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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) q_V0+qH  
    CrC =A=e  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 :Y P#  
    _%/}>L>-`8  
    1. 描述 6gH{ R$7L=  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 0.Ta Xbi  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ICC%,$C~l  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .uF[C{RnO  
    Jrxz'9qRG  
    2. 系统 b[I8iSkfi  
    h6~$/`&]b  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    x79Ha,  
    3. 透镜系统组件编辑 `R"~v/x  
    @-HG`c ct  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 424(3-/v;  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 PPkx4S_>  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 - VxDNT}Tr  
    包括序列光学表面和光学介质。 Djq!P  
    ;G\8jP'   
    q1?&Ev^  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ZfrVjUB  
    F@ Swe  
    !3X0FNGq  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 PjKEC N  
    可以选择选取光线的方法: |`TgX@,#9  
    — 在x-y-网格 1)m@?CaI`  
    — 六边形 3ZEB  
    — 自由选取 2*w0t:Yx e  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    #@HF<'H}mu  
    YNwp/Y  
    5. 系统的3维视图 ryB}b1`D  
    [NMVoBvG  
    :cB=SYcC%  
    6. 其他系统参数 L){iA-k;Ec  
    系统由单色平面波照明 w| `h[/,  
    照明波长266.08nm >/[GTqi  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: M?m,EQh.  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 [S5\#=_4S  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 2c6g>?  
    光束尺寸探测器置于焦平面 LUB${0BrA  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 hj'(*ND7z  
    HY)-/  
    ;X*cCb`h   
    ~t9tnLc$  
    pRkP~ZISU  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 <-D/O$q  
    OnQdq^UB  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    [ ol9|sdu  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    `x%'jPP1 ^  
    Z}$TKO*u  
    BauU{:Sh  
    F*"}aP$  
    dXF^(y]l  
    7}M2bH} \K  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 /|* Y2ETOr  
    lXcx@#~  
    wF((  
    VirtualLab可用于计算点列图。 wgCa58H76  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 I f\fLhM  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 R(q~ -3~  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 dFKM 8_jH  
    O,Cb"{qH8  
    9. 焦平面上的结果 ^fZ&QK  
    5[c^TJ3  
    H\TI[JPAl  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 gNt(,_]ZR  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 j~!X;PV3  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 8F._9U-EN  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 4$P0:  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    M5 <@~V/[  
    Q%xC}||1s"  
    10. 总结 z11O F  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 V4_=<W  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 \B,(k<  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 gLOEh6  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 /5u<78GW1  
     
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