示例.0082(1.0) 9m%7dsv ON:LPf>"- 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 \a{Aa
~+sne7
6 U 1. 描述 PpX{+^z-% ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Q3 K;kS ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 113Z@F ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9nP*N`
DR.3
J`?K 2. 系统 g_3rEvf"4 Ws2prh^e( 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
/ig^7+# 3. 透镜系统组件编辑 },?-$eyX
-~QlHp&SY
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 |NphG|
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ;g;,%jdCS
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |[lxV&SD.
■ 包括序列光学表面和光学介质。 yb@X*PW/z
cP}5}+ TMnT#ypf<5 4. 光线追迹系统分析器-选项 I v 80,hW E9~&f^f ?M*C*/R
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :X1`wBu
■ 可以选择选取光线的方法: DzX6U[=
— 在x-y-网格 KD[)O7hYC
— 六边形 D@/9+]-,
— 自由选取 7v4-hfN
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
>tE,8 C9"f6>i 5. 系统的3维视图 NKIk d ]5qjK~,4b
RU3_Fso 6. 其他系统参数 \kua9bK ■ 系统由单色平面波照明 QjW~6Z.tI ■ 照明波长266.08nm VfJX<e=k ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ;DT"S{"7 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 8ESkG — 一个虚拟屏位于焦平面 RPScP — 光束尺寸探测器置于焦平面 |r<.R> ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ;I0yQlx|U 3!ajvSOI9j Px^<2Q%Fs o$qFa9|Ec? A ydy=sj 7. 光线追迹系统分析器的结果 &L[8Mju6 x r+E 光线经过整个光学系统的三维视图
B<|q{D$N/ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
IAt+S-q0 N?`GZ+5 u:{.
Hn` NZi'eZ{^` 5BGv^Qb_2 HeAc(_=C 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .[eSKtbc) s]V{}bY` U8.0 L
■ VirtualLab可用于计算点列图。 OM.(g%2
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 plz=G}Y
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 QKL]O*
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
pqNoL*
H
ua. 6?W) 9. 焦平面上的结果 +$pO
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JqH.QnKcv
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 )Sh;UW
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 @?($j)9}
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm %CfTqbB
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 (HP={MrV
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 *^&iw$Qx3 "}azC|:5 10. 总结 B+e~k?O] 1 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @tU>~y{E ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :Q%yW%St$ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
h hNFp ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ^LAS9K1.