示例.0082(1.0) H9%l?r5 3AvVU]@&Z@ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ZJ^s}
@<vF]\Ce 1. 描述 X$BXT ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 R]CZw;zS_ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ]dd[WHA ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 }l.KpdRT2
OYBotk]{1 2. 系统 {V[Ha~b%* k?^%hO>[ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Dp!;7e s| 3. 透镜系统组件编辑 S\B5&W
"YuZ fL`bb
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 pAENXC\,
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 hgj CXl
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 \C|;F
■ 包括序列光学表面和光学介质。 /ca(a\@R
PT mf 2[.5o z` 4. 光线追迹系统分析器-选项 3nwz<P BpH|/7 bKYY{V55
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 GUKDhg,W
■ 可以选择选取光线的方法: #xlZU
— 在x-y-网格 Z%Vr+)!4
— 六边形 F\JLbY{x]
— 自由选取 =h(7rU"Yz
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !2(.$}E O8gfiQqF& 5. 系统的3维视图 _=uviMuE P!5Z]+B#
-zprNQW 6. 其他系统参数 :#Ty^-"]1 ■ 系统由单色平面波照明 "s% 686Vz ■ 照明波长266.08nm 0X.TF ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: TNx _Rc} — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 .XIr?>G — 一个虚拟屏位于焦平面 4*iHw+%mq — 光束尺寸探测器置于焦平面 3Mw}R6g@# ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Im6U_JsNZh GN0duV ,pn)> ^dh=M5xz) gNTh% e 7. 光线追迹系统分析器的结果 am2a#4` AhR0zg 光线经过整个光学系统的三维视图
!Pw$48cg 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
#L\o;p( V+46R
] A9t8`|1"%H ~*,Wj?~+7 PzLJ/QER b]w[*<f? 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 wsqLXZI $}db /hY* V(r`.75
■ VirtualLab可用于计算点列图。 b) Ux3PB
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 b )Tl*
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 kAeNQRjR
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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6i| ~7md, 9. 焦平面上的结果 [$;,Ua-mt
9l#gMFknI
v[VC2D
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 P0)AUi
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 vnL?O8`c
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm J]dW1boT@
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 GoazH?%
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 W1hX?!xp! bH,M,xIL2 10. 总结 J
B(<.E2 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 JDKLKHOMZ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 !O 8.#+ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 xdqK.Z% ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 2Y$