示例.0082(1.0) 1c*;Lr.K JOwu_% 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ]\/"-Y#4Q
/^WOrMR 1. 描述 oE,TA2 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 tF.N ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 {f;DhB-jj ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 RW<4",
blkPsp)m" 2. 系统 bicbCC6kC ffsF], _J 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
I*n]8c 3. 透镜系统组件编辑 f @Vd'k<
~^fb`f+%
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 tY#Zl 54~{
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 yqP=6
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 >1` '5A}s
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ?[)V
p!\GJ a", .Y^pDR12 4. 光线追迹系统分析器-选项 ;
FHnu| l9&L$,= Yaz/L)Y;R
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 28 zZ3|Z3
■ 可以选择选取光线的方法: uXb}oUC
— 在x-y-网格 8TTj<T!N
— 六边形 g@Rs.Zq
— 自由选取 CV2#G *
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 moZeP#Q% 4E+8kz' 5. 系统的3维视图
{~XAg~ I6,||!sZ
|\94a 6. 其他系统参数 0IBQE ■ 系统由单色平面波照明 &}\{qFD; ■ 照明波长266.08nm +x<OyjY5?] ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ~(:0&w%e — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 s|X_:3\x — 一个虚拟屏位于焦平面 _9?v?mL5; — 光束尺寸探测器置于焦平面 }'Ph^
%ox ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8/;@4^Ux &kT!GU^n ^)h&s* j3u!lZ}U b*4aUpW 7. 光线追迹系统分析器的结果 +-|}<mq Y=y
0`?K 光线经过整个光学系统的三维视图
ubc
k{\. 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
*e:2iM)8~ ?8;WP& ?yu@eo fUPYCw6F Dn#UcMO>W -#R63f& 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;vn0b"Fi3 12: Q`
:z6?
■ VirtualLab可用于计算点列图。 p\Iy)Y2Lf!
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 O3pd5&^g
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ]v:"
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
GB,ub*|
fB'Jo<C 9. 焦平面上的结果 15%6;K?b
uA cvUN-@
w4zp%`?D'
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 KIKIag#
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ;ULw-&]P
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Ds{bYK_y
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 <vu~EY0.
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 p4kK"
\ln w{]B)>! 1W 10. 总结 ZZc^~ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 B~,?Gbl+g ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 $-<yX<. ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 \g v-2., ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 K<WowU