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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) #`^}PuQ  
    H8=N@l  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 /l3V3B7  
     ,CJWO bn3  
    1. 描述 ,KH#NY]  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 I^.Om])  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Q3'llOx  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 6bg ;q(*7  
     hW<%R]^|  
    2. 系统 PrqlTT}Px  
    Lj({[H7D!  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    cZ,b?I"Q%  
    3. 透镜系统组件编辑 n9\TO9N  
    ijv(9mR  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 {p2!|A&a  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 cVv=*81\  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 Da*?x8sSL  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 <sbu;dQ`  
     70?\ugxA  
    )D O?VRI  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 r `=I  
    M/f<A$xx_  
    E_rI?t^  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 #^0R&) T  
    ■ 可以选择选取光线的方法： q1x`Bj   
    — 在x-y-网格 zpn9,,~u  
    — 六边形 7sCG^&Y  
    — 自由选取 h,:m~0gmj  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     LBeF&sb6  
    e+7"/icK  
    5. 系统的3维视图 [>I<#_^~  
    (XTG8W sN  
    >Er|Jxy  
    6. 其他系统参数 ;?Tbnn Wn  
    ■ 系统由单色平面波照明 z _$%-6  
    ■ 照明波长266.08nm |l^uEtG  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： dl)Y'DI  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Qp5VP@t  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 -m zIT4  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 XX TL..  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ,Fl)^Gl8?  
    ?>:g?.+  
    0],r0  
     4\N ;2N  
    Pbn*_/H  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 /{J4:N'B>  
    L<cx:Vz  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    H7Rx>h_  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    C3f' {}  
    "S]0  
    q[_Vu A]&  
    KZY}%il!`  
    9rX&uP)j^#  
    (S5R!lpO  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 _ A y9p[l  
    .hb:s,0mP  
    cl3K<'D  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 %IA\pSE  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ?zMHP#i  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 7aRi5  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 _.Nbt(mz  
     ys^oG$lq  
    9. 焦平面上的结果 Y]_ruDIW  
    m 9WDT  
    !-x$L>1$  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 RLXL&  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 fw~Bza\e  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm tY<4%~%X  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 UgSB>V<?  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     NNR`!Pty  
    .VJMz4$]O  
    10. 总结 8'[7 )I=  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 {]!mrAjD  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 L#{S!P,"  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 <al(7  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 Sv#XIMw{,  
     
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