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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) *Y6xvib9*  
    vH[Pb#f-  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 jc:s` 4  
    $,27pkwHeW  
    1. 描述 QDTNx!WL  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 vmX"+sHz$]  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Y)|N"f;  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 27A!\pn  
    %d;ezY'2  
    2. 系统 <1"+,}'x  
    gfgn68k  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    9 OT,TpA  
    3. 透镜系统组件编辑 igC_)C^i>  
    /*rhtrS)  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 09h.1/  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Z?G&.# :  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 _Z Y\,_  
    包括序列光学表面和光学介质。 GJA`l8`SQ  
    I#rubAl  
    ",Cr,;]  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 n<7q`tM#  
    bt/ =Kq#  
    7cTk@Gq  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 H/fUM  
    可以选择选取光线的方法: (u1m]WYL  
    — 在x-y-网格 wvby?MhPY  
    — 六边形 z=Cr7-  
    — 自由选取 l.+yn91%>  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    jZ*WN|FK?  
    BS 1Ap  
    5. 系统的3维视图 kg97S  
    j\&pej  
    s1j{x&OSq  
    6. 其他系统参数 #0Ds'pE-  
    系统由单色平面波照明 ,5Vt]#F5@  
    照明波长266.08nm gl%`qf6:O  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8|^CK|m6*  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ]9 w76Z  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 \cJa;WM>  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Rl~T$ Ey  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3'`dFY,  
    9 ; i\g=  
    |CFRJN-J"  
    ~NcQ1.  
    9&]M**X  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 {w6/[ -^  
    K%5"u'  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    k@mVxnC  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ~ 5"JzT  
    2{|$T2?e  
    zg)sd1@  
    ?Bi*1V<R  
    yHo[{,4itA  
    RW'nUL?_\  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 }f}}A=  
    PJ4(}a  
    i5}4(sV  
    VirtualLab可用于计算点列图。 *iA4:EIP  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 c]k*}W3T  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 _HOIT  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 f9$xk|2g  
    G\d$x4CVGc  
    9. 焦平面上的结果 l`9t}  
    (5L-G{4  
    /b#l^x:j  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 I^\&y(LJF  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 zmuMWT;  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Q n)d2-<  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 (rtY!<|p  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    1 T<+d5[C  
    dq;|?ESP  
    10. 总结 aW_oD[l  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 x3+oAb@o/  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 -_OS%ARa  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Lo.rvt  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 +EXJ\wy  
     
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