示例.0082(1.0) I Xc `Ec Eb3 ZM# 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 #6 M]tr
M8},RR@{ 1. 描述 o[C^z7WG0 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !:(+# ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 omG2p ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 u0C:q`;z
qt8Y3:=8l 2. 系统 ^~4]"J};M q;{(o2g 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
DB vM.'b$ 3. 透镜系统组件编辑 ni;_Un~
6N/(cUXJ
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 )GB#"2
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 [ 8Ohg
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 l}nV WuD
■ 包括序列光学表面和光学介质。 )nN!% |J
9{Hs1MD[ =z1Lim- 4. 光线追迹系统分析器-选项 [$y(>]~. h&"9v~ vs@d)$N
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 TOG:`FID
■ 可以选择选取光线的方法: kWzp*<lWe
— 在x-y-网格 o;8$#gyNY
— 六边形 &L6Ivpj-
— 自由选取 .UK0bxoa
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ~Ztn(1N UP](1lAf 5. 系统的3维视图 EC?5GNGT, '6N)sqTR
m6Dm1'+ 6. 其他系统参数 {vu\qXmMv ■ 系统由单色平面波照明 ing'' _ ■ 照明波长266.08nm P\"kr?jZP ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: G(E1c"? — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 **q8vhJM — 一个虚拟屏位于焦平面 _}[
Du/c — 光束尺寸探测器置于焦平面 `d <`> ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 U,rI/' t{})6 J6 ~Sr b4L7M1l M;A_'h?Z 7. 光线追迹系统分析器的结果 V^7.@BeT d9{lj(2P 光线经过整个光学系统的三维视图
1RAkqw<E 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
H/a gt N* gJu >}SEU-7&\ W8W7<ml0A N{Sp-J> Dk
`&tr 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ^".OMS"! Du_5iuMh tZ]gVgZg
■ VirtualLab可用于计算点列图。 %&L13:
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 .n\JY;"
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 D]~K-[V?l
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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CE"/&I 9. 焦平面上的结果 QE]'Dc%
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 CCTU-Xz/
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 [F<E0rjwM
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm (T1< (YZ
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 S,5ok0R
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 t<rIg1 ^4sfVpD2! 10. 总结 \[9VeqMU ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 'z}
t= ? ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 _c-3eQ1 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 :jTSOd[r ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 )+
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