示例.0082(1.0) O~xmz!?= v a;wQ~& 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ^w\uOd`
Q1[s{, 1. 描述 Q.AM ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 #"JU39e ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 YPEd
XU8} ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Shd,{Z)-Tg
<`q o*__1 2. 系统 Qd?P[xm 7A-rF U$ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
PBv43uIL 3. 透镜系统组件编辑 BI]t}7
`s $@6r$
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 !W7ekPnK
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 2[hl^f^%,
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 i=+6R
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Uo
,3 lMr
Hkt'~L* ')V5hKb^ 4. 光线追迹系统分析器-选项 9=f'sqIPV ZZ5yu* & 0%/(p?]M
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 m+"%Jd{q
■ 可以选择选取光线的方法: '*;rm*n
— 在x-y-网格 dr o42#$Mo
— 六边形 ]Ox.6BKjDP
— 自由选取 gjV&X N
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =qvU9p2o Vp$ckr 5. 系统的3维视图 (" %yV_R wSMgBRV#^
QPEv@laM 6. 其他系统参数 enj2xye%Y ■ 系统由单色平面波照明 j@2 hI,+ ■ 照明波长266.08nm fZO/HzX ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: o<4LL7$A! — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 5;l_-0= — 一个虚拟屏位于焦平面 s@|?N+z — 光束尺寸探测器置于焦平面 qC&<U ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 2srz) xEe 5\J;EWTU 0&x)5^lG 67eo~~nUtg +!(hd 7. 光线追迹系统分析器的结果 7d*<'k]{, Yy}aQF#M 光线经过整个光学系统的三维视图
ov~m?Y]h 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
GZw<Y+/V"5 wF(FV4#gs [% jg;m ~gc)Ww0(Q Fk43sqU6~ QI-3mqL 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 "n:9JqPb @b
zrJ7$ aZRgd^4
■ VirtualLab可用于计算点列图。 h:;~)= {"X
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 hmo?gD<
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 d<Di;5
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
]Vsze4>Z[
a_yV*N`D 9. 焦平面上的结果 lFcCWy
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 OW>U5 \q
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 _W+TZa@_
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm "J9+~)e^!
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 5c#L6 dA)
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
,Y!)V 'e)t+ 10. 总结 ;H^!yj5H ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ~$$V=$& ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ICi- iX ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 oOlI*/OMb ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Qi%A/~