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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 8>: kv:MId  
    *wNX<R.  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 _n.2'  
     traJub  
    1. 描述 X(D$eV  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !B=Oc!e=K  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ~|j:xM(i  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 j@1rVOmK  
     9m2_zfO[ w  
    2. 系统 cz8%p;F:  
    )ca^%(25!z  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    {HV$hU+_)Q  
    3. 透镜系统组件编辑 Jjb(lW  
    QjW7XVxB#N  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 hcQvL>  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 JHY0 J &4s  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 8:Yha4<Bv7  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ,&S ^Ryc  
     Tct[0B  
    !/4f/g4Ze  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 #1MEmt  
    ^*7~ Wxk5  
    1vcI`8%S+u  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 X-oHQu5  
    ■ 可以选择选取光线的方法： )7mX]@  
    — 在x-y-网格 o C]tEXJ  
    — 六边形 {~*aXu 3  
    — 自由选取 [\o+I:,}wi  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     1'5I]D ec  
    ICNS+KsI  
    5. 系统的3维视图 ^}XKhn.S'  
    8ALvP}H  
    !B==cNq  
    6. 其他系统参数 2Wlk]  
    ■ 系统由单色平面波照明 ETP}mo  
    ■ 照明波长266.08nm Z, Kbt  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： +"Pt?k  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 1y5]+GU'`  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 8uyUvSB  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 0G/VbS  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 *|n::9  
    )hH9VGZq(  
    \Nc/W!r*9  
    .p%p_  
    tt=?*n  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Lm<"W_  
    KWU ~QAc  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    r3o_mO?X  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    Wxl^f?I`:  
    DXlP (={*  
    _S:6;_bz  
    ]KGLJ~hm>  
    [GeJn\C_?  
    u,0N[.&N  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 )^UM8 s  
    [>"bL$tlo*  
    F_ ~L&jHP  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 iw<#V&([ J  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 sDnHd9v<?t  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 SCl$+9E  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 v*%#Fp,g8  
     %dTkw+J  
    9. 焦平面上的结果 ~je#gVoUR  
    %iWup:  
    aH)$#6${Ap  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 -f0Nb+AR  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 !dB {E  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm :.['e`  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 !RLg[_'  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     <8 MKjf  
    Evkb`dU3n  
    10. 总结 _Zya GDv  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 vS-k0g;   
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 Efi@hdEV  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 hXi^{ntw,  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 C=ni5R  
     
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