示例.0082(1.0) '{dduHo CF"$&+ s9 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 5v <>%=
)]WWx-Uf' 1. 描述 nfpkWyI u{ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 _J(n~"eR ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 kR$>G2$! ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 D,q=?~
jXA!9_L7 2. 系统 !$Aijd s5 pYZ6-s 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
DTmv2X 3. 透镜系统组件编辑 WeDeD\zy
2gz}]_
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 +13h*
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 AzAD76iNv
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ?&;d#z*4
■ 包括序列光学表面和光学介质。 J$6h%Eyo
w}+#w8hu S^q)DuF5! 4. 光线追迹系统分析器-选项 >dKK [E/[d j1_ E^ 7pMl:\
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 r@N 0%JZZ
■ 可以选择选取光线的方法: n][/c_]q
— 在x-y-网格 !Ic;;<
— 六边形 . K`OEdr<
— 自由选取 ].F7.
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 J-*&& vSty.:bY\p 5. 系统的3维视图 }s)MDq9 b`"E(S / Q#C;4)e 6. 其他系统参数 272j$T ■ 系统由单色平面波照明 L9tjHC] ■ 照明波长266.08nm ,M2u (9 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: XMhDx — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 @X`~r8& — 一个虚拟屏位于焦平面
K&FGTS, — 光束尺寸探测器置于焦平面 GMmz`O
XN ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 VBc[(8o &v!=\Fig4 dWHl<BUm 6k6M&a s( @w1tS. 7. 光线追迹系统分析器的结果 iVq4&X_x &<I*;z6%t 光线经过整个光学系统的三维视图
y,qP$5xiq 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
csn/h$`-@ q6A!xQs< iku8T*&uc m"Y;GzqQl O%)@> 5#S .G[y^w)w} 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 z;1y7W!v p7(Pymkd Gvo(iOU
■ VirtualLab可用于计算点列图。 .DSn
H6O
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Xx{ho4qq
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 >Gbj1>C}
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 shW$V93<
~;St,Fw<< 9. 焦平面上的结果 -r/G)Rs
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 B{|g+c%
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 |\ Nj
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm a%*l]S0z"
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 VM{`CJ2
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 u2HkAPhD i^P@? 10. 总结
#.O,JG#H ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 d
q=>-^o ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 -_=0PW5{ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 v +-f
pl& ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 YArNJ5z=