示例.0082(1.0) kSjvY&n% F%:o6mT 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 .oe\wJ S6
eeOG(@@o( 1. 描述 r]bG,?| ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 rCdTn+O2 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ?#/~BZR! ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 f2i9UZ$=e!
Vx=tP.BO] 2. 系统 T2ZN=)xZ1 <e$%m(] 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
8 v<*xy 3. 透镜系统组件编辑 )bB
Va^
>d^DN;p
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 BBRZlx
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 F Xp_`9.zH
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^J&}C
■ 包括序列光学表面和光学介质。 $8NM[R.8^4
O?qM=W OC Wyp 4. 光线追迹系统分析器-选项 |DXi~ tx}=c5 ~4`3p=$
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *XluVochrb
■ 可以选择选取光线的方法: 7m;<b$
— 在x-y-网格 NrfAr}v'E
— 六边形 )$QZ",&5
— 自由选取 X/A(8rvCr
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 qE{L42 ;b0;66C8| 5. 系统的3维视图 !+3nlG4cw _?;74VWA
X"Q\MLy 6. 其他系统参数 2%~+c|TH.) ■ 系统由单色平面波照明 O`0\f8/.? ■ 照明波长266.08nm CWS]821; ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: @BI;H
V%k — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ]?0]K!7Ea — 一个虚拟屏位于焦平面 E[>A# l53 — 光束尺寸探测器置于焦平面 |:Lk lpdYe ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ;^ YpQP HXQ
}B$V Ap!i-E,"J Fz@U\\94z J''lOj(@ 7. 光线追迹系统分析器的结果 5_4=(?< [&:dPd1_ 光线经过整个光学系统的三维视图
ZEG~ek=jM 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
9PJnKzQ4 dIk9C|-. 5O:4-}hz c) _u^Dh ;!#IRR !.w|+-JKO 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 G3.\x_;k L#`X;: agnEYdM_
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ^ARkjYt
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 p}|<EL}Z9
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 zTfl#%
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
6Q}>=R^h
->J5|c# 9. 焦平面上的结果 e}2[g
K,H xe;-
+D M,+{}
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 #[y2nK3zF
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 L.%zs
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm pzxlh(a9
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 MO
*7:hI
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 5$/Me=g< CiIIlE4 10. 总结 =+"-8tz8FV ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 cp4~`X ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ,-1d2y ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ^[1Xl7)` ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 MG3xX;