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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) tk:nth  
    >wL!`:c'"  
    关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 B*E"yB\NV  
    ("{vbs$;  
    1. 描述 c6=XJvz  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 -e?n4YO*\  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [6 "5  
    ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 V$:%CIn  
    f}KV4'n  
    2. 系统 Tr4\ `a-i  
    \TnK<83  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    @[`]w`9Q7  
    3. 透镜系统组件编辑 ^|vP").aQm  
    m(dW["8D  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 pIug$Ke_%  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 lp5'-Jo  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 }6 u)wF5  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 K6)IBV;  
    ;% i-:<ac  
    q4'`qe  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 : ;hm^m]Y  
    %&lwp  
    (&V)D?/hS  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 .QA1'_9  
    ■ 可以选择选取光线的方法: =h?%<2t9<  
    — 在x-y-网格 /UY'E<wBx  
    — 六边形 sFvYCRw /  
    — 自由选取 l}T@Cgt  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    4PR&67|AH_  
    ,%zE>^~  
    5. 系统的3维视图 {j<?+o5A  
    %s5( ''a.  
    (KfQ'B+  
    6. 其他系统参数 V$iA3)7W%  
    ■ 系统由单色平面波照明 gxe u2 HG  
    ■ 照明波长266.08nm D vN0h(?  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: |%rRALIY  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 6/p9ag]  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 E@l@f  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 Zs;c0T ">  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +# !?+'A  
    X4Uy3TV>  
    v}z^M_eFm  
    X'%BS  
    >}C:EnECy  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 u@+^lRGFh  
    1Mx2%  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    a^X% (@Sg  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    *IF ~ab2  
    *+2BZ ZwT  
    '!4\H"t  
    unnuSW#v=  
    CPY|rV  
    h CV(O2jL  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 sebuuL.l0<  
    B[f:T%  
    Wh"xt:  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 YluvWHWi  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 >m=XqtP  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 <~svy)Cz  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 N[DKA1Ei  
    N>g6KgX{K  
    9. 焦平面上的结果 <iH"5DEe  
    &`-e; Xt  
    X)c0 y3hk  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 `}}|QP5xG  
    ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 V.yDZ"  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm AvuGAlP  
    ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 f,3K;S-he:  
    ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
    g(S4i%\  
    EU Oa8Z  
    10. 总结 A9Pq}3U  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 wLg@BSC.  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Np.<&`p!  
    ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Z^KWYe'w  
    ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 [?]p I  
     
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