示例.0082(1.0) d_,My lk ^&<M""Z 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ) f~;P+
gkmof^ 1. 描述 &| (K#|^@ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Nw. )O ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 AZ!/{1 Az ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 uj3`M9
3P0z$jh"H 2. 系统 _#K|g#p5 25OQY.>bE 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
4XAB_Q 3. 透镜系统组件编辑 v\w*VCjoV
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 vl/!w2
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 1`?o#w
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 X4o#kW
■ 包括序列光学表面和光学介质。 uf?;;wg
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K 4. 光线追迹系统分析器-选项 gOg7:VPG 7u"Q1n(h/ GSRf/::I}4
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 O]XRalkEM
■ 可以选择选取光线的方法: W<q<}RSn
— 在x-y-网格 sO) H#G
— 六边形 I q|'#hs
— 自由选取 j*QdD\)
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 : ?f+* 8~T}BC 5. 系统的3维视图 |r+ x/,2- BZ\="N#f
ZW?h\0Hh 6. 其他系统参数 SXsszb:_ ■ 系统由单色平面波照明 !
#Pn_e ■ 照明波长266.08nm !y@\w ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ;\th.!'rn — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2}<tzDI' — 一个虚拟屏位于焦平面 e^*&& — 光束尺寸探测器置于焦平面 LHtO|Utn( ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3fLdceT .+>fD0fW7Y oJM;CN PZ/tkw qD%88c)g 7. 光线追迹系统分析器的结果 qVU<jt | K|AUI 光线经过整个光学系统的三维视图
7y^)n<'co 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
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