示例.0082(1.0) 8>:kv:MId *wNX<R. 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 _ n.2'
traJub 1. 描述 X(D$eV ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !B= Oc!e=K ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ~|j :xM(i ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 j@1rVOmK
9m2_zfO[w 2. 系统 cz8%p;F: )ca^%(25!z 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
{HV$hU+_)Q 3. 透镜系统组件编辑 Jjb(l W
QjW7XVxB#N
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 hcQvL>
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 JHY0J
&4s
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8:Yha4<Bv7
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ,&S^R yc
Tct[0B !/4f/g4Ze 4. 光线追迹系统分析器-选项 #1MEmt ^*7~ Wxk5 1vcI`8%S+u
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 X-oHQu5
■ 可以选择选取光线的方法: )7mX]@
— 在x-y-网格 o C]tEXJ
— 六边形 {~*aXu3
— 自由选取 [\o+I:,}wi
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 1'5I]D
ec ICNS+KsI 5. 系统的3维视图 ^}XKhn.S' 8ALvP}H
!B==cNq 6. 其他系统参数 2Wlk] ■ 系统由单色平面波照明 ETP}mo ■ 照明波长266.08nm Z, Kbt ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +"Pt? k — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 1y5]+GU'` — 一个虚拟屏位于焦平面 8uyUvSB — 光束尺寸探测器置于焦平面 0G/VbS ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 *|n::9 )hH9VGZq( \Nc/W!r*9 .p%p _ tt=?*n 7. 光线追迹系统分析器的结果 Lm<"W_ KWU
~QAc 光线经过整个光学系统的三维视图
r3o_mO?X 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Wxl^f?I`: DXlP(={* _S:6;_bz ]KGLJ~hm> [GeJn\C_? u,0N[.&N 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 )^UM8
s [>"bL$tlo* F_ ~L&jHP
■ VirtualLab可用于计算点列图。 iw<#V&([J
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 sDnHd9v<?t
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 SCl$+9E
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
v*%#Fp,g8
%dTkw+J 9. 焦平面上的结果 ~je#gVoUR
%iWup:
aH)$#6${Ap
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 -f0Nb+AR
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !dB {E
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm :.['e`
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 !RLg[_'
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 <8MKjf Evkb`dU3n 10. 总结 _Zya GDv ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 vS-k0g; ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Efi@hdEV ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 hXi^{ntw, ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 C=ni5R