示例.0082(1.0) N7a[B>+` K('
9l& A 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 y&h~Oa?,;
+<z7ds{Z 1. 描述 "7:u0p! ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !#C)99L"F ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ?S8$5gA ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 waBRQh
5R)[Ou. 2. 系统 G%Y*q(VrEu raSF3b/0 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
p?}&)Un 3. 透镜系统组件编辑 )Gmb?!/^
=1eV
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \;iG{}(
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 $vz_%Y
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 N-Qu/,~+
■ 包括序列光学表面和光学介质。 FXcc1X/
wQ@Zwbx $x/J+9Ww 4. 光线追迹系统分析器-选项 gNG.l ,#=eu85' g~eJ
YS,
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *13g<#$
■ 可以选择选取光线的方法: x-tm[x@;o
— 在x-y-网格 Ct-rD79l
— 六边形 ^kc>m$HY
— 自由选取 uQO(?nCi
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 .V7Y2!4TE fi5YMYd1 5. 系统的3维视图 1<;\6sg LAj}kW~
{_rZRyr 6. 其他系统参数 jQO*oq} ■ 系统由单色平面波照明 (\T8!s{AO ■ 照明波长266.08nm 4fZY8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 9zmD6G!}t — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 )j]gm i" — 一个虚拟屏位于焦平面 !Jk(&. — 光束尺寸探测器置于焦平面 6\%r6_.d ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ,xm;JXJ pM1=UF %g!yccD9 0TpBSyx. 3csm`JVK 7. 光线追迹系统分析器的结果 -bv>iIC
c(QG4.)m 光线经过整个光学系统的三维视图
oH!$eAU? 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
l~`txe PWADbu{+ 0f_66` Xw&QrTDS` Y{+zg9L* =>gyc;{2K< 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 EGp~Vo- aeN}hG lCM6T;2ID
■ VirtualLab可用于计算点列图。 <1;,B%_^
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ]2hF!{wc
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 0IoXDx
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Z!q2F%02FO
R[mH35D/ 9. 焦平面上的结果 7j9D;_(.^$
=NVZ$K OZ
C:|q'"F
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 WZ-4^WM=!
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 L8,H9T#e
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ;oN{I@}k
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 wgSR*d>y*9
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 $Uv<LVd( Pn'QOVy 10. 总结 u|_ITwk ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 $@+p~ )r(l ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 M"$jpBN* ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 7Va#{Y;Zy ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 N"q+UCRC