示例.0082(1.0) Kup-O
u, IpxFME%! 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 L#e|t0'#
^saJfr x 1. 描述 *4zVK/FJ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 XU0"f!23x ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 } V4"-;P ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 S)"5X)mq
Dz&4za+{ 2. 系统 \~ 'FBvAk6 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
K@{jY\AZNx 3. 透镜系统组件编辑 iR#jBqXD
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 U6=m4]~Z
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 kmW!0hm;e
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ji(S ?^
-o#0Yt}3 tazBZ'\c 4. 光线追迹系统分析器-选项 #k=!>%+E 0;TMwE a~ REFy
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 PyHE>C%
■ 可以选择选取光线的方法: YA^9, q6u?
— 在x-y-网格 iA ZtV'VQ)
— 六边形 hJ:Hv.{`)W
— 自由选取 >[xQUf,p
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 "_)
}qz58]fyx 5. 系统的3维视图 1'_OM h*; 33Mr9Doon
nTu" 6. 其他系统参数 l!i B
-?'u ■ 系统由单色平面波照明 ((dG< ■ 照明波长266.08nm Fr%KO)s2 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "E2
g7n& — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ~[9 ]M)=O0 — 一个虚拟屏位于焦平面 iCx'`^HnP — 光束尺寸探测器置于焦平面 N7#GK]n%/} ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 w#b~R^U <E\BKC%M ;pB?8Z 0XozYyq 2N,*S 7. 光线追迹系统分析器的结果 G>_ZUHdI SyYa_=En 光线经过整个光学系统的三维视图
*`jEg=) 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
&(.ZHF eB]ZnJ2^= 1g/mzC 5d4-95['_ 2=3iA09px <g %xo" 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 |R[m&uOib zu|pL`X vRY4N{v(<
■ VirtualLab可用于计算点列图。 U&eLj"XZ
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 krl yEAK=
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 cALu
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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A qm0|GlJ 9. 焦平面上的结果 c&_3"2:
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 V?rI,'F>N
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 <n`|zQ
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm W4| ;JmT.r
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 qzyQ2a_p
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 eeX)JC0A %Mu dc 10. 总结 jf2E{48P ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 >%[W2L\' ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 0!zWXKX ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 kR_[p._ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 D6m>>&E['