示例.0082(1.0) mF;mJq<d GP%V(HhN 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ,~d0R4)
?.VKVTX^ 1. 描述 X
61|:E ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 g{yw&q[B= ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
juOStTq< ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 eK:?~BI!
@.W; 3|~qc 2. 系统
B(;MI` py'vD3Q 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
0P5VbDv$r7 3. 透镜系统组件编辑 f#!+l1GV
l/G+Xj4M
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 x
7by|G(
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @JbxGi
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [ey#
,&T
■ 包括序列光学表面和光学介质。 wSjDa.?'
05LkLB #%;Uh 4. 光线追迹系统分析器-选项 {6ZSf[Y6B /q IQE&V- xQFY/Z
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Mr)t>4
■ 可以选择选取光线的方法: oK\zyNK
— 在x-y-网格 i&:SWH=
— 六边形 NuQ!huh
— 自由选取 =1Sny7G
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 *-9i<@|(U^ X
hq ss), 5. 系统的3维视图 e(8hSVcl4 U T\4Xk<
WA(x]"" 6. 其他系统参数
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■ 系统由单色平面波照明 1cK'B<5">] ■ 照明波长266.08nm +|LM" ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 6'^E
],:b — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 a}%f+`z — 一个虚拟屏位于焦平面 X9Ch(nWX — 光束尺寸探测器置于焦平面 ,->K)Rs ; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 AmF[#)90P AO7[SHDZ B"_O! M3jUnp& gE6'A 7. 光线追迹系统分析器的结果 V$ H(a`! b{<?E };% 光线经过整个光学系统的三维视图
N#ggT9>X 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
qLCNANWnd F{ %*(U <<0sv9qw1 v#Rh:#7O%U d=vuy
712nD ?> 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 @[g7\d ~lo43$)^ {mJ'
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 iO$87!
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 p*b_"aF 1
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 6B?jc/V.R
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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Og 1-LP|X 9. 焦平面上的结果 8ao-]QoMZ
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 5sT3|yq
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Y1h)aQ5{
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
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■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 `6~0W5
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ii?T:T@ HV~Fe!J_ 10. 总结 y >=Y ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \\R}3 >Wc ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 (xb2H~WrN ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "9_$7.q<y ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 7FE36Ub9