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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) -p>KFHj6  
    yXNE2K  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 GI$t8{M  
     >b-rAO\{}  
    1. 描述 t4?g_$>   
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 #;H,`r  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 -!MDYj+U  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 )dLESk  
     BzA(yCu$:  
    2. 系统 8N(bLGUG  
    g\ @nA4  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    t1B0M4x9  
    3. 透镜系统组件编辑 d\, 4Wet;#  
    MPO!qSS]  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 y wk;  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 8N6a=[fv<  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 n<CJx+U  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 5 d(A(  
     N)RWC7th{  
    hC]c =$=7  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 _dsd{&  
    ~>D;2 S(a  
    Sct-,K%i  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 $t 1]w]}d  
    ■ 可以选择选取光线的方法： ]Vl5v5_  
    — 在x-y-网格 #X"\:yN  
    — 六边形 |i?AtOt@f  
    — 自由选取 7^KQQ([  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     *8/Q_w  
    FTCp3g  
    5. 系统的3维视图 ~A8lvuw3  
    uA!T@>vl  
    A>>@&c:(  
    6. 其他系统参数 Eg-b5Z);  
    ■ 系统由单色平面波照明 "MC&!AMv  
    ■ 照明波长266.08nm 'QT(TF>  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： qvYYKu  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 M=o,Sav5*  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Ffj:xZ9rk  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 j\dkv_L  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 rxa"ji!)  
    /GM-#q a  
    6{lWUr  
    (^a;2j9  
    w,3`Xq@  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 (P`{0^O"}  
    e,~c~Db* Q  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    jI;bVG  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    YXI DqTA+  
    Y[s  
    nZ\,ZqV  
    d*A>P  
    i'e^[oZ  
    d'[aOH4}  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 }%k"qW<Y  
    yH#;k:O=  
    ~O1*]  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 #(aROTV5a  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 3<mv9U(  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 "mPa >`?  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 {]D!@87  
     oN `tZ;a  
    9. 焦平面上的结果 34;c00  
    g=U?{<8.m  
    g+k6pi*  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 XIjSwR kYJ  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 [0&Lvx  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm )&R;!#;5  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 Plq [Ml9  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     Z:/S@ry  
    uqQMS&;+,|  
    10. 总结 er#we=h  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @{CpC  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 t&P5Zw*B  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 f2yv7t T   
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 nr-mf]W&  
     
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