示例.0082(1.0) c}iVBN6~.< w%=GdA= 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 [6@{^
*I;,|Jj k 1. 描述 Ri]7=.QI` ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 K ~"J<798{ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 }mRus<Ax ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Pl_4;q!$
TRwlUC3hQ 2. 系统 5y7rY!]Bf BZy&;P 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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AB 3. 透镜系统组件编辑 5t]}(.0+
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Fj\}&H*+
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 "0o1M\6Z
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 L(a&,cdh
■ 包括序列光学表面和光学介质。 cjzhuH/y
4`lt 4L Wx#((T 4. 光线追迹系统分析器-选项 %M{qr!?uj <ijf':X=* \u@4eBAV
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 WF0%zxg ]
■ 可以选择选取光线的方法: }X{#=*$GQ
— 在x-y-网格 ^)ouL25Z*2
— 六边形 8hWBTUN
— 自由选取 m&/{iCwp
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3`PPTG RAMkTS 5. 系统的3维视图 Wbo{v r[2+ s%h|>l[lKT
hwF9LD~^ 6. 其他系统参数 3nb&Z_/e ■ 系统由单色平面波照明 lz>YjK: ■ 照明波长266.08nm dQ6:c7hp>D ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Q 6djfEN> — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 zjVBMqdD — 一个虚拟屏位于焦平面 ^Rr0)4ns — 光束尺寸探测器置于焦平面 <a/TDW ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `"CIy_m `.3! 8S2sNpLi-g \]Nlka O;RsYs9 7. 光线追迹系统分析器的结果 e~#;ux h2kba6rwk 光线经过整个光学系统的三维视图
hV5Aw;7C 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
N$1ZA)M ^%(HZ'$wC l1 (6*+ W\mj?R *v1M^grKd B/"TaXVU 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 V<X[>C' 8<BYAHY^ ^PwZP;On
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Z(Styn/x
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 4n55{?Z
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ?:@13wm
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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U^qQ((ek 9. 焦平面上的结果 &72
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 W 7xh
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 <( "M;C3y
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm M::
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。
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■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 @bPR"j5D X<:B"rPuK 10. 总结 ie<zc+*rW ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0L->e(Vf7u ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 x9l l 0Ht ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 zN3[W`q+m ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ALcin))+B