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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) %'$cH$%~J  
    qT&S  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 V;/ XG}M  
    xF2f/y   
    1. 描述 0W!V V=j<}  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Q';\tGy  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,S7~=S  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 >MBn2(\B;  
    rin >r0o  
    2. 系统 F&>T-u-dog  
    '33Yl+h  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    n-L]YrDPK[  
    3. 透镜系统组件编辑 z{7,.S u  
    )&g2D@+{  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 3ZT/>a>@  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ;7B2~zL  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Y)@oo=oG  
    包括序列光学表面和光学介质。 ]l9,t5Y  
    ZlwcwoPib  
    s8/ozaeo  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 4n `[SN  
    }0(vR_x  
    Sm~? zU[k/  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 s /k  
    可以选择选取光线的方法: )w3XN A_V  
    — 在x-y-网格 XPR:_  
    — 六边形 +c~O0U1  
    — 自由选取 1+.y,}F6b  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    {VrAh*#h  
    n?7hp%}  
    5. 系统的3维视图 _KT]l./  
    uv_P{%TK  
    }(f,~?CP]  
    6. 其他系统参数 _s*uF_: 3  
    系统由单色平面波照明 O(:u(U7e  
    照明波长266.08nm JXRmu~W~l  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: h}c6+@w&-  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 10QNV=yK7s  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 tCF0Ah  
    光束尺寸探测器置于焦平面 iZVT% A+q  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7Vof7Y <  
    }]Z,\lA  
    "pKGUM  
    ]h`E4B  
    &6~ncQWu  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 tjc5>T[Es8  
    ~ 33@H  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    qjdahVY  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    P(W\aLp  
    `G:qtHn"Q<  
    $`+~QR!h  
    ?8aWUgl  
     ]pucv!  
    GoZJDE3  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 B@~eBU,$  
    ~[bMfkc3  
    CUTEp/+  
    VirtualLab可用于计算点列图。 *T}dv)8  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 83O^e&Bt  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Z<m'he  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 bvxxE/?Ni  
    $=6kh+n@  
    9. 焦平面上的结果 30T:* I|  
    !WVabdt  
    hH@o|!y  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ~{]m8a/ `6  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 "e!$=;5  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ";!1(xZr  
    此外,背景颜色也可以预先设置。  p% YvP  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ,"lBS?  
    3dzqV aV  
    10. 总结 9FR1Bruf  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 MCO$>QL  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 JKu6+V jO  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 UY?]\4Om  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 H2t pP~!G  
     
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