示例.0082(1.0) /&vUi7' H2|w
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 MQp1j:CK
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\J|3 1. 描述 >iaZGXje ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 `\#Qr|GC ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 4oCnF+( ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 d0|Q1R+3
]+,Z() 2. 系统 {:fyz#>>^ >uxak2nM- 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
~H?RHYP~ 3. 透镜系统组件编辑 :Im_=S[0
0]NjsOU=
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 l--xq^,`o]
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 |A &Nv~.)
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 i Ri1E;
■ 包括序列光学表面和光学介质。 KvC:(Vqj
B>-Iv_ 2<YHo{0BLS 4. 光线追迹系统分析器-选项 :B)w0 tVw bm(0raugs Hk$|.TjzI
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %p^C,B{7w
■ 可以选择选取光线的方法: Sd}fse
— 在x-y-网格 -O. MfI+
— 六边形 hg=\L5R
— 自由选取 Y`\zLX"_m
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 aU 5t|S6 q0SvZw]f1 5. 系统的3维视图 %k1*&2"1# YIt:_][*
`d8}3D 6. 其他系统参数 +qjW;]yxP ■ 系统由单色平面波照明 {h|3P/?7 ■ 照明波长266.08nm G;wv.|\ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能:
NAHQ:$ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 C6Dq7~{B — 一个虚拟屏位于焦平面 m6aoh^I — 光束尺寸探测器置于焦平面 r'w5i1C+ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 <)y'Ot0 y ,_P(!7Z8 ,T"(97" aD24)?db- o%Pi;8 7. 光线追迹系统分析器的结果 u [fQvdl CM8WI~ 光线经过整个光学系统的三维视图
+oe
~j\= 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
KiH#*u S [ZDJs`h!` ]qhVxeUm *s;$`8fM< R#
mZYg 80l(,0`, 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 cidS/OH (|h<{ -L v>7t J[s
■ VirtualLab可用于计算点列图。 e7pN9tXGf
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 7s>d/F3*
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 /8J2,8vZ
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
)<IbQH|_
D[:7B:i 9. 焦平面上的结果 .oAg
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XlDVJx<&J
YVD%GJ
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ]:m*7p\uk
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 *!'00fv
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm +~8/7V22
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 >Py; 6K
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 umI#P,%[ ,7>_Lp_v 10. 总结 /xj'Pq((}p ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 kd!f/'E! ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 >L[,.}(9 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 :mL\KQ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 9Ni$nZN