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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) L*tn>AO  
    ye1kI~LO(  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 +D|y))fE  
     x0wy3+GZc  
    1. 描述 )P\Vd #  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 BgLK}p^  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ^y"Rdv  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 L_uliBn  
      gc@,lNmi  
    2. 系统 g:MpN^l  
    #"%=7(  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    kBd #=J  
    3. 透镜系统组件编辑 5-O[(b2O  
    '7}s25[{\  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 {,p<!Jq~G  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 /7X:=~m  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 'M2Jw8i  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 yjZxD[ Z  
     9|O#+_=+v  
    #LEK?]y  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 d V#h~  
    %\-u&  
    S5]rIcM  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 . Rxz;-VA  
    ■ 可以选择选取光线的方法： l=%v  
    — 在x-y-网格 ipfiarT~)  
    — 六边形 PNgj 8J4  
    — 自由选取 S!o!NSn@1  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     +~RiCZt  
    ='<0z?Af  
    5. 系统的3维视图 ;Ad$Q9)EE  
    +9>t; Ty  
    knZee!FA7  
    6. 其他系统参数 jLc4D'  
    ■ 系统由单色平面波照明 gTZ1LJ  
    ■ 照明波长266.08nm 3=V79&  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： 4' bup h1(  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 bY7d  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 F n4i[|W42  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 q?'*T?|  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ,o\v umx  
    O7bTu<h=  
    -sl] funRy  
    "#^11o8  
    ) 2C`;\/:  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 k,O("T[  
    io^^f|  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    VqLqj$P  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    ^0ZabR'  
    h\afO  
    TG'_1m*$  
    -4{sr| lm  
    DQY*0\  
    WPiQ+(pt  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 a=\r~Z7E  
    7*]O]6rP  
    z/aZD\[_  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 5Og.:4  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 oVyOiWo\Z  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 B/g.bh~)q  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 lO>w|=<  
      RSXYz8{  
    9. 焦平面上的结果 _U;z@  
    B uV@w-|  
    Q1?  !,a  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 H->J.5~,K  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 Zoh[tO   
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm GV'Y'  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 ZW n j-  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     NL%5'8F>,  
    E'zLgU)r`  
    10. 总结 XhjH68S(  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 #Q}`kFB`  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 LO0<=4iN(  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 p =_K P9  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。  2bwf(  
     
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