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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) )+G(4eIT  
    L!Ro`6|7;  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 vIJdl2(^E  
     n7G$gLX  
    1. 描述 lV?SvXe  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ZS-9|EA<  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 \WTg0b[  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 weOMYJO;8  
     ZttL*KK  
    2. 系统 UnPSJ]VW  
    m8?(.BJ%  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    =h)H`  
    3. 透镜系统组件编辑 0[];c$r<  
    2I7P}=  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 ziOmmL(r  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 Rl~Tw9  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 o kYsjK5  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 z 4-wvn<*  
     5?O"N  
    0ePZxOSjD  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 CeQcnJU  
    p d6d(  
    `uU@(  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 wKYfqNCH  
    ■ 可以选择选取光线的方法： ivm.ng[  
    — 在x-y-网格 7mN?;X33  
    — 六边形 Dt ?Fs  
    — 自由选取 01Aa.i^d(  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     ^c5(MR7LD  
    Nl+2m4  
    5. 系统的3维视图 !qR(Rn  
    )Mok$  
    Q,$x6YwE  
    6. 其他系统参数 sxqX R6p{  
    ■ 系统由单色平面波照明 Rz)#VVYC=  
    ■ 照明波长266.08nm /~yqZD<O  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： 09"~<W8  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 DlP}Fp{  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 NF.SGga  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 ^Ni)gm{?k  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ~i \69q%  
    5Z:HCp-aG  
    oGM.{\i  
    5E@V@kw  
    jK{MU) D+  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 @MM|.# ~T  
    Jx}5`{\  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    J+zqu  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
     84{<]y  
    b{oNV-<&{  
    +bXZE  
    *w _j;  
    ;f><;X~KX  
    =4[zt^WX"  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 :J"e{|g',  
    i ]_fhC  
    AL;"S;8  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 2PC4EjkC  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ``SjALf  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ._yr7uY[M  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 8P*n|]B.'  
     YMWy5 \  
    9. 焦平面上的结果 l YhwV\3  
    [bcqaT  
    2vXMrh\  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 XBc+_=)$  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 Z(.Tl M2h  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ]D%[GO//!  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 R%Z} J R.  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     Ne[O9D 7  
    ~vXul`x  
    10. 总结 A=])pYE1  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 i.< }X  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 Ik,w3}*P*  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ?SpI^Wn)[  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 FYj3! H  
     
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