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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) mF;mJq<d  
    GP%V(HhN  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ,~d0R4)  
    ?.VKVTX^  
    1. 描述 X 61|:E  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 g{yw&q[B=  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 juOStTq<  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 eK:?~BI!  
    @.W;3|~qc  
    2. 系统  B(;MI`  
    py'vD3Q  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    0P5VbDv$r7  
    3. 透镜系统组件编辑 f#!+l1GV  
    l/G +Xj4M  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 x 7by|G(  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @JbxGi  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [ey# ,&T  
    包括序列光学表面和光学介质。 wSjDa.?'  
    05LkLB  
    #%;Uh  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 {6ZSf[Y6B  
    /qIQE&V-  
    xQFY/Z  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Mr)t>4  
    可以选择选取光线的方法: oK\zyNK  
    — 在x-y-网格 i&:SWH=  
    — 六边形 NuQ!huh  
    — 自由选取  =1Sny7G  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    *-9i<@|(U^  
    X hq ss),  
    5. 系统的3维视图 e(8hSVcl4  
    UT\4Xk<  
    WA (x]""  
    6. 其他系统参数 I<D#   
    系统由单色平面波照明 1cK'B<5">]  
    照明波长266.08nm  +|LM"  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 6'^E ],:b  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 a}%f +`z  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 X9Ch(nWX  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ,->K)Rs;  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Am F[#)90P  
    AO7[SHDZ  
    B"_O!  
    M3jUnp&  
    gE6'A  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 V$ H(a`!  
    b{<?E };%  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    N#ggT9>X  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    qLCNANWnd  
    F{ %*(U  
    <<0sv9qw1  
    v#Rh:#7O%U  
    d=vuy   
    712nD ?>  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 @[g7\d  
    ~lo43$)^  
    {mJ' Lb0;  
    VirtualLab可用于计算点列图。 i O$87!  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 p*b_ "aF1  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 6B?jc/V.R  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 J%CCUl2  
    Og1-LP|X  
    9. 焦平面上的结果 8ao-]QoMZ  
    ;stjqTd  
    O>h`  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 5sT3|yq  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Y1h)aQ5{  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm  ;2C  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 `6~0W5  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ii?T:T@  
    HV~Fe!J_  
    10. 总结 y > =Y  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \\R}3 >Wc  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 (xb2H~WrN  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "9_$7.q<y  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 7 FE36Ub9  
     
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