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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Qzv&  
    C87 9eeJ  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Na+h+wD.D  
    ,!P}Y[|  
    1. 描述 }gd'pgN"t  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ]q&NO(:kbq  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Y6(= cm  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 VWqZ`X  
    ?0lz!Nq'S  
    2. 系统 Qr?1\H:Lq  
    qtFHA+bO  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    @\a~5CLN  
    3. 透镜系统组件编辑 8wn{W_5a  
    x1}Ono3"T  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ;f)AM}~^Q  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 3h}i="i   
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Ms-)S7tMz  
    包括序列光学表面和光学介质。 SEH[6W3  
    b|\dHi2F T  
    f{P?|8u  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 @0 [^SU?  
    CW]Th-xc  
    NB-%Tp*d  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 (ki= s+W-  
    可以选择选取光线的方法: J :KU~`r  
    — 在x-y-网格 SnM^T(gtS3  
    — 六边形 QuC_sFP10  
    — 自由选取 V~do6[(  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    FwD q@Oj  
    uJ0Wb$%  
    5. 系统的3维视图 g2A#BMe'.$  
    Rgl cd  
    1X9J[5|ll  
    6. 其他系统参数 UKPr[  
    系统由单色平面波照明 t=fP^bJ  
    照明波长266.08nm @|e we. r  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 3jHg9M23[^  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Q2F20b  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 *eI{g  
    光束尺寸探测器置于焦平面 M4% 3a j  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 G#A6<e/  
    t]?{"O1rC  
    4vCUVo r  
    ):y^g:  
    jB l$r{L  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 `7[!bCl  
    0|8cSE< i  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    6?[SlPPE1  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    %,zHS?)l  
    Ge^,hAM'  
    X-J85b_e  
    NQqNBI?cr  
    $aN%[  
    5".bM8o  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 2<:dA >1  
    zS h9`F  
    Gl[1K/,*  
    VirtualLab可用于计算点列图。 qVH.I6)  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 9<3fH J?vq  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 l}&2A*c.  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 4t3>`x 7  
    $1Zr.ERL|(  
    9. 焦平面上的结果 IreY8.FND  
    @]p {%"$  
    sf:IA%.4t  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 GSd:Plc%  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 {-f%g-@L6|  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 1}+b4 "7]  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 M^>l>?#rl  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    3i'01z  
    ^7Z;=]8J  
    10. 总结 t)rPXvx}!  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 {FS)f  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ,KU%"{6  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 1LAd5X  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 6a_U[-a9;  
     
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