示例.0082(1.0) Z.am^Q^Y! veFl0ILd 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 +c.A|!-
XKp.]c wP 1. 描述 Fq!12/Nn ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 l+Dl~o} ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 a*REx_gLG ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 kMWu%,s4
8
!Pk1P 2. 系统 q>/#
P5V 2.ud P 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
S(9Xbw)T 3. 透镜系统组件编辑 R $HIJM
?v-IN
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 L+LxS|S+M
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ,Dfq%~:grT
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 7Bm 18
■ 包括序列光学表面和光学介质。 X&o!xV -+
{Z 3t0F )A:2y + 4. 光线追迹系统分析器-选项 fzO4S^mTo8 b#bdz1@s [_hHZMTH
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 A`v (hBM
■ 可以选择选取光线的方法: %lNv?sWb
— 在x-y-网格 lTJ1]7)
— 六边形 -CfGWO#Gbx
— 自由选取 s\i=-`
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 W6ZXb_X aehGT| 5. 系统的3维视图 A"x1MjuqLM Vo}3E]
v+U(
#" 6. 其他系统参数 oEbgyT gB ■ 系统由单色平面波照明 .yE!,^j.gB ■ 照明波长266.08nm j2# nCU54Z ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Qna
^Ry?6) — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 /%C6e
)7BL — 一个虚拟屏位于焦平面 ;v'7l>w3\w — 光束尺寸探测器置于焦平面 JIvVbI ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Y,RED5]t e`k6YO tt%Zwf TU$PAwn= c[E{9wp v 7. 光线追迹系统分析器的结果 VvN52
qeL V#[I/D 光线经过整个光学系统的三维视图
8T92;.~( 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
g\)+
LX Yh_H$uW l%\3'N] ]'V8{l s<gZB:~ Uo v%12 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 V&vU her0 vpXC5|9U :,"dno7OQ
■ VirtualLab可用于计算点列图。 t+Kxww58
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 9 tkj:8_
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ozH7c_ <
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
_Z+tb]
I\DmVc\l 9. 焦平面上的结果 @3KVYv,q
,{:c<W:A]
j)ZvlRi,
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 SY|r'8Z%Q
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 pxjN\q
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm j*f%<`2`j
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 d=V4,:=S
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 DfwxPt#
c+?L?s`" 10. 总结 _'<V<OjVM! ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 KK4>8zGR ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 (q`Jef ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ~r;da 9 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 {dvrj<?