示例.0082(1.0) ^K"BQ~-w s*la`(x 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 2lsUCQI;
]Ac}+? 1. 描述 ~x8nC%qPvq ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 1b1Ab
zN ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 :sg}e ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 <9ucpV
<$e|'}>A 2. 系统 r~)fAb? .+ u
b\ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
z5$Q"Y.D 3. 透镜系统组件编辑 9r]|P}yuS
o:Kw<z,$H
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 p}JOiiHa
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ;9OhK71}
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -:ucp2
■ 包括序列光学表面和光学介质。 At:8+S<?A
Su,:f_If, PX|@D_%Y= 4. 光线追迹系统分析器-选项 ?yS1|CF%&y GAgTy K#Ck,Y"
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 @5nFa~*K%
■ 可以选择选取光线的方法: jj[6 oNKE1
— 在x-y-网格 `?Q
p>t
— 六边形 d:';s~
— 自由选取 h[]9F.[
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 EWD^=VITL @Iz]:@\cJ 5. 系统的3维视图 4`#Q 7v%c.
@ye!? % 6. 其他系统参数 AChz}N$C ■ 系统由单色平面波照明 GHGyeqNM ■ 照明波长266.08nm ]Orx%8QS! ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Os"('@jd> — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^-Od*DTL — 一个虚拟屏位于焦平面 r+FEgSDa] — 光束尺寸探测器置于焦平面 [HQ)4xG ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 g Y~r{ YGyv)\ {=[>N>" : ZrJL& 1.!U{>$ 7. 光线追迹系统分析器的结果 >-A@6Qe_ R7bG!1SHl 光线经过整个光学系统的三维视图
lDYgtUKG 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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|HK:\)L% _HUbE / P'Rw/co sApix=Lr HK!ecQ^+ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 u;_~{VJ- EraGG"+ I$7eiW @
■ VirtualLab可用于计算点列图。 R_PF*q2 '
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 X.t4;
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 p
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■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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@z@%vr=vX 9. 焦平面上的结果 x z_sejKB
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 B ?VTIq>
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 6z 9
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■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm iQ/~?'PB
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 \]9)%3I
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 >pU9}2fpT E8#
>k 10. 总结 _M^.4H2 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 3$\k=q3`# ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 &N7ji ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 X$Vi=f vt ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 XNJ4T]><