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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) ] iVoF N}^  
    zrCQEQq  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 h**mAa0fo  
    D}:M0EBS  
    1. 描述 ao.v]6a  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Z\P&i#  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 P :D6w){  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 )K^5+oC17  
    s9}VnNr  
    2. 系统 ]h0K*{  
    7"Iagrgw  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    +b6kU{  
    3. 透镜系统组件编辑 qECta'b&  
    :p,DAt}  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5qx$=6PT  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 G9i?yd4n=B  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^J$?[@qD  
    包括序列光学表面和光学介质。 .jjv S  
    +idp1SJ4  
     Gu P1  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 +~]LvZtI_  
    ^zVBS7`J  
    dTW3mF4=  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 J`x!c9zg7  
    可以选择选取光线的方法: nXnO]wXC  
    — 在x-y-网格 13 e @  
    — 六边形 KF4}cM=.5  
    — 自由选取 WF0[/Y  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    $S _VR  
    pJ 7="n  
    5. 系统的3维视图 .kkrU  
    F-2&P:sjQ  
    \@i4im@%xU  
    6. 其他系统参数 X6g{qzHg_  
    系统由单色平面波照明 q-)Ynp4'  
    照明波长266.08nm L 2:N@TP  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: |ydOi&  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |&]04  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 8f0Ytfhw  
    光束尺寸探测器置于焦平面 G*lkVQ6?  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 $5n6C7  
    >m;*Zk`  
    urK[v  
    jsrIZbN  
    Y"&1jud4xl  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ^sA"&Vdr^  
    #fR~ 7 KR  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    b4HUgW3Ac  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    D-IXO @x  
    E)=X8y  
    ?pJUbZ#J  
    ~qxuD_  
    L&2 Zn{#`  
    2PSt*(  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 a9CK4Kg  
    !{, `h<  
    8P#jC$<  
    VirtualLab可用于计算点列图。 atA:v3"  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Q7-d]xJ^  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Z-D4~?Tv  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 2l9RU}  
    xYGB{g]  
    9. 焦平面上的结果 L93KsI  
    ^5yFb=2  
    oI6l`K$  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 }dt7n65  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 g,N"o72)  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm BbqH02i  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Y79{v nlGk  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    LgX"Qk&Ca  
    3LaqEj  
    10. 总结 $stBB  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \:/ :S"-  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 JNYFu0  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 aF~ 0\XC  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 GukS =rC9  
     
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