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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 5OP$n]|(  
    bs$x%CR  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 :D6"h[7  
     >HO{gaRM  
    1. 描述 De,4r(5  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 IE!fNuR4  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 YJ_`[LnL  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。  Hi#'h  
     ysD @yM,  
    2. 系统 6z@OGExmd#  
    rRyBGEj  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    n-[J+DdB  
    3. 透镜系统组件编辑  ::Y   
    ;%P$q9 *C  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 b{qeu$G R  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 Z\6&5r=  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 (lF;c<69  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 itb0dF1G  
     Z)Y--`*  
    ]^MOFzSz~  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 {?m;DY v  
    Dv?'(.z  
    uP/PVoKQ  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 =ZM#_uW  
    ■ 可以选择选取光线的方法： ;V]EF  
    — 在x-y-网格 &P{  
    — 六边形 /'?Fz*b  
    — 自由选取 ;m$F~!Y  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     j(/Bf m  
    > ^fY`x,  
    5. 系统的3维视图 X||Z>w}v  
    6J0HaL  
    -IhFPjQ  
    6. 其他系统参数 .QOQqU*2I  
    ■ 系统由单色平面波照明 .b>1u3  
    ■ 照明波长266.08nm %J4]T35^2  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： U*F|Z4{W  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。  ,!_  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 q+2yp&zF  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 H pXMPHd  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ,\Gn  
    ) ?rJKr[`  
    yZ3/Ia>,  
    86O"w*9  
    S W(h%`U  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 (;YO]U4  
    8>a/x,  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Knsb`1"E^6  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    k+S+ : 5  
    +4^XFPq~  
    `EVTlq@<  
    <K!5N&vh  
    M iIH&z  
    r4caIV  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 P{mV  
    E 5}T_~-{  
    m&o}qzC'y  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 0 z{S@  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 *9e T#dH  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 *>%34m93  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 +:1ay^YI  
     vc o/h  
    9. 焦平面上的结果 8}h ^Frh  
    7r?O(0>  
    adtK$@Yeg  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 WmLl.Vv=  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 Rt~Aud[  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm a%f{mP$m  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 >R3~P~@30  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     +kTAOf M  
    Mp; t?C4  
    10. 总结 pW O-YZ#+  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 d$)'?Sf]h  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 {"8\~r&b  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 d}tn/Eu?B  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ZV}BDwOFI  
     
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