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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) |+-b#Sa9  
    AHa]=ka>  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 uw>y*OLU+  
    ;M+~ e~  
    1. 描述 *yg`V,C  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 I]#x0?D  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 fTy{`}>  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 V+u0J"/8  
    qP/McH?  
    2. 系统 qe uc^+P;  
    ASS<XNP  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    `y"a>gHC  
    3. 透镜系统组件编辑 =m;cy0))  
    rv~OfL  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 W Emh  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 5M%)*.Y 3[  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 KrTlzbw&p\  
    包括序列光学表面和光学介质。 q)"yP\  
    YRaF@?^Gn  
    t,5AoK/NL9  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 0sq?>$~Kc*  
    Qoz4(~I  
    SphP@J<ONW  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 B .?@VF  
    可以选择选取光线的方法: ypvz&SzIh  
    — 在x-y-网格 4?`*# DPl  
    — 六边形 f 0/q{*  
    — 自由选取 m*AiP]Qu  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    [xDn=)`{V  
    m7cG ]a~a  
    5. 系统的3维视图 7U)w\A;~  
    fHF*#  
    J32"Ytdo<  
    6. 其他系统参数 cS",Bw\  
    系统由单色平面波照明 . N5$s2t  
    照明波长266.08nm ad<ZdO*h  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +W|VCz  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 M r~IVmtf  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 !imjfkG  
    光束尺寸探测器置于焦平面 wA";N=i=  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 tRR<4}4R  
    opReAU'I  
    7] >z e  
    JPe<qf-  
    cw;TIx_q  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 za5E{<0  
    u0Opn=(_  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ZY)&Fam}  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Y-y}gc_L  
    kybDw{(}gc  
    _WBWFGj  
    V4?]NFK  
    p v*f]Yzx  
    ]2mfby  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 TdrRg''@  
    $mst\]&;  
    VBg M7d  
    VirtualLab可用于计算点列图。 DLEHsbP{$  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 _3m\r*(vmQ  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 zRA,Yi4;+  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ^4 ~ V/  
    6 $5SS#  
    9. 焦平面上的结果 %xN91j["  
    o+T, O+i  
    s,8g^aF4  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 jY $3   
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 DP &*P/  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm oN.#q$\` k  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ;TCT%j`^o  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    %H7H0 %qW  
    hODq& 9!  
    10. 总结 TE@bV9a  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 &}b-aAt  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 <w0$0ku  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 +`~kt4W  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 8'VcaU7Nh  
     
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