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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) ^K"BQ~-w  
    s*la`(x  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 2lsUCQI;  
    ]Ac}+?  
    1. 描述 ~x8nC%qPvq  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 1b1Ab zN  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 :sg}e  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 <9ucpV  
    <$e|'}>A  
    2. 系统 r~)fAb?  
    .+u b\  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    z5$Q"Y.D  
    3. 透镜系统组件编辑 9r]|P}yuS  
    o:Kw<z,$H  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 p}JOiiHa  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ;9OhK71}  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -:ucp2  
    包括序列光学表面和光学介质。 At:8+S<?A  
    Su,:f_If,  
    PX|@D_%Y=  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ?yS1|CF%&y  
    GA gTy  
    K#Ck,Y"  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 @5nFa~*K%  
    可以选择选取光线的方法: jj[6oNKE1  
    — 在x-y-网格 `?Q p>t  
    — 六边形 d:';s~  
    — 自由选取 h[]9F.[  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    EWD^=VITL  
    @Iz]:@\cJ  
    5. 系统的3维视图 4`#Q  
    7v%c.  
    @ye!? %  
    6. 其他系统参数 AChz}N$C  
    系统由单色平面波照明 GHGyeqNM  
    照明波长266.08nm ]Orx %8QS!  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Os"('@jd>  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^-Od*DTL  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 r+FEgSDa]  
    光束尺寸探测器置于焦平面 [HQ)4xG  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 gY~r{  
    YGyv)\  
    {=[>N>"  
    :ZrJL&  
    1.!U{>$  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 >-A@6Qe_  
    R7bG!1SHl  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    lDYgt UKG  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    5X!-Hj  
    |HK:\)L%  
    _HUbE /  
    P'Rw/c o  
    sApix=Lr  
    HK!ecQ^+  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 u;_~{VJ-  
    EraGG"+  
    I$7eiW @  
    VirtualLab可用于计算点列图。 R_PF*q2 '  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 X .t4;  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 p u(mHB  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 vamZKm~p  
    @z@%vr=vX  
    9. 焦平面上的结果 x z _sejKB  
    !K>iSF<  
    A;TP~xq\  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 B?VTIq>  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 6z9 '|;,4  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm iQ/~?'PB  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 \]9)%3I  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    >pU9}2fpT  
    E8# >k  
    10. 总结 _M^.4H2  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 3$\k=q3`#  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 &N7ji  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 X$Vi=fvt  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 X NJ4T]><  
     
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