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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) j1$s^-9  
    0a's[>-'A  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 6.QzT(  
    ohB@ijC!  
    1. 描述 sMWNzt  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 *f+DV[DF  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 y$HV;%G{26  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 c0:`+>p2  
    k iY1  
    2. 系统 Mvlqx J$  
    mp>Ne6\Tu  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    xAAwH@ +  
    3. 透镜系统组件编辑 /:aY)0F0<&  
    H_7EK  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A]s|"Pav,  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 WQYw@M~4Q!  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +Rd;>s*.Y  
    包括序列光学表面和光学介质。 I(:d8SF  
    S8)6@ECC  
    zM|Y X<  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ,9~2#[|lq  
    +T]D\];D  
    6n$g73u<=3  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %8g1h)F"S  
    可以选择选取光线的方法: O/PO?>@-/  
    — 在x-y-网格 h2m@Q={  
    — 六边形 \zyvu7YA  
    — 自由选取 >Y"Ru#Ju9  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ]F*fQ Ncjy  
    S/7?6y~  
    5. 系统的3维视图 o0F&,|'  
    5Ls ][l7  
    #\$AB_[ot>  
    6. 其他系统参数 ~k'SP(6#C  
    系统由单色平面波照明 jZ>x5 W  
    照明波长266.08nm v_e3ZA:%  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: OS$^>1f"  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 BBlYy5x  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 #hF(`oX}4K  
    光束尺寸探测器置于焦平面 &`Ek-b!7  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ]?a i  
    k^*S3#"  
    f#b;s<G  
    2N[/Cc2Tg/  
    )V?:qCuY>  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 :[.**,0R  
    $irF  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    R*r;`x  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    &-hXk!A  
    LF\HmKM,  
    ?I332,,q  
    E8] kd  
    ;dZuO[4\  
    0;2"X [e  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 :SvgXMY@  
    ;HoBLxb P  
    20A`]-D  
    VirtualLab可用于计算点列图。 5l4YYwd>v  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 =WM^i86  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 K:(E"d;  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 OV,t|  
    )4e?-?bK!  
    9. 焦平面上的结果 <S68UN(Ke  
    xSy`VuSl  
    :.aMhyh#*  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 LeaJ).Maw  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 YML]pNB  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm JK'FJ}Z4  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 R]<N";-  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    @p ZjJ<9QM  
    ]-"G:r  
    10. 总结 xTg=oq  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 m6Mko2  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 !!?TkVyEyM  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 " `FcW  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 v8f1o$R  
     
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