示例.0082(1.0) OulRqbL2 O;4S<N 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 SHYekX
LIG@` 1. 描述 Y&b Yaq ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 B)7 :*Kj ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8US35t:M ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4OM
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unj 2. 系统 /{buFX2"} sRT5i9TQ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Po=:-Of: 3. 透镜系统组件编辑 !KXcg9e
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 L$c 1<7LU
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 N_:!uR
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 w;@v#<q6
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Fb<'L5}i
EUt2S_2P w@2NXcmw 4. 光线追迹系统分析器-选项 NUnwf
h #(qvhoi7lM DOtz
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ;PMPXN'z6
■ 可以选择选取光线的方法: 8ZV!ld
— 在x-y-网格 G?F!Z"S
— 六边形 #vK99S2
— 自由选取 U!+O+(
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 R|Bi%q|4P >1I w!SO+ 5. 系统的3维视图 #pRbRT9 n. N0Nhd
rk=w~IZJ3 6. 其他系统参数 JqLPJUr ■ 系统由单色平面波照明 :Hitx ■ 照明波长266.08nm 9r\p4_V ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ^K`PYai — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |(x%J[n0+ — 一个虚拟屏位于焦平面 W{JR%Sq$ — 光束尺寸探测器置于焦平面 -GL.8"c[ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 71(ppsHk ii`,cJl &gV9h>Kc# [EPRBK`= #lFsgb 7. 光线追迹系统分析器的结果 hT=E~|O CiU^U|~ 'L 光线经过整个光学系统的三维视图
8}oe))b 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
{3os9r, 4Vj]bm \K2S.j ]\ZJaU80I~ MYJDfI qzY:>>d' 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 p&XuNk p*$=EomY @B+8' b$9
■ VirtualLab可用于计算点列图。 T;kh+i
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 :`yW^b
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Xhyc2DKa_
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
F+zHgE
:q1j?0{2N 9. 焦平面上的结果 G^P9_Sw]d3
B_c-@kl
L!5="s[}
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 g$=']A?W_
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 H-&
ktQWK3
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm jRk1Iu| 7
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 IQ#Kod;)
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 }i;!p
Ue$ ]C_$zbmi 10. 总结 $f"Ce,f ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 r_^]5C\ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 OJ\j6owA ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 d8jP@> ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 mk-L3H1@J3