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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 11-26
    示例.0082(1.0) d" =)=hm!  
    mKLWz1GZ  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ?BX}0RWMh7  
    +3k.xP?QS  
    1. 描述 {t*CSI  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 @8Cja.H  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 kp Rk.Q*  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 o?d`o$  
    #h#_xh'  
    2. 系统 }ww`Y&#  
    [1l OGck[  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    9+b){W  
    3. 透镜系统组件编辑 dbg%n 0h  
    ' ,1[rWyc  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 N[I ?x5:u  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 NE><(02qW  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 oT!i}TW?o  
    包括序列光学表面和光学介质。 yBCLS550  
    $T_>WUiK  
    "[sr0'g:  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 sVH w\_F$  
    6H!l>@a7v  
    ~uG/F?= Q:  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Z-L}"~  
    可以选择选取光线的方法: qN^]`M[ BY  
    — 在x-y-网格 yuhY )T  
    — 六边形 JF'<""  
    — 自由选取 [M#(su0fv  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    gX`C76P!  
    s)+] pxV0-  
    5. 系统的3维视图 ~"Su2{"8B  
    /GF"D5  
    j>5X^Jd  
    6. 其他系统参数 hb(H-`16  
    系统由单色平面波照明 lSy_cItF  
    照明波长266.08nm |+Xh ^E  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: }%c0EY'  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 I/zI\PP,  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 {rzQ[_)EC  
    光束尺寸探测器置于焦平面 sRQ4pnnrn  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 KvjH\;78  
    59(kk;  
    zhh6;>P  
    _y:a Pn  
    <.ZD.u  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 p::`1  
    uM[[skc  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    id)J;!^;J  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    @>F`;'_*z  
    KDr)'gl&  
    JHuA}f{2&  
    pIPjTQ?cq  
    /px`FuJI(  
    L> rW S-  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 0IQ|`C.  
    LAGg(:3f3  
    Q) iN_|  
    VirtualLab可用于计算点列图。 n>YgL}YZ?  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6-\C?w A  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 -AXMT3p=1  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ig'4DmNC  
    w!RJ8  
    9. 焦平面上的结果 BQ {'r^u  
    D7C%Y^K]>E  
    7??j}ob>  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 hOe$h,E']  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 `nL^]i  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm $KmE9Se6,  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Y|<1|wGG  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    _2eL3xXha.  
    nVk]Qe  
    10. 总结 '~76Y9mv  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;{rl Y>  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 {ZgycMS  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 y9Q"3LLic`  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 _LLE~nUK"/  
     
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