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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) AJ#YjkO>]  
    #.,LWL]  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 qR%as0;  
    ;1r|Bx<5  
    1. 描述 Cw5 B p9  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 f|j<Mj+\  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 N6*FlG-  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 :/>Zky8,k  
    lXVh`+X/l  
    2. 系统 OU?.}qc<wE  
    wRX#^;O9?>  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    '@^mesMG  
    3. 透镜系统组件编辑 q[. p(6:  
    LMp^]*)t  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 "5\6`\/  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 scE#&OWF%  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -V'Y^Df  
    包括序列光学表面和光学介质。 vnlHUQLO  
    %."w]fy>P  
    ^=gN >xP  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 b<E78B+Aax  
    {~'Iu8TvZ  
    | `?J2WGe  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 sWVapu p?  
    可以选择选取光线的方法: 0R-W 9qP  
    — 在x-y-网格 rWN%j)#+  
    — 六边形 h5v=h>c  
    — 自由选取 m,rkKhXP  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    <Iil*\SC  
    d-H03F@N  
    5. 系统的3维视图 dvAz}3p0]  
    ahN8IV=+Gm  
    X'/'r.b6  
    6. 其他系统参数 4S* X=1  
    系统由单色平面波照明 /3;]e3x  
    照明波长266.08nm DX/oHkLD'  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: :=:m4UJb  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 {=MRJg!U  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 \[A JWyP  
    光束尺寸探测器置于焦平面 M>{*PHze0  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 4(`U]dNcs  
    jq_ i&~S  
    2r@9|}La  
    +iNp8  
    dleCh+ny?  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 qsYg%Z  
    ofs'xs1C  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    NE| Q0g  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    FA%V>&;`  
    P!XO8X 1F  
    MIqH%W.r u  
    [<wpH0lNoy  
    5? f!hB|6  
    \GZ|fmYn  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 z0|-OCmL  
    "z-tL  
    s#Xfu\CP  
    VirtualLab可用于计算点列图。 CF : !  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 UUGX@  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 nx%eq ,Pq  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 7ab'q&Y[  
    /RWD\u<l  
    9. 焦平面上的结果 u>*qDr* d  
    n8i: /ypB  
    equi26jhr  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 b&RsxW7  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 02-% B~oP  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm @h/-P'Lc=7  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 7/)0{B4U'  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    1yFIIj:^|  
    &%u m#XE  
    10. 总结 0#~k)>(7lR  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 h+j*vX/!  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Z1] 4:  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ~JP3C5q  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ~Q}!4LH  
     
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