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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) iayxN5,  
    WRN}>]NgQ  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 cDh\$7'b  
    tD No; f  
    1. 描述 %QX"oRMn0  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 opqf)C  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 qQCds}<w  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 XI;F=r}'  
    ^Rmrre`uU  
    2. 系统 [};?;YN  
    ;`FR1KIg  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    +<f!#4T  
    3. 透镜系统组件编辑 <"!'>ZUt  
    \D}$foHg  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 g (V_&Y  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 5z"[{ #/  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 *5R91@xt  
    包括序列光学表面和光学介质。 61`tQFx,  
    lsB.>NlU  
    KL8WT6!RZ  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ;;n=(cM|z  
    FO?I}G22  
    =B ts  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 8iN@n8O  
    可以选择选取光线的方法: GlaZZ,   
    — 在x-y-网格 :w:ql/?X  
    — 六边形 $ Bdxu  
    — 自由选取 @{x+ln1r  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    n]bxG8~t  
    mp17d$R-  
    5. 系统的3维视图 U<U?&hB\@  
    _O"C`]]  
    fh@/fd  
    6. 其他系统参数 luV_  
    系统由单色平面波照明 rvBKJ!b0  
    照明波长266.08nm Q?-uJ1J  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: P%Wl`NA P  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 %)j^>W5  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 +g8uV hC  
    光束尺寸探测器置于焦平面 "gq _^&  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 t: qPW<wc  
    I}1<epd ,  
    60%EmX ;  
    Xe\,:~  
    K yp(dp>  
    7. 光线追迹系统分析器的结果  `/eh  
    W[.UM  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    RUlJP  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    0/?=FM >  
    *wK7qS~VB2  
    >s"kL^  
    ,:"c"   
    *Y- rEF>  
    1A/li%  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 S3_QOL  
    ,ikn%l#cm  
    ;X[23A{  
    VirtualLab可用于计算点列图。 \}NZ] l  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 C'CdVDm X  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 -vBk,;^>  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Ix'GP7-m_  
    DwH=ln=  
    9. 焦平面上的结果 ,Y2){8#l  
    !FJ_\UST0  
    / S)&dN`  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 aFwfF^\(|,  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 %dA7`7j  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 0Kenyn4?  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 n"Q fW~U  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    1dX)l  
    d#wK  
    10. 总结 NpF}~$2  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Q5qQ%cu  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 _K|513I  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 >l|dLyiae  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 0i65.4sK  
     
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