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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) t :YZua  
    4Xa] yA =  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 cb]X27uww  
    7{O iV}]"  
    1. 描述 m=@xZw<  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ;k`51=Wi  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 :23S%B~X  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 /fb}]e]N  
    iT Aj$ { >  
    2. 系统 E!1\9wzM{  
    e_Hpai<b  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    "%D"h  
    3. 透镜系统组件编辑 3WQa^'u  
    N~=PecQ  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 gdTW ~b  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 uCB9;+ Hjw  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 E-C]<{`O  
    包括序列光学表面和光学介质。 0{ mm%@o  
    /mz.HCs  
    `dV2\^*A  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ANBuX6q  
    ) u{ ]rb[  
    X\Zan$oi  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ynM~&]fk#k  
    可以选择选取光线的方法: rrRv 7J&Q  
    — 在x-y-网格 `WL3aI":  
    — 六边形 DKfpap}8u  
    — 自由选取 _xh)]R  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    JRz) A4P  
    iZfZF  
    5. 系统的3维视图 *w*K&$g  
    `B3-#!2X  
    t adeG  
    6. 其他系统参数 `K+%/|!  
    系统由单色平面波照明 O-V] I0  
    照明波长266.08nm r&a} U6k(y  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: U"8Hw@  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 co8R-AB  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 yOEy3d=*  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Cn 5"zDK$  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 0 `7y Pq*  
    Mo N/?VA  
    *s 4Ym  
    hR|xUp  
    +d=f_@i  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ps2j]g  
    c]x-mj =  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    - JEPh!oTt  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Nm&'&L%Ch  
    Q`8-|(ngw  
    sz270k%[  
    tL;.vRx  
    Ey: ?!  
    Q3hf =&$  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 };rp25i  
    i@rUZYF  
    rucw{) _  
    VirtualLab可用于计算点列图。 &aIFtlC  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 J#Y0R"fo  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 8Pd9&/Y  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 w=_^n]`R  
    &1T)'Bn  
    9. 焦平面上的结果 SW}Rkr\e  
    HN`qMGW^  
    %,vq@..^  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ~{{S<S v  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。  YMv}]  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm d.w]\  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ~Sb)i f  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    \Db`RvEmR  
     t{},Th  
    10. 总结 >F7HKwg}Z  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 30WOH 'n  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 #J/RI[a  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 bnkZWw'9  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 `~d7l@6F  
     
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