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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) - kVt_  
    P<@V  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 7]w]i5  
    y JJNr]oq  
    1. 描述 pPNU0]/  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Qyr^\a;k'  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 W9ZfD~(3-  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 P O,mg?JG(  
    WML%yO\.;  
    2. 系统 `is."]%f  
    XUrxnJ4  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ~hSr06IY  
    3. 透镜系统组件编辑 D.hj9  
    4ACL|RF)A  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 JlZU31Xws  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]YP J.[n  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 fP>*EDn@xg  
    包括序列光学表面和光学介质。 f?OFMac  
    Yz?4eSa/  
    kDAPT_Gid  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 _<`j?$P  
    )c:i 'L  
    s3sAw~++  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 brk>oM;t  
    可以选择选取光线的方法: MY]Z@  
    — 在x-y-网格 df=G}M(  
    — 六边形 x4&<Vr  
    — 自由选取 Gf(|?" H  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    "w#jC ~J<W  
    =}6yMR!4R<  
    5. 系统的3维视图 9U[ A   
    /~?'zr  
    {=5Wi|  
    6. 其他系统参数 w^e5"og]  
    系统由单色平面波照明 +=v6 *%y"V  
    照明波长266.08nm H B}!Lf#*P  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: :`~;~gW<  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 0=3Av8  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 |;XkU`G  
    光束尺寸探测器置于焦平面 dWhki|c  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 nU{ }R"|  
    o(=\FNe  
    z@Klj qN  
    T) ZO+}  
    8[zux4<m  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ?U\@?@  
    0}a="`p#<  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    9A@/5Z:v5W  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    E;Akm':  
    +j*hbG=  
    T}%8Vlt]  
    F|,_k%QP  
    $e bx  
    e} =tUdDf  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 MGt[zLF9  
    S?ypka"L  
    f-lM[\ma_  
    VirtualLab可用于计算点列图。 WInfn f+'  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。  /i'dhiG  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 fwe4f  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 F/91Es  
    4CUzp.S`h  
    9. 焦平面上的结果 UcZ20inj0  
    0X.(BRI~6p  
    LHQ$0LVt>T  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 KaEL*  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 v}vwk8  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm rb"J{^  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 M0+xl+c+  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    yK1@`3@?  
    3`%]3qd}  
    10. 总结 wZ&l6J4L  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 PV[ Bqt  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 (gdi 2  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 2P`Z >_  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 S!'Y:AeD&  
     
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