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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) QMv@:Eo  
    cqxVAzb  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 hsu{eyp  
     oyo(1 >  
    1. 描述 J>d.dq>r  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 .`?@%{  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Y^<bl2"y8  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 !3T&4t  
     mf'V)  
    2. 系统 26CS6(sn  
    6q 2_WX  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    -G6U$  
    3. 透镜系统组件编辑 Ov<NsNX]  
    9@+5LZR  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 Z|}G6]h  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 `~eUee3b.~  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 |7x\m t  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 F5S@I;   
     gv5*!eI  
    ^n0]dizB  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 @JdZ5Q  
    \W1/p`  
    uslQ*7S[^  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 K\|FQ^#UYm  
    ■ 可以选择选取光线的方法： 1?Z4 K /  
    — 在x-y-网格 #m={yck *  
    — 六边形 tBpC: SG  
    — 自由选取 *hcYGLx r  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     g}]t[}s1]  
    'uy/o)L  
    5. 系统的3维视图 fFQ|T:vm  
    k5]j.V2f  
    iYC9eEF  
    6. 其他系统参数 .bio7c6  
    ■ 系统由单色平面波照明 (Cq n6 dWK  
    ■ 照明波长266.08nm 8V~vXnkM  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： Dd` Mv$*d8  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 v$^Z6>vVI  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 y!xE<S&Y  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 6Cp]NbNrq  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 >t7x>_~   
    H/}]FmjN  
    .YuJJJv  
    z;y:9l  
    =FD;~  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 0Lb4'25.  
    B$Kn1 k  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    "jw<V,,  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    <I;2{*QI2  
    G}p\8Q}'  
    )2M>3C6>f  
    &\_iOw8  
    m4*@o?Ow  
    8U_{|]M  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 *z7dl5xJ  
    jmeRrnC}  
    yq$,,#XDD=  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 fum0>tff  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ,cq F3   
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 #Skv(IL  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 71l%MH  
     YID4w7|  
    9. 焦平面上的结果 ~zw]5|  
    M+x,opl  
    mml z&h  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 z<5m fAm  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 3)RsLI9  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm fj&i63?e  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 h;0S%ZC  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     N 8-oY$*  
    SV(]9^nW  
    10. 总结 7hcNf,  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0P]E6hWgg  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 vI@%Fg+D  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 D:K4H+ch  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 L{c q, jk  
     
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