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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) -Qn:6M>w^  
    XkdNWR0  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Ujj2A^  
    qU2>V  
    1. 描述 iNQk{n  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 7* `ldao~  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 &I!2gf  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4,<~t>M1  
    o~iL aN\+  
    2. 系统 o Y.JK  
    3tLh{S?uJ  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    C|!E' 8Rw  
    3. 透镜系统组件编辑 }#E4t3  
    4-3B"  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 (V=lK6WQm  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 SxH}/I|W  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 X^xu$d6   
    包括序列光学表面和光学介质。 OH)SdSBz  
    "lmiGR*u  
    qHHWe<}OT  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Y$Uvt_  
    Yhlk#>I  
    xc*ys-Nv  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。  K8 ThZY%  
    可以选择选取光线的方法: 0q`'65 lx  
    — 在x-y-网格 R9#Z= f,  
    — 六边形 }W|CIgF*  
    — 自由选取  WHpbQQX  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    fp>o ^+VB  
    }y[o[>  
    5. 系统的3维视图 RNt3az  
    YK[O#V  
    5Cz:$-+  
    6. 其他系统参数 +>:X4A *  
    系统由单色平面波照明 =3J~ Fk  
    照明波长266.08nm VUt 6[~?  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: <XLATS8Y  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 b?y1cxTT  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 H"&N<"hw  
    光束尺寸探测器置于焦平面 k2;8~LqF  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 <N`rcKE%~P  
    Bo~wD|E2  
    Jhut>8  
    D l"y|  
    P)}:lTe  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Nv ew^c)x  
    _@RW7iP>  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    iu1iO;q  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    4l3N#U0Q  
    }h]:I'R!  
    bC@b9opD  
    R0=/ Th -  
    om/gk4S2  
    Hv IN'  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 '$U"RP^(  
    4Fz^[L}[  
    :#|77b0  
    VirtualLab可用于计算点列图。 iL\\JuY  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 k~hL8ZT[  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ,~kMkBkl~  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 %%3ugD5i!  
    eVlI:yqppj  
    9. 焦平面上的结果 Cy2X>Tl"<E  
    >:Oo[{)  
    \Lc]6?,R  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ahf$#UQLb  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 SB F3\  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 4u&l@BUr  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 nh8h?&q|  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    r8> q*0~s  
    sy#Gb#=#  
    10. 总结 UHg^F4>4  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 |Y99s)2&N  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 9\n}!{@i  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 UU !I@  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 # K-Q/*  
     
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