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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) K<p)-q  
    4R& pb1eF  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 LT:8/&\  
    RpzW-  
    1. 描述 7upN:7D-  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 sM@1Qyv&0  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Z@bKYfGM  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 C:RA(  
    $|K-wN[  
    2. 系统 k#x"'yZ  
    d+]/0J!c  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    4#ZZwa]y  
    3. 透镜系统组件编辑 @UW*o&pGqL  
    F+/#ugI  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ,R=)^Gh{  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 IhXP~C6  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 afye$$X  
    包括序列光学表面和光学介质。 T *rz#O  
    RH "EO4  
    &J,&>CFc  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 T<U_Iq  
    vO8CT-)  
    gCM(h[7A  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 S~V?Qe@&Z  
    可以选择选取光线的方法: MG4(,"c!  
    — 在x-y-网格 #X*=oG  
    — 六边形 -!X\xA/KN  
    — 自由选取 1Wz5Iv#Ez  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ]_2<uK}fg  
    m>+ e;5  
    5. 系统的3维视图 S{zl <>+  
    $#FA/+<&$  
    D "X`qF6U7  
    6. 其他系统参数 LR y&/d  
    系统由单色平面波照明 L[lS >4e N  
    照明波长266.08nm ^']*UD;  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: @<B$LJ|jdG  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ,pa=OF  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 !Z%pdqo`.  
    光束尺寸探测器置于焦平面 XvkFP'%i/  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 pGsu#`t  
    VP:9&?>G  
    h F *c  
    YBQ{/"v%|  
    E~1"Nh  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 %Sw hNn  
    <[tU.nh  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Il$Jj-)  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    >\Ml \CyL  
    F^X:5g~K  
    $J]o\~Z J  
    =Y-mc#{8  
    B S+=*3J  
     @+!u{  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $'Qv {  
    CF/8d6}Vf  
    4_h?E:sBb  
    VirtualLab可用于计算点列图。 S"Drg m.  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6|]e}I@<2  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 VU \{<j{  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 l&uBEYx   
    ;<nQl,2N  
    9. 焦平面上的结果 |]j2T 8_=  
    %lSjC%Z'd  
    zAO|{m<A2  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 9u] "($  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 tz/NR/[  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm yPVK>em5  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 XJZS}Z7h  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    x4;ndck%U  
    ' +E\-X  
    10. 总结 z*G(AcS)  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ^ /7L(  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 6:qh%ZR  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 )P #MUC  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 's 'H&sa  
     
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