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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Wn6Sn{8W{  
    Q{/Ef[(a@  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 HZOMlOZ  
     + T+#q@  
    1. 描述 4ppz,L,4  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 F"kAkX>3}  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 V[V[~;Py  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 qgB_=Q#E  
     C# pjmT_  
    2. 系统 D+c>F5  
    =pr7G+_u  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    s#MPX3itK  
    3. 透镜系统组件编辑 =MWHJ'3-/  
    sos5Y}  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 8CE = 4  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 `@%LzeGz  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 7$#u  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 (?];VG  
     y>LBl]  
    =|9!vzG4  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 &3&HY:yF  
    F[MFx^sT{  
    YZ7.1`8  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 #;S*V"  
    ■ 可以选择选取光线的方法： p}P-6&k,U  
    — 在x-y-网格 ABkl%m6xf  
    — 六边形 ipz5H*  
    — 自由选取 m+9#5a-  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     X{VOAcugr  
    .]Z"C&"N]  
    5. 系统的3维视图 Zd&S@Z  
    kT=8e;K  
    {+Jv+J9  
    6. 其他系统参数 ,,TnIouy  
    ■ 系统由单色平面波照明 :KO2| v\  
    ■ 照明波长266.08nm f mGc^d|=  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： 6B-16  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 R-Sym8c  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 $d4n"+7  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 wY}@'pzX  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 V8(-  
    \NC3'G:Ii  
    u:EiwRW  
    ^Dx&|UwiZa  
    z{>Rc"%\  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 $xQL]FmS  
    Pz^544\~ou  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    I:.s_8mH}  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    \v/[6&|X0s  
    xC?h2hIt  
    iQ{VY ^ 0  
    s`U J1eJ  
    @pxcpXCy  
    @ |r{;'  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 j!ch5A  
    8ipez/  
    svSVG:48  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 .^g p?  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 7o4\oRGV  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 E.f%H(b  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 W8<%[-r  
     _G0 x3  
    9. 焦平面上的结果 s@C}P  
    <uJ@:oWG7  
    8_F1AU? u  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 W%J\qA  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 A=4OWV?  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 5X+A"X ;C  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 qb4z T  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     xkn;,`t^lJ  
    BuwY3F\-O  
    10. 总结 UI#h&j5pW  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 T;uX4,|(  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 fZ. ONq  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Q20 %"&Xp]  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 _g. {MTQ  
     
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