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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) d_,Mylk  
    ^&<M""Z  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ) f~;P+  
    g kmof^  
    1. 描述 &| (K#|^@  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Nw. )O  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 AZ!/{1Az  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 uj3`M9  
    3 P0z$jh"H  
    2. 系统 _#K|g#p5  
    25OQY.>bE  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    4XAB_Q  
    3. 透镜系统组件编辑 v\w*VCjoV  
    11l=zv  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 vl/!w2  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 1`?o#w  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 X4o#kW  
    包括序列光学表面和光学介质。 uf?;;wg  
    ^KbR@Ah  
    ;> 7~@ K  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 gOg7:VPG  
    7u"Q1n(h/  
    GSRf/::I}4  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 O]XRalkEM  
    可以选择选取光线的方法: W<q<}RSn  
    — 在x-y-网格 sO ) H#G  
    — 六边形 I q|'#hs  
    — 自由选取 j*QdD\)  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    :?f+*  
     8~T}BC  
    5. 系统的3维视图 |r+ x/,2-  
    BZ\="N#f  
    ZW?h\0Hh  
    6. 其他系统参数 SXsszb:_  
    系统由单色平面波照明 ! #Pn_e  
    照明波长266.08nm  !y@\w  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ;\th.!'rn  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2}<tzDI'  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 e^*&&  
    光束尺寸探测器置于焦平面 LHtO|Utn(  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3fLdceT  
    .+>fD0fW7Y  
    oJM; CN  
    PZ/ tkw  
    qD%88c)g  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 qVU<jt  
    | K|AUI  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    7y^)n<'co  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    =H7p&DhD[  
    [`tOhL  
    >yc),]1~  
    'R1C-U3w,  
    < R"Y^]P=  
    MVM Jl">  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 uNy-r`vg  
    y a$yRsd`  
    \@PMj"p|:  
    VirtualLab可用于计算点列图。 JAHmmNlW  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Q=!QCDO(  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 F$>#P7ph\a  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 !=30s;-  
    H.?`90IQ  
    9. 焦平面上的结果 C2LG@iCIE  
    ~7aD#`amU  
    CXn?~m&K  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ;nh_L(  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 yVzV]&k  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 3^Is4H_8  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 G l/3*J  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    R)d_0Ng  
    5[\g87 \  
    10. 总结 #l>r9Z71  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 `Zp*?  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 \Uh/(q7  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 s j-oaWt  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 L7- JK3/E  
     
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