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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) C,2k W`[V  
    6Qo YX] .  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ?<YQ %qaW7  
    mBQA~@ }  
    1. 描述 ;L <D-=  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 kj$Ks2!W  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 xc4g`Xi  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 #le1 ^ <w7  
    tZW2TUM]  
    2. 系统 N- !>\n  
    :gD=F&V  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    fl8~*\;Xu  
    3. 透镜系统组件编辑 TuF;>{~}  
    us/}_r74N*  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ] LcCom:]  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。  `7v"(  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 %\i OX|F_  
    包括序列光学表面和光学介质。 Q L0  
    {5%u G2g  
    FTVV+9.l:  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 F$tshe(  
    Rm^3K   
    v:$Ka@v6  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Aoi) 11>  
    可以选择选取光线的方法: } D'pyTf[  
    — 在x-y-网格 ,>YW7+kY  
    — 六边形 q9)]R  
    — 自由选取 8>\tD  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    SauX C  
    QD2;JI2  
    5. 系统的3维视图 8-s7^*!  
    <D_UF1Pk  
    5]-q.A5m  
    6. 其他系统参数 9oe=*#Ig1m  
    系统由单色平面波照明 2LO8SJ#  
    照明波长266.08nm 50< QF  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Q%_QT0H9Kz  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 f ye=8 r  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 <"GgqyRzv  
    光束尺寸探测器置于焦平面 mz[Q]e~&i  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8^ ujA  
    4p}?QR>tZ  
    C2X$bX"  
    AmyZ9r#{  
    3A`|$So  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 nM<B{AR5^  
    Whd\Ub8(  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    [3@Pu.-I+M  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Y8%bk2  
    m }J@w~#  
    bjO?k54I  
    ~K7$ZM  
    V_x8 Q+~?  
    ;4%Co)Rw  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 H;1_"  
    `X8wnD  
    pO_$8=G+  
    VirtualLab可用于计算点列图。 J,W<vrKOcN  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 }zO>y%eI  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )/p=ZH0[  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 iaV%*  
    d,5,OJY2f  
    9. 焦平面上的结果 -4;$NiB?  
    # n_gry!5  
    Y\ C"3+I  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 x+Ws lN 2a  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ~WW!P_wI,  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm A)5;ae  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 p0|PVn.^h  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ['%$vnS5S  
    )` ^/Dj;  
    10. 总结 9OS~;9YR  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Y 9SaYSX  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。  >7$h  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "n, %Hh  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 * YR>u @  
     
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