示例.0082(1.0) <;W4Th<4 MJ>(HJY6?% 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 4?8GK
nEs l 1. 描述 g,x$z~zU{ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~*G I<n ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 V
GM/ed5- ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 M}us^t*
-@AGQ+e 2. 系统 a'Aru^el yp!Xwq#n 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
"BEU%,w 3. 透镜系统组件编辑 /&vUi7'
mo<g'|0
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 >YPfk=0f0
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 n j1 cqh
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 oSE'-8(
■ 包括序列光学表面和光学介质。 >iaZGXje
&XN*T.Y` JQI`9$asuC 4. 光线追迹系统分析器-选项
c9DX wxvt:== CYG'W FvZZ
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 =]"[?a >
■ 可以选择选取光线的方法: "<bL-k*H)
— 在x-y-网格 =OhhMAn
— 六边形 c1b@3
— 自由选取 A9F&XF7{
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Z<xSU?J Z=n& fsE 5. 系统的3维视图 `[Kh[| cLJ|VD7
]ujH7T 6. 其他系统参数 7Nx@eoZ ■ 系统由单色平面波照明 #& Rx( ■ 照明波长266.08nm L"#Tas\5 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 0vDP-qJV- — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 RrGS$< — 一个虚拟屏位于焦平面 awo=%vJ& — 光束尺寸探测器置于焦平面 vPpbm ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 '[:].?M [Fjh :9]23'Md J:pnmZ`X v k.Y2
: 7. 光线追迹系统分析器的结果 B.|2w ^#XxqVdPk 光线经过整个光学系统的三维视图
5v!Uec'+ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
+qjW;]yxP Yb414 K 4jO~kcad ENjrv
NAHQ:$ 69\0$O 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 m6aoh^I R4pbi= I0GL/a4s
■ VirtualLab可用于计算点列图。 o]PSyVg
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 C n4|qX"&t
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Qa(u+
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
F1gDeLmJ
{ZN{$Ad3/ 9. 焦平面上的结果 i8u9~F
2 R 1S>X
g)xzy^2e
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 sRt|G
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 tE<L4;t
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm goWD~'\
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Ff%m.A8d,4
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 V ;"?='vVe eAm7*2 10. 总结 )Q~Q. ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Z/:(*F C ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 {tF=c0Z ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 tgc&DT;E ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 k:`^KtBMl