示例.0082(1.0) 7]53GGNO qa#F}aGd 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 At:C4>HE@
$*> _0{< 1. 描述 xrd^vE ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 [#H8Mb+7 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 )^3655mb ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 A>S2BL#=
b&&'b) 2. 系统 $RO=r90o )]Rr:i9n 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
cViCWc2 3. 透镜系统组件编辑 VNfx>&`
ax }Xsk_
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 g_=ZcGC
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 an@Ue7
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 KO7cZME
■ 包括序列光学表面和光学介质。 [Y+bW#'
`UPmr50Wq HX^
P9jXT 4. 光线追迹系统分析器-选项 1k(*o.6 \`&fr+x -JkO[IF
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 }Qo8Xps
■ 可以选择选取光线的方法: Ac%K+Pgk.
— 在x-y-网格 T9yW# .
— 六边形 =$J2
— 自由选取 ponvi42u
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 5}VP-04vh Nq3P?I(< 5. 系统的3维视图 >Li?@+Zl (6b%;2k
C7:Ry)8'I 6. 其他系统参数
~I74' ■ 系统由单色平面波照明 X8TZePh ■ 照明波长266.08nm v'=APl+_ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能:
73X]|fy — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 9IMcp~zX — 一个虚拟屏位于焦平面 &,xM;8b — 光束尺寸探测器置于焦平面 Ek6W:Q:@ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Dc2eY. oB@C-(M {,ljIhc, ycN_< 1d6pQ9 N 7. 光线追迹系统分析器的结果 <R$|J| f]ef 1# 光线经过整个光学系统的三维视图
nEYJ?_55 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
&3efJ?8 _!ed.h.r: OZD/t(4?6s J^T66}r[f, kaLRI|hC ]n_A~Yr 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $Z4p$o
dk Et(prmH D3OV.G]`
■ VirtualLab可用于计算点列图。 qA42f83
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 SF7Kb `>Y
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 *gnL0\*
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
53c6dl
rm7UFMCR6i 9. 焦平面上的结果 w~`P\i@
Yp8$0KK
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 G[mYx[BTz
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 v3B
^d}+.
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm _\6-]
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 0;9LIL5
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 AMr 9rB d F&Gb[Q&a8 10. 总结 [,c>-jA5 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 =J,:j[D( ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 F=#Wfl-o ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 oUqNA|l
T ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Ok@5`?08