示例.0082(1.0) (WK$
)f C61KY7iyR 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 -K`0`n}
->- 1. 描述 %>uGzQ61 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ,>%AEN6N2 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]t|KFk!) ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 s
&v<5W2P
oOuhbFu 2. 系统 '[p~|
mX .ukP)rGe 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
=VlO53Hy{ 3. 透镜系统组件编辑 nm*!#hx
{Gs&u>>R"^
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 {=7W;uL
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 YE5v~2
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #UC4l]Ru A
■ 包括序列光学表面和光学介质。 q+32|k>)
`X]-blHo Vzz0)`*hQ 4. 光线追迹系统分析器-选项 o><~ .T=d& .9WUp> 1+o >#8D
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 4i[3|hv'
■ 可以选择选取光线的方法: qJW>Y}
— 在x-y-网格 C["^%0lj
— 六边形 r{kV*^\E
— 自由选取 5JI+42S
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■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 C9Fc(Y?_ N7Z&_$Bx 5. 系统的3维视图 LaJc;Jt$ "G|Gyc
T~%5^+[h 6. 其他系统参数 /w!b2KwV ■ 系统由单色平面波照明 M!=v"C# ■ 照明波长266.08nm S'Q$N-Dy ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: W #qM$ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ~m
uVQ — 一个虚拟屏位于焦平面 h|%d=`P, — 光束尺寸探测器置于焦平面 }tx~y-QQ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 . xX xjl .Rc&EO "SyyOD
)WA #>~$`Sg 7z=Ss'O] 7. 光线追迹系统分析器的结果 pWps-e % 9BC%w]y 光线经过整个光学系统的三维视图
d2.eDEOsC 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
J~<:yBup} uzZ|w+3O )J (ekfM DfV_08 r9s1\7]x yQ+#Tlji 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 RPaB4> N~M:+\
fgl"ox
■ VirtualLab可用于计算点列图。 FPFt3XL
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 f*5=,$0
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 e@0wF59
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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TmX~vZ 9. 焦平面上的结果 q.<q(r
D9H|]W ~
%F&j B
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 f#JLE+0Y
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 MQ\:/]a
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm r7ywK9UL
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 *i%!j/QDAP
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 .# j)YG 1oX"}YY1 10. 总结 }(M<sEK~ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 j*QY_Ny* ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 'Q(A5zfN]Y ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 mvUYp,JECl ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 0U`Ic_.