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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) $ 1lI6 = ,  
    kd55y  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 m03D+@F  
    Uao8#<CkvJ  
    1. 描述 3kqO5+,C  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 "}ibH{$lM  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 v3\ |  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 u*}[fQ`aF  
    r:N =?X`N  
    2. 系统 8k[=$Ro  
    ["O/%6b9+  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    n1!hfu7@s  
    3. 透镜系统组件编辑 .kwz$b+h  
    }OZut!_  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Yx#?lA2gx  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 &k53*Wo  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 vX?MB  
    包括序列光学表面和光学介质。 n0)0"S|y1  
    _EHz>DJ9  
    fGdT2}gd  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 \iL{q^Im  
    B|I9Ex~L  
    X 8/9x-E_  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 y-#{v.|L  
    可以选择选取光线的方法: Dfhu  
    — 在x-y-网格 g}@W9'!  
    — 六边形 mH`K~8pRg  
    — 自由选取 [p Y1\$,  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    FT'2 J  
    qe/dWJBa  
    5. 系统的3维视图 ` |uwR5  
    2eC`^  
    vM3 b\yp  
    6. 其他系统参数 yV.E+~y  
    系统由单色平面波照明 +4 W6{`  
    照明波长266.08nm <ztcCRov  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: xVnk]:c  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 -tPia=^  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 npCiqO  
    光束尺寸探测器置于焦平面 !#[B#DZc(  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 6[x6:{^J  
    JX)%iJq#  
    ;6)Onwx  
    57|RE5]|!  
    <Jc :a?ICe  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 3a Y^6&  
    #jqcUno  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    'G)UIjl  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    E\Qm09Dj`<  
    ?+P D?c7  
    {,X}Btnwp  
    F`Ld WA  
    %|izt/B  
    ,@Fde=Lw  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 -bP_jIZF;g  
    TC* 78;r  
    L,\wB7t  
    VirtualLab可用于计算点列图。 hU|TP3*  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 sx^0*h-Qq  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 (5/>arDn  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 |Y tZOQu  
    CT0 ~  
    9. 焦平面上的结果 "3;b,<0  
    9ao GptgN  
    1@Gmzh  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。  o%SD\zk  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 7[I%UP  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm umuE5MKY<  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 H&*KpOL  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    5jey%)=  
    &;2@*#,  
    10. 总结 X/qLg+X  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 M5Q7izM  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ($T"m-e  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 dWi:V 7t+  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 b haYbiX?  
     
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