示例.0082(1.0) AJ#YjkO>] #.,LWL] 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 qR%as0;
;1r|Bx <5 1. 描述 Cw5B
p9 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 f|j<Mj+\ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 N6*FlG- ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 :/>Zky8,k
lXVh`+X/l
2. 系统 OU?.}qc<wE wRX#^;O9?> 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
'@^mesMG 3. 透镜系统组件编辑 q[. p(6:
LMp^]*)t
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 "5\6`\/
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 scE#&OWF%
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -V'Y^Df
■ 包括序列光学表面和光学介质。 vnlHUQLO
%."w]fy>P ^=gN >xP 4. 光线追迹系统分析器-选项 b<E78B+Aax {~'Iu8TvZ | `?J2WGe
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 sWVapup?
■ 可以选择选取光线的方法: 0R-W9qP
— 在x-y-网格 rWN%j)#+
— 六边形 h5v=h>c
— 自由选取 m,rkKhXP
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 <Iil*\SC d-H03F@N 5. 系统的3维视图 dvAz}3p0] ahN8IV=+Gm
X'/'r.b6 6. 其他系统参数 4S* X=1 ■ 系统由单色平面波照明 /3;]e3x ■ 照明波长266.08nm DX/oHkLD' ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: :=:m4UJb — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 {=MRJg!U — 一个虚拟屏位于焦平面 \[AJWyP — 光束尺寸探测器置于焦平面 M>{*PHze0 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 4(`U]dNcs jq_ i&~S 2r@9|}La +iNp8 dleCh+ny? 7. 光线追迹系统分析器的结果 qsYg%Z ofs'xs1C 光线经过整个光学系统的三维视图
NE|Q0g 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
FA%V>&;` P!XO8X 1F MIqH%W.ru [<wpH0lNoy 5?f!hB|6 \GZ|fmYn 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 z0|-OCmL " z -tL s#Xfu\CP
■ VirtualLab可用于计算点列图。 CF: !
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 UUGX@
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 nx%eq,Pq
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
7ab'q&Y[
/RWD\u<l 9. 焦平面上的结果 u>*qDr*d
n8i: /ypB
equi26jhr
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 b&RsxW7
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 02-% B~oP
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm @h/-P'Lc=7
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 7/)0{B4U'
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 1yFIIj:^| &%u m#XE 10. 总结 0#~k)>(7lR ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 h+j*vX/! ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Z1]4: ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ~JP3C5q ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ~Q}!4LH