示例.0082(1.0) H I9/ W{NWF[l8O? 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ekx(i
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cS.@02~f" 1. 描述 G4
7^xR ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 `
nX,x-UM ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 U&3!=|j ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 (?Ku-k
H{cOkuy 2. 系统 e1[ReZW JuJW]E Q 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
A1zRzg4 I 3. 透镜系统组件编辑 TOiLv.Dor
6*,55,y
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ?y|&Mz'XJ(
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 C:1(<1K
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ^!tX+`,6^
■ 包括序列光学表面和光学介质。 aZf/WiR2
V lZ+x)E Od.@G ~ 4. 光线追迹系统分析器-选项 W[jg+|
*twGIX smCACQ$(
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 tGOJ4 =
■ 可以选择选取光线的方法: s}JifY`
— 在x-y-网格 xxGm T.&
— 六边形 IB|!51H
— 自由选取 :h@V,m Z
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ij:xr% FJ iv`G}.Bo 5. 系统的3维视图 bfeTf66c Vg62HZ |
/[c_,G"" 6. 其他系统参数 1
F:bExQ ■ 系统由单色平面波照明 x)80:A} ■ 照明波长266.08nm Bc!<!
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: D*UxPm"pw — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 G=qlE?j`j — 一个虚拟屏位于焦平面 pg5W`4-F — 光束尺寸探测器置于焦平面 M8lw;
( ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 `U0XvWPr[ @ws&W=NQ .XpuD,^;@ R1JD{ \=({T_j4 7. 光线追迹系统分析器的结果 &NF$_*\E T Tbe{nb 光线经过整个光学系统的三维视图
_"*vj-{-y 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
&SIf