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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) %0 i)l|  
    wJ7^)tTRF  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 \0vs93>?  
    X?XB!D7[  
    1. 描述 v\_\bT1  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 {e q378d  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Io[NN aF|  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 g> ~+M  
    ZCV i ZWo  
    2. 系统 p_X{'=SQ1  
    BMdZd5!p&  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    sN2m?`?"G  
    3. 透镜系统组件编辑 WA0D#yuJ/  
    }r@yBUW  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 '#=0q  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 `oH4"9&]k3  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 MTKNIv|  
    包括序列光学表面和光学介质。 P$Oj3HD LM  
    iQS,@6  
    ZhoV,/\+  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 F-oe49p5e  
    3z u6#3^  
    P+=m.  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 1z-A3a/-  
    可以选择选取光线的方法: kD?@nx>  
    — 在x-y-网格 3W]gn8  
    — 六边形 0{ ~2mggh  
    — 自由选取 l1KgPRmEP  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    'nBP%  
    - jCj_@n  
    5. 系统的3维视图 ' QMcQvU  
    vhAgX0k  
    'O\ y7"a  
    6. 其他系统参数 O5Z9`_9<  
    系统由单色平面波照明 P/.<sr=2  
    照明波长266.08nm Rb.vyQ  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: =B5{7g\  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 U$~6V%e  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 E}v8Q~A(  
    光束尺寸探测器置于焦平面 p)ig~kk`  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 o-7{\%+M  
    @c'iT20  
    `:*2TLxIk  
    2[HPU M2>  
    )G Alj;9A$  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 J?yasjjgP  
    {it}\[3  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ~!qnKM>[  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    s)`(@"{  
    ()bQmNqmO=  
    [l3\0e6-/  
    5RFro^S9E  
     Pd\4hy  
    @j_o CDS  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 XsQ81j.  
    ]%HxzJ  
    I;%1xdPt  
    VirtualLab可用于计算点列图。 e15yDwvB  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 -0#"<!N  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ,]7ouH$H}  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 `Wg"m~l$N  
    G<D8a2q  
    9. 焦平面上的结果 GIH{tr1:<  
    1W{oj  
    &K[sb%  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 TB* t^ E  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 a1y<Y`SC9  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm kSzap+nB?  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Sx'oa$J  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    -^2p@^  
    vj%"x/TP  
    10. 总结 Q=Mv"~2>B  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 uX3yq<lK"  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 @jm+TW  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 2HmK['(  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 gv>DOez/  
     
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