示例.0082(1.0) K<p)-q 4R&pb1eF 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 LT:8/&\
RpzW- 1. 描述 7upN:7D- ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 sM@1Qyv&0 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Z@bKYfGM ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 C:RA(
$|K-wN[ 2. 系统 k#x"'yZ d+]/0J!c 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
4#ZZwa]y 3. 透镜系统组件编辑 @UW*o&pGqL
F+/#ugI
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ,R=)^Gh{
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 IhXP~C6
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 afye$$X
■ 包括序列光学表面和光学介质。 T*rz#O
RH"EO4 &J,&>CFc 4. 光线追迹系统分析器-选项 T<U_Iq vO8CT-) gCM(h[7A
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 S~V?Qe@&Z
■ 可以选择选取光线的方法: MG4(,"c!
— 在x-y-网格 #X*=oG
— 六边形 -!X\xA/KN
— 自由选取 1Wz5Iv#Ez
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]_2<uK}fg m>+e;5 5. 系统的3维视图 S{zl<>+ $#FA/+<&$
D"X`qF6U7 6. 其他系统参数 LR
y&/d ■ 系统由单色平面波照明 L[lS
>4eN ■ 照明波长266.08nm ^']*UD; ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: @<B$LJ|jdG — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ,pa=OF — 一个虚拟屏位于焦平面 !Z%pdqo`. — 光束尺寸探测器置于焦平面 XvkFP'%i/ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 pGsu#`t VP:9&?>G
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F *c YBQ{/"v%| E~1"Nh 7. 光线追迹系统分析器的结果 %SwhNn <[tU.nh 光线经过整个光学系统的三维视图
Il$Jj-) 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
>\Ml\CyL F^X:5g~K
$J]o\~Z J =Y-mc#{8 BS+=*3J
@+!u{ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $'Qv
{ CF/8d6}Vf 4_h?E:sBb
■ VirtualLab可用于计算点列图。 S"Drg m.
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6|]e}I@<2
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 VU\{<j{
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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;<nQl,2N 9. 焦平面上的结果 |]j2T8_=
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 9u] "($
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 tz/NR/[
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm yPVK>em5
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 XJZS}Z7h
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 x4;ndck%U '+E\-X 10. 总结 z*G(AcS) ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ^/7L(
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 6:qh%ZR ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 )P
#MUC ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 's 'H&sa