示例.0082(1.0) 6tDCaB jwW6m@+ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 n?EL\B
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SHQ[L4{ 1. 描述 yrgb6)]nm@ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 /qeSR3WC ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 .%3qzOrN ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 %CaUC'
g0&Rl 2. 系统 oKlO cws} /`x)B(b 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
<M,A:u\qSQ 3. 透镜系统组件编辑 j\^u_D
8ba*:sb
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 WER\04%D\m
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ;=ci7IT'
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 rjJ-ZRs\
■ 包括序列光学表面和光学介质。 EvJ"%:bp
Z9+xB"q2 -g6C;<Y 4. 光线追迹系统分析器-选项 1$^=M[v M,f|.p{,Y j1hx{P'
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 $S(q;Y
■ 可以选择选取光线的方法: Ts~)0
— 在x-y-网格 VJ'bS9/T
— 六边形 G1`H
H&
— 自由选取 "v9i;Ba>+
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ZR|cZH1}C r!,/~~mT 5. 系统的3维视图 ~H+W[r} SyWLPh
g'Id31r' 6. 其他系统参数 (q|EC; ■ 系统由单色平面波照明 Db5y";T ■ 照明波长266.08nm -Z/'kYj?U ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: :: 2pDtMS — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 $ [NC$*N7 — 一个虚拟屏位于焦平面 ue~?xmZg — 光束尺寸探测器置于焦平面 "k%B;!We) ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 /t<C_lLM F]"Hs> j & x=?jX ncy? w
e _?IP}} jA: 7. 光线追迹系统分析器的结果 sIZ|N"2]A* ly)b=ph& 光线经过整个光学系统的三维视图
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X@ g<c 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Wz^M*=, a!!>}e>Cj* NL-<K 01-n_ $b 4)4E/q/5 =%Yw;%0)Y 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 z12c9k%s UFED*al# 1Z+\>~8
■ VirtualLab可用于计算点列图。 4XprVB
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 1~x=bphS
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 DwL4?!E
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
,PyA$Z
~{O9dEI 9. 焦平面上的结果 %N, P?
,U
;Npv 2yAab
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 r,` 5 9
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 jP-=x(
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm o@d+<6Um
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 _#nP->0)
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Y.<&phv `iiZ 10. 总结 LT5rLdn ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 J6)&b7 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 A>c/q&WUk ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 O+o4E?} ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 SuHv{u45