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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) /6Olq6V  
    2x<4&^  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 D !5 {CQl  
    4>}qdR1L4  
    1. 描述 AH'4k(-  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 L1u(\zw  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 \Rz-*zr&  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 o~tL;(sz  
    *Fu;sR2y%:  
    2. 系统 F,/yK-9  
    $4u8"ne)  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    P{%R*hb]  
    3. 透镜系统组件编辑 9ELRn@5.  
    y_}jf,b4  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 PCZ%<>v  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]m@p? A$  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 C{2y*sx  
    包括序列光学表面和光学介质。 K</="3 HK  
    <EM'|IR?  
    EU4j'1!&g<  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 Z<W`5sop^  
    {1m.d;(1  
    'RzzLk|$  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 }/g1s71  
    可以选择选取光线的方法: _(0GAz%9  
    — 在x-y-网格 C[s='v~}  
    — 六边形 D9;s%  
    — 自由选取 M.0N`NmS  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    X].Igb)2  
    =x5k5NIF  
    5. 系统的3维视图 <0!)}O  
    ZP;WXB`  
    qY$]^gS  
    6. 其他系统参数 jrZH1dvE  
    系统由单色平面波照明 w .+B h  
    照明波长266.08nm 4">C0m;ks  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: z,IUCNgM  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 dO|n[/qL0  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 W}rLHAaDh  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Wk-jaz  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 t:yJ~En]=  
    h[}e5A]}  
    z%44@TP  
    Hwiftx  
    XG;Dj<Dm  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 i f!   
    Xn* >qm  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    6<m9guv  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    |P(8T'  
    )bR`uV9<  
    Yrmd hSY  
    gib'f@i;  
    bPUldkB:  
    2 3*OuY  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 akV-|v_  
    4StoEgFS  
    mWX{I2  
    VirtualLab可用于计算点列图。 7 jiy9 [  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 734<X6^1  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 TpAso[r  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 4'GosQ85  
    v#b(0G  
    9. 焦平面上的结果 W:V.\  
    B)=)@h[f  
    '-M9v3itC  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 !]2`dp\!  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 rYPj3!#  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm f=T&$tZ<  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 cs7K^D;.V  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Da&Brm   
    VX]Ud\(  
    10. 总结 k4`(7Z  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 "T1A$DKw+R  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 zr^"zcfz&  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 )8 %lZ {  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 %hN7K  
     
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