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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) gw"l& r  
    >A( C9_\  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 A*U'SCg(G  
    /F}\V ^  
    1. 描述 eh/OCzWH  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 f4y;K>u7p  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 A;`U{7IST  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 WHLKf  
    v.v%k2;  
    2. 系统 N4DDH^h  
    s /q5o@b{  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    &j@J<*k  
    3. 透镜系统组件编辑 sP8&p*TJF  
    n:."ZBtY*  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 j3-6WUO  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 :;Rt#!  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 207oE O]  
    包括序列光学表面和光学介质。 D2 cIVx3:(  
    &b")`p&K  
    LP6FSo~K  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 m`q> _*  
    ;/3/R/^g  
    CuO*>g^K[  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 9<c4y4#y  
    可以选择选取光线的方法: v4~Xv5|w^F  
    — 在x-y-网格 3Wxtxk._E  
    — 六边形 `e|Lw  
    — 自由选取 -mw \?\2{  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    5T3>fw2G  
    !Jn w_)  
    5. 系统的3维视图 Xq!tXJ)  
    h`rjDd  
    >Io7h#[u  
    6. 其他系统参数 .p~;U|h"  
    系统由单色平面波照明 =>%%]0  
    照明波长266.08nm cP=mJ1  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: LK/V]YG  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 )stWr r&  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Qf(e'e  
    光束尺寸探测器置于焦平面 0BE^qe  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 nKkTnTSa  
    ,O{ 5   
    |Z|xM  
    tSa%ZkS  
    (kOv  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 tah%jRfT&  
    y'/9KrV T  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    %k)I =|  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Gn4b\y%%  
    1A.\Ao  
    Nj8)HR  
    X&X')hzIt  
    .]c:Zt}P  
    P"@^'yR5WK  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 *3Z#r  
    bA,D]  
    \>7-<7+I6  
    VirtualLab可用于计算点列图。 !iOu07<n&D  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 B*N8:u  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 RE$-{i  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 E |3aiC,5  
    !Sh5o'D28  
    9. 焦平面上的结果 nz l,y,  
    dL)5~V8s  
    ;0q6 bp(<H  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ka%pS  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 S-|$sV^cG  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm x%&V!L  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 _nq n|  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ,DLNI0uV  
    Z3{Qtysuv3  
    10. 总结 J?$uNlI  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ,#Y".23G  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 uGWk(qn  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ABGL9;.8  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ]F! h~>  
     
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