示例.0082(1.0) BGB,Gb F-$Z,Q]S 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 nmD1C_&
(@%XWg 1. 描述 ELN|;^-/|Q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 uIYcmF\? ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 SW,q}- ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Nl~Z,hT$*
Fy 4Tvg 2. 系统 { A:LAAf[6 " 2ZI oa!^ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
/;(<fh<bY 3. 透镜系统组件编辑 5*JV )[
KH>Sc3p
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 2-8YSHlh
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 a<f;\$h]
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 gXq!a|eH
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Y[f,ia
m3U+ du Xy[}G p 4. 光线追迹系统分析器-选项 ?D1x;i9< >:.w7LQy/ S8*^ss>?^R
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 AU0$A403
■ 可以选择选取光线的方法: S#P+B*v
— 在x-y-网格 ,"@w>WL<9
— 六边形 (YAI,Xnw
— 自由选取 MPjr_yc]
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &\&'L|0F &@=u+)^-{ 5. 系统的3维视图 PASuf.U$" K{|w 43>D
(d54C(") 6. 其他系统参数 L5R `w&Up ■ 系统由单色平面波照明 K1;zMh ■ 照明波长266.08nm 3|q2rA ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: {VBR/M(q — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 U!x0,sr — 一个虚拟屏位于焦平面 t G]N*%@ — 光束尺寸探测器置于焦平面 P\.WXe#j ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 O-i4_YdVt <"N:rn{Qq U%Dit $RpFxi
DD2adu^ 7. 光线追迹系统分析器的结果 lrCm9Oy \.5F](: 光线经过整个光学系统的三维视图
)r=9]0= 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
*f{7 {":c@I M#`{>R| TKK,Y{{ ]GcV0&| &xgZFSq 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 bi+9R-=& Cm^Ylp Xc{ZN1 4n
■ VirtualLab可用于计算点列图。 9`&?hi49nK
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 B
i'd5B5
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 yXkt:O,i
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
P%iP:16
5;}2[3}[ 9. 焦平面上的结果 hMv2"V-X
{JXf*IJ
`4_c0q)N4
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 dQ,Q+ON>
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 SBC~QD>L+
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
l@xWQj9
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 +.=1^+a
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 v3-5"q!Sq nkTYWw 10. 总结 B`#*o<eb ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 H*GlWgfG ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Cb4_ ?OR0 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 HV8I nodi ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 b(/j\NWC