示例.0082(1.0) lcv&/ A $6(,/}==0 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 :f~[tox
Slk__eC 1. 描述 Mn-f ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 44uM:; ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 d:U2b"k=/u ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 QWo_Zg0"
wTpjM@F?J| 2. 系统 ;W/K7} HG1)q\Xd 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
y5td o'Ex 3. 透镜系统组件编辑 q,ry3Nr4n
B{#*PAK=
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 '^TQ Ubw
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ZQZBap"
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3$.R=MQ7
■ 包括序列光学表面和光学介质。 nX@lR~g%F
c
k$ > yk {Hv/|.),hu 4. 光线追迹系统分析器-选项 Y7|R vLWoP qoNVp7uv Fp)+>oT
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Ca SoR |
■ 可以选择选取光线的方法: :'L^zGf
— 在x-y-网格 -QUr|:SK:
— 六边形 (&25 8i,
— 自由选取
FmRCTH
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 _K4Igq )FNvtLZ 5. 系统的3维视图 ?!N@%R>5rN qjK'sge/
F"3LG" 6. 其他系统参数 EJd l%j ■ 系统由单色平面波照明 E3pnu.;U:_ ■ 照明波长266.08nm EFb1Y{u^\! ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: QY]^^f — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 j k%MP6 — 一个虚拟屏位于焦平面 C^}2::Qu — 光束尺寸探测器置于焦平面 "T*Sg ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 j}0W|* `N+A8 IoEITKd &"D * ?w{ lC, 7. 光线追迹系统分析器的结果 eXHk6[%[ DNARe!pK 光线经过整个光学系统的三维视图
?2Q9z-$ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
MwoU>+XB :8}iZ. 6Un61s we6kV-L. ]et4B+=i ^8,Y1r9`$ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 nqG9$!k^t )c'5M]V Pj4WWK X
■ VirtualLab可用于计算点列图。 QJBzv|
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 CM}1:o<<N
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 o"O=Epg
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
orGNza"A
54TW8y `h 9. 焦平面上的结果 ZRDY`eK
+-~:E_G
W`baD!*
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 9y BENvq
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 'A0.(a5
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 7j9:s>D
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 >900I4]I
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 P@gVzx)M ^DL}J>F9G 10. 总结 s
"KPTV ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 L* k[Vc ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ?(9/V7HQ.5 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \a:#e%]qz9 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Y\7>>?