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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 21M@z(q*  
    Ix ! O&_6s  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 |#$Wh+,*  
     ( du<0J|PT  
    1. 描述 'x lK_Z  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ]H) x  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8$-(%  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 OT{wqNI  
     "CBe$b4  
    2. 系统 >Rs:Fw|jro  
    CHv~H.kh'  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    j*<H18^G  
    3. 透镜系统组件编辑 -?' r_t  
    0Z8K+,'!  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 z '3  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 phwk0J]2  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 a_w# ,^/P  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 jTaEaX8+  
     =l&7~  
    :CNWHF4$  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 * Ibl+  
    `omZ'n)  
    C^XJE1D.  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 wqJ^tA!  
    ■ 可以选择选取光线的方法： ^aN;M\  
    — 在x-y-网格 5Q,#Co  
    — 六边形 DG}t!  
    — 自由选取 L;H(I@p(e  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     q>X#Aaib  
    6pM[.:TM   
    5. 系统的3维视图 A#RA;Dt:  
    F]@vmzr  
    W'eF | hu  
    6. 其他系统参数 :o?On/  
    ■ 系统由单色平面波照明  v4=9T<[  
    ■ 照明波长266.08nm sL75C|f9  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： T?{"T/  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 u;H SX  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 lX/s Q  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 4,!#E0  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 m!SxX&m"G  
    ;*5$xs&=_Z  
    vzM8U>M  
    x hBlv  
    BSYJ2   
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Pqli3(  
    3#`_t :"A  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    @ U xO!  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    n=WwB(}q  
    #mLF6 "A  
    d5T M_ C  
    '`&gSL.1a@  
    {D J!T  
    3Cmbt_WV  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 / CEnyE/  
    K?o( zh;  
    }m0* w3  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 c1B <9_  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 SDt)|s  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 jU.z{(s  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 `w';}sQA7  
     ?-%Q[W  
    9. 焦平面上的结果 jI %v[]V  
    _ dEc? R}  
    kN_ i0~y@-  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 gpDH_!K  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 ~o_0RB  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm O?5uCh$H  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 &u&+:m  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     Lgp{  hK  
    ZFwUau  
    10. 总结 Z> Jm  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 5IE3[a%X  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 ?_)b[-N!  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 j}O~6A>|  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 E#}OIZ\S  
     
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