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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) BY \p?79  
    _0vXujz  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 &ul9N)A  
    =20Q! wcu  
    1. 描述 G_AAE#r`  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 q2/Vt0aYx  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 pr;L~$JW  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 #Q$4EQB  
    wbr"z7}  
    2. 系统 yyA/x,  
    4AF" +L  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    h+*  
    3. 透镜系统组件编辑 Box,N5AA  
    =#+Z KD  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 '0o`<xW  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 F48`1+  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 JBWiTUk  
    包括序列光学表面和光学介质。 ".w*_1G7U  
    ( bBetX  
    Dri1A%  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 FG8bP  
    nt5 ~"8  
    G&Cl:CtC  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Cch1"j<k$  
    可以选择选取光线的方法: [e&$4l IS  
    — 在x-y-网格 3\'.1p  
    — 六边形 qc`_&!*D  
    — 自由选取 j+c)%  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    cF/FretoO  
    }wv$ #H[  
    5. 系统的3维视图 WQK#&r*  
    ?>AhC{  
    n%?g+@y,^  
    6. 其他系统参数 !'[sV^ ds  
    系统由单色平面波照明 }%jb/@~  
    照明波长266.08nm B2,! 0Re  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8KAyif@1::  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Z-vzq;  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ]X-ZRmB`  
    光束尺寸探测器置于焦平面 , g6.d#c  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 _5X}&>>lhF  
    \|T0@V  
    Xbu >8d?n  
    goHr# @  
    lI5{]?'  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 +"p" ,Z  
    1-qQp.Wj  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    4XKg3l1  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    MK"Yt<e(o  
    p@Qzg /X  
    Gu%`__   
    @FbzKHdV/  
    |Y])|`_'G  
    '+}hVfN  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Kt^PL&A2  
    Qe4  
    Dn6DkD!  
    VirtualLab可用于计算点列图。 lv\2vRYw-  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 A+ f{j  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {`3;Pd`  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 T}\U:@b  
    ;pULJ}rDb  
    9. 焦平面上的结果 Ia(A&Za  
    xpS#l"dr  
    ),~Ca'TU  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 =LT({8  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ~q1s4^J  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm pw$I~3OFd  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 jV7q)\uu^  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    o+tY[UX  
    vfo[<"  
    10. 总结 `b] NB^/  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 NuP@eeF>,  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 8l}|.Q#--  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。  Et- .[  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 l'o}4am  
     
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