示例.0082(1.0) QMv@:Eo cqxVAzb 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 hsu{ey p
oyo(1> 1. 描述 J>d.dq>r ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 .`?@%{ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Y^<bl2"y8 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 !3T&4t
mf'V) 2. 系统 26CS6(sn 6q
2_WX 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
-G6U$ 3. 透镜系统组件编辑
Ov<NsNX]
9@+5LZR
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Z|}G6]h
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 `~eUee3b.~
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 |7x\m t
■ 包括序列光学表面和光学介质。 F5S@I;
gv5*!eI ^n0]dizB 4. 光线追迹系统分析器-选项 @JdZ5Q \W1/p` uslQ*7S[^
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 K\|FQ^#UYm
■ 可以选择选取光线的方法: 1?Z4K/
— 在x-y-网格 #m={yck *
— 六边形 tBpC: SG
— 自由选取 *hcYGLx
r
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 g}]t[}s1] 'uy/o)L 5. 系统的3维视图 fFQ|T:vm k5]j.V2f
iYC9eEF
6. 其他系统参数 .bio7c6 ■ 系统由单色平面波照明 (Cqn6dWK ■ 照明波长266.08nm 8V~vXnkM ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Dd`Mv$*d8 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 v$^Z6>vVI — 一个虚拟屏位于焦平面 y!xE<S&Y — 光束尺寸探测器置于焦平面 6Cp]NbNrq ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 >t7x>_~
H/}]FmjN .YuJJJv z;y:9l =FD;~ 7. 光线追迹系统分析器的结果 0Lb4'25. B$Kn1 k 光线经过整个光学系统的三维视图
"jw<V,, 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
<I;2{*QI2 G}p\8Q}' )2M>3C6>f &\_iOw8 m4*@o?Ow 8U_{|]M
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 *z7dl5xJ jmeRrnC} yq$,,#XDD=
■ VirtualLab可用于计算点列图。 fum0>tff
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ,cqF3
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 #Skv(IL
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
71l%MH
YID4w7| 9. 焦平面上的结果 ~zw]5|
M+x,opl
mml
z&h
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 z<5m
fAm
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 3)RsLI9
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm fj&i63?e
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 h;0S%ZC
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 N
8-oY$* SV(]9^nW 10. 总结 7hcNf, ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0P]E6hWgg ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 vI@%Fg+D ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 D:K4H+ch ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 L{c q, jk