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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) b !@Sn/  
    ,21 np  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 up3O|lj4  
    ZoB*0H-  
    1. 描述 m"\:o  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ,B(7\  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 7'-Lp@an  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 r)9Dy,  
    PjT=$]  
    2. 系统 -! ;l~#K=  
    jc[_I&Oc_  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    M2x["  
    3. 透镜系统组件编辑 <^~FLjsfg  
    SVlua@]ChU  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 (BxJryXm  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 aSuM2  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o*x*jn:hm  
    包括序列光学表面和光学介质。 l+V,DCE  
    n%R;-?*v  
    $WYbm}j  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 - K%,^6  
    K3uG2g(>2  
    =~Ynz7 /x  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 pL1Q7&&c0  
    可以选择选取光线的方法: n?\ nn3  
    — 在x-y-网格 !Fw?H3X!"q  
    — 六边形 n,eJ$2!J  
    — 自由选取 &1l=X]%  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Y={&5Mir  
    ,uw132<b  
    5. 系统的3维视图 f)c~cJz<q  
    $@d9<83=  
    ; Sd\VR  
    6. 其他系统参数 /( .6bv  
    系统由单色平面波照明 >{eCh$L  
    照明波长266.08nm =.]l*6W V  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: jztq.2-c#  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Eca\fkj  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ccCzu6  
    光束尺寸探测器置于焦平面 n .!Ym X4  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `r5 $LaD  
    87 }&`  
    tt%MoQ)   
    (>mI'!4d  
    lP Lz@Up~  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 oLWJm  
    0JgL2ayIVI  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    {T"0DSV   
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    *Ype>x{  
    fgNU03jp^x  
    mcz+ P |  
    ,+qVu,  
    *Nyev]8  
    7'wS\/e4a  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 w;Q;[:y  
    2&+#Vsm`V  
    ^gV T$A  
    VirtualLab可用于计算点列图。 *A}cL  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 QKN<+,h!z>  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 v7%X@j]ji  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 79\Jx iSB  
    !-m&U4Ku6o  
    9. 焦平面上的结果 Tirux ;  
    v+jsC`m  
    Ladsw  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 tb :L\A^:  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 t}v2$<!I  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm h._nK\  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 t_ksvWUo  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    g}p;\o   
    pV6d Id  
    10. 总结 J5h+s-'  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 h^ -. ]Y  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 +(uYwdcN  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 )BfT7{WN  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 dd?x(,"A`  
     
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