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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) lcv&/ A  
    $6(,/}==0  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 :f~[tox  
    Slk__eC  
    1. 描述 Mn- f  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 44uM:;  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 d:U2b"k=/u  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 QWo_Zg0"  
    wTpjM@F?J|  
    2. 系统 ; W/K7}  
    HG1)q\Xd  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    y5td o'Ex  
    3. 透镜系统组件编辑 q,ry3Nr4n  
    B{#*PAK=  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 '^T Q Ubw  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ZQZBap"  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3$.R=MQ7  
    包括序列光学表面和光学介质。 nX@lR~g%F  
    c k$ > yk  
    {Hv/|.),hu  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Y7|R vLWoP  
    qoNVp7uv  
    Fp)+>o T  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 CaSoR |  
    可以选择选取光线的方法: :'L^zGf  
    — 在x-y-网格 -QUr|:SK:  
    — 六边形 (&2 5 8i,  
    — 自由选取 FmRCTH  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    _K4Igq  
    )FNvtLZ  
    5. 系统的3维视图 ?!N@%R>5rN  
    qjK'sge/  
    F"3LG"  
    6. 其他系统参数 EJdl%j  
    系统由单色平面波照明 E3pnu.;U:_  
    照明波长266.08nm EFb1Y{u^\!  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: QY]^^f  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 j k%MP6  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 C^}2::Qu  
    光束尺寸探测器置于焦平面 "T*Sg  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 j}0W|*  
    `N+A8  
    IoEIT Kd  
    &"D *  
    ?w{lC,  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 eXHk6[%[  
    DNARe!pK  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ?2Q9z-$  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    MwoU>+XB  
    :8}iZ.  
    6Un61s  
    we6kV-L.  
    ]et4B+=i  
    ^8,Y1r9`$  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 nqG9$!k^t  
    )c'5M]V  
    Pj4WWKX  
    VirtualLab可用于计算点列图。 QJBzv|  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 CM}1:o<<N  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 o"O=Epg  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 orGNza"A  
    54TW8y `h  
    9. 焦平面上的结果 ZRDY `eK  
    +- ~:E_G  
    W`baD!*  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 9y BENvq  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 'A0.(a5  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 7j9:s>D  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 >900I4]I  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    P@ gVzx)M  
    ^DL}J>F9G  
    10. 总结 s "KPTV  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 L*k[Vc  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ?(9/V7HQ.5  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \a:#e%]qz9  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Y\7>>?  
     
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