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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) <;W4Th<4  
    MJ>(HJY6?%  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 4?8GK  
    nEs l  
    1. 描述 g,x$z~zU{  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~*G I<n  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 V GM/ed5-  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 M}us^t*  
    -@AGQ+e  
    2. 系统 a'Aru^el  
    yp!Xwq#n  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    "BEU%,w  
    3. 透镜系统组件编辑 /&vUi7'  
    mo <g'|0  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 >YPfk=0f0  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 n j1 cqh  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 oSE'-8(  
    包括序列光学表面和光学介质。 >iaZGXje  
    &XN*T.Y`  
    JQI`9$asuC  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 c9DX  
    wxvt:= =  
    CYG'WFvZZ  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 =]"[?a >  
    可以选择选取光线的方法: "<bL-k*H)  
    — 在x-y-网格 =OhhMAn  
    — 六边形 c1b@3  
    — 自由选取 A9F&XF7{  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Z<xSU?J  
    Z=n& fsE  
    5. 系统的3维视图 `[Kh[|  
    cLJ|VD7  
    ]uj H7T  
    6. 其他系统参数 7Nx@eoZ  
    系统由单色平面波照明 #& R x(  
    照明波长266.08nm L"#Tas\5  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 0vDP- qJV-  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 RrGS$<  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 awo=%vJ&  
    光束尺寸探测器置于焦平面 vPpbm  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 '[:].?M  
    [Fj h  
    :9]23'Md  
    J:p nmZ`X  
    vk.Y2 :  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 B.|2w  
    ^#XxqVdPk  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    5v!Uec'+  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    +qjW;]yxP  
    Yb414K  
    4jO~kcad  
    ENjrv   
    NAHQ:$  
    69\0$O  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 m6aoh^I  
    R4p bi=  
    I0GL/a 4s  
    VirtualLab可用于计算点列图。 o]PSyVg  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 C n4|qX"&t  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Qa(u+  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 F1gDeLmJ  
    {ZN{$Ad3/  
    9. 焦平面上的结果 i8u9~F   
    2 R1S>X  
    g)xzy^2e  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 sRt|G  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 tE<L4;t  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm g oWD~'\  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Ff%m.A8d,4  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    V ;"?='vVe  
    eAm7*2  
    10. 总结 ) Q~Q .  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Z/:( *FC  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 {tF=c0Z  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 tgc&DT; E  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 k:`^KtBMl  
     
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