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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) % /:1eE`!S  
    <83Ky;ry  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 eV7;#w<]  
    $6Ma{rC|  
    1. 描述 G'|ql5Zw  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 uFr12ZFgK  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 t:wBh'K~R8  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 vQrxx  
    >n7h%c  
    2. 系统 HT<p=o'$Z  
    wFMH\a  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ; Y/nS  
    3. 透镜系统组件编辑 }rQQe:{]B  
    -YNpHd/;,  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !*]i3 ,{7v  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 t6Iy5)=zY  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 BX_yC=S  
    包括序列光学表面和光学介质。 aM5]cc%  
    ^ITF*  
    +4yre^gC  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 v3"6'.f;bY  
    i l^;2`]&  
    8AR8u!;8  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 FJn-cR.n  
    可以选择选取光线的方法: { ^o.f  
    — 在x-y-网格 ]>M\|,wh  
    — 六边形 |WB-Ng  
    — 自由选取 &S4*x|-C&  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    T"xJY#)}  
    |z)s9B;:#i  
    5. 系统的3维视图 |d0ZB_ci  
    [!uzXVS3  
    tz ;3  
    6. 其他系统参数 l'I:0a 4T  
    系统由单色平面波照明 Kq[4I[+R  
    照明波长266.08nm "_/ih1z]  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: fd[N]I3  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Zn9tG:V  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 k`5I"-e  
    光束尺寸探测器置于焦平面 *)K\&h<{  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 DS?.'"n[u  
    Vn5T Jw  
    !Cgj >=  
    ,rMDGZm?  
    ZR1U&<0c@  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 [ar0{MPYd  
    <,CrE5Pl  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    V'9.l6l   
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    gqS9{K(f  
    L-+g`  
    +/[M Ex=   
    +q&Hj|;8r  
    I|rb"bG  
    ?t YZ/  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 cWAw-E5  
    yzN[%/  
    NQ`D"n  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ;<Q%d~$xy}  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 hDxq9EF  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 8>YF}\D V  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 -,bnj^L  
    7^><Vh"qV  
    9. 焦平面上的结果 l.@1]4.  
    [6a-d> e{  
    l 5-[a  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 s|p I`  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 b`X''6  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm oPi>]#X  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 BwT[SI<Sg  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    IV,4BQ$  
    i}vJI}S.$  
    10. 总结 l@);U%\pS  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 r *K  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 @jn&Wf?  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 H*0Y_H=  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 h'"m,(a   
     
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