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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) kSjvY&n%  
    F%:o6mT  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 .oe\wJS6  
    eeOG(@@o(  
    1. 描述 r]bG,?|  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 rCdTn+O2  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ?#/~ BZR!  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 f2i9UZ$=e!  
    Vx=tP.BO]  
    2. 系统 T2ZN=)xZ1  
    <e$%m(]  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    8 v<*xy  
    3. 透镜系统组件编辑 )bB Va^  
    >d^DN;p  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 BBRZlx  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 F Xp_`9.zH  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。  ^J& }C  
    包括序列光学表面和光学介质。 $8NM[R.8^4  
    O?qM=W  
    OCWyp  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 |DXi~  
    tx}=c5  
    ~4`3p=$  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *XluVochrb  
    可以选择选取光线的方法: 7m;<b$  
    — 在x-y-网格 NrfAr}v'E  
    — 六边形 )$QZ",&5  
    — 自由选取 X/A(8rvCr  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    qE{L42  
    ;b0;66C8|  
    5. 系统的3维视图 !+3nlG4cw  
    _?;74VWA  
    X "Q\MLy  
    6. 其他系统参数 2%~+c|TH.)  
    系统由单色平面波照明 O`0\f8/.?  
    照明波长266.08nm CWS]821;  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: @BI;H V%k  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ]?0]K!7Ea  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 E[>A# l53  
    光束尺寸探测器置于焦平面 |:LklpdYe  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ;^  YpQP  
    HXQ } B$V  
    Ap!i-E,"J  
    Fz@U\\94z  
    J''lOj(@  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 5_4 =(?<  
    [&:dPd1_  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ZEG~ek=jM  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    9PJnKzQ4  
    dIk9C|-.  
    5O:4-} hz  
    c) _u^Dh  
    ;! #IRR  
    !.w|+-JKO  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 G3.\x_;k  
    L#`X;:   
    agnEYdM_  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ^AR kjYt  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 p}|<EL}Z9  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 zTfl#%  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 6Q}>=R^h  
    ->J5|c#  
    9. 焦平面上的结果 e}2[g  
    K,Hxe;-  
    +D M,+{}  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 #[y2nK3zF  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 L.% zs  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm pzxlh(a9  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 MO *7:hI  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    5$/Me=g<  
    CiIIlE4  
    10. 总结 =+"-8tz8FV  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 cp4~`X  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ,-1d2y  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ^[1Xl7)`  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 MG3xX;  
     
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