示例.0082(1.0) &]"Z x0t5% ="p,~ivrz 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 |LV}kG(2
^HhV?Iqg 1. 描述 o 9rZ&Q< ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 GIb,y,PDB ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ?;]Xc~ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 r2%Qk
F MX^k 2. 系统 >,x&L[3 l{I.l 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Sx:JuK@ 3. 透镜系统组件编辑 lY&Sx{-
6t\0Ui
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 =AcK9?%5
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 D\^mh{q(
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ' hDs.Wnu
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ~|G`f\Ln"
iNs@8<=$T B/*\Ih9y 4. 光线追迹系统分析器-选项 7@R^B =pb 00B,1Q HP CwM1
_3cE
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 )[ QT?;
■ 可以选择选取光线的方法: DH7]TRCMZ)
— 在x-y-网格 {[4.<|26
— 六边形 u4tv=+jh
— 自由选取 1Ep7CV-n}
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 \kZ@2.pN 99\lZ{f( 5. 系统的3维视图 2KlVj]!7 +B[XTn,Cru
U3jnH 6. 其他系统参数 2:@,~{`#* ■ 系统由单色平面波照明 ?bH` ■ 照明波长266.08nm 5yyc0UG ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: AJ>$`= — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 O5MV&Zb( — 一个虚拟屏位于焦平面 )<%CI#s# — 光束尺寸探测器置于焦平面 QFK'r\3pU ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 $O&N
#@' B\!<@= DUSQh+C 1pK(tm P2&0bNY 7. 光线追迹系统分析器的结果 mPF<2:)wv e,xJ%f 光线经过整个光学系统的三维视图
G6}!PEwM 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
`z`=!1 K8/jfm 'C=(?H)M Scug
wSB X(O:y^sX} Ng1bjq}E2 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 B8unF=u 7^V`B^Vu La28%10
■ VirtualLab可用于计算点列图。 1,:QrhC
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 fRxn,HyV
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )gz]F_
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
>(_2'c*[w
qu.AJ* 9. 焦平面上的结果 /oZvm
1h|qxYO
JC`;hY
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 V*r/0|vd
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 *ZV3]ig2$
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm sOVpDtZ]LR
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 qo}yEl1
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ~$ Po3]{s o^/ fr&,9 10. 总结 0}YadNb7 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 AHMvh 7O? ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 n^rbc;} ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ~c55LlO> ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Rqbz3h~