示例.0082(1.0) Jt~Ivn, 2RiJ m" 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 M`MxdwR
)rc!irac] 1. 描述 y^.66BH ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 B#sCB&( ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 4l D$'` ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 (In{GA7;
z;OYPGvkw 2. 系统 tgRj8
@ U82a]i0 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
@]\fO)\f 3. 透镜系统组件编辑 Fs+tcr/\[
ou,[0B3n0
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 exRw, Nk4
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 U,P_bz*)
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 b@CB +8$
■ 包括序列光学表面和光学介质。 /dnwN7Gf
`L1,JE`
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;vn0%g 4. 光线追迹系统分析器-选项 AtT7~cVe Gnc`CyN:H ^r}c&@
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 STKL
■ 可以选择选取光线的方法: {X{R]
— 在x-y-网格 SZ` 7t=I2
— 六边形 t)SZ2G1r
— 自由选取 PyeNu3Il4
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 dFg>uo =8FvkNr 5. 系统的3维视图 .i0K-B ^FCXcn9
Ky3mzw| 6. 其他系统参数 E)b$;' ■ 系统由单色平面波照明 d^=BXCoC ■ 照明波长266.08nm >P6"-x,[" ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 2.qPMqH — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 C6+ 5G-Z — 一个虚拟屏位于焦平面 A(Ct^/x- — 光束尺寸探测器置于焦平面 ~ |G&cg ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 _H] \ 1{uxpYAP=
DE13x*2 -@Ap;,= 1]xk:u4LA 7. 光线追迹系统分析器的结果 !j~wAdHk 4&)sROjV= 光线经过整个光学系统的三维视图
0TN28:hcD 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
,BdObx q(sTKT[V +LHU}'| d_[H|H9i6 `Fqth^RK?p 5(;Y&?k 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8 t+eu O /<[0o] ixTjXl2g
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ~E}kwF
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 <^S\&v1C_
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 y4\X~5kU
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
FvT&nb{
G?4@[m 9. 焦平面上的结果 jaS<*_~#R
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A;cA|`b
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 '1u?-2
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 aIgexi,
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm :>-zT[Lcn
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 UiU/p
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 vNi;)"&* q@.>eB'92P 10. 总结 5:PS74/ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 s,R:D). ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 n%Oi~7> ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 5Fy dh0. ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 FDoPW~+[