切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 571阅读
    • 0回复

    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    在线infotek
     
    发帖
    6385
    光币
    26070
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) fdIk{o  
    $okGqu8z.O  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 !xm87I  
    5Uc!;Gd?b  
    1. 描述 2YD;Gb[8  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6vrMR& #a  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 `2S G{5o;  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 8-Ik .,}  
    DW ^E46k)A  
    2. 系统 '"{ IV  
    &[*F!=%8  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    FpjpsD~ Qu  
    3. 透镜系统组件编辑 P%hi*0pwZ  
    +@wa?"  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ln#Jb&u  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 <QGf9{m  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 v%(2l|M  
    包括序列光学表面和光学介质。 +~Ni7Dp]  
    9*gD;)!  
    aZGX`;3  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 #M;Cw}pW  
    }R#YO$J7  
    <S'5`-&  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ">QNiR!  
    可以选择选取光线的方法: JTw\5j  
    — 在x-y-网格 KUG\C\z6=  
    — 六边形 X kZ82w#b  
    — 自由选取 =p9d4smbn  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    !BD+H/A.{  
    md_9bq/w  
    5. 系统的3维视图 gbOd(ugH  
    $+eDoI'f  
    iX 0s4  
    6. 其他系统参数 P!q U8AJkt  
    系统由单色平面波照明 N5u.V\F!z\  
    照明波长266.08nm qy1$(3t$  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: = 8F/]8_  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 \; Io  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Ay'2! K,I  
    光束尺寸探测器置于焦平面 (;2J}XQvO~  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 G<9UL*HU  
    Xk[;MZ[  
    WyH2` xxX  
    "71@WLlN  
    D&q-L[tA@  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 y>T:fu  
    %\8E{M:  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    r'7>J:cy=  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    @RW=(&<1  
    ydOJ^Yty  
    j_ dCy  
    vzVXRX  
    $qk2!  
    .Ua|KKK C  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 P#5&D*`}h  
    sqw^Hwy=!2  
    :4]^PB@dl  
    VirtualLab可用于计算点列图。 HMT^gmF)  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 AL%H$I  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Pl4$`Qw#y  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 {f;]  
    i;!#:JX  
    9. 焦平面上的结果 k^-HY[Q9  
    ~Aul 7[IH  
    y'ULhDgq^B  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 J{"<Hgb  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 1PLxc)LsG  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm  qOO2@c  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 _JZS;8WYR  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    _Wn5* Pi%Z  
    -}nTwx:|5u  
    10. 总结 GmoY~}cg~  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 N<V,5  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 B\BxF6 y  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 $ftcYBZa  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 "I.PV$Rxl  
     
    分享到