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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) [i&tE.7  
    n287@Y4Ru  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 o]k[l ;  
    ~%sDQt\S  
    1. 描述 /=-E`%R}!  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 D{G#|&;  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Xv'64Nc!;  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 '9RHwKu&s  
    Wc+ e>*  
    2. 系统 \w`Il"}V  
    E%$FX' 8&  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    cvc.-7IO  
    3. 透镜系统组件编辑 c{&sf y  
    {qh`8  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 oR3$A :!P=  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 eJ?SLMLY  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 6:h!gY  
    包括序列光学表面和光学介质。 wdp 4-*  
    QMkLAZ  
    BfhOe~+i  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 &uk?1Z#j  
    sy]1Ba%  
    EI/_=.d  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 a0.)zgWr  
    可以选择选取光线的方法: h{>8W0W*  
    — 在x-y-网格 hQX|wWh  
    — 六边形 qt3 \*U7x  
    — 自由选取 Bv/v4(G5g  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    McA,  
    TrHBbyqk  
    5. 系统的3维视图 k deJB-  
    ?2.< y_1  
    G =lC[i  
    6. 其他系统参数 ,!Ah+x  
    系统由单色平面波照明 4J_18.JHP  
    照明波长266.08nm |ukEnjI`u  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: :a`l_RMU  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 <;_X=s`f,  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ~sk 4v:-  
    光束尺寸探测器置于焦平面 oBIKt S*L  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 c)lMi}/  
    u QCQ$  
    QDSB <0j  
    CQ13fu +|6  
    3D%I=p(  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 g3"`b)M  
    wn|Sdp  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    YZ'gd10T  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    @'~v~3 $S  
    o3%Gc/6%  
    G$`/86A)  
    n?:s/6tP  
    M-0BQs`N  
    *Q5/d9B8TN  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 7FfzMs[ \e  
    |8V+(Vzl  
    G9^!= v@  
    VirtualLab可用于计算点列图。 b+3{ bE  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 8+ Hho@=  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 +FyG{1?<  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 oXb}6YC  
    6(X(f;MEl  
    9. 焦平面上的结果 YHg4WW$  
    dt ;R  
    9<,\ +}^{  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 MJDFm,  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 +*F ;l\R  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Q>= :$I  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ={8ClUV#  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    QnVYZUgJeV  
    r!j_KiUy  
    10. 总结 )1&[uE#L  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 * UBU?  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 8 w^i  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 *G2p;n=2  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 v(]\o;/O  
     
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