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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) JmR2skoV,  
    obF|;fwPnR  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 H^S<bZ  
    W =Bw*o-  
    1. 描述 59j`Z^e  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 _p 1!8*0]  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 w{[^  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 rL"]m_FK  
    ^ /G ;  
    2. 系统 ^8 ,prxaok  
    Nb ~J'"  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    08^f|K  
    3. 透镜系统组件编辑 svEe@Kt`  
    *@#Gc%mGu  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A+dx7anUz  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 B%Qo6*b  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 }ixCbuD  
    包括序列光学表面和光学介质。 0H4|}+e  
    #V/{DPz  
    viYrPhH+z  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 $#5 'c+0  
    S{e3aqT#N  
    qfCZ [D  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 4V,p\$;  
    可以选择选取光线的方法: JSju4TQ4  
    — 在x-y-网格 =e#h;x2  
    — 六边形 7.G"U  
    — 自由选取 RZ{O6~VH  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    J`[jub  
    MmvJ)|&t  
    5. 系统的3维视图 R8lja%+0$  
    gS[B;+d  
    ;Qt/(/  
    6. 其他系统参数 #U%HG TE0  
    系统由单色平面波照明 PD S( /x&  
    照明波长266.08nm x(EwHg>;  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: U%@C<o "  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 LD?\gK "  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 -UidU+ES;  
    光束尺寸探测器置于焦平面 n>eDN\5  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 b#6mUl2  
    )XSHKPTQ1  
    kzCJs  
    W(ryL_#;  
    +\ "NPK@3  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 t D 8l0  
    _\k?uUo&,^  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    F~rl24F  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    aLW3Ub{h  
    f &NX~(  
     ^ b5+A6?  
    9wf"5c  
    .UX4p =  
    (m Yi  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 alzdYiGf  
    7uw-1F5x7  
    gx^!&>eIb#  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Q{=r9&&  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 n;=FD;}j+  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 oBub]<.J  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 eF7I 5k4  
    d:A'|;']  
    9. 焦平面上的结果 t~ I;IB  
    ~$^ >Vo  
    ?ZC!E0]  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 }JQy&V%  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 I~~":~&  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm =6\^F i  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 b=sY%(2s  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    `mD!z.`U  
    &CXk=Wj  
    10. 总结 e&!c8\F  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 U8>4ClJ4  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Hq>hnCT  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 M(\{U"%@?  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 0x*|X@ 6\  
     
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