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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) -P&6L\V  
    )lJao  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 3!5Ur&  
    rDm'Z>nTf  
    1. 描述 #Rg|BfV-  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 j5 g# M  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 upeU52@\  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 6U^\{<h_c  
    ^ wY[3"{  
    2. 系统 [:^-m8QC  
    $T :un.TM  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
     JHf  
    3. 透镜系统组件编辑 Q,&/V_  
    lN9=TxH1(;  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 U^qt6$bK  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 CRbdAqofV  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 K \vSB~{ [  
    包括序列光学表面和光学介质。 0%) i<a!_Z  
    ,;M4jc {  
    xQw7 :18wQ  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 O@?k T;B  
    q5>v'ZSo  
    z5W@`=D  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 #GJ dZ  
    可以选择选取光线的方法: Jvun?J m  
    — 在x-y-网格 4(-b x.V  
    — 六边形 c{[q>@y pK  
    — 自由选取 \^#~@9  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    erVO|<%=R  
    9<K j6t_  
    5. 系统的3维视图 N?X^O#[  
    5MzFUv0)  
    1Z{ZV.!  
    6. 其他系统参数 V5U?F6  
    系统由单色平面波照明 H5D*|42  
    照明波长266.08nm ^<X@s1^#  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 9:I6( Zv0  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。  ^xPmlS;X  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 p">EHWc}D  
    光束尺寸探测器置于焦平面 7OjR._@  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 =}PdH`S  
    WW~+?g5  
    7z~_/mAI  
    5XLs} :  
    si4don  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Ew3ibXD  
    *'"^NSJ  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Qv-@Zt!8  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    $cu00K  
    ~{}#)gGU  
    GJqE!I,.  
    b~-%c_  
    xUfbW;;]UU  
    |pa$*/!NT  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果  ["}rk  
    eSW{Cb  
    K!,<7[MBg  
    VirtualLab可用于计算点列图。 /t-fjB{=G  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;\MW$/[JCy  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 NAPX_B,6  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ItVugI(^ C  
    n<B<93f/  
    9. 焦平面上的结果 fb  da  
    `-3o+ID\  
    5[n(7;+gw  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 xJ2*LM-  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 {)AMwq  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm e$Y[Z{T5  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 {-BRt)L[  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    FYS/##r  
    {D g_?._d  
    10. 总结 +/D>|loRC  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Bvt@X   
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `<[6YH_  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 `mT$s,:h  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 -uh(?])H  
     
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