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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Kup-O u,  
    IpxFME%!  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 L#e|t0'#  
    ^saJfr x  
    1. 描述 *4zVK/FJ  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 XU0"f!23x  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 } V4"-;P  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 S)"5X)mq  
    Dz&4za+{  
    2. 系统  \~  
    'FBvAk6  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    K@{jY\AZNx  
    3. 透镜系统组件编辑 iR#jBqXD  
    l1o dkNf|  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 U6=m4]~Z  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 =*'X  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 kmW!0hm;e  
    包括序列光学表面和光学介质。 ji( S ?^  
    -o#0Yt}3  
    tazBZ'\c  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 #k=!>%+E  
    0;TMwE  
    a~ REFy  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 PyHE >C%  
    可以选择选取光线的方法: YA^9, q6u?  
    — 在x-y-网格 iA ZtV'VQ)  
    — 六边形 hJ:Hv.{`)W  
    — 自由选取 >[xQUf,p  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    "_)   
    }qz58]fyx  
    5. 系统的3维视图 1'_OM h*;  
    33Mr9Doon  
    nTu"  
    6. 其他系统参数 l!iB -?'u  
    系统由单色平面波照明 ((dG<  
    照明波长266.08nm Fr%KO)s2  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "E2 g7n&  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ~[9 ]M)=O0  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 iCx'`^HnP  
    光束尺寸探测器置于焦平面 N7#GK]n%/}  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 w#b~R^U  
    <E\BKC%M  
    ;pB?8Z  
    0XozYyq  
    2N,*S   
    7. 光线追迹系统分析器的结果 G>_ZUHd I  
    SyYa_=En  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    *`jEg=)  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    &(.ZHF  
    eB]ZnJ2^=  
    1g/mzC   
    5d4-95['_  
    2=3iA09px  
    <g%xo"  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 |R[m&uOib  
    zu|pL`X  
    vRY4N{v(<  
    VirtualLab可用于计算点列图。 U&eLj"XZ  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 krl yEAK=  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 cA Lu  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 gVl#pVO`N  
    Aqm0|GlJ  
    9. 焦平面上的结果 c&_3"2:  
    d~_OWCg`  
    ):[[Ch_  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 V?rI,'F>N  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 <n`|zQ  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm W4|;JmT.r  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 qzyQ2a_p  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    eeX)JC0A  
    %Mu dc  
    10. 总结 jf2E{48P  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 >%[W2L\'  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 0!zWXKX  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 kR_[p._  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 D6m>>&E['  
     
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