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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 1c*;Lr.K  
    JOwu_%  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ]\/"-Y#4Q  
    /^WOrMR  
    1. 描述 oE,TA2  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 tF.N  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {f;DhB-jj  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 RW<4",  
    blkPsp)m"  
    2. 系统 bicbCC6kC  
    ffsF], _J  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
     I*n]8c  
    3. 透镜系统组件编辑 f @Vd'k<  
    ~ ^fb`f+%  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 tY#Zl 54~{  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 yqP=6   
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 >1` '5A}s  
    包括序列光学表面和光学介质。 ?[)V  
    p!\ GJ a",  
    .Y^pDR12  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ; FHnu|  
    l9 &L$,=  
    Yaz/L)Y;R  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 28 zZ3|Z3  
    可以选择选取光线的方法: uXb} o UC  
    — 在x-y-网格 8T Tj<T!N  
    — 六边形 g@Rs.Zq  
    — 自由选取 CV2#G*  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    moZeP#Q%  
    4E+8kz'  
    5. 系统的3维视图 {~XAg~  
    I6,||!sZ  
    |\94a  
    6. 其他系统参数 0IBQE  
    系统由单色平面波照明 &}\{qFD;  
    照明波长266.08nm +x<OyjY5?]  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ~(:0&w%e  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 s|X_:3\x  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 _9?v?mL5;  
    光束尺寸探测器置于焦平面 }'Ph^ %ox  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8/;@4^Ux  
    &kT!GU^n  
    ^)h&s*  
    j3u!lZ}U  
    b*4aUpW  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 +-|}<mq  
    Y=y 0`?K  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ubc k{\.  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    *e:2iM)8~  
    ?8;WP&  
    ?yu@eo  
    fUPYCw6F  
    Dn#UcMO>W  
    -#R63f&  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;vn0b"Fi3  
    12: Q`   
    :z6?  
    VirtualLab可用于计算点列图。 p\Iy)Y2Lf!  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 O3pd5&^g  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ] v:"    
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 GB,ub*|  
    fB'Jo<C  
    9. 焦平面上的结果 15%6;K?b  
    uA cvUN-@  
    w4zp%`?D'  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 KIKIag#  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ;ULw-&]P  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Ds{bYK_y  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 <vu~EY0.  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    p4kK" \ln  
    w{]B)>! 1W  
    10. 总结 Z Z c^~  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 B~,?Gbl+g  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 $-<yX<.  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \gv-2.,  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 K <WowU  
     
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