示例.0082(1.0) 4S tjj!ew w&%9IJ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 nE_Cuc>K\
z<!O!wX_aI 1. 描述 wh%xkXa[ur ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 69>/@< ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 IroPx#s:i ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 J,??x0GDx,
GWhE8EDT 2. 系统
JnY$fs*" P>(&glr| 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
A_Rrcsl4 3. 透镜系统组件编辑 ?\ZL#)hr"p
OZf6/10O/
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5$kdgFq(
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 )>V?+L5M
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 =J](.78
■ 包括序列光学表面和光学介质。 &:<, c12
EkjgNEXq H(b)aw^(% 4. 光线追迹系统分析器-选项 5Tedo~v dN< ,%}R ZWS2q4/S
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 8f|98T"
■ 可以选择选取光线的方法: }9^@5!qX
— 在x-y-网格 A{N\)
— 六边形 /&r|ec5
— 自由选取 M*w' 1fT
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 )qv2)a!H ziiwxx_ 5. 系统的3维视图 96c?3ya vy[C'a
7/aOsW"6 6. 其他系统参数 ]W/>Ldv ■ 系统由单色平面波照明 f"dSr
■ 照明波长266.08nm x:fW~!Xc6 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: y \D=Z
N@ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 py
@(
< — 一个虚拟屏位于焦平面 0OnV0SIL — 光束尺寸探测器置于焦平面 H>XFz(LWh ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 H}/05e 2}vNSQvG |
&7S8Q ; b*i3*!g :5b0np! 7. 光线追迹系统分析器的结果 z=g$Exl $=)gpPT 光线经过整个光学系统的三维视图
'RbQj}@x 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
((bTwx 6~xBi(m` UG](go't cE\>f8 I hr/o<#OW rS7)6h7(7 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 , jU5|2 nL-K)G, 69OF_/23
■ VirtualLab可用于计算点列图。 QI_4*
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ok{!+VCB5
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ^x m$EY*Y,
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
y(iY
t~hTp K* 9. 焦平面上的结果 q%i-`S]}qL
KOhA)
VUwC-)
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 E\U`2{^.
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 O9"/
kmB
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm *F`A S>
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 69G`2_eKCp
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 =0
Fmr}o(q1 10. 总结 k[kju%i4 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ])}]/Qw ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 wW>fVPr ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 1P(&J ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 fo0+dzazY