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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 7]53GGNO  
    qa#F}aGd  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 At:C4>HE@  
    $*> _0{<  
    1. 描述 xrd ^vE  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 [# H8Mb+7  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 )^3655mb  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 A>S2BL#=  
    b&&'b )  
    2. 系统 $RO=r90o  
    )]Rr:i9n  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    cVi CWc2  
    3. 透镜系统组件编辑 VNfx>&`  
    ax}Xsk_  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 g_=ZcGC  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 an@Ue7  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 KO7cZME  
    包括序列光学表面和光学介质。 [Y+ bW#'  
    `UPmr50Wq  
    HX^ P9jXT  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 1k(*o.6  
    \`&fr+x  
    -JkO[ IF  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 }Qo8Xps  
    可以选择选取光线的方法: Ac%K+Pgk.  
    — 在x-y-网格 T9yW# .  
    — 六边形 =$J2  
    — 自由选取 ponvi42u  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    5}VP-04vh  
    Nq3P?I(<  
    5. 系统的3维视图 >Li?@+Zl  
    (6b%;2k  
    C7:Ry)8'I  
    6. 其他系统参数 ~I74'  
    系统由单色平面波照明 X8TZePh  
    照明波长266.08nm v'=APl+_  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能:  73X]|fy  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 9IMcp~zX  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 &,xM;8b  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Ek6W:Q:@  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Dc2eY.  
    oB@C-(M  
    {,ljIhc,  
    ycN_<  
    1d6pQ9 N  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 <R$|J|  
    f]ef 1#  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    nEYJ?_55  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    &3efJ?8  
    _!ed.h.r:  
    OZD/t(4?6s  
    J^T66}r[f,  
    kaLRI|hC  
    ]n_A~Y r  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $Z4p$o dk  
    Et (prmH  
    D3OV.G]`  
    VirtualLab可用于计算点列图。 qA42f83  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 SF7Kb`>Y  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 * gnL0\*  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 53c6dl  
    rm7UFMCR6i  
    9. 焦平面上的结果 w~`P\i@  
    Yp8$0KK  
    $ uqlJG#`  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 G[mYx[BTz  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 v3B ^d}+.  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm _\6-]  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 0;9 LIL5  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    AMr9rBd  
    F&Gb[Q&a8  
    10. 总结 [,c>-jA5  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 =J,:j[D(  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 F=#Wfl-o  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 oUqNA|l T  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Ok@5`?08  
     
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