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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Z.am^Q^Y!  
    veFl0ILd  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 +c.A|!-  
    XKp.]c wP  
    1. 描述 Fq!12/Nn  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 l+Dl~o}  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 a*REx_gLG  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 kMWu%,s4  
    8 !Pk1P  
    2. 系统 q>/# P5V  
    2.u d P  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    S(9Xbw)T  
    3. 透镜系统组件编辑 R $HI JM  
    ?v-IN  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 L+LxS|S+M  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ,Dfq%~:grT  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 7 Bm 18  
    包括序列光学表面和光学介质。 X&o!xV -+  
    {Z 3t0F  
    )A:2y +  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 fzO4S^mTo8  
    b#bdz1@s  
    [_hHZMTH  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 A`v(hBM  
    可以选择选取光线的方法: %lNv?sWb  
    — 在x-y-网格 lTJ1]7)  
    — 六边形 -CfGWO#Gbx  
    — 自由选取 s\i=-`  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    W6ZXb_X  
    aehGT|  
    5. 系统的3维视图 A"x1MjuqLM  
    Vo}3E]  
    v+U( #"  
    6. 其他系统参数 oEbgyT gB  
    系统由单色平面波照明 .yE!,^j.gB  
    照明波长266.08nm j2# nCU54Z  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Qna ^Ry?6)  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 /%C6e )7BL  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ;v'7l>w3\w  
    光束尺寸探测器置于焦平面 JIvVbI  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Y,RED5]t  
    e`k6YO  
    tt%Zwf  
    TU$PAwn=  
    c[E{9wp v  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 VvN52 qeL  
    V#[I/D  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    8T92;.~(  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    g \)+ LX  
    Yh_H $uW  
    l%\3'N]  
    ]'V8{l  
    s<gZB:~  
    Uov%12  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 V&vU her0  
    vpXC5|9U  
    :,"dno7OQ  
    VirtualLab可用于计算点列图。 t+Kxww58  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 9 tkj:8_  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ozH7c_ <  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 _Z+tb]  
    I\DmVc\l  
    9. 焦平面上的结果 @3KVYv,q  
    ,{:c<W:A]  
    j)ZvlRi,  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 SY|r'8Z%Q  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 pxjN\q  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm j*f%<`2`j  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 d=V4,:=S  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    DfwxPt#  
    c+?L?s`"  
    10. 总结 _'<V<OjVM!  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 KK4>8zGR  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 (q`Jef  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ~r;da9  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 {dvrj<?  
     
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