示例.0082(1.0) %0 i)l| wJ7^)tTRF 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 \0vs93>?
X?XB!D7[ 1. 描述 v\_\bT1 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 {e q378d ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Io[NN aF| ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 g> ~+M
ZCViZWo 2. 系统 p_X{'=SQ1 BMdZd5!p& 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
sN2m?`?"G 3. 透镜系统组件编辑 WA0D#yuJ/
}r@yBUW
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 '#=0q
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 `oH4"9&]k3
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 MTKNIv|
■ 包括序列光学表面和光学介质。 P$Oj3HD LM
iQS,@6 ZhoV,/\+ 4. 光线追迹系统分析器-选项 F-oe49p5e 3zu6#3^ P+=m.
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 1z-A3a/-
■ 可以选择选取光线的方法: kD?@nx>
— 在x-y-网格 3W]gn8
— 六边形 0{ ~2mgg h
— 自由选取 l1KgPRmEP
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 'nBP% -
jCj_@n 5. 系统的3维视图 ' QMcQvU vhAgX0k
'O\ y7"a 6. 其他系统参数 O5Z9`_9< ■ 系统由单色平面波照明 P/.<sr=2 ■ 照明波长266.08nm Rb. vyQ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: =B5{ 7g\ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 U$~6V%e — 一个虚拟屏位于焦平面 E}v8Q~A( — 光束尺寸探测器置于焦平面 p)ig~kk` ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 o-7{\%+M @c'iT20 `:*2TLxIk 2[HPU M2> )GAlj;9A$ 7. 光线追迹系统分析器的结果 J?yasjjgP
{it}\[3 光线经过整个光学系统的三维视图
~!qnKM>[ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
s)`(@"{ ()bQmNqmO= [l3\0e6-/ 5RFro^S9E Pd\4hy @j_o CDS 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 XsQ81j. ]% HxzJ I;%1xdPt
■ VirtualLab可用于计算点列图。 e15yDwvB
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 -0#"<!N
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ,]7ouH$H}
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
`Wg"m~l$N
G<D8a2q 9. 焦平面上的结果 GIH{tr1:<
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&K[sb%
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 TB* t^E
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 a1y<Y`SC9
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm kSzap+ nB?
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Sx'oa$J
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 -^2p@^ vj%"x/TP 10. 总结 Q=Mv"~2>B ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 uX3yq<lK" ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 @jm +TW ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 2HmK['( ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 gv>DOez/