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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) mXS]SE  
    U:3O E97  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 PUZcb+%]h  
    !.t D.(XP  
    1. 描述 tCGx]\  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 =_ N[mR^  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 w4}Q6_0v  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 mf{M-(6'  
    }S?"mg& V  
    2. 系统 Tbv w?3  
    Is<XMR|{  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ePJ_O~c  
    3. 透镜系统组件编辑 (EosLn h0  
    Mlo,F1'?>  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 YwF&-~mp7n  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 h!|Uj  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `aG _m/7|  
    包括序列光学表面和光学介质。 b6Z3(!] ]  
    U.I w/T-5  
    u7RlxA:  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 X;UEq]kcmn  
    |&W4Dk n  
    } eHxw+.  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 oPni4^g i  
    可以选择选取光线的方法: _kMHF  
    — 在x-y-网格 hi/d%lNZ  
    — 六边形 QKq4kAaJ!  
    — 自由选取 K?! W9lUq  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    GK1nGdT]  
    Q3&D A1b`  
    5. 系统的3维视图 DbFe;3  
    ISFNP&& K  
    c^pQitPv  
    6. 其他系统参数 "a~r'+'<  
    系统由单色平面波照明 $%"hhju  
    照明波长266.08nm  ,Zb  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Ay 4P_>^  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 z[<Na3]  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 D&ua A-;s  
    光束尺寸探测器置于焦平面 @{_X@Wv4iV  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 lMu-,Z="  
    oQm XKV+[v  
    :cXN Fu\C  
    *x p_#  
    /.A"HGAk  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ,`a8@  
    |<oqT+?i  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    FrLv%tK|  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    *L*{FnsV  
    awz.~c++  
    OR|Jc+LT  
    $*_79F2zN  
    &P35\q   
    a[}?!G-Wt|  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 I*cb\eU8Y  
    la 0:jO5  
    RK$(  
    VirtualLab可用于计算点列图。 BAi0w{  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Rd]<591  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {o*$|4q4  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ^vxNS[C`;  
    e(b$LUV  
    9. 焦平面上的结果 ]E DC s?,  
    8o $ ` '  
    U-,s/VQ?  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 P&tw!B  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 4:b'VHW.  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm " L,9.b  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 l)jP!k   
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    .i|nn[H &  
    {:n1|_r4Z  
    10. 总结 4N7|LxNNl_  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 %i?v)EW  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 {KEmGHC4R  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 o :4#Ak S  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 }rs>B,=*k  
     
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