示例.0082(1.0) %'$cH$%~J
qT&S 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 V;/
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xF2f/y 1. 描述 0W!VV=j<} ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Q';\tGy ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,S7~=S ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 >MBn2(\B;
rin >r0o 2. 系统 F&>T-u-dog '33Yl+h 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
n-L]YrDPK[ 3. 透镜系统组件编辑 z{7,.S
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)&g2D@+{
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 3ZT/>a>@
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ;7B2~zL
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Y)@oo=oG
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ]l9,t5Y
ZlwcwoPib s8/ozaeo 4. 光线追迹系统分析器-选项 4n`[S N }0(vR_x Sm~? zU[k/
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 s/k
■ 可以选择选取光线的方法: )w3XN A_V
— 在x-y-网格 XPR:_
— 六边形 +c~O0U1
— 自由选取 1+.y,}F6b
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 {VrAh*#h
n?7hp%} 5. 系统的3维视图 _KT]l./ uv_P{%TK
}(f,~?CP] 6. 其他系统参数 _s*uF_:3 ■ 系统由单色平面波照明 O(:u( U7e ■ 照明波长266.08nm JXRmu~W~l ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: h}c6+@w&- — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 10QNV=yK7s — 一个虚拟屏位于焦平面 tCF0Ah — 光束尺寸探测器置于焦平面 iZVT% A+q ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7Vof7Y < }]Z,\lA "pKGUM ]h`E4B &6~ncQWu 7. 光线追迹系统分析器的结果 tjc5>T[Es8 ~
33@H 光线经过整个光学系统的三维视图
qjdahVY 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
P(W\aLp `G:qtHn"Q< $`+~QR!h ?8aWUgl ]pucv! GoZJDE3 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 B@~eBU,$ ~[bMfkc3 CUTEp/+
■ VirtualLab可用于计算点列图。 *T}dv)8
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 83O^e&Bt
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Z<m'he
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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$=6kh+n@ 9. 焦平面上的结果 30T:* I|
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hH@o|!y
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ~{]m8a/ `6
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 "e!$=;5
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ";!1(xZr
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 p%YvP
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ,"lBS? 3dzqVaV 10. 总结 9FR1Bruf ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 MCO$>QL ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 JKu6+V jO ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 U Y?]\4Om ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 H2tpP~!G