示例.0082(1.0) q_V0+qH Cr C=A=e 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 :YP #
_%/}>L>-`8 1. 描述 6gH{R$7L= ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 0.TaXbi ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ICC%,$C~l ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .uF[C{RnO
Jrxz'9qRG 2. 系统 b[I8iS kfi h6~$/`&]b 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
x79Ha, 3. 透镜系统组件编辑 `R"~v/x
@-HG`c ct
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 424(3-/v;
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 PPkx4S_>
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -VxDNT}Tr
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Djq!P
;G\8jP'
q1?&Ev^ 4. 光线追迹系统分析器-选项 ZfrVjUB F@ Swe !3X0FNGq
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 PjKECN
■ 可以选择选取光线的方法: |`TgX@,#9
— 在x-y-网格 1)m@?CaI`
— 六边形 3 ZEB
— 自由选取 2*w0t:Yxe
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #@HF<'H}mu YNwp/Y 5. 系统的3维视图 ryB}b1`D [NMVoBvG
:cB=SYcC% 6. 其他系统参数 L){iA-k;Ec ■ 系统由单色平面波照明 w| `h[/, ■ 照明波长266.08nm >/[GTqi ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: M?m,EQh. — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 [S5\#=_4S — 一个虚拟屏位于焦平面 2c6g>? — 光束尺寸探测器置于焦平面 LUB${0BrA ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 hj'(*ND7z
HY)-/ ;X*cCb`h ~t9tnLc$ pRkP~ZISU 7. 光线追迹系统分析器的结果 <-D/O$q O nQdq^UB 光线经过整个光学系统的三维视图
[
ol9|sdu 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
`x%'jPP1^ Z}$TKO*u BauU{:Sh F*"}aP$ dXF^(y]l 7}M2bH} \K 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 /|*
Y2ETOr lXcx@#~ wF((
■ VirtualLab可用于计算点列图。 wgCa58H76
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 If\fLhM
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 R(q~ -3~
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
dFKM
8_jH
O,Cb"{qH8 9. 焦平面上的结果 ^fZ&QK
5[c^TJ3
H\TI[JPAl
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 gNt(,_]ZR
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 j~!X;PV3
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 8F._9U-EN
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 4$P0 :
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 M5 <@~V/[ Q%xC}||1s" 10. 总结 z11O F ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 V4_=<W ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 \B,(k< ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 gLOEh6 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 /5u<78GW1