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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) KX'{[7}m'  
    X]wRwG  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 &6ZD136  
     @~YYD#'vNY  
    1. 描述 8W,Jh8N6  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 nV-mPyfL8  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 u~WVGjoQ  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 X voo=  
     ;[=8B \?  
    2. 系统 (9Ux{@$o[  
    mi,E-  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    56zL"TF`  
    3. 透镜系统组件编辑 ;/r1}tl+3>  
    $5ak_@AC  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 MP_ ~<Q  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 .J)I | '  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 jRJn+  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 2O.i\cH  
     NbgK@eV}+{  
    a&c6.#E{y  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 _'{_gei_P  
    eU".3`CtY  
    7UVzp v  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 W4pL ,(S  
    ■ 可以选择选取光线的方法： Xq_5Qv  
    — 在x-y-网格 ]n_ k`  
    — 六边形 k <=//r  
    — 自由选取 }o(zj=7  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     [lWQ'DZ  
    /aZ+T5O  
    5. 系统的3维视图 5=v}W:^v.  
    c:<005\Bg  
    Y2n!>[[.  
    6. 其他系统参数 5ni~Q 9b  
    ■ 系统由单色平面波照明 Sjv dirr  
    ■ 照明波长266.08nm [|(N_[E|6  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： j bVECi-  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ~<_2WQ/$  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 HCyv]LR  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 r'^Hg/Jzt  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 YG3J$_?y0  
    H`1{_  
    V@zg}C|e  
    Nl^;A> <u  
    ]s'Q_wh_-v  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 o]yl ;I  
    F Sw\_[^CQ  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    l_o@miG/  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    v|uAzM{73  
    \fG#7_wt  
    Al}6q{E9+8  
    C-Q28lD}f  
    F5P[dp-`1  
    wSa)*]%  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Fv~20G (O  
    TW)c#P43K  
    LAB=Vp1y3[  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 #Y*X<L  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 {:6r;TB  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 i,>khc  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 AL9chYP}/  
     (;T^8mI2  
    9. 焦平面上的结果 7HIeJ  
    h2Ld[xvCu%  
    >AVVEv18  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 tSc Pa,(  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 #M9~L[nF S  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 39:bzUIF  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 ',9V|jvK  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     -ws? "_w  
    IpYM;tYw&  
    10. 总结 K"|l@Q[  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ^q{9  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。  _zY# U9  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 mk.9OhYY  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 0)Uce=t`  
     
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