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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0)  ,\s`T O  
    W!wof- 1  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 N#K)Z5J)b  
    4LKpEl.=  
    1. 描述  d 2d-Mk  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Tb$))O}  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 >`\.i,X .D  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 tL$,]I$1+  
    ->rqr#  
    2. 系统 ? `p/jA  
    *O :JECKU  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
     xgcxA:  
    3. 透镜系统组件编辑 WM'!|lg  
    TKR#YJQ?K  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 |Dn Zk3M,  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 #NW+t|E  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 UZI:st   
    包括序列光学表面和光学介质。 TP rq:"K  
    ,*J@ic7"  
    F:!6B b C  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Z*m^K%qJ  
    y>EW,%leC  
    `(FjOd K  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 t1Fqq4wRi  
    可以选择选取光线的方法: !0W(f.A{K  
    — 在x-y-网格 @G" nkB   
    — 六边形 ]p`y  
    — 自由选取 :C*}Yg  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    DK74s  
    V: D;?$Jl  
    5. 系统的3维视图 w7Yu} JY^  
    p^pd7)sBr  
    e*2^  
    6. 其他系统参数 EB}B75)x  
    系统由单色平面波照明 Y~vk>ZC  
    照明波长266.08nm I=kqkuW  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8"j$=T6;W  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 4Y8=  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ^ Kz ?SO  
    光束尺寸探测器置于焦平面 /o9it;  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ] 0X|_bU  
    G}8tFo. d1  
    dPEDsG0$a  
    FBXktSg  
    sfX~X/  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 K=N&kda   
    uppa`addK  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    |Q /LC0?  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    _<(xjWp 8  
    v6 U!(x  
    a51(ySC}<s  
     p& _Z}Wv  
    &V?+Y2  
    l$gJ^Wf2gY  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 l ms^|?  
    *:CTIV5N0  
    Z?+ )ox  
    VirtualLab可用于计算点列图。 T \/^4N`  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 v@{y}  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Yh1</C  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 `j{3|C=  
    wO,qFY  
    9. 焦平面上的结果 SSI> +A  
    PB^rniYh  
    zeMV_rW~  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ?ES{t4"  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ]V/5<O1  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm t\/H.Hb  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ? X8`+`nh  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    w: BJ4bi=  
    wo&IVy@s$  
    10. 总结 spA|[\Nl  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 &>c=/]Lop  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :rr<#F  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 %g7j7$c  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 K>'4^W5d,  
     
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