示例.0082(1.0) ^SES')x m~\m"zJ4 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Z_TbM^N
#p^pvdvh3 1. 描述 6-E4)0\ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 u=?P*Y/|W ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 JZ*?1S> ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 L``mF(R^
vskM; 2. 系统 Zi '8~iEH 75cr!+ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
enO=-# 3. 透镜系统组件编辑 7B> cmi
:j!_XMyT:
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 [;\<
2 =H
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 >Sl:Z ,g;
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 >!WBlSy
■ 包括序列光学表面和光学介质。 AFnlt
"B{xC}Tw (]uoN4 4. 光线追迹系统分析器-选项 zj0pP{y F_
lj>;}a5 J*kzJ{vwy*
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 3R96;d;
■ 可以选择选取光线的方法: )e$-B]>7z
— 在x-y-网格 +=F);;!
— 六边形 -)c"cgx.
— 自由选取 _ -FQ78C
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 "g&l~N1$ *v-xC5L1\ 5. 系统的3维视图 $+yQ48Wq 6O?S r,
XsCbJ[Z_?q 6. 其他系统参数 %1l80Z ■ 系统由单色平面波照明 YRX2^v ^[ ■ 照明波长266.08nm rs)aEmvC ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: HGMH
g — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 M>l+[U — 一个虚拟屏位于焦平面 v}t:}M<; — 光束尺寸探测器置于焦平面 E8V\J ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 '
=s*DL`0 04LVa|Y@U s%re>)=| M(gWd8?# <qZ+U4@I) 7. 光线追迹系统分析器的结果 fae yk]u Jywz27j 光线经过整个光学系统的三维视图
o%s}jBo} 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
JaN_[ou ty8!"-V1 #8HXR3L5=! PW\FcT x"=q+sA nqW:P$ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 H%jIjf FO3*[O mqxy(zS]
■ VirtualLab可用于计算点列图。 |xC
TX
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 V&nJT~k
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ^d=@RTyo/
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
uw&,pq
d|HM 9. 焦平面上的结果 e;Z`&
_\6(4a`,
(M?Q9\X
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Z9EQ|WfS#-
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 0(6`dr_
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm '.v^seU
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 q/G5aO*
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 r\D8_S_ )x s, 10. 总结 s&hP^tKT ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 {iteC ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 YCdxU1V ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 P.P>@@+d ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 t9l7
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