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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) DA=1KaJ.  
    bSrZ{l  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 =}R~0|^  
     o&$hYy"<.L  
    1. 描述 tD-gc ''H  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 _{Y$o'*#I  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 tpYa?ZCM  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 tjxvN 4l  
     ? )_7U  
    2. 系统 /{X_ .fv<v  
    w$>3pQ8d  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    {/ &B!zvl  
    3. 透镜系统组件编辑 :Jl Di>B  
    0S.?E.-&0  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 WZ?!!   
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 H]Wp%"L  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 +< KNY  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 }V]eg,.BJ  
     R 1'`F{56  
    LgHJo-+>  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 TyOH`5 D  
    ^>m^\MuZ  
    g.a| c\WH  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ;|TT(P:d  
    ■ 可以选择选取光线的方法： 8=Q V N_  
    — 在x-y-网格 maDz W_3  
    — 六边形 zu<3^=3  
    — 自由选取 TpP8=8_Lh  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     ~G `J r  
    ^,V[nfQR  
    5. 系统的3维视图 2[up+;%Y  
    yr{B5z,  
    0M8.U  
    6. 其他系统参数 |+NuYz?  
    ■ 系统由单色平面波照明 5@P-g  
    ■ 照明波长266.08nm te'*<HM  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： X/+OF'po  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ;fGx;D  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 n93zD*;5  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 XP;x@I#l  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ]US[5)EL-  
    1V%'.l9  
    \L[i9m|e  
    H06Bj(Y!  
    CLN+I'uX0  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 M!{'ED  
    m;/i<:`  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    x~/+RF XF  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    B*@6xS[IL  
    |Td5l?  
    R8<eN9bJ9  
    QIV%6q+*R  
     r(`nt-o@  
    0H:dv:#WAI  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 @2e2^8X7f  
    DU{bonR`  
    5I,$EGG  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 /cY^]VLe  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 _e'Y3:  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 E _iO@  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 <k]qH-v4  
     F~_;o+e;X  
    9. 焦平面上的结果 Z2p> n`D  
    L2|aHI1'l  
    6^YJ]w  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。  @Fx@5e  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 .ECHxDp  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm BUC,M:J+H  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 @]'S eiNp  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     RJc%, ]:  
    xb$yu.c  
    10. 总结 ._<ii2K'  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \6 sQJq  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 Eark)  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 /EFq#+6  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 :oa9#c`L  
     
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