示例.0082(1.0) -b9\=U[ BYL)nCc 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 "^})zf~_
61C7.EZZ; 1. 描述 PUMXOTu] ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 PR#exm& ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 #wwH m3 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 {HltvO%8
'CM|@Zz% 2. 系统 Q4#m\KK;i9 ;"5&b!=t 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
?jv/TBZX4 3. 透镜系统组件编辑 &N^9JxN?8
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 &
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 NvceYKp:
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 P9^Xm6QO
■ 包括序列光学表面和光学介质。 2j[=\K]
e:DCej^z t6"%3#s 4. 光线追迹系统分析器-选项 fgp]x&5Q l` lk-nb ^eY!U%.
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 cKca;SNql1
■ 可以选择选取光线的方法: S%;O+eFYb
— 在x-y-网格 V(I8=rVH
— 六边形 ,aZ[R27rpL
— 自由选取 ?=Z?6fw
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =7=]{Cx[ _aSxc)? 5. 系统的3维视图 {BN#h[#B{ l
^0@86
O3,jg|, 6. 其他系统参数 ,f%S'(>w ■ 系统由单色平面波照明 hn
GZ= ■ 照明波长266.08nm z#wkiCRYm ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8b&/k8i: — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 cA?W7D — 一个虚拟屏位于焦平面 lfow1WRF — 光束尺寸探测器置于焦平面 V+Y%v.F ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 g
wRZ%.Cn vm8eZG| WaRw05r Vx u0F]% 6Pl<'3& 7. 光线追迹系统分析器的结果 ^}=,g -=Q*Ml#I 光线经过整个光学系统的三维视图
m.rmM` 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
q6luUx,@m s2V:cMXFn JG rWHIsNV $bR~+C Dcgo%F-W Dw.J2>uj 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 BL}\D;+t 194)QeoFw C ;W"wBz9
■ VirtualLab可用于计算点列图。 <)H9V-5aZ
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 b2Fe<~S{
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 p8O2Z?\
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Q(?#'<.#
+~$ ]}% 9. 焦平面上的结果 ;A'mB6?%H
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 BX7kO0j
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 zwjgE6
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm E{`fF8]K
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 XNkn|q2
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 6A-|[(NS qR8Lh( "i 10. 总结 2HA:"v8 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 wlqksG[B ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 tS=(}2Q ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 FTUv IbT ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 kn4`Fa;)O