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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) vIvIfE  
    ~rm_vo  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 C^){.UGmJ  
    gr{ DWCK  
    1. 描述 xG 1n GO  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 7^285)UQA  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [;N'=]`  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 sT.ss$HY9,  
    "tZe>>I  
    2. 系统 N+|d3X!  
    [UR-I0 s!/  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    <q836]aa A  
    3. 透镜系统组件编辑 h;Kx!5)y  
    F@t3!bj9  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 u +hX  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 A,]h),b  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 \['Cj*ek  
    包括序列光学表面和光学介质。 c L]1f  
    OI*H,Z "  
    .}t e>]A*  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 GyIV Hby  
    DXo|.!P=3  
    mw!F{pw  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 txpgO1  
    可以选择选取光线的方法: >z03{=sAN  
    — 在x-y-网格 H|*m$| $,  
    — 六边形 7v kL1IA  
    — 自由选取 Y73C5.dNcE  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    \RiP  
    sx%[=g+<2(  
    5. 系统的3维视图 ]lbuy7xj63  
    YVU7wW,1  
    F847pyOJnf  
    6. 其他系统参数 ^ y::jK  
    系统由单色平面波照明 %;_MGae  
    照明波长266.08nm ?}0,o.  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +nL[MSw  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 o4X{L`m  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ~a:  
    光束尺寸探测器置于焦平面 y0#2m6u  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。  )2.Si#  
    tA;}h7/Lc~  
    ? k/`  
    #a6iuO0I  
    QV!up^Zso  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 %v|B *  
    C_Dn{  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    icgfB-1|i  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    z_HdISy0  
    1#x0q:6  
    oU8q o-J1H  
    { FkF  
    @C$]//;  
    Ac@VGT:9  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;u JMG  
    _f83-':W6  
    dN q$}  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ZVBXx\{s  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 l#o ~W`  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 'L'R9&o<X  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色  ?9/G[[(  
    %J(:ADu]  
    9. 焦平面上的结果 sC'` ~}C  
    RZLq]8pM  
    jcOcWB|  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 N8jIMb'<  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 6x`t{g]f,  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm d{?LD?,)  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 /uflpV|  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    i1UsIT  
    }bxs]?OW>  
    10. 总结 D.:Zx  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 oH@78D0A  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 *4'"2"  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 x2xRBkRg=  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 f*Hr^b}`8  
     
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