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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) H]@M00C  
    JTu^p]os?  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 n[Jpy[4g  
    ZJev_mj  
    1. 描述 3nVdws  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 \iFh-?(  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ~9.0:Fm<  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 2/.E uf   
    %{$iN|%J%$  
    2. 系统 ~m~<xtoc  
    b/N+X}VMN  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    %X(iAoxbj  
    3. 透镜系统组件编辑 >"qnuv G  
    s{v!jZ  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 2CX'J8Sy  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 _97A9wHj  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 t!MGSB~  
    包括序列光学表面和光学介质。 @di mZsi1  
    #QdBI{2  
    yyZV/ x~  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 BM+v,hGY  
    O)g\/uRy  
    tuzw% =Ey  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,k}-I65M*t  
    可以选择选取光线的方法: Ba$&4?8  
    — 在x-y-网格 Kj| l]'  
    — 六边形 \v(}@zcB|  
    — 自由选取 gkDyWZG B  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    {j%'EJ5  
    ?Rlo<f:Mf  
    5. 系统的3维视图 -ea":}/  
    ~Rx:X4|H  
    ^8p=g -U\  
    6. 其他系统参数 \A@Mlpe&t  
    系统由单色平面波照明 p8CDFLuV  
    照明波长266.08nm QXTl'.SfF  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: LadE4:oy  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ttlFb]zZh  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 +C4UM9  
    光束尺寸探测器置于焦平面 J[6`$$l0  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 NRU&GCVwu  
    JQCQpn/  
    G:'hT=8  
    9os>k*  
    9V5}%4k%+  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ,,_$r7H`  
    R-Y07A  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    iYwzdW1  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    p*F.WxB)4  
    X6lkz*M.  
    .EJo 9s'  
    nksx|i l  
    Gw 4~  
    wxy. &a]  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Bp #:sAG  
    *&7F(  
    >K<n~;ON|  
    VirtualLab可用于计算点列图。 hfUN~89;  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 mQ# 0c_  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 J9+< 9g4-t  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 .UJp#/EHs  
    ?];?3X~|  
    9. 焦平面上的结果 ''Lf6S`4X~  
    =1qM`M   
    0$8iWL  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 5Q $6~\  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 v?\Z4Z|f  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm lOk'stLNa&  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 %kB84dE  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    tWD5Yh>.?$  
    X8l|^ [2F  
    10. 总结 ei TG  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 *qM)[XO  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 /r Q4JoR>  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 J['pBlEb\  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 uvbXsO"z]]  
     
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