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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) /&vUi7'  
    H2|w  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 MQp1j:CK  
    .\< \J|3  
    1. 描述 >iaZGXje  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 `\#Q r|GC  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 4oCn F+(  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 d0 |Q1R+3  
    ]+,Z()  
    2. 系统 {:fyz#>>^  
    >uxak2nM-  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ~H?RHYP~  
    3. 透镜系统组件编辑 :Im_=S[0  
    0]NjsOU =  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 l--xq^,`o]  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 |A &Nv~.)  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 i Ri1E;  
    包括序列光学表面和光学介质。 KvC:(Vqj  
    B>-Iv _  
    2<YHo{0BLS  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 :B)w0tVw  
    bm(0raugs  
    Hk$|.TjzI  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 %p^C,B{7w  
    可以选择选取光线的方法: Sd}fse  
    — 在x-y-网格 -O. MfI+  
    — 六边形 hg=\L5R  
    — 自由选取 Y`\zLX"_m  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    aU5t|S6  
    q0SvZw]f1  
    5. 系统的3维视图 %k1*&2"1#  
    YIt:_][*  
    &# `d8}3D  
    6. 其他系统参数 +qjW;]yxP  
    系统由单色平面波照明 {h|3P/?7  
    照明波长266.08nm G;wv.|\  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: NAHQ:$  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 C6Dq7~{B  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 m6aoh^I  
    光束尺寸探测器置于焦平面 r'w5i1C+  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 <)y'Ot0 y  
    ,_P(!7Z8  
    ,T"(97"  
    aD 24)?db-  
    o %Pi;8  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 u[fQvdl  
    CM8WI~  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    +oe ~j\=  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    KiH#*u S  
    [ZDJs`h!`  
    ]qhVxeUm  
    *s;$`8fM<  
    R# mZYg  
    80l(,0`,  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 cidS/OH  
    (|h<{ -L  
    v>7tJ[s  
    VirtualLab可用于计算点列图。 e7pN9tXGf  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 7s>d/F3*  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 /8J2,8vZ  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 )<IbQH|_  
    D[:7B:i  
    9. 焦平面上的结果 .oAg (@^6  
    XlDVJx<&J  
     YVD%GJ  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ]:m*7p\uk  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 *!'00fv  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm +~8/7V22  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 >Py;6K  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    umI#P,%[  
    ,7 >_Lp_v  
    10. 总结 /xj'Pq((}p  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 kd!f/'E!  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 >L[,.}(9  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 :mL\KQ  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 9Ni$nZN  
     
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