示例.0082(1.0) C,2k W`[V 6Qo
YX] .
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ?<YQ
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mBQA~@} 1. 描述 ; L<D-= ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 kj$Ks2!W ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 xc4g`Xi ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 #le1
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tZW2TUM] 2. 系统 N-
!>\n :gD=F &V 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
fl8~*\;Xu 3. 透镜系统组件编辑 TuF;>{~}
us/}_r74N*
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ]LcCom:]
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 `7v"(
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 %\i
OX|F_
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Q L0
{5%u G2g FTVV+9.l: 4. 光线追迹系统分析器-选项 F$tshe( Rm^3K v:$Ka@v6
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Aoi) 11>
■ 可以选择选取光线的方法: } D'pyTf[
— 在x-y-网格 ,>YW7+kY
— 六边形 q9)]R
— 自由选取 8>\tD
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 SauX C QD2;JI2 5. 系统的3维视图 8-s7^*! <D_UF1Pk
5]-q.A5m 6. 其他系统参数 9oe=*#Ig1m ■ 系统由单色平面波照明 2LO8SJ# ■ 照明波长266.08nm 50<QF ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Q%_QT0H9Kz — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 f ye=8
r — 一个虚拟屏位于焦平面 <"GgqyRzv — 光束尺寸探测器置于焦平面 mz[Q]e~&i ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 8^ujA 4p}?QR>tZ C2X$ bX" AmyZ9r#{ 3A`|$So 7. 光线追迹系统分析器的结果 nM<B{AR5^ Whd\Ub8( 光线经过整个光学系统的三维视图
[3@Pu.-I+M 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Y8 % bk2 m }J@w~# bjO?k54I ~K7$ZM V_x8
Q+~? ;4%Co)Rw 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 H;1_" `X8wnD pO_$ 8=G+
■ VirtualLab可用于计算点列图。 J,W<vrKOcN
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 }zO>y%eI
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )/p=ZH0[
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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d,5,OJY2f 9. 焦平面上的结果 -4;$NiB?
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C"3+I
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 x+Ws lN2a
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ~WW!P_wI,
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
A)5;ae
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 p0|PVn.^h
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ['%$vnS5S )` ^/Dj; 10. 总结 9OS~;9YR ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Y9SaYSX ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 >7$h ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "n, %Hh ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 * YR>u@