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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) s8,N9o[.~P  
    f>LwsP  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Q{hXP*5  
    a2l\B~n  
    1. 描述 L0\97AF  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 DA)mkp  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 u)]]9G _8  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 g`6_Ao8  
    3l?D%E]P  
    2. 系统 }}AooziH9  
    q8U*  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    =.q Zgcg  
    3. 透镜系统组件编辑 F`W8\u'db  
    +8tdAw  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 PP\nR @  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Y7QIFY's~  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8Vcg30_+  
    包括序列光学表面和光学介质。 rQ0V3x1"Qx  
    +}IOTw" O`  
    ?W  l=F/  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 >Qk4AMIO  
    ]#n,DU}V  
    L B:wo .X  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 $vlc@]~d`&  
    可以选择选取光线的方法: vWbf5?  
    — 在x-y-网格 ,uEi*s>  
    — 六边形 %i!&Fr  
    — 自由选取 Tv d=EO  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    EeW%5/;  
    EZ+_*_9  
    5. 系统的3维视图  yQkj4v{  
    2yYq/J  
    pNY+E5  
    6. 其他系统参数 =c{ / Z  
    系统由单色平面波照明 }R.<\  
    照明波长266.08nm -"u9s[L{  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "xS?#^a  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Jf<+VJ>t  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Vx1xULdY  
    光束尺寸探测器置于焦平面 B>dXyo  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 B(<;]  
    Iu`B7UOF  
    "Dbjp5_  
    OidF{I*O  
    n@9*>D U  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 S`yY<1[O  
    - V Rby  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ?:bW@x  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    n:c)R8X]  
    _<?lP$Xr  
    V#!ftu#c?  
    16q"A$  
    ^P&)2m:s  
    YN Lc )  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 wIi_d6?  
    @+LZSd+I  
    tlo"tl_]  
    VirtualLab可用于计算点列图。 h(aF>a\Z  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 !(=bH"P  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 !o.l:Mr  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 psb$rbu7[  
    ]d]tQPEU  
    9. 焦平面上的结果 86J7%;^Xa  
    `&2AN%Xz  
    /6_>d $  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ^:Vwblv(  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 FuEgI8+b  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm w{$t:l)2,  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ;IX3w:Aw  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    tA?P$5?-*  
    B|#*I[4`w@  
    10. 总结 Z_&6 <1,H  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 vJg|}]h>L  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 D4?qw$"  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 C!N&uNp@s  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ZRY s7 4<  
     
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