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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) -b9\=U[  
    BYL)nCc  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 "^})zf~_  
    61C7.EZZ;  
    1. 描述 PUMXOTu]  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 PR#exm&  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 #wwH m3  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 {HltvO%8  
    'CM|@Zz%  
    2. 系统 Q4#m\KK;i9  
    ;"5&b!=t  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ?jv/TBZX4  
    3. 透镜系统组件编辑 &N^9JxN?8  
    %S960  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 & p  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 NvceYKp:  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 P9^Xm6QO  
    包括序列光学表面和光学介质。 2j [=\K]  
    e:DCej^z  
    t6 "%3#s  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 fgp]x&5Q  
    l`lk-nb  
    ^eY!U%.  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 cKca;SNql1  
    可以选择选取光线的方法: S%;O+eFYb  
    — 在x-y-网格 V(I8=rVH  
    — 六边形 ,aZ[R27rpL  
    — 自由选取 ? =Z?6fw  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    =7=]{Cx[  
    _aSxc)?  
    5. 系统的3维视图 {BN#h[#B{  
    l ^0@86  
    O3,jg |,  
    6. 其他系统参数  ,f%S'(>w  
    系统由单色平面波照明 hn G Z=  
    照明波长266.08nm z#wkiCRYm  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8b& /k8i:  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 cA?W7D  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 lfow1WRF  
    光束尺寸探测器置于焦平面 V+Y%v.F  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 g wRZ%.Cn  
    vm8eZG|  
    W aRw05r  
    Vx u0F]%  
    6P l<'3&  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ^}=,g  
    -=Q*Ml#I  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    m.rmM`  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    q6luUx,@m  
    s2V:cMXFn  
    JGrWHIsNV  
    $ bR~+C  
    Dcgo%F-W  
    Dw.J2>uj  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 BL }\D;+t  
    194)QeoFw  
    C ;W"wBz9  
    VirtualLab可用于计算点列图。 <)H9V-5aZ  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 b2Fe<~S{  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 p8O2Z? \  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Q(?#'<.#  
    +~$ ]} %  
    9. 焦平面上的结果 ;A'mB6?%H  
    *L^,|   
    Wqw1J=]  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 BX7kO0j  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 zwjgE6  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm E{`fF8]K  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 XNkn|q2  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    6A-|[(NS  
    qR8Lh( "i  
    10. 总结 2HA:"v8  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 wlqksG[B  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 tS=(}2Q  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 FTUv IbT  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 kn 4`Fa;)O  
     
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