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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) ^SES')x  
    m~\m"zJ4  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Z_TbM^N  
    #p^pvdvh3  
    1. 描述  6-E4)0\  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 u=?P*Y/|W  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 JZ*?1S>  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 L``mF(R^  
    vskM;  
    2. 系统 Zi'8~iEH  
    7 5cr!+  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    enO=-#  
    3. 透镜系统组件编辑 7B>cmi  
    :j!_XMyT:  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [;\< 2=H  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 >Sl:Z ,g;  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 >!WBl Sy  
    包括序列光学表面和光学介质。 AF nl t  
    "B{xC}Tw  
    ( ]uoN4  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 z j0pP{y  
    F_ lj>;}a5  
    J*kzJ{vwy*  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 3R96;d;  
    可以选择选取光线的方法: )e$-B]>7z  
    — 在x-y-网格 +=F);;!  
    — 六边形 -)c"cgx.  
    — 自由选取 _ -FQ78C  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    "g&l~N1$  
    *v-xC5L1\  
    5. 系统的3维视图 $+yQ48Wq  
    6O?Sr,  
    XsCbJ[Z_?q  
    6. 其他系统参数 %1l80Z  
    系统由单色平面波照明 YRX2^v ^[  
    照明波长266.08nm rs)aEmvC  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: HGMH g  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 M> l+[U  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 v}t :}M<;  
    光束尺寸探测器置于焦平面  E8V\J  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ' =s*DL`0  
    04LVa|Y@U  
    s%re>)=|  
    M(gWd8?#  
    <qZ+U4@I)  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 faeyk]u  
    Jywz27j  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    o%s}jBo}  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    JaN_[ou  
    ty8!"-V1  
    #8HXR3L5=!  
     PW\FcT  
    x" =q+sA  
    nqW:P$  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 H%jIjf  
    FO3*[O   
    mqxy(zS]  
    VirtualLab可用于计算点列图。 |xC TX  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 V&n JT~k  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ^d=@RTyo/  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 uw&,pq  
    d|HM  
    9. 焦平面上的结果 e;Z`&  
    _\6(4a`,  
    (M?Q9\X  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Z9EQ|WfS#-  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 0(6`dr_  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm '.v^seU  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 q/G5aO*  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    r\D8_S_  
    )xs,  
    10. 总结 s&hP^tKT  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 {iteC  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 YCdxU1V  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 P.P>@@+d  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 t9l7 % +y  
     
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