示例.0082(1.0) c[",WB<9 -,5g cD 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 |AWu0h\keO
Y1
-cz: 1. 描述 &ul9N)A ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 =20Q!wcu ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 G_AAE#r` ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .s2d
XUSfOf( 2. 系统 gXH89n ~:+g+Mf~[ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
yyA/x, 3. 透镜系统组件编辑 4AF"+L
jpBE| Nm
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ?94da4p
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 `_v-Y`Z
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 b]Z@zS<8
■ 包括序列光学表面和光学介质。 F48`1+
JBWiTUk ".w*_1G7U 4. 光线追迹系统分析器-选项
?T4%"0 (bBetX hw1ZTD:Y
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ]AHi$Xx
■ 可以选择选取光线的方法: -z|idy{
— 在x-y-网格 -k<.Q=]<t
— 六边形 @pG\5 Jnf
— 自由选取 N?pD"re)6
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 gE$dz#t. B8TI 5mZ4 5. 系统的3维视图 BtqJkdK!;1 IGB>8$7
j+c)% 6. 其他系统参数 cF/FretoO ■ 系统由单色平面波照明 }wv$ #H[ ■ 照明波长266.08nm @Sv
?Ar ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: awC&xVf — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 n%?g+@y,^ — 一个虚拟屏位于焦平面 ?Rl*5GRW — 光束尺寸探测器置于焦平面 n1cAI|ZE ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 m&$H?yXW> |"@E"Za^ G! 87F/ 'wQ=b M(2[X/t 7. 光线追迹系统分析器的结果 >ZNL
pJQ \T[*|"RFZ 光线经过整个光学系统的三维视图
z2dM*NMK 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
T+~~w'v0 J#X 7Ss >c1mwZS; n"MFC F]ALZxwkz 5w1=j\oq 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~XZ1,2jA/ rg P$\xn- _zpn+XVdQ
■ VirtualLab可用于计算点列图。 m|-O/6~
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 l"cO@.T3
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 D!X{9q}S1
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
F-=er e
,3Wa~\/Q 9. 焦平面上的结果 g^]Q*EBa
x/4lD}Pw]
v =u|D$
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Y&j6;2-Z
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ;bA9(:?
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm c~tkY!c
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 V*)6!N[5
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 P!vBS"S e~-Dk .i 10. 总结 @L~y%# ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 t>25IJG ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ^QnVYTM ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 [@\f 0R ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 tq*Q|9j7VG