示例.0082(1.0) sjTZF- TprTWod2]t 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 @u+]aI!`-
ldcqe$7, 1. 描述 G>_*djUf ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 urc|
D0n ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ITQA0PISL ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 eIF5ZPSZi
f)rq%N & 2. 系统 ]! &FKy tFn)aa~L 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
4B;=kL_f 3. 透镜系统组件编辑 &E F!OBR
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ,,.QfUj/&
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ;+_:,_
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ~At7 +F[
■ 包括序列光学表面和光学介质。 {W`%g^Z|H
u#fM_>ML c]-<vkpV 4. 光线追迹系统分析器-选项 6v!`1}
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 wu6;.xTLl
■ 可以选择选取光线的方法: Wb_J(!da
— 在x-y-网格 M?49TOQA
— 六边形 .LZ?S"z$w
— 自由选取 r6Dz;uz
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 bs&43Ae 'BxX0 5. 系统的3维视图 qZh/IW By,eETU]
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' 6. 其他系统参数 ,Vax&n+J ■ 系统由单色平面波照明 <=&`ZH ■ 照明波长266.08nm dQX6(Jj ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: klYX7? — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2'Uu:Y^ — 一个虚拟屏位于焦平面 U>SShpmZA — 光束尺寸探测器置于焦平面 T<>,lQs(a ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ,THw"bm `[yKFa
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Kw^ 7>\ n&/
` 7. 光线追迹系统分析器的结果 VGN5<?PrN ]5cT cX;Z# 光线经过整个光学系统的三维视图
5;WH:XM 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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E&w7GZNt BOX2O.Pm 2pCaX\t e%M;?0j 2tO,dx 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 KF}hV9IU {YC@T(
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 wJqMa9|
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 >R_&Ouh:
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 >'$Mp <
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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; 2#y7! 9. 焦平面上的结果 3}1u\(Mf
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 wlvgg
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ~?}Emn;t
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm %1L,Y
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 @mBQ?;qlK
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 0+ '&`Q!u !qg`/y9 10. 总结 vr l-$ii ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Q&;9x? e ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :cECRm* ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 3"e,qY ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 *^4"5X@