAF2= oQJK}9QR 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
rAqg<fR* 3. 透镜系统组件编辑 Bvx%|:R
`5}XmSJ?5
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 q4_&C&7
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 zjd]65P
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 .S/W_R
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ,=KJ7zIK?
@W3fKF9*R ;6aTt2BQ 4. 光线追迹系统分析器-选项 x#yL&+'?Mj Alh"G6 ;w1?EdaO
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 x9r5 ;5TI
■ 可以选择选取光线的方法: Nx4_Oc^hY
— 在x-y-网格 .E:QZH' M
— 六边形 v ?@Ys+V
— 自由选取 eK\ O>
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <Q)6N!Tp^ =!3G ,qV 5. 系统的3维视图 U+sAEN_e k GRz`fO
N>;"r]Rl" 6. 其他系统参数 nIVPh99 ■ 系统由单色平面波照明 ~X;r}l=k< ■ 照明波长266.08nm {xr!H-9ZAA ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: MNip;S_j — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 4&/u1u0 — 一个虚拟屏位于焦平面 b\~rL,7( — 光束尺寸探测器置于焦平面 _QCspPT' c ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 s$xctIbm?, $oK,&_ }8 A] 7]a6dMh ==I:>+_^| 7. 光线追迹系统分析器的结果 o2? [*pa @V)k*h3r+ 光线经过整个光学系统的三维视图
qNER 6 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
R7cY$K{j FCQI fJ# ' U {?"FP B&|F9Z6D k{Yj!C>
# k<ds7k1m 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 7QL>f5Q [r_,BH\nu V_Kpb*3
■ VirtualLab可用于计算点列图。 l){l*~5zl2
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 |0n h
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 cl{x5>.'#
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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%*]3j^b Q+ 9. 焦平面上的结果 2;.7c+r0
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 [(}f3W &
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 '#[U7(lIQ
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm PH97O`"
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 @m! ~![
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 wG2lCv`d a^i`DrX 10. 总结 YMLo~j4J ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0wXfu"E{ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 F7UY>z3jL ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 By6C+)up ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ?rXh
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