示例.0082(1.0) *Y6xvib9* vH[Pb#f- 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 jc:s` 4
$,27pkwHeW 1. 描述 QDTNx!WL ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 vmX"+sHz$] ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Y)|N"f; ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 27A!\pn
%d;ezY '2 2. 系统 <1 "+,}'x gfg n68k 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
9 OT,TpA 3. 透镜系统组件编辑 igC_)C^i>
/*rhtrS)
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 09h.1/
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Z?G&.# :
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 _ZY\,_
■ 包括序列光学表面和光学介质。 GJA`l8`SQ
I#rubAl ",Cr,;] 4. 光线追迹系统分析器-选项 n<7q`tM# bt/ =Kq# 7cTk@Gq
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 H/fUM
■ 可以选择选取光线的方法: (u1m]WYL
— 在x-y-网格 wvby?MhPY
— 六边形 z=Cr7-
— 自由选取 l.+yn91%>
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 jZ*WN|FK? BS1Ap 5. 系统的3维视图 kg97S j\&pej
s1j{x&OSq 6. 其他系统参数 #0Ds'pE- ■ 系统由单色平面波照明 ,5Vt]#F5@ ■ 照明波长266.08nm gl%`qf6:O ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8|^CK|m6* — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ]9 w76Z — 一个虚拟屏位于焦平面 \cJa;WM> — 光束尺寸探测器置于焦平面 Rl~T$
Ey ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3'`dFY, 9 ;i\g= |CFRJN-J" ~NcQ1. 9&]M**X 7. 光线追迹系统分析器的结果 {w6/[-^ K%5"u' 光线经过整个光学系统的三维视图
k@mVxnC 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
~ 5"JzT 2{|$T2?e zg)sd1@ ?Bi*1V<R yHo[{,4itA RW'nUL?_\ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 }f}}A= PJ4(}a i5}4(sV
■ VirtualLab可用于计算点列图。 *iA4:EIP
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 c]k*}W3T
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 _HOIT
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
f9$xk|2g
G\d$x4CVGc 9. 焦平面上的结果 l `9t}
(5L-G{4
/b#l^x:j
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 I^\&y(LJF
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 zmuMWT;
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Q
n)d2-<
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 (rtY!<|p
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 1 T<+d5[C
dq;|?ESP 10. 总结 aW_oD[l ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 x3+oAb@o/ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 -_OS%ARa ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Lo.rvt
■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 +EXJ\wy