示例.0082(1.0) :!+}XT7)/ %EJ\|@N: 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ?2?S[\@`0U
#LN5&i;s 1. 描述 v ]/OAH6D ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Bg 7j5 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 $TD~k; ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 AK@`'$
RVgPH<1X@e 2. 系统 I9[1U 68koQgI[^ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
m?D
<{BQ; 3. 透镜系统组件编辑 u{OS6Ky
sFQ4O- SM
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 S1 EEASr!}
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 nOAJ9
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `j&0VIU>>
■ 包括序列光学表面和光学介质。 M('s|>\l
,]PyDq6 eKZ@FEZ 4. 光线追迹系统分析器-选项 `1E|PQbWc b)on A| kf%&d}2to
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 |
((1V^
■ 可以选择选取光线的方法: '%zN
— 在x-y-网格 KA 5~">l
— 六边形 aN^]bs?R
— 自由选取 *#&k+{a^2
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 qj~flw1: <*s"e)XeqF 5. 系统的3维视图 &a%WM NJ;"jQ-
\H Wcd| 6. 其他系统参数 IVI~1~ ■ 系统由单色平面波照明 up\oWR: ■ 照明波长266.08nm !_CX2| ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: [>W"R1/ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 lLb:f6N — 一个虚拟屏位于焦平面 ~7dM!g{W — 光束尺寸探测器置于焦平面 ?QCmSK=L ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 nNt*} k )E'Fke QGs1zfh* D(y+1^> [8>z#*B 7. 光线追迹系统分析器的结果 aq3~!T;W /@ y;iJk; 光线经过整个光学系统的三维视图
?e
F@Q!h 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
8F#osN Tbv/wJ Iz
DG&c Fi mN?s 9n1ZVP.ag ""co6qo#> 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ')B =|T) 6iG(C.b q[7CPE0n
■ VirtualLab可用于计算点列图。 yn SBVb!)
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
qE )Y}oN
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 bS>R5*Zp
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
=M7TCE
PK_s#uC 9. 焦平面上的结果 N_ UQ
b"I~_CL|
B[r<m J
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 pmD4j8F_
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 3KSpB;HX
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm R (G2qi
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 |,b2b2v?
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 z~,mRgc$B $9K(F~/ 10. 总结 U4BqO
:sd ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \K;op2 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 8".2)W4*
■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 cJCU*(7& ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 B`fH^N