示例.0082(1.0) dA<SVk*0Q -0I&dG- 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 jAovzZ6BL
ERIF#EY 1. 描述 <dAxB$16sT ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 'e6J&X ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 S_^;#=_c ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 o}D
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hu7oJ H 2. 系统 k2.\1}\ L=.@hs 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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;hjxR- 3. 透镜系统组件编辑 wa!z:}]
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 s){VU2.ra
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 MwL!2r
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )TBm?VMe
■ 包括序列光学表面和光学介质。 xZ* B}O{{H
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Hd{H= 4. 光线追迹系统分析器-选项 s#aane P)~olrf YS<KyTb"
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 5g;mc.Cvt
■ 可以选择选取光线的方法: f3s4aARP
— 在x-y-网格 ma/<#l^}
— 六边形 R?dMM
— 自由选取 Y1F%-o
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `Gx
5=Bm; "Y"`'U=v 5. 系统的3维视图 jw/@]f;N [.$/o}
ezhfKt]j 6. 其他系统参数 h
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■ 系统由单色平面波照明 I]cZcx,<q ■ 照明波长266.08nm IR&b2FTcU ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Ef3="}AI; — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 =B`=f,,#3 — 一个虚拟屏位于焦平面 :bCswgd[ — 光束尺寸探测器置于焦平面 M5xMTP- ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 K;`W4:, 2_Zn?#G8dl iQgr8[
SFf BqavI&1= ^* CKx 7. 光线追迹系统分析器的结果 U.=TjCW K_;?Sr= 光线经过整个光学系统的三维视图
K.}jyhKIKi 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Moi>Dp };'~@%U]/ ;Y`8Ee4vH y>cT{ )E$ Cd_H<8__ @Y ?p-& 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 kLXa1^Lq g3 !<A*< DD6K[\
■ VirtualLab可用于计算点列图。 B"`86qc
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 3GMrdG?Y
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 TXbi>t:/S{
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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2ppJ;P{k 9. 焦平面上的结果 a4]=4[(iu>
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %wGQu;re
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 _Om5wp=:
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Ss1&fZoj
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 \SWuylE
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 2Y;iqR rT;_"y} 10. 总结 D}2$n?~+ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 vtzbF1?O ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 @-ir ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \=(U tro ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 }!WuJz"