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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Ht Fr(g\"$  
    V,&%[H [  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 2a$. S " ?  
    JY0aE  
    1. 描述 ")|/\ w,  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 h&<"jCjL  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 9pp +<c  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 *r`=hNr  
    T+0=Ou"N  
    2. 系统 &uNec( c  
    } !m43x/&  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
     q#K{~:  
    3. 透镜系统组件编辑 }@r23g%   
    E`IXBI  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 cbzA`b'Mg  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 pi"H?EHk  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 uBm"Xkxe|w  
    包括序列光学表面和光学介质。 o7) y~ ke  
    -H-U8/WC  
    Ln& pe(c  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Th)  
    0]DOiA  
    .hT>a<  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 n2U &}O  
    可以选择选取光线的方法: 1b5Z^a<u  
    — 在x-y-网格 (t4i&7-  
    — 六边形 y~9wxK  
    — 自由选取 4 2Z:J 0  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    22l'kvo4"  
    x5lVb$!G  
    5. 系统的3维视图 EmNVQ1w  
    q*hn5K*  
    VI! \+A  
    6. 其他系统参数 LRJX>+@  
    系统由单色平面波照明 c1H.v^Y5  
    照明波长266.08nm {]CZgqE{  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 46?z*~*G  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 529; _|  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 m<gdyY   
    光束尺寸探测器置于焦平面 1c$pz:$vX  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 l)u%`Hcn  
    ndSu-8?L  
    mF6-f#t>H+  
    3D|Lb]=  
    <a R  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 _}{KS, f]0  
    @-q,%)?0}=  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ,N$Q']Td  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Qf:e;1F!  
    S>lP?2J  
    P]+B}))  
    {z oGwB  
    =ejcP&-V/  
    4M C]s~n  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 O"\4[HE^  
    Ar%*NxX  
    '(K4@[3t  
    VirtualLab可用于计算点列图。 5<Kt"5Z%7  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 2a@X-Di  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 I Fw7?G,  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ~ <1s[Hu  
    P2'c{],3V  
    9. 焦平面上的结果 )Kx.v'  
    k}LIMkEa4a  
    ?y|&Mz'XJ(  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 RFw0u 0Nrz  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 aZf/WiR2  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm DY`0 `T  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 W[jg+|  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Gs#9'3_U5  
    u^Cl s!C  
    10. 总结 #19O5  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Gza= 0  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 _;}$/  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ij:xr% FJ  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ]MCH]/  
     
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