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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) dD'KP4Io@  
    BILZ XMf  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Y#-c<o}f  
    ;9fWxH  
    1. 描述 >b#CR/^z  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 g2}aEfp!H  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 mI:D  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 .#a7?LUH  
    /:BC<]s  
    2. 系统 }TuMMO4+  
    &gC)%*I 4  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    #Q_<eo%lI*  
    3. 透镜系统组件编辑 -;HZ!Lf  
    4\ )WMP  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ts@ e ,  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ,,IK}  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 RLLL=?W@  
    包括序列光学表面和光学介质。 (r'NB  
    N>P" $  
    p&`I#6{  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 H.l WHM+H4  
    nSZp,?^  
    ; +Ie<oW  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 &?y|Pn  
    可以选择选取光线的方法: =M4wP3V/  
    — 在x-y-网格 Zw/??Tq b  
    — 六边形 KM^}d$x}s  
    — 自由选取 yd45y}uS;F  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    _$HCNFdh  
    1. Q"<[M  
    5. 系统的3维视图 3z#fFP@E  
    >%_i#|dE>  
    4zBcq<R7  
    6. 其他系统参数 +_f813$C  
    系统由单色平面波照明 Tn38]UL  
    照明波长266.08nm 91T[@p  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: qe0ZM-C_  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 }y*rO(cu7G  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 jt9@aN.mJN  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Zyz)`>cB  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ?4Zo0DiUB  
    A/j'{X!z  
    WS@8Z0@RD  
    $uK[[k~=S  
    ??P3gA  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 g$# JdN  
    9w\C vO&R  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    2Myz[)<P_  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ~%: TE}  
    |l?*' =  
    @XKVdtG  
    ;b, bHL  
    ,/Y$%.Rp  
    f_QZ ql  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 {UhpN"'"n  
    sNC~S%[  
    S8]YS@@D   
    VirtualLab可用于计算点列图。 OnE~0+  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 2-"`%rE  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ~~WX#Od*$  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 l W Lj==  
    7b kh")^  
    9. 焦平面上的结果 x&FBh !5H  
     <>=abgg  
    B :1r;8{j  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 `{S4_'  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 piPV&ytI  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm k@2@%02o9C  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 jouT9~[L'  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    NbhQ-  
    Yb>A?@S  
    10. 总结 };8PPR)\y  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ogE|8`Tq^  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 kmsgaB7?  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 sRGIHT#  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Vdf~rV  
     
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