示例.0082(1.0) A }dl@ W1Ht8uYG3 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 *iYs,4
-PxA~((g5 1. 描述 9ah,a 4 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 |vzGFfRI ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 )(,+o ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 |,qz7dpe
bj7v <G|Y 2. 系统 pTcm2-J rNZN}g 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
lqu1H& 3. 透镜系统组件编辑 a?@j`@]ZR~
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 c,e
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 $NqT={!
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 G:f]z;Xdp
■ 包括序列光学表面和光学介质。 w(s"r p}
RM,r0Kv17Y V7 c7(G 4. 光线追迹系统分析器-选项 qdzc"-gH` AWGeK-^ 7Sr7a{
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 j5tA!o
■ 可以选择选取光线的方法: 2E;*kKw[
— 在x-y-网格 ~`T3 i
— 六边形 7j{SCE;
— 自由选取 'kPShZS$b
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 DaaLRMQ= ^cd+W? 5. 系统的3维视图 GtbIw )j!22tlL
p.&FK'&[0 6. 其他系统参数 :rwF5 ■ 系统由单色平面波照明 ->:G+< ■ 照明波长266.08nm 1[/X$DyaK ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 9V("K — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 %J7 ;b<}To — 一个虚拟屏位于焦平面 I%;xMtY1o — 光束尺寸探测器置于焦平面 YWjw`,EA( ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 *cJ GrLC
>Xh9{/o \,lgv KZJ;O7'` r`VKb 7. 光线追迹系统分析器的结果 vY:A7yGW $
^m_M.1 光线经过整个光学系统的三维视图
X5'foFE' 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
@~xNax&^ ^HQg$}= mRFcZ.7 u\.7#D> h)fi9 {088j?[hzk 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 "\U$aaF ~~]L!P MW6d-
■ VirtualLab可用于计算点列图。 v4DF
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■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 T[;O K
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 NAlYfbp
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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O#uTwnW 9. 焦平面上的结果 6m|j "m
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V)oUSHillH
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 u+~Ta
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 $ohIdpZLH2
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 7ae8nZ3&
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 gyondcF
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 A90oX1l 7kp$C?7K 10. 总结 AbC/ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 5\A[ra ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 S9U,so? ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 TG~:Cmc ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 "}Of f