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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) NKLGbH  
    5/DTE:M<  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 (.P;VH9R\  
    HKq 2X4J$  
    1. 描述 $ZYEH  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。  O/gok+K  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 rB?u.jn0T  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 F }pS'Y  
    |8&AsQd  
    2. 系统 Km]N scq1  
    2ko7t9y&  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    UA{sUj+?  
    3. 透镜系统组件编辑 M ! gX4  
    3XY$w&f  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 <qZXpQ#  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 B P"PUl:  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]l+Bg;F#V  
    包括序列光学表面和光学介质。 %9[GP7?  
    wc)[r~On(5  
    n)} J<  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 BzF.KCScs  
    cGkl=-oQ'  
    _@;2h`q ?  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 :tdx:  
    可以选择选取光线的方法: T;GBZR%  
    — 在x-y-网格 JwB:NqB  
    — 六边形 zJI/j _~W  
    — 自由选取 dpZ7eJ   
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    S n.I ]:l  
    X~0l1 @!  
    5. 系统的3维视图 YC&iH>jO3  
    Jkpw8E7  
    pW:h\}%`n  
    6. 其他系统参数 0o At=S  
    系统由单色平面波照明 :m5& i&  
    照明波长266.08nm ; VK;_d  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: x~s>  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }yx{13:[  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 h|=^@F_\`  
    光束尺寸探测器置于焦平面 FtM7+>Do.  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 _I~TpH^1K  
    sl6p/\_w  
    }Bc'(2A;,  
    P :lv Z   
    \q3H#1A  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 n#z^uq|v  
    bw%1*;n)  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    +Jt"JJ>%k  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Cb=r8C  
    T~"tex]  
    0#K@^a  
    (n"  )  
    mI9h| n  
    MFW?m,It)  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Redp'rXT<h  
    [2i+f <  
    Lom%eoH)  
    VirtualLab可用于计算点列图。 nyQ FS  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 3 %DA{  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 KG>.7xVWV7  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 V.y+u7<3}  
    LvWU %?  
    9. 焦平面上的结果 =v:_N.Fh-c  
    zNE!m:s  
    #> CN,eiZ  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ]2h[.qa  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ^]U2Jd  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Lj~lfO  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 I,YGm  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    /;OJ=x3i  
    S BFhC  
    10. 总结 v~jN,f*  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 H ~ks"D1  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 N->;q^  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 g!~j Wn?A  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 //J:p,AF  
     
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