示例.0082(1.0) 7b-[# g F?MVQ!K* 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 H(--hG5}
P8=J0&5 1. 描述 dc~vQDNw[X ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 +/%4E % ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
il{x?#Wrb ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 pX3E l$p
,K6ODtw. 2. 系统 P|?nx"c WdC7CK 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
+/n]9l]#h 3. 透镜系统组件编辑 !@Vj&>mH$
W^ask[46R
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 }3XjP55
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 s5{H15
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 xDekC~Zq
■ 包括序列光学表面和光学介质。 L{&1w
hHcevSr _}']h^@Z 4. 光线追迹系统分析器-选项 d/*EuJYin< HlkjyD8 r
z@%rOWV
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 GpO@1 C/
■ 可以选择选取光线的方法: "FGgem%9
— 在x-y-网格 23p.g5hJi
— 六边形 b+ZaZ\-y
|
— 自由选取 3)&rj 7
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 em^2\*sxpA Ssa/;O2 5. 系统的3维视图 n
Zx^ej\ uF|[MWcy0#
1ATH$x 6. 其他系统参数 e*Nm[*@UW ■ 系统由单色平面波照明 q4"^G: ■ 照明波长266.08nm (lYC2i_b# ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: sZqi)lo-s — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 A"+t[0$. — 一个虚拟屏位于焦平面 G8^b9xoA+. — 光束尺寸探测器置于焦平面 :t+LuH g ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 >i61+uzEd+ FEa%wS{ x5U;i .&^M
Z8 _A]~`/0;` 7. 光线追迹系统分析器的结果 \vj xCkg{ !a'{gw 光线经过整个光学系统的三维视图
iHo0:J~ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
mn{R> .J5or d+eb![fi 7#T@CKdUd ROfke.N\' 2PSv3?". 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;]/cCi f%YD+Dt_V AucX4J<
■ VirtualLab可用于计算点列图。 63i&e/pv
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 u`*$EP-%
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 z5[Qh<M
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
'+S!>Lqb
3URrK[%x` 9. 焦平面上的结果 ,(#n8|q4
AlgVsE%Va
[vCZD8"Y8
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 zjx'nK{eI
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 xoE,3Sn
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm z]i/hU
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 0j'k%R[l
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 jin?;v `jDmbD
+= 10. 总结 V3\}]5 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 =1F F2#zS ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 SY2((!n._ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 l{\@+m ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 n] n3/wpO