示例.0082(1.0) b !@Sn/ ,21 np 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 up3O|lj4
ZoB*0H- 1. 描述 m"\:o ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ,B(7\ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 7'-Lp@an ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 r)9Dy,
PjT=$] 2. 系统 -!;l~#K= jc[_I&Oc_ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
M2x[" 3. 透镜系统组件编辑 <^~FLjsfg
SVlua@]ChU
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 (BxJryXm
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 aSuM2
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o*x*jn:hm
■ 包括序列光学表面和光学介质。 l+V,DCE
n%R;-?*v $WYbm}j 4. 光线追迹系统分析器-选项 - K%,^6 K3uG2g(>2 =~Ynz7 /x
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 pL1Q7&&c0
■ 可以选择选取光线的方法: n?\ nn3
— 在x-y-网格 !Fw?H3X!"q
— 六边形 n,eJ$2!J
— 自由选取 &1l=X]%
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Y={&5Mir ,uw132<b 5. 系统的3维视图 f)c~cJz<q $@d9<83=
;Sd\VR 6. 其他系统参数 /(.6bv ■ 系统由单色平面波照明 >{eCh$L ■ 照明波长266.08nm =.]l*6WV ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: jztq.2-c# — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 E ca\fkj — 一个虚拟屏位于焦平面 ccCzu6 — 光束尺寸探测器置于焦平面 n .!Ym
X4 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `r5$LaD 87}&` tt%MoQ) (>mI'!4d lPLz@Up~ 7. 光线追迹系统分析器的结果 oLWJm 0JgL2ayIVI 光线经过整个光学系统的三维视图
{T"0DSV 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
*Ype>x{ fgNU03jp^x mcz+P | ,+qVu, *Nyev]8 7'wS\/e4a 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 w;Q;[:y 2&+#Vsm`V ^gVT$A
■ VirtualLab可用于计算点列图。 *A}cL
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 QKN<+,h!z>
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 v7%X@j]ji
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
79\JxiSB
!-m&U4Ku6o 9. 焦平面上的结果 Tirux ;
v+jsC`m
Ladsw
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 tb:L\A^:
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 t}v2$<!I
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm h._nK\
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 t_ksvWUo
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 g}p;\o
pV6d
Id 10. 总结 J 5h+s-' ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 h^
-.]Y ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 +(uYwdcN ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 )BfT7{WN ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 dd?x(,"A`