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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 6'F4p1VG*I  
    MrW*6jY@  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 Iu)76Y@=5=  
     EMTAl;P  
    1. 描述 <n+]\a97*  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 #NvL@bH  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]_hrYjX;  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 tc|`cB3f  
     |}?o=bO  
    2. 系统 Lddk:u&J  
    y^iju(  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    5z T~/6-(  
    3. 透镜系统组件编辑 y8HwyU>  
    E7CeE6U  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 342m=7lK  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 FX yyY-(O  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 hx5oTJR  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 I,nW~;OV0  
     nt5x[xa  
    %k"qpu  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 HCCEIgCT  
    &az :YTq  
    x!i(M>P  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Ir,3' G  
    ■ 可以选择选取光线的方法： v/s6!3pnl  
    — 在x-y-网格 d3IMQ_k  
    — 六边形 p`PBPlUn  
    — 自由选取 `\pv^#5HV9  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     AeZ__X  
    Y30T>5  
    5. 系统的3维视图 kp$w)%2JW  
    Eq\PSa=gz  
    D,c53B6M  
    6. 其他系统参数 q!OB?03n  
    ■ 系统由单色平面波照明 `"-ln'nw  
    ■ 照明波长266.08nm ULJV  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： IQm[ ,Fh  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Il8,g+W]  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ^W*T~V*8  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 L3@upb  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 .^F(&c*['  
    f~rq)2V:  
    Jfe<$-$$7  
    *}@zxFe +  
    :|5 \XV)>  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 `a+"[%  
    ;Pd nE~  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    "J_#6q*  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    ;UnJrP-if  
    ^tr?y??k  
    Osk'zFiL<  
    ~x #RIt  
    wr~Ydmsf  
    xl]1{$1M  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Z+%w|Sx  
    !%lcn O  
    )<+t#5"  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 ALO0yc  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ib,BYFKEW  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 kgZiyPcw  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 $-Yq?:  
     iLIv<VK/d  
    9. 焦平面上的结果 #86=[*Dr  
    V:Lq>rs#  
    ~rl,Hr3Z o  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 s{:l yp  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 F^/b!)4X  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ~w,c6 Z  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 NU <K+k  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     ToXgl4:kd  
    N,?4,+Hc-  
    10. 总结 vhz[H  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ]aDU*tk  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 <,:5d2mM.  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 .G~Y`0  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 oj'a%mx  
     
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