示例.0082(1.0) Qzv& C879eeJ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Na+h+wD.D
,!P}Y[| 1. 描述 }gd'pgN"t ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ]q&NO(:kbq ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Y6(=cm ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 VWqZ`X
?0lz!Nq'S 2. 系统 Qr?1\H:Lq qtFHA+bO 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
@\a~5CLN 3. 透镜系统组件编辑 8wn{W_5a
x1}Ono3"T
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ;f)AM}~^Q
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 3h}i="i
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Ms-)S7tMz
■ 包括序列光学表面和光学介质。 SEH[6W3
b|\dHi2FT f{P?|8u 4. 光线追迹系统分析器-选项 @0 [^SU? CW]Th-xc NB-%Tp*d
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 (ki= s+W-
■ 可以选择选取光线的方法: J
:KU~`r
— 在x-y-网格 SnM^T(gtS3
— 六边形 QuC_sFP10
— 自由选取 V~do6[(
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 FwD
q@Oj uJ0Wb$% 5. 系统的3维视图 g2A#BMe'.$ Rgl cd
1X9J[5|ll 6. 其他系统参数 UKPr[ ■ 系统由单色平面波照明 t=fP^bJ ■ 照明波长266.08nm @|e
we.r ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 3jHg9M23[^ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Q2F20b — 一个虚拟屏位于焦平面 *eI {g — 光束尺寸探测器置于焦平面 M4% 3a j ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 G#A6<e/ t]?{"O1rC 4vCUVo r ):y^g: jBl$r{L 7. 光线追迹系统分析器的结果 `7[!bCl 0|8cSE<
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光线经过整个光学系统的三维视图
6?[SlPPE1 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
%,zHS?)l Ge^,hAM' X-J85b_e NQqNBI?cr $aN%[ 5".bM8o 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 2<:dA >1 zS h9`F Gl[1K/,*
■ VirtualLab可用于计算点列图。 qVH.I6)
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 9<3fH J?vq
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 l}&2A*c.
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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$1Zr.ERL|( 9. 焦平面上的结果 IreY8.FND
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sf:IA%.4t
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 GSd:Plc%
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 {-f%g-@L6|
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 1}+b4"7]
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 M^>l>?#rl
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 3i'01z ^7Z;=]8J 10. 总结 t)rPXvx}! ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 {F S)f ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ,KU%"{6 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 1LAd5X ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 6a_U[-a9;