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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) &]"Z x0t5%  
    ="p,~ivrz  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 |LV}kG(2  
    ^HhV ?Iqg  
    1. 描述 o9rZ&Q<  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 GIb,y,PDB  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ?;]Xc~  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 r2%Qk  
    FMX ^k  
    2. 系统 >,x&L[3  
    l{I.l  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Sx:JuK@  
    3. 透镜系统组件编辑 lY&Sx{-  
    6t\0Ui  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 =AcK9?%5  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 D\^mh{q(  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ' hDs.Wnu  
    包括序列光学表面和光学介质。 ~|G`f\Ln"  
    iNs@8<=$T  
    B/*\Ih9y  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 7@R^B=pb  
    00B,1Q HP  
    CwM 1 _3cE  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 )[ QT ?;  
    可以选择选取光线的方法: DH7]TRCMZ)  
    — 在x-y-网格 {[4.<|26  
    — 六边形 u4tv= +jh  
    — 自由选取 1Ep7CV-n}  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    \kZ@2.pN  
    99\lZ{f(  
    5. 系统的3维视图 2KlVj]!7  
    +B[XTn,Cru  
    U3jnH  
    6. 其他系统参数 2:@,~{`#*  
    系统由单色平面波照明 ?bH`  
    照明波长266.08nm 5yyc 0UG  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: AJ>$`=  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 O5MV&Zb(  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 )<%CI#s#  
    光束尺寸探测器置于焦平面 QFK'r\3 pU  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 $O&N  
    #@' B\!<@=  
    DUSQh+C  
     1p K(tm  
    P2&0bNY  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 mPF<2:)wv  
    e,xJ%f  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    G6}!PEwM  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    `z`=!1  
    K8/jfm  
    'C=(?H)M  
    Scug wSB  
    X(O:y^sX}  
    Ng1bjq}E2  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 B8unF=u  
    7^V`B^Vu  
    La28%10  
    VirtualLab可用于计算点列图。 1,:QrhC  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 fRxn,HyV  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )gz]F_  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 >(_2'c*[w  
    qu.AJ*  
    9. 焦平面上的结果 /oZvm   
    1h|qxYO  
    JC`;hY  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 V*r/0|vd  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 *ZV3]ig2$  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm sOVpDtZ]LR  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 qo}yEl1  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ~$ Po3]{s  
    o^/ fr&,9  
    10. 总结 0}YadNb7  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 AHMvh 7O?  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 n^rbc ;}  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ~c5 5LlO>  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Rqbz3h~  
     
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