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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) ;=~Xr"(/z  
    %SA!p;  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 YpmYxd^  
     6"QEJ  
    1. 描述 <hvRP!~<)  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 *e{PxaF!C  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 o0I9M?lP  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 0(\+-<  
     l]!B#{  
    2. 系统 82:Wvp6  
    Mi 0sC24b|  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    >k(MUmhX  
    3. 透镜系统组件编辑 ;Yts\4BSM  
    X0$@Ik  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 D"l+iVbBP  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 7@;">`zvm  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 <~"lie1  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 }31Z X  
     r4{<Z3*N  
    Hfc"L>  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 @,OT/egF4:  
    P LR0#).n  
    )D@~|j:  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 WeJ@x L  
    ■ 可以选择选取光线的方法： ^k/i-%k0  
    — 在x-y-网格 {aOkV::  
    — 六边形 d8x%SQ!V  
    — 自由选取 |m* .LTO  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     5ukp^OxE  
    p2O~>97t1  
    5. 系统的3维视图 FxW&8 9G  
    QU5Sy oL[  
    .#w6%c@  
    6. 其他系统参数 4^Rd{'mt  
    ■ 系统由单色平面波照明 Y`ihi,s`H  
    ■ 照明波长266.08nm vmZ"o9-{#X  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： l*}FXL  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 vNDu9ovs-  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 wN Wka7P*  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 t~p y=\  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 LR&_2e^[  
    `DW2spd  
    0Y+FRB ]u  
    K`6z&*  
    F:g=i}7  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 mOBACTY^  
    wS XVyg{  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    [~mGsXV  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    fg*@<'  
    %JL]; 4'  
    5W? PCOh\  
    jgu*Y{ocm  
    i!H!;z#  
    w4};q%OBj  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 6(V /yn ~  
    S]>wc yy=n  
    -j2 (R?a  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 `dkV_ O0  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 #bnb ': f  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 EtJ8^[u2J  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 l* dV\ B  
     p~jlx~1-]  
    9. 焦平面上的结果 `C72sA{M.  
    1=VJ&D;  
    Z|m`7xeCy  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 |\9TvN^$`  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 _t>"5s&i  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm |Ul,6K@f"5  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 G=/k>@Di  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     !PUZWO  
    Zj9c9  
    10. 总结 uGH?N  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 QfpuZEUK  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 &9[P-w;7u  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 IQ!Fv/I<  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 GF<[}  
     
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