示例.0082(1.0) v-&^G3 DKYrh-MN 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 BDc*N]m}B1
Pxy(YMv 1. 描述 R6CxNPRJ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !P#lTyz ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 RIb<
7 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ;nSaZ$`5
.(nq"&u-* 2. 系统 d\xh>o @ttcFX1:W 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
sd.:PE < 3. 透镜系统组件编辑 9A)(K,
W<k) '|
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 "X"DTP1b
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 6BNOF66kH
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ,8EeSnI
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Cz m`5
]r6,^" nA5v+d-<T 4. 光线追迹系统分析器-选项 &c?-z}=G 8_m dh + \S1WF?<,
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ^]AjcctGr
■ 可以选择选取光线的方法: Vz51=?75
— 在x-y-网格 Kl\A&O*{
— 六边形 6^}GXfJAc
— 自由选取 4s.wQ2m
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Yq3(, 2}'&38wMT 5. 系统的3维视图 Cm(Hu ?cowey\m
.
}=;N3Q" #y 6. 其他系统参数 %UY=VE\F ■ 系统由单色平面波照明 Y Q3%vH5#y ■ 照明波长266.08nm Y#3m|b45n ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: );7csh% — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 FHqa|4Ie — 一个虚拟屏位于焦平面 J(g!>Sp!p — 光束尺寸探测器置于焦平面 7H++ pOF ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ,5H$Tm,6\S sm4@ywd> Ui'~d(F <`~]P$ c;BQ$je} 7. 光线追迹系统分析器的结果 Nr6YQH*[ y @h^ 光线经过整个光学系统的三维视图
WcbJ4Ore 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
9F ).i OA&N WAm4 Cf2rRH Nbuaw[[iz 5"]PwC : :e=6i 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 _nOio ? $bD 3 W^P%k:anK
■ VirtualLab可用于计算点列图。 GcHWalm
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 %t:1)]2
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 X7Cou6r
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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f+1)Ju~ 9. 焦平面上的结果 _f{'&YhUU
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jFbz:aUF
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 gP^'4>Jr
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 <),FI <~
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm b>&kL
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 R8O<}>3a
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 RR*z3i`PP 2p(K0PtX 10. 总结 v=iz*2+X ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 n[AJ'A{ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 akrEZ7A ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 e8--qV#< ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 8 mV`|2>