示例.0082(1.0) C890+(D~ 'jwTGT5x 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 a\|X^%2g
pe|\'<>i 1. 描述 k.ww-nH ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 n/:Z{ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8^NE=)cb7w ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 _4De!q0(
J]_)gb'1BR 2. 系统 %hrsE5k^, gB'`I(q5. 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
f61]`@Bk 3. 透镜系统组件编辑 Ez wF`3RjK
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ]*;RHy9
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 e1Dj0s?i~K
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 + >Fv*lux
■ 包括序列光学表面和光学介质。 8~rT
;%lJD"yF FxMMxY,*% 4. 光线追迹系统分析器-选项 SlM>";C\ zbdOCfA; vHoT@E#}'
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 AZ]Z,s6
■ 可以选择选取光线的方法: 1j8 /4:
— 在x-y-网格 ">rsA&hN-
— 六边形 :Fq2x_IUE
— 自由选取 d;IJ0xB+by
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 %YsRm%q `\6 +z 5. 系统的3维视图 WIhIEU7 / #zh6=.,7
1/F<T 6. 其他系统参数 MX%|hIOpr ■ 系统由单色平面波照明 9iiU,}M`j ■ 照明波长266.08nm ~r7DEy|+ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 1j_aH#Fz: — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 %!1@aL]pQ — 一个虚拟屏位于焦平面 |8b$x| B — 光束尺寸探测器置于焦平面 xow6@M, ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 1ZGQhjcx bUpmU/RW |rG8E;> U]1>?,Nk'3 .oW~:mY 7. 光线追迹系统分析器的结果 ~M|NzK_9 $L $j
KNwf 光线经过整个光学系统的三维视图
hA$c.jJr.Z 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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y6vgU; $NH`Iu9t 0$Qn#K W\ZV0T;<] H"kc^G+(R" P W0q71 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 u k>q\j X}ey0)g% 6ba2^3GH
■ VirtualLab可用于计算点列图。 10a=YG
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 5G
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■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 "oKj~:$
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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Q7OnhGA 9. 焦平面上的结果 rZwf%}
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
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■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 `t/@ L:
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm kfG 65aa>_
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 bRY4yT
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 C_g"omw40 +)''l 10. 总结 xOX*=Wv ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @8x6#|D ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 %$!R] B) ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 &,6y(- ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 }(O D<