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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Jt~Ivn,  
    2RiJm"   
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 M`MxdwR  
    )rc!irac]  
    1. 描述 y^. 66BH  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 B#sCB&(  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 4l D$'`  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 (In{GA7 ;  
    z;OYPGvkw  
    2. 系统 tgRj8 @  
    U82a]i0  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    @]\fO)\f  
    3. 透镜系统组件编辑 Fs+ tcr/\[  
    ou,[0B3n0  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 exRw, Nk4  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 U,P_bz*)  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 b@CB +8 $  
    包括序列光学表面和光学介质。 /dnwN7Gf  
    `L1,JE` q  
    ;vn0%g  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 AtT7~cVe  
    Gnc`CyN:H  
    ^r}c&@  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 STKL  
    可以选择选取光线的方法: {X{R]  
    — 在x-y-网格 SZ` 7t=I2  
    — 六边形 t)SZ2G1r  
    — 自由选取 PyeNu3Il4  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    dFg>uo  
    =8FvkNr  
    5. 系统的3维视图 .i0K-B  
    ^FCXcn9  
    Ky3mz w|  
    6. 其他系统参数 E)b$;'  
    系统由单色平面波照明 d^=BXC oC  
    照明波长266.08nm >P6"-x,["  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 2.qPMqH  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 C6+ 5G-Z  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 A(Ct^/x-  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ~ |G&cg  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 _H]\  
    1{uxpYAP=  
    DE13x *2  
    -@Ap;,=  
    1]xk:u4LA  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ! j~wAdHk  
    4&)sROjV=  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    0TN28:hcD  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ,BdObx  
    q(sTKT[V  
    +LHU}'|  
    d_[H|H9i6  
    `Fqth^RK?p  
    5(;Y&?k  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8t+eu O  
    /<[0o]  
    ixTjXl2g  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ~E}kwF  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 <^S\&v1C_  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 y4\X~5kU  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 FvT&nb{  
    G?4@[m  
    9. 焦平面上的结果 jaS<*_~#R  
    ]2zM~  
    A;cA|`b  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 '1u?-2  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 aIgexi,  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm :>-zT[Lcn  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 UiU/p  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    vNi;)"&*  
    q@.>eB'92P  
    10. 总结 5:PS74/  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 s,R:D).  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 n%Oi~7>  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 5Fydh0.  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 FDo PW~+[  
     
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