示例.0082(1.0) LliOhr4 *h59Vaoc 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 {.=4;
O3,IR1 1. 描述 `uL^!- ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ]7SX _:'* ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 nlv8HC ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 )+
}\NCFh
^id9_RU 2. 系统 q)S70M_1 #gjhs"$~ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
uA]Z" 3. 透镜系统组件编辑 $-4OveS~B
rGjP|v@3^
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 iU3GUsPy
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ""-#b^DQ
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 J'99
■ 包括序列光学表面和光学介质。 )*j>g38?
J,@SSmJ` %mLQ'$ 4. 光线追迹系统分析器-选项 |l5ol@2* vFuf{ @P ')!+>b(P
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 NCm>iEeY
■ 可以选择选取光线的方法: $$my,:nH
— 在x-y-网格 M'Fa[n*b?!
— 六边形 v/ dyu
— 自由选取 d1MY>zq
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 L< 3U)Gp '9O4$s1 5. 系统的3维视图 U;%I"
p`Z/ D|zlC,J,
@KtQ~D 6. 其他系统参数 9ure:Dko(Y ■ 系统由单色平面波照明 a>w@9 ■ 照明波长266.08nm Snm
m(. ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: i-6,r [< — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 s{IXth6 — 一个虚拟屏位于焦平面 Wz}DC7 — 光束尺寸探测器置于焦平面 fb8"hO]s ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 j+B+>r^ WJCh{Xn%* >GR L5Iow ,:RHhg JY$B%R4;] 7. 光线追迹系统分析器的结果 / {|<3CEe Ps<6 kQ( 光线经过整个光学系统的三维视图
;=.i+ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
3I|&}+Z6 )`Zj:^bz9 p.Y
= a(|YLN @|yRo8| B.:DW3 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 0I|IL]JL
kzZdYiC P<Wtv;Z1Z
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ;W ZA
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 &c;@u?:@S
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 eVRFb#EU0e
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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G$hH~{Y$ 9. 焦平面上的结果 r3 OTU$t?
<:v2N/i
x2@Q5|a
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 xR9<I:^&
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 UkO L7M
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm YX||\
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 +4[L_
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 %by8i1HR iw`,\V& 10. 总结 P=Au~2X ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ZS\jbii8 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 1J(` kQ)c ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 *-KgU'u? ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 |nf FI