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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) N7a[B>+`  
    K(' 9l& A  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 y&h~Oa?,;  
    +<z7ds{Z  
    1. 描述 "7:u0p!  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !#C)99L"F  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ? S8$5gA  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 waBRQh  
    5R)[Ou.  
    2. 系统 G%Y*q(VrEu  
    raSF3b/0  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    p?}&)Un  
    3. 透镜系统组件编辑 )G mb? !/^  
    =1eV   
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \;i G{}(  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 $vz_%Y  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 N-Qu/,~+  
    包括序列光学表面和光学介质。 FX cc1X/  
    wQ@Zw bx  
    $x/J+9Ww  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 gNG.l  
    ,#=eu85 '  
    g~eJ YS,  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *13g <#$  
    可以选择选取光线的方法: x-tm[x@;o  
    — 在x-y-网格 Ct-rD79l  
    — 六边形 ^kc>m$HY  
    — 自由选取 uQO(?nCi  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    .V7Y2!4TE  
    fi 5YMYd1  
    5. 系统的3维视图 1<;\6sg  
    LAj}kW~  
    {_rZRyr  
    6. 其他系统参数 jQO* oq}  
    系统由单色平面波照明 (\T8!s{AO  
    照明波长266.08nm 4 fZY8  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 9zmD6G!}t  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 )j]gm i"  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 !Jk(&.  
    光束尺寸探测器置于焦平面 6\%r6_.d  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ,xm;JXJ  
    pM1=U F  
    %g!yccD9  
    0TpBSyx.  
    3csm`JVK  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 -bv>iIC  
    c(QG4.)m  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    oH!$eAU?  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    l~`txe  
    PWADbu{+  
    0f_66`  
    Xw&QrTDS`  
    Y{+zg9L*  
    =>gyc;{2K<  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果  EGp~Vo-  
    aeN }hG  
    lCM6T;2ID  
    VirtualLab可用于计算点列图。 <1;,B%_^  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。  ]2hF!{wc  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 0IoXDx  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Z!q2F%02FO  
    R[mH35D/  
    9. 焦平面上的结果 7j9D;_(.^$  
    =NVZ$KOZ  
    C:|q'"F  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 WZ-4^WM=!  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 L8,H9T#e  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ;oN{I@}k  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 wgSR*d>y*9  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    $Uv<LVd(  
    Pn'QOVy  
    10. 总结 u|_I Twk  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 $@+p~)r(l  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 M"$jpBN*  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 7Va#{Y;Zy  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 N"q+UCRC  
     
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