示例.0082(1.0) BY\p?79 _0vXujz 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 &ul9N)A
=20Q!wcu 1. 描述 G_AAE#r` ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 q2/Vt0aYx ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 pr;L~$JW ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 #Q$4EQB
wbr"z7} 2. 系统 yyA/x, 4AF"+L 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
h+* 3. 透镜系统组件编辑
Box,N5AA
=#+Z KD
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 '0o`<xW
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 F48`1+
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 JBWiTUk
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ".w*_1G7U
(bBetX Dri1A% 4. 光线追迹系统分析器-选项 FG8bP nt5 ~"8 G&Cl:CtC
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 C ch1"j<k$
■ 可以选择选取光线的方法: [e&$4l IS
— 在x-y-网格 3\'.1p
— 六边形 qc`_&!*D
— 自由选取 j+c)%
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 cF/FretoO }wv$ #H[ 5. 系统的3维视图 WQK#&r* ?>AhC{
n%?g+@y,^ 6. 其他系统参数 !'[sV^ds ■ 系统由单色平面波照明 }%jb/@~ ■ 照明波长266.08nm B2,!
0Re ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 8KAyif@1:: — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Z-vzq; — 一个虚拟屏位于焦平面 ]X-ZRmB` — 光束尺寸探测器置于焦平面 ,g6.d#c ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 _5X}&>>lhF \|T0@V Xbu >8d?n goHr#@ lI5{]?' 7. 光线追迹系统分析器的结果 +"p",Z 1-qQp.Wj 光线经过整个光学系统的三维视图
4XKg3l1 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
MK"Yt<e(o p@Qzg
/X Gu%`__ @FbzKHdV/ |Y])|`_'G '+}hVfN 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Kt^PL&A2 Qe4 Dn6DkD!
■ VirtualLab可用于计算点列图。 lv\2vRYw-
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 A+
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■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {`3;Pd`
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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;pU LJ}rDb 9. 焦平面上的结果 Ia(A&Za
xpS#l"dr
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 =LT( {8
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ~q1s4^J
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm pw$I~3OFd
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 jV7q)\uu^
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 o+ tY[UX vfo[<" 10. 总结 `b]
NB^/ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 NuP@eeF>, ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 8l}|.Q#-- ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Et- .[ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 l'o}4am