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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Oey Ph9^V  
    O h e^{:  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 oqvu8"  
    Zw)=Y.y!  
    1. 描述 cy@oAoBq  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 lai@,_<GV  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 n}Z%-w$K#  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 0 @#Jz#?  
    K_+M?ap_  
    2. 系统 N|mggz  
    OF*E1B M  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    +On2R&m  
    3. 透镜系统组件编辑 7d.H 8C2  
    N=u( 3So  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 jy~hLEt7  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @8c@H#H  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +ase>'<N#  
    包括序列光学表面和光学介质。 z>+CMH5L)  
    ]iTP5~8U  
    hD#Mhy5h  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 c*#$sZ@YA  
    i+S%e,U*  
    `%|3c  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 V+y|C[A F  
    可以选择选取光线的方法: L2Cb/!z`c  
    — 在x-y-网格 rui 8x4c  
    — 六边形 EiD41N  
    — 自由选取 ipu~T)}  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    I[A<e]uK  
    !JdZ0l  
    5. 系统的3维视图 {6LS$3}VM  
    lrPIXIM  
    x%)oL:ue  
    6. 其他系统参数 wy|b Hkr_  
    系统由单色平面波照明 L7lpOy4k  
    照明波长266.08nm lw8t#_P  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "$5cKbJ  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 k_1;YO BF  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 \|vo@E  
    光束尺寸探测器置于焦平面 7lYf+&JZ  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。  {y{O ze  
    F'wG%  
    LTx,oa:ma  
    "&qAV'U  
    k{!9 f=^   
    7. 光线追迹系统分析器的结果 e2%mD.I  
    ]/p>p3@1C  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    @@3 NSKA  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    _TdH6[9  
    `}ZtK574  
    4<<eqxI$|  
    |pknaz  
    'o= DGm2H  
    ?;w`hA3ei  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 eF0FQlMe[  
    r0f&n;0U4  
    Kl?C[  
    VirtualLab可用于计算点列图。 D1ik*mDA=  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 n[;)(  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Q4Wz5n1yp7  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ( ?e Et&  
    ,<7HLV  
    9. 焦平面上的结果 Rm_+kp@\  
    mDt!b6N/  
    =^zGn+@z  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 $qpW?<>,0  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Z6So5r%wZ  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm CZ^ ,bad  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 7#&Q-3\:  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    @}r s6 G  
    DoBQ$Ke p  
    10. 总结 1TzwXX7  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ^\S~rW.3_  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Vv`94aQTD  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 av'[k<  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 +s7w@  
     
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