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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) m#/_x  
    U5HKRO  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 LjFqZrH  
    U:6W+p8  
    1. 描述 <bck~E  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 3-n1 9[zk  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 4674SzL  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 }ArpPU :]  
    2aA`f7  
    2. 系统 lfsqC};#\  
    YZ$ZcfXDW  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    rZPT89M6  
    3. 透镜系统组件编辑 [k$*4 u >  
    C#;jYBtT7?  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ^rl"rEA  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Q:C$&-$  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 S/ywA9~3Q  
    包括序列光学表面和光学介质。 )}%O>%  
    U).*q?.z  
    ?rX]x8iP  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 nR>r2wMk@  
    H1" q  
    w9RS)l2FQ  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Q cjc ,  
    可以选择选取光线的方法: yqXH:757~  
    — 在x-y-网格 cV{%^0? D  
    — 六边形 J/!cGr( B~  
    — 自由选取 h4pTq[4*  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    }U w&Ny  
    l&YKD,H};  
    5. 系统的3维视图 I:V0Xxz5t  
    1{Mcs%W;w5  
    )\;Z4x;]U  
    6. 其他系统参数 BElJB&I  
    系统由单色平面波照明 >gKh  
    照明波长266.08nm # {fTgq  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: gnp~OVDqfL  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 <mMTD8Sx]  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 e}VBRvr  
    光束尺寸探测器置于焦平面 t2" (2  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 $eV$2p3H  
    juF{}J2  
    XMB[h   
    IPSF]"}~  
    j/T>2|dA&  
    7. 光线追迹系统分析器的结果  =$8nUX`  
    kPBV6+d~  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Zc |/{$>:W  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    *=ZsqOHwG  
    Hd7,ZHj3 ^  
    (KZHX5T=  
    /N>e&e[35\  
    8 #X5K  
    ;R=.iOn  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 H`8``#-|@S  
    f=!PllxL:  
    &0TVi  
    VirtualLab可用于计算点列图。 +bK.NcS  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 oBq 49u1  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {HC@u{K -  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 , $Qo =  
    MaBYk?TR~  
    9. 焦平面上的结果 8E&XbqP+  
    uV-'~8  
    -"Y{$/B  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 )4?x5#  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ultG36.x  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Ee1LO#^_6  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 =@u 5|:  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    @''GPL@  
    t&5%?QyM  
    10. 总结 Sx:Ur>?hd5  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 =z?%;4'|  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 nhSb~QqEh  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 xt'tL:d  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 vB37M@wm  
     
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