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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) c}iVBN6~.<  
    w%=GdA=  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 [6@{^  
    *I;,|Jjk  
    1. 描述 Ri]7=.QI`  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 K~"J<798{  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 }m Rus<Ax  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Pl_4;q!$  
    TRwlUC3hQ  
    2. 系统 5y7rY!]Bf  
    BZy&;P  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ]M AB  
    3. 透镜系统组件编辑 5t]}(.0+  
    QFOmnbJg  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Fj\}&H*+  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 "0o1M\6Z  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 L(a&,cdh  
    包括序列光学表面和光学介质。 cjzhuH/y  
    4`lt 4L  
    Wx#((T  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 %M{qr!?uj  
    <ijf':X=*  
    \u@4 eBAV  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 WF0%zxg]  
    可以选择选取光线的方法: }X{#=*$GQ  
    — 在x-y-网格 ^)ouL25Z*2  
    — 六边形 8hWB TUN  
    — 自由选取 m&/{iCwp  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    3`PPTG  
    RAMkTS  
    5. 系统的3维视图 Wbo{v r[2+  
    s%h|>l[lKT  
    hwF9LD~^  
    6. 其他系统参数 3nb&Z_/e  
    系统由单色平面波照明 lz>YjK:  
    照明波长266.08nm dQ6:c7hp>D  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Q 6djfEN>  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。  zjVBMqdD  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ^Rr0)4ns  
    光束尺寸探测器置于焦平面 <a/TDW  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `"CIy_m  
    `.3!  
    8S2sNpLi-g  
    \]Nlka  
    O;RsYs9  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 e~ #;ux  
    h2kb a6rwk  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    hV5Aw;7C  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    N$1ZA)M  
    ^%(HZ'$wC  
    l1(6*+  
    W\mj?R   
    *v1M^grKd  
    B/"TaXVU  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 V<X[>C'  
    8<BYAHY^  
    ^PwZP;On  
    VirtualLab可用于计算点列图。 Z(Styn/x  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 4n55{ ?Z  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ?:@13wm  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 KGsS2  
    U^qQ((ek  
    9. 焦平面上的结果 &72 ( <  
    )`,||sQ  
    MA}~bfB  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 W 7xh  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 <( "M;C3y  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm M  ::  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Xe;Eu  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    @bPR"j5D  
    X<:B"rPuK  
    10. 总结 ie<zc+*rW  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0L->e(Vf7u  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 x9ll0Ht  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 zN3[W`q+m  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ALcin))+B  
     
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