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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) l!Q |]-.@  
    @kU{  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 :ie7HF  
     I#(D.\P  
    1. 描述 h%e}4U@X  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 M$O}roOa  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _%WJ7~>  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 `_{'qqRhe  
     I}oxwc  
    2. 系统 PAF2=  
    oQJK}9QR  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    rAqg<fR*  
    3. 透镜系统组件编辑 Bvx%|:R  
    `5}XmSJ?5  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 q 4_&C&7  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 zjd]65P  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 .S/W_R  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ,=KJ7zIK?  
     @W3fKF9*R  
    ;6aTt2BQ  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 x#yL&+'?Mj  
    Alh"G6  
    ;w1?EdaO  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 x9r5 ;5TI  
    ■ 可以选择选取光线的方法： Nx4_Oc^hY  
    — 在x-y-网格 .E:QZH'M  
    — 六边形 v ?@Ys+V  
    — 自由选取 eK\ O>  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     <Q)6N!Tp^  
    =!3G,qV  
    5. 系统的3维视图 U+sAEN_e k  
    GRz`fO  
    N>;"r]Rl"  
    6. 其他系统参数 nIVPh99  
    ■ 系统由单色平面波照明 ~X;r}l=k<  
    ■ 照明波长266.08nm {xr!H-9ZAA  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： MNip;S_j  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 4&/u1u 0  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 b\~rL,7(  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 _QCspPT' c  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 s$xctIbm?,  
    $oK,&_  
    }8 A]  
    7 ]a6dMh  
    ==I:>+_ ^|  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 o2?[*pa  
    @V)k*h3r+  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    qNER 6  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    R7cY$ K{j  
    FCQIfJ#  
    ' U{?"FP  
    B&|F9Z6D  
    k{Yj!C> #  
    k <ds7k1m  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 7QL>f5Q  
    [r_,BH\nu  
    V_Kpb*3  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 l){l*~5zl2  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 |0n h  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 cl{x5>.'#  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 uy{mSx?td  
     %*]3j^b Q+  
    9. 焦平面上的结果 2;.7c+r0  
    2Xk(3J!!'a  
    O-:#Q(H!  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 [(}f3W&  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 '#[U7(lIQ  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm PH 97O`"  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 @m!~![  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     wG2lCv`d  
    a^i`DrX  
    10. 总结 YMLo~j4J  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0wXfu"E{  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 F7UY>z3jL  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 By6C+)up  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ?rXh x{vD  
     
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