示例.0082(1.0) !_Y%+Rkp0 mmwc'-jU: 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 }vZfp5Y
I!F&8B+| 1. 描述 oG22; ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 &2:WezDF ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 g&RhPrtl ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Nj4r[5K
;xq;c\N 2. 系统 0Runex[ MuO(%.H 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Qv,ORm
h5 3. 透镜系统组件编辑 1V5N)ty
^Zpz@T>m
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 E5gt_,j>
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 B$c'^
)
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 4Tuh]5
■ 包括序列光学表面和光学介质。 (|O(BxS
LP7jCt :V"e+I 4. 光线追迹系统分析器-选项 /W>?p@j+K c 9gm% @6_w{6:b
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 T#E,^|WEk
■ 可以选择选取光线的方法: 0XE6Hw
— 在x-y-网格 ,X|
>d
— 六边形 vzAY+EEx
— 自由选取 %N\45nYU:
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 K\}qYdPF EP4?+"Z 5. 系统的3维视图 =sAOWI,8! M$v\7vBgO!
c ~M'O26bW 6. 其他系统参数 V
7 p{'C ■ 系统由单色平面波照明 *` - ■ 照明波长266.08nm
B*`[8kb, ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: }q_Iep — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 heES
[ — 一个虚拟屏位于焦平面 ,~=+]9t — 光束尺寸探测器置于焦平面 9;gy38.3 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Cs]\3R|D` Ayw {I#" K_j*9@ ktY yqb$,$ 7. 光线追迹系统分析器的结果 Nc EPPl0I tR=1.M96Y 光线经过整个光学系统的三维视图
x;JC{d# 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
w$qdV,s 7 Fyz1LOH[X HlxgJw~< 7
A{R0@ 0 4ceDe ,=u!hg 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 sEb*GF*.V ~!fOl)F c~Y g(
■ VirtualLab可用于计算点列图。 #%CB`l
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 qpB8ujj<V
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Wsw/ D
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
=b3<}]
fQf d1=4 9. 焦平面上的结果 a{I(Qh!}
"f!H[F1~
P#KTlH
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 St3/mDtH
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 pr\OjpvD
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm G7#<Jo<8
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 meD?<g4n~"
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 n~yhX%=_Du K}dvXO@=|c 10. 总结 |r`0< ` ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \S#![NC ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 lt C ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;:~-=\ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 d-UQc2r