示例.0082(1.0) tk:nth >wL!`:c'" 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 B*E"yB\NV
("{vbs$; 1. 描述 c6=XJvz ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 -e?n4YO*\ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 [6
"5 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 V$:%CIn
f}KV4'n 2. 系统 Tr4\ `a-i \TnK<83 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
@[`]w`9Q7 3. 透镜系统组件编辑 ^|vP").aQm
m(dW["8D
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 pIug$Ke_%
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 lp5'-Jo
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 }6 u)wF5
■ 包括序列光学表面和光学介质。 K6)IBV;
;%i-:<ac q4'`qe 4. 光线追迹系统分析器-选项 :;hm^m]Y %&lwp (&V)D?/hS
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 .QA1'_9
■ 可以选择选取光线的方法: =h?%<2t9<
— 在x-y-网格 /UY'E<wBx
— 六边形 sFvYCRw
/
— 自由选取 l}T@Cgt
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 4PR&67|AH_ ,%zE>^~ 5. 系统的3维视图 {j<?+o5A %s5(''a.
(KfQ'B+ 6. 其他系统参数 V$iA3)7W% ■ 系统由单色平面波照明 gx eu2HG ■ 照明波长266.08nm D vN0h(? ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: |%rRALIY — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 6/p9ag] — 一个虚拟屏位于焦平面 E@l@f — 光束尺寸探测器置于焦平面 Zs;c0T"> ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 +# !?+'A X4Uy3 TV> v}z^M_eFm X'%BS >}C:EnECy 7. 光线追迹系统分析器的结果 u@+^lRGFh 1Mx2% 光线经过整个光学系统的三维视图
a^X% (@Sg 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
*IF~ab2 *+2BZZwT '!4\H"t unnuSW#v= CPY|rV h CV(O2jL 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 sebuuL.l0< B[f:T% Wh"xt:
■ VirtualLab可用于计算点列图。 YluvWHWi
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 >m=XqtP
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 <~svy)Cz
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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N>g6KgX{K 9. 焦平面上的结果 <iH"5DEe
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X)c0y3hk
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 `}}|QP5xG
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 V.yDZ"
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm AvuGAlP
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 f,3K;S-he:
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 g( S4i%\ EU Oa8Z 10. 总结 A9Pq}3U ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 wLg@BSC. ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Np.<&`p! ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Z^K WYe'w ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 [?]p I