示例.0082(1.0) vIvIfE ~rm_vo 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 C^){.UGmJ
gr{ DWCK 1. 描述 xG 1nGO ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 7^285)UQA ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [;N'=]` ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 sT.ss$HY9,
"tZe>>I 2. 系统 N+|d3X! [UR-I0 s!/ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
<q836]aaA 3. 透镜系统组件编辑 h;Kx!5)y
F@t3!bj9
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 u
+hX
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 A,]h),b
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 \['Cj*e k
■ 包括序列光学表面和光学介质。 cL ]1f
OI*H,Z" .}t
e>]A* 4. 光线追迹系统分析器-选项 GyIV
Hby DXo|.!P=3 mw!F{pw
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 txpgO1
■ 可以选择选取光线的方法: >z03{=sAN
— 在x-y-网格 H|*m$|$,
— 六边形 7v kL1IA
— 自由选取 Y73C5.dNcE
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 \RiP
sx%[=g+<2( 5. 系统的3维视图 ]lbuy7xj63 YVU7wW,1
F847pyOJnf 6. 其他系统参数 ^y::jK ■ 系统由单色平面波照明 %;_MGae ■ 照明波长266.08nm ?}0 ,o. ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +nL[MSw — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 o4X{L`m — 一个虚拟屏位于焦平面 ~ a: — 光束尺寸探测器置于焦平面 y0#2m6u ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
)2.Si# tA;}h7/Lc~ ?
k /` #a6iuO0I QV!up^Zso 7. 光线追迹系统分析器的结果 %v|B * C _Dn{ 光线经过整个光学系统的三维视图
icgfB-1|i 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
z_HdISy0 1#x0 q:6 oU8q o-J1H {FkF @C$]//; Ac@VGT:9 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;uJMG _f83-':W6 dN q$}
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ZVBXx\{s
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 l#o
~W`
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 'L'R9&o<X
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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%J(:ADu] 9. 焦平面上的结果 sC'`~}C
RZLq]8pM
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 N8jIMb'<
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 6x`t{g]f,
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm d{?LD?,)
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 /uflpV|
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 i1UsIT }bxs]?OW> 10. 总结 D.:Zx ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 oH@78D0A ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 * 4'"2" ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 x2xRBkRg= ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 f*Hr^b}`8