示例.0082(1.0) -Qn:6M>w^ XkdNWR0 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Ujj2A^
qU2>V 1. 描述 iNQk{n ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 7*`ldao~ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 &I!2gf ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4,<~t>M1
o~iL aN\+ 2. 系统 oY.JK 3tLh{S?uJ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
C|!E'8Rw 3. 透镜系统组件编辑 }#E4t3
4-3B"
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 (V=lK6WQm
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 SxH}/I|W
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 X^xu$d6
■ 包括序列光学表面和光学介质。 OH)SdSBz
"lmiGR*u qHHWe<}OT 4. 光线追迹系统分析器-选项 Y$Uvt_ Yhlk#>I xc*ys-Nv
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 K8ThZY%
■ 可以选择选取光线的方法: 0q`'65 lx
— 在x-y-网格 R9#Z=f,
— 六边形 }W|CIgF*
— 自由选取 WHpbQQX
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 fp>o ^+VB }y[o[> 5. 系统的3维视图 RNt3az YK[O#V
5Cz:$-+ 6. 其他系统参数 +>:X4A* ■ 系统由单色平面波照明 =3J~Fk ■ 照明波长266.08nm VUt
6[~? ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: <XLATS8Y — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 b?y1cxTT — 一个虚拟屏位于焦平面 H"&N<"hw — 光束尺寸探测器置于焦平面 k2;8~LqF ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 <N`rcKE%~P Bo~wD|E2 Jhut>8 Dl"y| P)}:lTe
7. 光线追迹系统分析器的结果 Nvew^c)x _@RW7iP> 光线经过整个光学系统的三维视图
iu1iO;q 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
4l3N#U0Q }h]:I'R! bC@b9opD R0=/
Th - om/gk4S2 Hv
IN' 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 '$U"RP^( 4Fz^[L}[ :#|77b0
■ VirtualLab可用于计算点列图。 iL\\JuY
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 k~hL8ZT[
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ,~kMkBkl~
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
%%3ugD5i!
eVlI:yqppj 9. 焦平面上的结果 Cy2X>Tl"<E
>:Oo[{)
\Lc]6?,R
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ahf$#UQLb
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 SBF3\
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 4u&l@BUr
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 nh8h?&q|
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 r8>
q*0~s sy#Gb#=# 10. 总结 UHg^F4>4 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 |Y99s)2&N ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 9\n}!{@i ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 UU !I@ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 # K-Q/*