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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) <v?9:}  
    w;.'>ORC  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 (/&IBd-  
     PN{l)&K2.  
    1. 描述 oZ O 6J-ea  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 8Ek<J+& |I  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,jBd3GdlZ  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 w5l:^^zF(  
     /Yk2 |L  
    2. 系统 IMY?L  
    "C$z)  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    .>0e?A4,5?  
    3. 透镜系统组件编辑 -ob_]CKtJ~  
    7N^9D H{`  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 Vw*;xek?  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 lrjlkgSN  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 G7k0P-r,0  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 tb7Wr1$<  
     <^,w,A  
    ?lv{;4BC  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 SGW2'  
    ?JTy+V2t  
    9&}`.Py  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 T0WB  
    ■ 可以选择选取光线的方法： )5lo^Qb  
    — 在x-y-网格 9<5SQ  
    — 六边形 A~Eu_m  
    — 自由选取 ]GYO`,  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     W|@EKE.k  
    ?7@Y=7BS4  
    5. 系统的3维视图 ;C%40;Q  
    irCS}Dbw  
    AiSO|!<.N  
    6. 其他系统参数 DO(-)i zC  
    ■ 系统由单色平面波照明 ~=HN30  
    ■ 照明波长266.08nm s+>""yi  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： *L8Pj`zR  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 9^J8V]X  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ]{V q;  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 )J8dm'wH92  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 W-%oj.BMA  
    \pZ,gF;y  
    l?~SH[V  
    :(?joLA  
    s;q]:+#7g  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 E;~gQ6vAI  
    T[s_w-<7$  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    vpx8GiV  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    OA2<jrGB!  
    m8H|cQ@Uu  
    p~I+ZYWF'  
    m/n_e g  
    +ex@[grsGT  
    u&`7 C  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 =)m2u2c M  
    d8Jy$,/`?  
    ~fB: >ceD  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 6 k+FTDL  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 zJ7vAL  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 st ( l85  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 =6imrRaaV  
     j$^3  
    9. 焦平面上的结果 M(x5D;db/  
    :kqJ~  
    (E59)z -  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 g5R2a7  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 r#*kx#"  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm j[gX"PdQ  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 "T@9]>6.f  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     q5?g/-_0[  
    q=ZLSBZ  
    10. 总结 mq$'\c 9.  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 %5RY Ea  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 oAe]/j$  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 B#AAG*Ai8  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 =2pGbD;*  
     
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