示例.0082(1.0) Oey
Ph9^V O h
e^{: 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 oqvu8"
Zw)=Y.y! 1. 描述 cy@oAoBq ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 lai@,_<GV ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 n}Z%-w$K# ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 0 @#Jz#?
K_+M?ap_ 2. 系统 N|mggz OF*E1BM 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
+On2R&m 3. 透镜系统组件编辑 7d.H8C2
N=u(
3So
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 jy~hLEt7
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 @8 c@H#H
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +ase>'<N#
■ 包括序列光学表面和光学介质。 z>+CMH5L)
]iTP5~8U hD#Mhy5h 4. 光线追迹系统分析器-选项 c*#$sZ@YA i+S%e,U* `%|3c
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 V+y|C[A
F
■ 可以选择选取光线的方法: L2Cb/!z`c
— 在x-y-网格 rui 8x4c
— 六边形 EiD41N
— 自由选取 ipu~T)}
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 I[A<e]uK !JdZ0l 5. 系统的3维视图 {6LS$3}VM lrPIXIM
x%)oL:ue 6. 其他系统参数 wy|b Hkr_ ■ 系统由单色平面波照明 L7lpOy4k ■ 照明波长266.08nm lw8t#_P ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "$5cKbJ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 k_1;YOBF — 一个虚拟屏位于焦平面 \|vo@E — 光束尺寸探测器置于焦平面 7lYf+&JZ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 {y{O ze F'wG% LTx,oa:ma "&qAV'U k{!9f=^
7. 光线追迹系统分析器的结果 e2%mD.I ]/p>p3@1C 光线经过整个光学系统的三维视图
@@3NSKA 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
_TdH6[9 `}ZtK574 4<<eqxI$| |pknaz 'o=DGm2H ?;w`hA3ei 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 eF0FQlMe[ r0f&n;0U4 Kl ?C[
■ VirtualLab可用于计算点列图。 D1ik*mDA=
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 n[;)(
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Q4Wz5n1yp7
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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,<7HLV 9. 焦平面上的结果 Rm_+kp@\
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 $qpW?<>,0
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Z6So5r%wZ
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm CZ^
,bad
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 7#&Q-3\:
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 @}r
s6 G DoBQ$Ke p 10. 总结 1TzwXX7 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ^\S~rW.3_ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Vv`94aQTD ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 av'[k< ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 +s7w@