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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) :!+}XT7)/  
    %EJ\|@N:  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 ?2?S[\@`0U  
     #LN5&i;s  
    1. 描述 v ]/OAH6D  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Bg 7j5  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 $TD~k;   
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 AK@`'$  
     RVgPH<1X@e  
    2. 系统 I9[1U   
    68koQgI[^  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    m?D <{BQ;  
    3. 透镜系统组件编辑 u{OS6Ky  
    s FQ4O- SM  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 S1 EEASr!}  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 nOAJ9  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ` j&0VIU>>  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 M('s|>\l  
     ,]PyDq6  
    eK Z@ FEZ  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 `1E|PQbWc  
    b)on A|  
    kf%&d}2to  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 | ((1V^  
    ■ 可以选择选取光线的方法： '%zN  
    — 在x-y-网格 KA5~">l  
    — 六边形 aN^]bs?R  
    — 自由选取 *#&k+{a^2  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     qj~flw1:  
    <*s"e)XeqF  
    5. 系统的3维视图 &a%WM   
    NJ;"jQ-  
    \H Wcd|  
    6. 其他系统参数 IVI~1~  
    ■ 系统由单色平面波照明 up\oWR:  
    ■ 照明波长266.08nm !_CX2|  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： [>W"R1/  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 lLb:f6N  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ~7dM!g{W  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 ?QCmSK=L  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 nNt*} k  
    )E'Fke  
    QGs1zfh*  
    D(y+1^>  
    [8>z#*B  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 a q3~!T;W  
    /@ y;iJk;  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ?e F@Q !h  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    8F#osN  
    Tbv/wJ  
    Iz DG&c  
    Fi mN?s  
    9n1ZVP.ag  
    ""co6qo#>  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ')B =|T)  
    6iG(C.b  
    q[7CPE0n  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 y n SBVb!)  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 qE )Y}oN  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 bS>R5*Zp  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 =M7TCE  
     PK_s#uC  
    9. 焦平面上的结果 N_UQ  
    b"I~_CL|  
    B[r<m J  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 pmD4j8F_  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 3KSpB;HX  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm R (G2qi  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 |,b2b2v ?  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     z~,mRgc$B  
    $9 K(F~/  
    10. 总结 U4BqO :sd  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \K;op2  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 8".2)W4*  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 cJCU*(7&  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 B`fH^N  
     
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