示例.0082(1.0) La$*)qD, B2}|b^'I 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 y]dA<d?u
7 (}gs?&w 1. 描述
4d\1W?i- ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 9d4Agj
M ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Xbm\"g \ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 e -sZ_<GH
Yv}V =O% 2. 系统 ryk(Am< 9eA2v{!S 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
7od6`k 3. 透镜系统组件编辑 zUw=e}?:
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 W{z7h[?5,
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 lwY2zX&%)/
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 HY
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 e.8(tEqZ1
*^]lFuX\&E .fZ*N/ 4. 光线追迹系统分析器-选项 =3~u.iq$ #!a}ZhIt VR/*h%
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 +:JyXFu
■ 可以选择选取光线的方法: h[%t7qo=
— 在x-y-网格 ;@I4[4ph}
— 六边形 I2U/\
— 自由选取 9DAk|K
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 y'5
y _{d0Nm 5. 系统的3维视图 G-vBJlt=t Iuh1tcc
]VarO' 6. 其他系统参数 rKK{*%n ■ 系统由单色平面波照明 KF'DOXBw> ■ 照明波长266.08nm 1Wz -Z ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Rds_Cd C — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 #&L[?jEn — 一个虚拟屏位于焦平面 :P!"'&gCL — 光束尺寸探测器置于焦平面 DU@ZLk3 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 "r:i {
S]"-x YlF<S49loC =.*+c\ 6/A#P$G 7. 光线追迹系统分析器的结果 BtPUUy. sYt\3/yL' 光线经过整个光学系统的三维视图
nUgZ]ag=G 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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v (W=J3?hn #Tr>[ZC o$S/EZ 88K=jo))b 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 "kYzgi l6YToYzE2 ;q8tOvQ
■ VirtualLab可用于计算点列图。 G`a,(<kT;
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 W.B>"u
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 P|:*OM
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■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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iyj,0T 9. 焦平面上的结果 qIO<\Yl
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
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■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 2
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■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 5tSR2gG#K,
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 l'pu?TP{a
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 G>3]A5 >z(AQ 10. 总结 -zzM!1@F ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 =p1aF/1$I ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ^KKU@ab9 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 c*5y8k ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Vy+%sG
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