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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) D.j'n-yw  
    II)\rVP5  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸  {IYfq)c  
     d[w'j/{  
    1. 描述 &'N{v@Oi)  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 8}\VlH]  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ?2%d;tW  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ._~_OVU  
      1SP )`Q  
    2. 系统 #c'yAa  
    n(/(F `  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ?zQ\u{]=  
    3. 透镜系统组件编辑 :f ybH)*  
    92WvD  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 3)T'&HKQ  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 dfiA- h  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 vmvk  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 rm;'/l8Y-E  
     2Auhv!xV  
    k8F<j)"  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Tw)nFr8oF]  
    pB&3JmgR$)  
    >:Na^+c  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 UQaLhK v:  
    ■ 可以选择选取光线的方法：  VljAAt  
    — 在x-y-网格 `g<@F^x5  
    — 六边形 tU >wRw=d  
    — 自由选取 CuR\JKdRo  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     3DV';  
    _Buwz_[&  
    5. 系统的3维视图 ,@tkL!"9q  
    A)kx,,[  
    lt|\$Iy(  
    6. 其他系统参数 4v T!xn  
    ■ 系统由单色平面波照明 4!i`9w$$"  
    ■ 照明波长266.08nm }7RR",w  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： #M$[C d I$  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 B&Q\J>l9S  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 6b~Zv$5^Y-  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 NEa :  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 d=o|)kV  
    A07g@3n  
    J_C<Erx[O  
    );_g2=:#  
    F^ 7qLvh  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 o%i^t4J$e  
    !jN}n)FSq  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    L@HPU;<  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    k*(c8/<.d  
    )XmV3.rI  
    kQ 7$,K#  
    8>x!n/z)  
    9W:oo:dK F  
    D*6v.`]X  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1 !bODd  
    6v (}<2~  
    rdhK&5x*  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 <+o-{{E[  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ?:vp3f#  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 BAG) -  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ;,[6 n|M  
     B8UtD  
    9. 焦平面上的结果 ,;)Y 1q}Q  
    'DO^($N  
    G# gUd'=M  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 M$~3`n*^  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 f uQbDb&  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm PElC0 qCn[  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 ."&,_F  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     7K,Quq.%+  
    u~[HC)4(0  
    10. 总结 11[[Hk X@  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 usH9dys,  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 t ~ruP',~\  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \ZX5dFu0  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 fOJ 0#^Z  
     
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