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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) AX`T ku  
    72, m c  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 bB$f=W!m%  
     a&'9[9E1  
    1. 描述 h%EeU 3  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 CzBYH   
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 PMAz[w,R~  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 g}W`LIasv  
     u IXA{89  
    2. 系统 H_?rbz}o  
    nI3p`N8j*  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    VukbvBWPN  
    3. 透镜系统组件编辑 'J?{/O^  
    ek&~A0k_o  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 w-Ph-L/  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 %r|sb=(yT  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 %6[,a  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 P&Ke slk  
     rn-bfzoDS  
    7Yg1z%%U  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 "AagTFs(i  
    5|rBb[  
    5len} ){  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 !Q>xVlPVu  
    ■ 可以选择选取光线的方法： t oA}0MI(:  
    — 在x-y-网格 FxlH;'+Q  
    — 六边形 8c) eaDu  
    — 自由选取 ]$g07 7o  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     nVs@DH  
    /bykIUTKI  
    5. 系统的3维视图 obvE m[x!Z  
    %6q82}#`  
    @1o X&#  
    6. 其他系统参数 $z_yx `5  
    ■ 系统由单色平面波照明 z\eQB%aM  
    ■ 照明波长266.08nm 2/ +~h(Cc  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： d}O\:\}y  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ovp/DM  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 uUjjAGZ  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 $6n J+  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 X2V+cre  
    O\Huj=  
    'u.Dt*.Uq  
    76D$Nm  
    {]6-,/3UR  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 suQTi'K1  
    &-*l{"7p+%  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    G/JGb2I/7|  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    Zv}F?4T~:  
    b"X1  
    ~B[e*| d  
    -Y524   
    '=;e# C`<{  
    y`j_]qvt  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~ g!!#ad  
    h2'6W)  
    6 5zx<  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 62ru%<x=  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 WdOxwsq"  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 r]Hrz'C`  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 _=0Ja S>M.  
     !BVCuuM>w  
    9. 焦平面上的结果 >8/Otg+h  
    M IIa8 ;  
    fDDpR=  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %1TKgNf  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 d21thV ,S  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm |"K%Tvxe  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 c(1tOQk.  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     G$a@}9V  
    ; s(bd#Q  
    10. 总结 N?m)u,6-l  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 z#!<[**&  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 ]0'cdC  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 te[uAJ1 N  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ;#zteqn  
     
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