示例.0082(1.0) SN#Cnu} h#:_GNuF 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 lE=&hba
zWO!z= 1. 描述 wZe>}1t ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 s~i73Qk/ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Zb&5)&'X ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 /#Fz
K
UlNx5l+k 2. 系统 jNbU{Z%r [8 I*lsS 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
lZ'ZL* 3. 透镜系统组件编辑 U;w|
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i;l0)q
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 .ri?p:a}w
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 )\PPIY>iP
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 };m.8(}$)
■ 包括序列光学表面和光学介质。 8-5g6qAS
2Q;g|*] wn Q% 'Eo 4. 光线追迹系统分析器-选项 7W.z8>p ./qbWr`L Xs Ey8V
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ;659E_y>
■ 可以选择选取光线的方法: Q $^)z_jai
— 在x-y-网格 4p6\8eytq.
— 六边形 P;bOtT --
— 自由选取 yc7"tptfF
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 4(mRLr%l@` tq.g4X ;_ 5. 系统的3维视图 6[T)Q ^0` MA+{7 [
19]O; 6. 其他系统参数 3gQ2wP*K ■ 系统由单色平面波照明 :G4)edwe ■ 照明波长266.08nm dF+R
q|n{ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: yD yMI — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 tSX,*cz — 一个虚拟屏位于焦平面 _]Y9Eoz — 光束尺寸探测器置于焦平面 OI)U c . ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 K<vb4!9Z9 zgPUW z
X= -Gj."ks O_P8OA#| lEC91:Jyt 7. 光线追迹系统分析器的结果 *@E&O^%cO 2PViY,V| 光线经过整个光学系统的三维视图
8,&pX ga 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
-~TgA*_5] jc7NYoT: A3A"^f$$ ?'mi6jFFh K!O7q~s[D C<E;f]d 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 "ZR^w5 =SK{|fBB Senb_?
■ VirtualLab可用于计算点列图。 w1,6%?p(O
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;@/vKA3l.
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 t}fU 2Yb
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
`7jdV
FQBAt0 9. 焦平面上的结果 </li<1
x}7` Q:k=
%0lJ(hm
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 s}Q*zy
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Ixr#zt$T-G
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 8?[#\KgH1
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 9._Osbp3P
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Nrfj[I ]GmXZi 10. 总结 &-(p~[| ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ~Aoo\fN_U ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 9~6~[z ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Sz0CP1WB ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 lk%W2N5