示例.0082(1.0) s8,N9o[.~P f>LwsP 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Q{ hXP*5
a2l\B ~n 1. 描述 L0\97AF ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 DA)mkp ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 u)]]9G
_8 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 g`6_Ao8
3l?D%E]P 2. 系统 }}AooziH9 q8U* 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
=.q
Zgcg 3. 透镜系统组件编辑 F`W8\u'db
+8tdAw
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 PP\nR
@
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Y7QIFY's~
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8Vcg30_+
■ 包括序列光学表面和光学介质。 rQ0V3x1"Qx
+}IOTw"O` ?W l=F/ 4. 光线追迹系统分析器-选项 >Qk4AMIO ]#n,DU}V L
B:wo.X
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 $vlc@]~d`&
■ 可以选择选取光线的方法: vWbf5?
— 在x-y-网格 ,uEi*s>
— 六边形 %i!&Fr
— 自由选取 Tvd=EO
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 EeW %5/; EZ+_*_9 5. 系统的3维视图 yQkj4v{ 2yYq/J
pNY+ E5 6. 其他系统参数 =c{/ Z ■ 系统由单色平面波照明 }R.<\ ■ 照明波长266.08nm -"u9s[L{ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "xS?#^a — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Jf<+VJ>t — 一个虚拟屏位于焦平面 Vx1xULdY — 光束尺寸探测器置于焦平面 B>dXyo ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 B(<;] Iu`B7UOF "Dbjp5_ OidF{I*O n@9*>DU 7. 光线追迹系统分析器的结果 S`yY<1[O -V
Rby 光线经过整个光学系统的三维视图
?:bW@x 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
n:c)R8X] _<?lP$Xr V#!ftu#c? 16q"A$ ^P&)2m:s YN
Lc ) 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 wIi_d6? @+LZSd+I tlo"tl_]
■ VirtualLab可用于计算点列图。 h(aF>a\Z
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 !(=bH"P
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 !o.l:Mr
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
psb$rbu7[
]d]tQPEU 9. 焦平面上的结果 86J7%;^Xa
`&2AN%Xz
/6_>d$
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ^:Vwblv(
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 FuEgI8+b
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm w{$t:l)2,
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ;IX3w:Aw
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 tA?P$5?-* B|#*I[4`w@ 10. 总结 Z_&6<1,H ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 vJg|}]h>L ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 D4?qw$" ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 C!N&uNp@s ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ZRYs7 4<