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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) v-&^G3  
    DKYrh-MN  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 BDc*N]m}B1  
    Pxy(YMv  
    1. 描述 R6CxNPRJ  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 !P#lTyz  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 RIb< 7  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ;nSaZ$`5  
    .(nq"&u-*  
    2. 系统 d\xh>o  
    @ttcFX1:W  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    sd.:PE <  
    3. 透镜系统组件编辑 9A)(K,  
    W<k) '|  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 "X"DTP1b  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 6BNOF66kH  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ,8EeSnI  
    包括序列光学表面和光学介质。 Cz m`5  
    ]r6,^"  
    nA5v+d-<T  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 &c?-z}=G  
    8_mdh+  
    \S1WF ?<,  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ^]AjcctGr  
    可以选择选取光线的方法: Vz51=?75  
    — 在x-y-网格 Kl\A&O*{  
    — 六边形 6^}GXfJAc  
    — 自由选取 4s.wQ2m  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Yq3(,  
    2}' &38wMT  
    5. 系统的3维视图 Cm(Hu  
    ?cowey\m .  
    }=;N3Q" #y  
    6. 其他系统参数 % UY=VE\F  
    系统由单色平面波照明 Y Q3%vH5#y  
    照明波长266.08nm Y#3m|b45n  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ); 7csh%  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 FHqa|4Ie  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 J(g!>Sp!p  
    光束尺寸探测器置于焦平面 7H++ pOF  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ,5H$Tm,6\S  
    sm4@ywd>  
    Ui'~d(F  
    <`~] P$  
    c;B Q$je}  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Nr6YQH*[  
    y @h^  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    WcbJ4Ore  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    9F ).i  
    OA&NWAm4  
    Cf2rRH  
    Nbuaw[[iz  
    5"]PwC  
    : :e=6i  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 _n Oio?  
    $ bD 3  
    W^P%k:anK  
    VirtualLab可用于计算点列图。 GcHWalm  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 %t:1)]2  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 X7Cou6r  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ~u/Enl7\-  
    f+1)Ju~  
    9. 焦平面上的结果 _f{'&YhUU  
    ,K8PumM_  
    jFbz:aUF  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 gP^'4>Jr  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 <),FI <~  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm b> &kL  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 R8O<} >3a  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    RR*z3i`PP  
    2p(K0PtX  
    10. 总结 v=iz*2+X  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 n[ AJ'A{  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 akrEZ7A  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 e8--qV#<  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 8mV`|2>  
     
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