示例.0082(1.0) d"=)=hm! mKLWz1GZ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ?BX}0RWMh7
+3k.xP?QS 1. 描述 {t*CSI ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 @8Cja.H ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 kpRk.Q* ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 o?d`o$
#h#_xh' 2. 系统 }ww`Y [1l OGck[ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
9+b){W 3. 透镜系统组件编辑 dbg%n 0h
',1[rWyc
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 N[I ?x5:u
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 NE><(02qW
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 oT!i}TW?o
■ 包括序列光学表面和光学介质。 yBCLS550
$T_>WUiK "[sr0'g: 4. 光线追迹系统分析器-选项 sVH
w\_F$ 6H!l>@a7v ~uG/F?= Q:
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Z-L }"~
■ 可以选择选取光线的方法: qN^]`M[ BY
— 在x-y-网格 yuhY )T
— 六边形 JF'<""
— 自由选取 [M#(su0fv
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 gX`C76P! s)+] pxV0- 5. 系统的3维视图 ~"Su2{"8B /GF"D5 j>5X^Jd 6. 其他系统参数 hb(H-`16 ■ 系统由单色平面波照明 lSy_cItF ■ 照明波长266.08nm |+Xh ^E ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: }%c0EY' — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 I/zI\PP, — 一个虚拟屏位于焦平面 {rzQ[_)EC — 光束尺寸探测器置于焦平面 sRQ4pnnrn ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 KvjH\;78 59(kk; zhh6;>P _y:aPn <.ZD.u 7. 光线追迹系统分析器的结果 p::`1 uM[[skc 光线经过整个光学系统的三维视图
id)J;!^;J 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
@>F`;'_*z KDr)'gl& JHuA}f{2& pIPjTQ?cq /px`FuJI( L>rW S-
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 0IQ|`C. LAGg(:3f3
Q)
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 n>YgL}YZ?
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6-\C?w
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■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 -AXMT3p=1
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ig'4DmNC
w!R J8 9. 焦平面上的结果 BQ{'r^u
D7C%Y^K]>E
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 hOe$h,E']
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 `nL^]i
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm $KmE9Se6,
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Y|<1|wGG
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 _2eL3xXha. nVk]Qe 10. 总结 '~7 6Y9mv ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ;{rl
Y> ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 {ZgycMS ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 y9Q"3LLic` ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 _LLE~nUK"/