示例.0082(1.0) `r9^:TMN ebD{ pc`& 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 "Y(%oJS]D
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dM@>5[ 1. 描述 dL(4mR8 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 sOC|
B ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 _]_L F[ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 YZ{;%&rB
R{ 4u|A?9 2. 系统 8ur_/h7 S}O5l}E 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
$4:~*IQ 3. 透镜系统组件编辑 X;5 S
H<{*ub4'L*
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 MKe *f%
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 "|\94
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 qWkx:-g]
■ 包括序列光学表面和光学介质。 CCy.
lvG3<ls0K$ 2t.fD@ 4. 光线追迹系统分析器-选项 6XZN># 0x6@{0 @}Pw0vC
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 }0krSzcn#,
■ 可以选择选取光线的方法: sbpu
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— 在x-y-网格 U<|B7t4M
— 六边形 br10ptEx
— 自由选取 hN!.@L
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 2pw>B%1WP) B piEAwh 5. 系统的3维视图 3!1&DII4 &KLvr|
qP@L(_=g 6. 其他系统参数 QK,=5~I J ■ 系统由单色平面波照明 Jr|K> ■ 照明波长266.08nm "rL"K ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: '\4c "Ho — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 eN Hpgj — 一个虚拟屏位于焦平面 vxF:vI# @ — 光束尺寸探测器置于焦平面 _8Pmv$ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ?#x'_2 `AB~YX%( 5X#i65_- hwc:@' 8U8P
g2 7. 光线追迹系统分析器的结果 .Ydr[ oXvdR(Sb^ 光线经过整个光学系统的三维视图
l A 0-?k 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
3KB|NS "Wxo[I ?]759,Q3L JvT%R`i 8|fLe\" +!D=SnBGs 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 +?ws !LgF \z&03@Sw uv?8V@x2
■ VirtualLab可用于计算点列图。 A&xab
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 't||F1X~J
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 AEi WL.*.
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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Cij$GYkv 9. 焦平面上的结果 Zb12:?
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 m4wPuW
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 @2)t#~Wc4h
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm L{4),65
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 3U :YA&K(
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 o6`Y7,] "it`X
B. 10. 总结 ay!6T`U` ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0[_O+u ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 k^L#,:\&V ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Q"x`+?! ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 PmuEL@'^ U