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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) OulRqbL2  
    O;4S<N  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 SHYekX  
    LIG@`  
    1. 描述 Y&bYaq  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 B)7:*Kj  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8US35t:M  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4OM ]8I!  
    vfqXHc unj  
    2. 系统 /{buFX2"}  
    sRT5i9TQ  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Po=:-Of:  
    3. 透镜系统组件编辑 !KXcg9e  
    ;sA 5&a>!  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 L$c 1<7LU  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 N_:!uR  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 w;@v#<q6  
    包括序列光学表面和光学介质。 Fb<'L5}i  
    EUt2 S_2P  
    w@2NXcmw  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 NUnwf h  
    #(qvhoi7lM  
    DOtz  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ;PMPXN'z6  
    可以选择选取光线的方法: 8ZV!ld  
    — 在x-y-网格 G?F!Z"S  
    — 六边形 #vK99 S2  
    — 自由选取 U !+O+(  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    R|Bi%q|4P  
    >1Iw!SO+  
    5. 系统的3维视图 #pRbRT9  
    n.N0Nhd  
    rk=w~IZJ3  
    6. 其他系统参数 JqLPJUr  
    系统由单色平面波照明 :Hitx  
    照明波长266.08nm 9r\p4_V  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ^K`PYai  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |(x%J[n0+  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 W{JR%Sq$  
    光束尺寸探测器置于焦平面 -GL.8" c[  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 71(ppsHk  
    ii`,cJl  
    &gV9h>Kc#  
    [EPRBK`=  
    #lFsgb  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 hT =E~|O  
    CiU^U|~'L  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    8}oe))b  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    {3os9r,  
    4Vj]bm  
    \K2S.j  
    ]\ZJaU80I~  
    MYJDfI  
    qzY:>>d'  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 p&XuNk  
    p*$=EomY  
    @B+8' b$9  
    VirtualLab可用于计算点列图。 T;kh+ i  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 :`yW^b  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Xhyc2DKa_  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 F+zHgE  
    :q1j?0 {2N  
    9. 焦平面上的结果 G^P9_Sw]d3  
    B_c-@kl   
    L!5="s[}  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 g$=']A?W_  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 H-& ktQWK3  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm jRk1Iu|7  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 IQ#Kod;)  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    }i;!p Ue$  
    ] C_$zbmi  
    10. 总结 $f"Ce,f  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 r_^]5C\  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 OJ\j6owA  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 d8jP@>  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 mk-L3H1@J3  
     
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