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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) V0i$"|F+ E  
    w-Fk&dC69  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 KL]!E ~i  
     9YhsJ~"Q  
    1. 描述 7gcG|kKT  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 l.l~K%P'h  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。  H>6;I  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Lm#d.AD)  
     926oM77  
    2. 系统 Hc|U@G  
    [rU8 #4.  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    yfQE8v+  
    3. 透镜系统组件编辑 |pSoBA9U  
    i{qURP}.  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 G[j79o  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 c\MDOD%9  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 \l5:A]J  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 =lQ[%&  
     p>3'77 V  
    c@M@t0WT[  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 !H\GHA'DO]  
    38i,\@p`9$  
    Pc== ]H(  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 0u2uYiE-l  
    ■ 可以选择选取光线的方法： QPE.b-S  
    — 在x-y-网格 e8<nP t`C  
    — 六边形 vyGLn  
    — 自由选取 ,6\f4/  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     *?Ef}:]  
    RQNi&zX/  
    5. 系统的3维视图 >irT|VTf  
    1G.gPx[  
    !5t 3Y  
    6. 其他系统参数 [d>yo_iB  
    ■ 系统由单色平面波照明 d2yHfl]3  
    ■ 照明波长266.08nm #!# X3j  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： |9Ks13?Ck  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 j88sE MZ  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 gi@ji-10  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 m-92G8'  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Hd`p_?3]  
    { BL1j  
    n3j h\  
    } /3pC a  
    Q.dy $`\  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 >I~z7 JS  
    u@u.N2H.%  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    dU3 >h[q  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    E?U]w0g  
    E9 q;>)}  
    8lSn*;S,  
    dU^<7 K:S  
    g_c)Ts(  
    N4|q2Jvj6  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ~U6YN_W  
    Er1u1@  
    ! H=k7s  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 rGGepd  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 e`M]ZG rr  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Ilu`b|%D  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 <`UG#6z8  
     @Qjl`SL%O^  
    9. 焦平面上的结果 ^|i\d \  
    @"Fp;Je\bN  
    _Ge^ -7  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 mKQST ]5  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 A-C)w/7  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm q}v04Yy,o  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 HmB[oH "x  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     L(2P|{C  
    #IGoz|m  
    10. 总结 ;Pqyu ?  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 bNpIC/#0K  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 39aCwhh7v  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 6aZt4Lw2\  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 {F+M&+``  
     
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