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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) $Gs9"~z?;  
    bi{G :xt  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 K&"ZZFd_  
    hl} iw_e  
    1. 描述 D9yAq'k$  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 \]Bwib%h  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8kdJ;%^N  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 \u4`6EYF?  
    aU\R!Y$/"  
    2. 系统 #'y4UN  
    5,_DM  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    S =5br  
    3. 透镜系统组件编辑 7&`Yl[G  
     E\5Cf2Ox  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 _^ZBSx09)  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }1kZF{KD<[  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 TI5<' U)  
    包括序列光学表面和光学介质。 ee2k..Tq#  
    V$Zl]f$S  
    qtR/K=^i  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 MSqW {  
    E !EENg  
    d DrzO*a\  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 61SbBJ6[  
    可以选择选取光线的方法: V}aZ}m{J  
    — 在x-y-网格 Au10]b  
    — 六边形 byJR6f  
    — 自由选取 |=u }1G?  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    mI> =S  
    ;$Pjl8\  
    5. 系统的3维视图 jp+s[rRc\{  
    )z\ 73|w  
    vqhu%ZyP  
    6. 其他系统参数 <Z j>}  
    系统由单色平面波照明 u>\u}c  
    照明波长266.08nm (jI_Dk;  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ?Gnx!3Q  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 +\x}1bNS%j  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Oa-(Xp,n#  
    光束尺寸探测器置于焦平面 !sVW0JSh  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。  9dCf@5]  
    0'Uo3jAB  
    "'3QKeM1  
    ) :VF^"  
    2n3!p Z8  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 frRO?  
    " ?=$(7uc  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    (`"87Xomnn  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    i%GNm D  
    nV/;yl4e{  
    sl_f+h0  
    X?aj0# Q  
    w 6  
    P`L, eYc  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 4?33t] "  
    g[L}puN  
    rVM?[_'O  
    VirtualLab可用于计算点列图。 :>-&  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 \Lg{GN.  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 888"X3.T  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 a}g <<{  
    [_-[S  
    9. 焦平面上的结果 E?(:9#02  
    9P& \2/ {  
    ('6sW/F*ab  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 MZvxcr{x  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 PUEEfq!%  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm IFbN ]N0  
    此外,背景颜色也可以预先设置。  $ucmE  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    |xFSGrC  
    YP`/dX"4  
    10. 总结 =sUrSVUeU  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 =JE5/  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 +[":W?j  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 *?~&O.R"  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 v[]&yD  
     
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