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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) U*[E+Uq}:N  
    '(5GR I<  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 KQPu9f9  
     -'$ob~*  
    1. 描述 G]>yk_#/\U  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 [h3xW  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 G\gjCp?!  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 r !Aj5  
     cX-M9Cz  
    2. 系统 6j(/uF4!#  
    W'@ |ob  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    r"dIB@  
    3. 透镜系统组件编辑 ZIx-mC5  
    gyvrQ, u  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 ,R[$S"]!SH  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 l ;:IL\*1I  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ~*Y#Y{  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 &zJI~R  
     1tNL)x"w  
    G}pFy0W\S  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 q}P@}TE  
    eq6O6-  
    tY"eoPme  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 bTD?uX!^@  
    ■ 可以选择选取光线的方法： MLWHO$C~T  
    — 在x-y-网格 dVb6u  
    — 六边形 }93kHO{  
    — 自由选取 LL(xi )  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     )s $]+HQs  
    w jkh*Y  
    5. 系统的3维视图 A"JdG%t>.h  
    1b9S";ct0  
    Fv~lasW[  
    6. 其他系统参数 q| D5 A|)  
    ■ 系统由单色平面波照明 huC{SzXM  
    ■ 照明波长266.08nm aoN\n]g  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： ,clbD4  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 zq};{~u(  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 |o5eG><  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 8 Rj5~+5  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 *igmi9A  
    $@z77td3  
    ?6:qAFw  
    P~\rP6 ;  
    ZexC3LD"  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ZE=sw}=  
    *J-pAN  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    3:WqUb\QK  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    /z-rBfdy^  
    j[r}!;O  
    d1D f`  
    9mi@PW}1  
    GeR#B;{  
    c]9gf\WW  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 N1'`^ay$  
    !PA:#]J  
    Jh\KVmfXN  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 |*{*tW C1  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 geG0F}oC!  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 1bV G%N  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 9kD#'BxC  
     oXG_6E!^  
    9. 焦平面上的结果 {>ba7-Cy+y  
    doanTF4Da  
    ,j%\3g`  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 -N' (2'  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 KTm^}')C8  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm E/:U,u{  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 bbC@  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     eHgr"f*7   
    ?IGp?R^j"  
    10. 总结 ud/!@WG  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 |ty&}'6C  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 TQn!MUj/^  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 HkD. W6A3  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 s$#64"F  
     
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