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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 9<W0'6%{/  
    (S&X??jfB5  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 q{[}*%  
     ?tQUZO  
    1. 描述 TGY^,H>J  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Azxy!gDT"  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ,3qi]fFLMe  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 L*6Tz'Qp  
     r2]:'O6  
    2. 系统 1X.5cl?V  
    6(f[<V!r  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    vA10'Gx'  
    3. 透镜系统组件编辑 4xjk^N9  
    w[qWr@  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 gxycw4kz  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 ^!3Sz1  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ~raRIh=  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 fpwge/w  
     l Ztq_* Fl  
    B- N  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 dBE :rZu  
    ]6v6&YV  
    ~Yv"=  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ~N&j6wHg#  
    ■ 可以选择选取光线的方法： wv|:-8V  
    — 在x-y-网格 QHUoAa`6v  
    — 六边形 \h~;n)FI  
    — 自由选取 N1jj\.nB  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     3+;]dqZ  
    ?_3K]i1IS  
    5. 系统的3维视图 w&8gA[y*u  
    cfyN)#9  
    P ^R224R  
    6. 其他系统参数 {e/Qs|a R  
    ■ 系统由单色平面波照明 r5xu#%hgp;  
    ■ 照明波长266.08nm 8p  }E  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： 4nzUDeI3MG  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 U{ gJn#e/.  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 w8:~LX.n  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 R;,+0r^i  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 &Y;z[+(P  
    ;]3Tuq  
    6 :K~w<mMJ  
    'KMyaEh.u  
    ~v$gk   
    7. 光线追迹系统分析器的结果 i|0H {q  
    m*tmmP4R  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    )s4#)E1  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    a02@CsH  
    xV @X%E  
    "15mOW(!+  
    JeU|e$I4>  
    6H\3  
    J~9l+?  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 #8z2>&:|  
    NdZv*  
    *D! $gfa  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 w+(bkqz]  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 J)D/w[w  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 LRW7_XYz  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 >_XRh  
     by,"Orpwq;  
    9. 焦平面上的结果 TXD\i Dq  
    RR>Q$ K  
    c&z@HEzV7  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %|bqL3)a_  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 B@D3aOvO  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm @ 6w\q?.s  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 ,Ua`BWF  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     {SVd='!V  
    2uu"0Rm%  
    10. 总结 @JVax-N  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 hdJW#,xq  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 #Y`GWT1==  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 fx2r\ usX[  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 @U08v_,  
     
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