示例.0082(1.0) JmR2skoV, obF|;fwPnR 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 H^S<bZ
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=Bw*o- 1. 描述 59j`Z^e ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 _p1!8*0] ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 w{[^ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 rL"]m_FK
^ /G ; 2. 系统 ^8,prxaok Nb ~J'" 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
08^f|K 3. 透镜系统组件编辑 svEe@Kt`
*@#Gc%mGu
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A+dx7anUz
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 B%Qo6*b
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 }ixCbuD
■ 包括序列光学表面和光学介质。 0H4|}+e
#V/{DPz viYrPhH+z 4. 光线追迹系统分析器-选项 $#5'c+0 S{e3aqT#N qfCZ
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 4V,p\$;
■ 可以选择选取光线的方法: JSju4TQ4
— 在x-y-网格 =e# h;x2
— 六边形 7.G"U
— 自由选取 RZ{O6~VH
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 J`[jub MmvJ)|&t 5. 系统的3维视图 R8lja%+0$ gS[B;+d
;Qt/(/ 6. 其他系统参数 #U%HGTE0 ■ 系统由单色平面波照明 PDS( /x& ■ 照明波长266.08nm x(Ew Hg>; ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: U%@C<o
" — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 LD?\gK" — 一个虚拟屏位于焦平面 -UidU+ES; — 光束尺寸探测器置于焦平面 n>eDN\5 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 b#6mUl2 )XSHKPTQ1 kzCJs W(ryL_#; +\ "NPK@3 7. 光线追迹系统分析器的结果 t D
8l0 _\k?uUo&,^ 光线经过整个光学系统的三维视图
F~rl24F 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
aLW3Ub{h f &NX~( ^b5+A6? 9wf"5c .UX4p
= (m Yi 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 alzdYiGf 7uw-1F5x7 gx^!&>eIb#
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Q{=r9&&
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 n;=FD;}j+
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 oBub]<.J
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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d:A'|;'] 9. 焦平面上的结果 t~ I;IB
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 }JQy&V%
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 I~~":~&
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm =6\^F i
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 b=sY%(2s
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 `mD!z.`U &CXk=Wj 10. 总结 e&!c8\F ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 U8>4Cl J4 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Hq>hnCT ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 M(\{U"%@? ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 0x*|X@6\