示例.0082(1.0) $Gs9"~z?; bi{G
:xt 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 K&"ZZFd_
hl}iw_e 1. 描述 D9yAq'k$ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 \]Bwib%h ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8kdJ;%^N ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 \u4`6EYF?
aU\R!Y$/" 2. 系统 #'y4UN 5,_DM
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
S =5br 3. 透镜系统组件编辑 7&`Yl[G
E\5Cf2Ox
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 _^ZBSx09)
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }1kZF{KD<[
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 TI5<'
U)
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ee2k..Tq#
V$Zl]f$S qtR/K=^i 4. 光线追迹系统分析器-选项 MSqW {
E!EENg dDrzO*a\
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 61SbBJ6[
■ 可以选择选取光线的方法: V}aZ}m{J
— 在x-y-网格 A u10]b
— 六边形 byJR6f
— 自由选取 |=u
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 mI>=S ;$Pjl8\ 5. 系统的3维视图 jp+s[rRc\{ )z\ 73|w
vqhu%ZyP 6. 其他系统参数 <Z
j>} ■ 系统由单色平面波照明 u>\u}c ■ 照明波长266.08nm (jI _Dk; ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ?Gnx!3Q — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 +\x}1bNS%j — 一个虚拟屏位于焦平面 Oa-(Xp,n# — 光束尺寸探测器置于焦平面 !sVW0JS h ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 9dCf@5] 0'Uo3jAB "'3QKeM1 ) :VF^" 2n3!pZ8 7. 光线追迹系统分析器的结果
frRO? "?=$(7uc 光线经过整个光学系统的三维视图
(`"87Xomnn 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
i%GNmD nV/;yl4e{
sl_f+h0 X?aj0# Q w6 P`L, eYc 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 4?33t] " g[L}puN rVM?[_'O
■ VirtualLab可用于计算点列图。
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■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 \Lg{GN.
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 888"X3.T
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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[_-[S 9. 焦平面上的结果 E?(:9#02
9P& \2/ {
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 MZvxcr{x
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 PUEEfq!%
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm IFbN ]N0
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 $u cmE
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 |xFSGrC YP`/dX"4 10. 总结 =sUrSVUeU ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 =JE5/ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 +[":W?j ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 *?~&O.R" ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 v[]&yD