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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 5 #E`=C%  
    m#\ dSl}  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 hf&9uHN%7m  
    ml }{|Yz  
    1. 描述 Y9XEP7  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 /R wjCUf  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 p>8D;#Hm L  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 LyFN.2qw  
    +A?U{q  
    2. 系统 "87:?v[[1  
    sdw(R#GE  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    j*r{2f4Rt  
    3. 透镜系统组件编辑 > /caXvS  
    i?^L/b`H  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 J<jy2@"tXo  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 |Ds1  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 fVpMx4&F   
    包括序列光学表面和光学介质。 k~1?VQ+?M  
    0oIe> r  
    .3Oap*X  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 PB\x3pV!}  
    svH !1 b  
    S;`A{Mow  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,r\o}E2  
    可以选择选取光线的方法: \LexR.Di  
    — 在x-y-网格 dDLeSz$b  
    — 六边形 WNrk}LFof  
    — 自由选取 r3UUlR/Do  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    /f;~X"!  
    h2fNuu"  
    5. 系统的3维视图 k\?Ii<m  
    Qq|57X)P*  
    O3kA;[f;  
    6. 其他系统参数 nb%6X82Q  
    系统由单色平面波照明 j|#Bo:2km  
    照明波长266.08nm 8FY?!C  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: %n9aaoD  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 c9h6C  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 iGB}Il)  
    光束尺寸探测器置于焦平面 l2Rb\4  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 z-)O9PV  
    |@4' <4t  
    XZd,&YiaG  
    *gWwALGo5  
    1p=]hC  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 -ZLJeY L  
    #QMz<P/Gl6  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    _.8S&  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    R8'RA%O9J  
    -nV9:opD  
    h~zT ydnH  
    YUk\Q%  
    ZPYS$Ydy  
    vx5Zl&6r  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 [d ]9Oa4  
    /mzlH  
    0LJv'  
    VirtualLab可用于计算点列图。 $ (x]  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 e$rZ5X  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 u]UOSfn  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Pe3o;mx  
    8KzkB;=n  
    9. 焦平面上的结果 * r7rZFS  
    /cP"h!P}~~  
    1bwOm hkS  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 X!EP$!  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 lL0APT;  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm QoT;WM Z  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 LZxNAua  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    |P?*5xPB  
    @cXMG6:{  
    10. 总结 KVa  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 >i?oC^QM  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 [(7S.5I  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 e$Pj.>-<=  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Ml-6OvQ7g  
     
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