示例.0082(1.0) j1$s^ -9 0a's[>-'A 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 6.QzT(
ohB@ij C! 1. 描述 sMWNzt ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 *f+DV[DF ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 y$HV;%G{26 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 c0:`+>p2
k iY1 2. 系统 MvlqxJ$ mp>Ne6\Tu 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
xAAwH@ + 3. 透镜系统组件编辑 /:aY)0F0<&
H_ 7E K
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A]s|"Pav,
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 WQYw@M~4Q!
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +Rd;>s*.Y
■ 包括序列光学表面和光学介质。 I(:d8SF
S8)6@ECC zM|Y
X< 4. 光线追迹系统分析器-选项 ,9~2#[|lq +T]D\];D 6n$g73u<=3
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %8g1h)F"S
■ 可以选择选取光线的方法: O/PO?>@-/
— 在x-y-网格 h2m@Q={
— 六边形 \zyvu7YA
— 自由选取 >Y"Ru#Ju9
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]F*fQNcjy S/7?6y~ 5. 系统的3维视图 o0F&,|' 5Ls
][l7
#\$AB_[ot> 6. 其他系统参数 ~k'SP(6#C ■ 系统由单色平面波照明 jZ> x5 W ■ 照明波长266.08nm v_e3ZA:% ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: OS$^>1f" — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 BBlYy5x — 一个虚拟屏位于焦平面 #hF(`oX}4K — 光束尺寸探测器置于焦平面 &`Ek-b!7 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ]?a i k^*S3#" f#b;s<G 2N[/Cc2Tg/ )V?:qCuY> 7. 光线追迹系统分析器的结果 :[.**,0R $irF 光线经过整个光学系统的三维视图
R*r;`x 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
&-hXk!A LF\HmKM, ?I332,,q E8]kd ;dZuO[4\ 0;2"X[e 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 :SvgXMY@ ;HoBLxb P
20A`]-D
■ VirtualLab可用于计算点列图。 5l4YYwd>v
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 =WM^i86
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 K:(E"d;
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
OV,t|
)4e?-?bK! 9. 焦平面上的结果 <S68UN(Ke
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 LeaJ).Maw
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 YML]pNB
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm JK'FJ}Z4
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。
R]<N";-
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 @p ZjJ<9QM ]-"G:r 10. 总结 xTg=oq ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 m6Mko2 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 !!?TkVyEyM ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 " `FcW ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 v8f1o$R