示例.0082(1.0) |+-b#Sa9 AHa]=ka> 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 uw>y*OLU+
;M+~e~ 1. 描述
*yg`V,C ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 I]#x0 ?D ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 fTy{`}> ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 V+u0J"/8
qP/McH? 2. 系统 qe uc^+P; ASS<XNP 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
`y"a>gHC 3. 透镜系统组件编辑 =m;cy0))
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 W
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 5M%)*.Y
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 KrTlzbw&p\
■ 包括序列光学表面和光学介质。 q)"yP\
YRaF@?^Gn t,5AoK/NL9 4. 光线追迹系统分析器-选项 0sq?>$~Kc* Qoz4(~I SphP@J<ONW
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 B.?@VF
■ 可以选择选取光线的方法: ypvz&SzIh
— 在x-y-网格 4?`*#DPl
— 六边形 f 0/q{*
— 自由选取 m*AiP]Qu
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [xDn=)`{V m7cG]a~a 5. 系统的3维视图 7U)w\A;~ fHF*#
J32"Ytdo< 6. 其他系统参数 cS",Bw\ ■ 系统由单色平面波照明 . N5$s2t ■ 照明波长266.08nm ad<ZdO*h ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +W|VCz — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 M r~IVmtf — 一个虚拟屏位于焦平面 !imjfkG — 光束尺寸探测器置于焦平面 wA";N=i= ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 tRR<4}4R opReAU'I 7]
>z e JPe<qf- cw;TIx_q 7. 光线追迹系统分析器的结果 za5E{<0 u0Opn=(_ 光线经过整个光学系统的三维视图
ZY)&Fam} 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Y-y}gc_L kybDw{(}gc _W BWFGj V4?]NFK p v*f]Yzx ]2mfby 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 TdrRg''@ $mst\]&; VBg
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 DLEHsbP{$
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 _3m\r*(vmQ
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 zRA,Yi4;+
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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6$5SS# 9. 焦平面上的结果 %xN91j["
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 jY$3
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 DP
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■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm oN.#q$\` k
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ;TCT%j`^o
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 %H7H0%qW hODq&9! 10. 总结 TE@bV9a ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 &}b-aAt ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 <w0$0ku ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
+`~kt4W ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 8'VcaU7Nh