示例.0082(1.0) ,\s`T O W!wof-1 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 N#K)Z5J)b
4LKpEl.= 1. 描述 d 2d-Mk ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Tb$))O} ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 >`\.i,X.D ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 tL$,]I$1+
->rqr# 2. 系统 ?
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:JECKU 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
xgcxA: 3. 透镜系统组件编辑 WM'!|lg
TKR#YJQ?K
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 |Dn Zk3M,
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 #NW+t|E
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 UZI:st
■ 包括序列光学表面和光学介质。 TP
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,*J@ic7" F:!6B b C 4. 光线追迹系统分析器-选项 Z*m^K%qJ y>EW,%leC `(FjOd
K
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 t1Fqq4wRi
■ 可以选择选取光线的方法: !0W(f.A{K
— 在x-y-网格 @G"nkB
— 六边形 ]p`y
— 自由选取 :C*}Yg
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 DK74s V: D;?$Jl 5. 系统的3维视图 w7Yu} JY^ p^pd7)sBr
e*2^ 6. 其他系统参数 EB}B75)x ■ 系统由单色平面波照明 Y~vk>ZC ■ 照明波长266.08nm I=kqkuW ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8"j $=T6;W — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 4Y8= — 一个虚拟屏位于焦平面 ^Kz?SO — 光束尺寸探测器置于焦平面 /o9it; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ] 0X|_bU G}8tFo.d1 dPEDsG0$a FBXktSg sfX~X/ 7. 光线追迹系统分析器的结果 K=N&kda uppa`addK 光线经过整个光学系统的三维视图
|Q/LC0? 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
_<(xjWp 8 v 6
U!(x a51(ySC}<s p& _Z}Wv &V?+Y2 l$gJ^Wf2gY 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 l ms^|? *:CTIV5N0 Z?+ )ox
■ VirtualLab可用于计算点列图。 T \/^4N`
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 v@{y}
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Yh1</C
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
`j{3|C=
wO,qFY 9. 焦平面上的结果 SSI> +A
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ?ES{t4"
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ] V/5<O1
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm t\/H. Hb
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ? X8`+`nh
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 w:
BJ4bi= wo&IVy@s$ 10. 总结 spA|[\Nl ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 &>c=/]Lop ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 :rr<#F ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 %g7j7$c ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 K>'4^W5d,