示例.0082(1.0) k~+(X|!5w ]x<`( 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 B^C!UWN>%X
r|W2I,P 1. 描述 V( A p|I:G ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 IS9}@5`' ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 VM [U&g<8n ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7UzbS,$x
M^twD* 2. 系统 *'&mcEpg j9XRC9
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Sy?O(BMo 3. 透镜系统组件编辑 WP b4L9<
j4hiMI;
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 7[}K 2.W.
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Z F&aV?
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Mw,7+
■ 包括序列光学表面和光学介质。 TtZ
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u_~*)w+mS@ 4?s
~S. % 4. 光线追迹系统分析器-选项 Spt]<~ ^A"TY zld[uhc>
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Np?%pB!Q
■ 可以选择选取光线的方法: B- `,h pp
— 在x-y-网格 a?]"|tQ'
— 六边形 hQT
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— 自由选取 y:>'1"2`
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 qbwX*E~; zYW+Goz/C
5. 系统的3维视图 OE4hGxG `J(im
ee0)%hc1t 6. 其他系统参数 wgeR%#DW ■ 系统由单色平面波照明 L-}6}5[ ■ 照明波长266.08nm #ARQB2V ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: $&!i3#FF — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 >#Obhs|S{C — 一个虚拟屏位于焦平面 @},25"x) — 光束尺寸探测器置于焦平面 [-$ :XOO ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 !N@d51T=N 9Un3La8PX H(~:Ajj+zQ S1B^FLe7X {M.OOEcIp 7. 光线追迹系统分析器的结果 \UF/_'=K _+vE(:T 光线经过整个光学系统的三维视图
jM'kY|<g; 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
#nv =x&g mT7B#^H Hlr[x el;ey Ga ])sIQ{P g{_wMf 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 'fqX^v5n qkEre k\qF> =
■ VirtualLab可用于计算点列图。 /ehmy(zL
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 122%KS
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 [vJLj>@
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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<h*r 9. 焦平面上的结果 a%"27
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 l.
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■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 yFYFFv\?
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm -Dx_:k|k
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 m=hlim;P,
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 @&AUbxoj N'8u}WO 10. 总结 cQ?eL,z ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 "zn<\z$l ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 $mV1K)ege ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 C [Ap&S ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 eYN=?