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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) BGB,Gb  
    F-$Z,Q]S  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 nmD1C_&  
    (@ %XWg  
    1. 描述 ELN|;^-/|Q  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 uIYcmF\?  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 SW,q}-  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Nl~Z,hT$*  
    Fy 4Tvg  
    2. 系统 { A:LAAf[6  
    "2ZIoa!^  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    /;(<fh<bY  
    3. 透镜系统组件编辑 5*JV )[  
    K H>Sc3p  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 2-8YSHlh  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 a<f;\$h]  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 gXq!a|eH  
    包括序列光学表面和光学介质。  Y[f,ia  
    m3U+ du  
    Xy[}Gp  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ?D1x;i9<  
    >:.w7LQy/  
    S8*^ss>?^R  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 AU0$A403  
    可以选择选取光线的方法: S#P+B*v  
    — 在x-y-网格 ,"@w>WL<9  
    — 六边形 (YAI,Xnw  
    — 自由选取 MP jr_yc]  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    &\&'L|0F  
    &@=u+)^-{  
    5. 系统的3维视图 PASuf.U$"  
    K{|w 43>D  
    (d54C(")  
    6. 其他系统参数 L5R `w&Up  
    系统由单色平面波照明 K1;z Mh  
    照明波长266.08nm 3|q2rA  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: {VBR/M(q  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 U!x0,sr  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 t G]N*%@  
    光束尺寸探测器置于焦平面 P\.WXe#j  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 O-i4_YdVt  
    <"N:rn{Qq  
    U%Dit  
    $RpF xi  
    DD2adu^  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 lrCm9Oy  
    \.5F](:  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    )r=9]0=  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    *f{7  
    {":c@I  
    M#`{>R|  
    TKK,Y{{  
    ]GcV0&|  
    &xgZF Sq  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 bi+9R-=&  
    Cm^Yl p  
    Xc{ZN1 4n  
    VirtualLab可用于计算点列图。 9`&?hi49nK  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 B i'd5B5  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 yXkt:O,i  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 P%iP:16  
    5;}2[3}[  
    9. 焦平面上的结果 hMv2"V-X  
    {JXf*IJ  
    `4_c0 q)N4  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 dQ,Q+ON>  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 SBC~QD>L+  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm l@xWQj9  
    此外,背景颜色也可以预先设置。  +.=1^+a  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    v3 -5"q!Sq  
    nkTYWw  
    10. 总结 B`#*o<eb  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 H*GlWgfG  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Cb4_ ?OR0  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 HV8I nodi  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 b(/j\NWC  
     
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