示例.0082(1.0) dD'KP4Io@ BILZ XMf 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Y#-c<o}f
;9fWxH 1. 描述 >b#CR/^z ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 g2}aEfp!H ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
mI:D ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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/:BC<]s 2. 系统 }TuMMO4+
&gC)%*I4 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
#Q_<eo%lI* 3. 透镜系统组件编辑 -;HZ!Lf
4\ )WMP
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ts@e
,
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ,,IK}
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 RLLL=?W@
■ 包括序列光学表面和光学介质。 (r'NB
N>P" $ p&`I#6{ 4. 光线追迹系统分析器-选项 H.l
WHM+H4 nSZp,?^ ;
+Ie<oW
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 &?y|Pn
■ 可以选择选取光线的方法: =M4wP3V/
— 在x-y-网格 Zw/??Tq b
— 六边形 KM^}d$x}s
— 自由选取 yd45y}uS;F
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 _$HC NFdh 1.
Q"<[ M 5. 系统的3维视图 3z#fFP@E >%_i#|dE>
4zBcq<R7 6. 其他系统参数 +_f813$C ■ 系统由单色平面波照明 Tn38]UL ■ 照明波长266.08nm 91T[@p ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: qe0ZM-C_ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }y*rO(cu7G — 一个虚拟屏位于焦平面 jt9@aN.mJN — 光束尺寸探测器置于焦平面 Z yz)`>cB ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ?4Zo0DiUB A/j'{X!z
WS@8Z0@RD $uK[[k~=S ??P3gA 7. 光线追迹系统分析器的结果 g$#JdN 9w\C
vO&R 光线经过整个光学系统的三维视图
2Myz[)<P_ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
~%: TE} |l?*' = @XKVdtG ;b,
bHL ,/Y$%.Rp f_QZql 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 {UhpN"'"n sNC~S%[ S8]YS@@D
■ VirtualLab可用于计算点列图。 OnE~0+
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 2-"`%rE
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ~~WX#Od*$
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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7bkh")^ 9. 焦平面上的结果 x&FBh!5H
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B :1r;8{j
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 `{S4_'
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 piPV&ytI
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm k@2@%02o9C
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 jouT9~[L'
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 NbhQ- Yb>A?@S 10. 总结 };8PPR)\y ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ogE|8`Tq^ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 kmsgaB7? ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 sRGIHT# ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Vdf~rV