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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) .[ }G{%M~[  
    )q[P&f(h  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 8Z0x*Ssk  
    hbOXR.0z  
    1. 描述 f4fBUZ^ A  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 s/=%kCo  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 *I)J%#  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 mUbm3JIjJ  
    r|=1{N x  
    2. 系统  ]'`E  
    S~i9~jA  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    0muC4  
    3. 透镜系统组件编辑 4/Y?eUQ  
    $8)XN-%(  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 X3\PVsH$K  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 "~5cz0 H3v  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 H.m]Dm,z  
    包括序列光学表面和光学介质。 H; NV?CD  
    R7/S SuG6\  
    vY-CXWC7  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 `^Vd*  
    n&njSj/  
    )Cl>%9  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Z^ :_,aJ?  
    可以选择选取光线的方法: J(l\VvK  
    — 在x-y-网格 :YI5O/gsk?  
    — 六边形 dMH_:jb  
    — 自由选取 |gA@WV-%  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Zp> v  
    1o`1W4Q  
    5. 系统的3维视图 `*3A7y  
    AP=h*1udk  
    l S)^8  
    6. 其他系统参数 &t^*0/~  
    系统由单色平面波照明 Lw}-oE !U  
    照明波长266.08nm oI;ho6y)  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: gS5REC4I/  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 6u0>3-[6OD  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 q< XFw-Pv  
    光束尺寸探测器置于焦平面 4<i#TCGex3  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 r8s>s6vm  
    -N*[f9EJB  
    Jy)=TJ!y  
    rx2)uUbR  
    1z PS#K/3  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 z2iMpZ  
    ?$|tT\SFV  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    2iG+Ek-?"  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    J'}+0mln  
    [)Nt;|U  
    <= o<lRU  
    A|\A|8=b  
    f~NS{gL*  
    x/DV>Nfn  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 +]eG=. u  
    N4vcd=uG#  
    qWhW4$7x  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Wx:v~/r  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;k!.ey $S  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 #<xFO^TB  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 .;4N:*hY  
    q[\3,Y  
    9. 焦平面上的结果 LP"g(D2'n  
    O2Qmz=%  
    p(n0(}eVC'  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 <=NnrZOF  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 gD9CA*  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 93]63NY  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 uOA/r@7I}S  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    h-96 2(LG  
    U4"^NLAq  
    10. 总结 G`!,>n 3  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;\7`G!q  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Ak?9a_f  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 tg\Nm7I  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 uVqc:Q"  
     
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