示例.0082(1.0) fdIk{o $okGqu8z.O 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 !xm87I
5Uc!;Gd?b 1. 描述 2YD;Gb[8 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6vrMR&#a ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 `2S G{5o; ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 8-Ik .,}
DW^E46k)A 2. 系统 '"{ IV &[*F!=%8 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
FpjpsD~Qu 3. 透镜系统组件编辑 P%hi*0pwZ
+@wa?"
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ln#Jb&u
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 <QGf9{m
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 v%(2l|M
■ 包括序列光学表面和光学介质。 +~Ni7Dp]
9*gD;) ! aZGX`;3 4. 光线追迹系统分析器-选项 #M;Cw}pW }R#YO$J7 <S'5`-&
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 " >QNiR!
■ 可以选择选取光线的方法: JTw\5j
— 在x-y-网格 KUG\C\z6=
— 六边形 XkZ82w#b
— 自由选取 =p 9d4smbn
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !BD+H/A.{ md_9bq/w 5. 系统的3维视图 gbOd(ugH $+eDoI'f
iX0s4 6. 其他系统参数 P!qU8AJkt ■ 系统由单色平面波照明 N5u.V\F!z\ ■ 照明波长266.08nm q y1$(3t$ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: =
8F/]8_ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 \;
Io — 一个虚拟屏位于焦平面 Ay'2!K,I — 光束尺寸探测器置于焦平面 (;2J}XQvO~ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 G<9UL*HU
Xk[;MZ[ WyH2` xxX "71@WLlN D&q-L[tA@ 7. 光线追迹系统分析器的结果 y>T:fu %\8E{M: 光线经过整个光学系统的三维视图
r'7>J:cy= 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
@RW=(&<1 ydOJ^Yty j_ dCy vzVXRX $ qk2! .Ua|KKK C 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 P#5&D*`}h sqw^Hwy=!2 :4]^PB@dl
■ VirtualLab可用于计算点列图。 HMT^gmF)
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 AL%H$ I
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Pl4$`Qw#y
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
{f;]
i;!#:JX 9. 焦平面上的结果 k^-HY[Q9
~Aul 7[IH
y'ULhDgq^B
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 J{"<Hgb
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 1PLxc)LsG
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm qOO2@c
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 _JZS;8WYR
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 _Wn5*
Pi%Z -}nTwx:|5u 10. 总结 GmoY~}cg~ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 N<V,5 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 B\BxF6 y ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 $ftcYBZa ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 "I.PV$Rxl