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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) C890+(D~  
    'jwTGT5x  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 a\|X^%2g  
     pe|\'<>i  
    1. 描述 k.ww-nH  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 n/:Z{  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8^NE=)cb7w  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 _4De!q0(  
    J]_)gb'1BR  
    2. 系统 %hrsE5k^,  
    gB'`I(q5.  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    f61]`@Bk  
    3. 透镜系统组件编辑 EzwF`3RjK  
    \>_eEZ5  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ]*;RHy9  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 e1Dj0s?i~K  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 + >Fv*lux  
    包括序列光学表面和光学介质。 8~rT  
    ;%lJD"yF  
    FxMMxY,*%  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 SlM>";C\  
    zbdOCfA;  
    vHoT@E#}'  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 A Z]Z,s6  
    可以选择选取光线的方法: 1j8/4:  
    — 在x-y-网格 ">rsA&hN-  
    — 六边形 :Fq2x_IUE  
    — 自由选取 d;IJ0xB+by  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    %YsRm%q  
    `\6 +z  
    5. 系统的3维视图 WIhIEU7/  
    #zh6=.,7  
    1 / F<T  
    6. 其他系统参数 MX%|hIOpr  
    系统由单色平面波照明 9iiU,}M`j  
    照明波长266.08nm ~r7DEy|+  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 1j_aH#Fz:  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 %!1@aL]pQ  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 |8b$x| B  
    光束尺寸探测器置于焦平面 xow6@M,  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 1ZGQhjcx  
    bUpmU/ RW  
    |rG8E;>  
    U]1>?,Nk'3  
    .oW~:mY  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ~M|NzK_9  
    $L $j KNwf  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    hA$c.jJr.Z  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Uj y6vgU;  
    $NH`Iu9t  
    0$Qn#K  
    W\ZV0T;<]  
    H"kc^G+(R"  
    P W0q71  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 uk>q\j  
    X}ey0)g%  
    6ba2^3GH  
    VirtualLab可用于计算点列图。 10a=YG  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 5G dY7t_1  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 "oKj~:$  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 \ZmFH8=|f  
    Q7OnhGA  
    9. 焦平面上的结果 rZwf%}  
    3:z4M9f  
    k1@  A'n  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 QmDhZ04f  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 `t/@ L:  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm kfG65aa>_  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 bRY4yT  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    C_g"omw40  
    +)''l  
    10. 总结 xOX*=Wv  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @8x6#|D  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 %$!R]B)  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 &,6y(-  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 } (O D<  
     
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