示例.0082(1.0) ]iVoF N}^ zrCQEQq 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 h**mAa0fo
D}:M0EBS 1. 描述 ao.v]6a ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Z\P&i# ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 P
:D6w){ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 )K^5+oC17
s9}V nNr 2. 系统 ]h0 K*{ 7"Iagrgw 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
+b6kU{ 3. 透镜系统组件编辑 qECta'b&
:p,DAt}
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5qx$=6PT
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 G9i?yd4n=B
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^J$?[@qD
■ 包括序列光学表面和光学介质。 .jjvS
+idp1SJ4 G u P1 4. 光线追迹系统分析器-选项 +~]LvZtI_ ^zVBS7`J dTW3mF4=
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 J`x!c9 zg7
■ 可以选择选取光线的方法: nXnO]wXC
— 在x-y-网格 13e @
— 六边形 KF4}cM=.5
— 自由选取 WF0[/Y
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 $S _VR pJ 7="n 5. 系统的3维视图 .kkrU F-2&P:sjQ
\@i4im@%xU 6. 其他系统参数 X6g{qz Hg_ ■ 系统由单色平面波照明 q-)Ynp4' ■ 照明波长266.08nm L
2:N @TP ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: |ydOi& — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 | &]04 — 一个虚拟屏位于焦平面 8f0Ytfhw — 光束尺寸探测器置于焦平面 G*lkVQ6? ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 $5n6C7 >m;*Zk` urK[v jsrIZbN Y"&1jud4xl 7. 光线追迹系统分析器的结果 ^sA"&Vdr^ #fR~7K R 光线经过整个光学系统的三维视图
b4HUgW3Ac 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
D-IXO@x E)=X8y ?pJUbZ#J ~qxuD_ L&2 Zn{#` 2PSt*( 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 a9 CK4Kg !{,
`h< 8P#jC$<
■ VirtualLab可用于计算点列图。 atA:v3"
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Q7-d]xJ^
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Z-D4~?Tv
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
2l9RU}
xYGB{g] 9. 焦平面上的结果 L93KsI
^5yFb=2
oI6l `K$
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 }dt7n65
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 g,N"o72)
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm BbqH02i
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Y79{v nlGk
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 LgX"Qk&Ca 3LaqEj 10. 总结 $stBB ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \:/:S"- ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 JNYFu0 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 aF~ 0\XC ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 GukS=rC9