示例.0082(1.0) ;uWIl \Dsl7s= 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 \<MTY:
:R|2z`b! 1. 描述 pQgOT0f ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 BUy}Rn ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 "*>QxA%c4 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 dE9aE# o
uwS'*5tU 2. 系统 fY+ .#V J<P/w%i2 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Nm:|C 3_I 3. 透镜系统组件编辑 MgK(gL/&[
7zkm
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 =ILo`Q~
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 #.G>SeTn2}
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 B8#f^}8
■ 包括序列光学表面和光学介质。 q&Ua(I
}-]s#^'w Rx"VscB6z 4. 光线追迹系统分析器-选项 cF<DUr)Ve z )}wo3 G?/8&%8
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 qP .VK?jF|
■ 可以选择选取光线的方法: B xN#Nk~
— 在x-y-网格 zm^p7&ak$
— 六边形 kU9AfAe
— 自由选取 Pc:'>,3!V3
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -3XnK5 w!Lb;4x ? 5. 系统的3维视图 ne~#{q h^,YYoA$
MS^hsUj} 6. 其他系统参数 PT*@#:MA ■ 系统由单色平面波照明 U?m?8vhR6( ■ 照明波长266.08nm <h>fip3o ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: +wgUs*(W — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 b:d.Lf{y7 — 一个虚拟屏位于焦平面 @P*P8v8: — 光束尺寸探测器置于焦平面 AE@Rn(1. ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 '
xq5tRg> n#AH@`&i r3lr`s` 5TW<1'u #2t\>7] 7. 光线追迹系统分析器的结果 B!C32~[ Qz90 mb 光线经过整个光学系统的三维视图
oM7-1O 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
;."{0gq 5UD;ZV% =|zyi| .\\#~r`t 3 "+"dALX{3K ^\t">NJ^ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 GnHf9
JrR ll^O+>1dO hzVr3;3Zn
■ VirtualLab可用于计算点列图。 JZ0+VB-3U
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 `)_FO]m}jS
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 :<G+)hIK
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
T{2//$T?
r,@|Snv) 9. 焦平面上的结果 g(/O)G.
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:EAfD(D{)
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 j[
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■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 *VAi!3Rx;
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm HUX+d4sg
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ApB'O;5
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 (
I~XwP& lcLxqnv 10. 总结 fA,!d J ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 4SO{cst ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 lw lW.C ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 nr%^:u ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 z@LP9+?dE