示例.0082(1.0) U*[E+Uq}:N '(5GRI< 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 KQPu9f9
-'$ob~* 1. 描述 G]>yk_#/\U ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 [h3xW ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 G\gjCp?! ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 r!Aj5
cX-M9Cz 2. 系统 6j(/uF4!# W'@|ob 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
r"dIB@ 3. 透镜系统组件编辑 ZIx-mC5
gyvrQ, u
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ,R[$S"]!SH
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 l
;:IL\*1I
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ~*Y#Y{
■ 包括序列光学表面和光学介质。 &zJI~R
1tNL)x"w G}pFy0W\S 4. 光线追迹系统分析器-选项 q}P@}TE eq6O6- tY"eoPme
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 bTD?uX!^@
■ 可以选择选取光线的方法: MLWHO$C~T
— 在x-y-网格 dVb6u
— 六边形 }93kHO{
— 自由选取 LL( xi )
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )s
$]+HQs w jkh*Y 5. 系统的3维视图 A"JdG%t>.h 1b9S";ct0
Fv~lasW[ 6. 其他系统参数 q|D5
A|) ■ 系统由单色平面波照明 huC{SzXM ■ 照明波长266.08nm aoN\n]g ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ,clbD4 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 zq};{~u( — 一个虚拟屏位于焦平面 |o5eG>< — 光束尺寸探测器置于焦平面 8Rj5~+5 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 *igmi9A $@z77td3 ?6:qAFw P~\rP6
; ZexC3LD" 7. 光线追迹系统分析器的结果 ZE=sw}= *J-pAN
光线经过整个光学系统的三维视图
3:WqUb\QK 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
/z-rBfdy^ j[r}!;O d1D
f` 9mi@PW}1 GeR#B;{ c]9gf\WW 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 N1'`^a y$ !P A:#]J Jh\KVmfXN
■ VirtualLab可用于计算点列图。 |*{*tW C1
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 geG0F}oC!
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 1bV
G%N
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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oXG_6E!^ 9. 焦平面上的结果 {>ba7-Cy+y
doanTF4Da
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 -N' (2'
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 KTm^}')C8
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm E/:U,u{
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 bbC@
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 eHgr"f*7
?IGp?R^j" 10. 总结 ud/!@WG ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 |ty&}'6C ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 TQn!MUj/^ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 HkD.W6A3 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 s$#64"F