示例.0082(1.0) 96S$Y~G#& #xfav19{. 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 lbGPy'h<rt
=q>lP+ 1. 描述 mM~&mAa+Z ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 :YPi>L5 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 FAdTp.
■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 F'"-aB ~
j\NCoos 2. 系统 "3'a.b akw hgbf"J6V8 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
7VskZbj\ 3. 透镜系统组件编辑 `l6OQdB3W
DL d~
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 _~'MQ`P
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 8hYl73#
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 %zo
6A1Q;
■ 包括序列光学表面和光学介质。 =$%-RX7
r;{ggwY&J A'Z!l20_ 4. 光线追迹系统分析器-选项 h6bvUI+|h JpZ_cb`<E' `GlOl-
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6pt|Crvu
■ 可以选择选取光线的方法: J1w3g,
— 在x-y-网格
E(wS6
— 六边形 s
Ytn'&$\
— 自由选取 Aar]eY\
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 >FS%-eI6 I[b{*g2Zw 5. 系统的3维视图 !T2{xmHKv$ }x&XvI
lHPnAaue@ 6. 其他系统参数 [k75+#' ■ 系统由单色平面波照明 {U@"]{3Qx ■ 照明波长266.08nm Y^C(<N$ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: EQk omjv — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 .Wr7*J[V. — 一个虚拟屏位于焦平面 9P,[MZ — 光束尺寸探测器置于焦平面 >rSCf= ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ,% 'r:@' %%I:L~c k<Xb<U (/Jy9=~ D=Nt0y 7. 光线追迹系统分析器的结果 Q@8(e&{#W q(WGvl^r 光线经过整个光学系统的三维视图
#xq3)B 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
F_i"v5# G$)tp^%] ZoYllk 1f1D^| BHS@whj ,Z
:2ba 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Q[%G`;e # S,udpQ7 j^v<rCzc(
■ VirtualLab可用于计算点列图。 LNrM`3%2-
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 "=KFag
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ]JvjM,
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
3 ]@wa!`
DZLEx{cm 9. 焦平面上的结果 mey -Bn
I 9?X
osmCwM4O
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 1HqN`])l/j
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ~IPATG
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm _VM}]A
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 gz uWhQo
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 m(dW["8D pIug$Ke_% 10. 总结
/J Y6S ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 >WJQxL4 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Sn
7h$ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 44w
"U%+ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 @3 +