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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) CdtwR0  
    cn9=wm\\  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 CKU)wJ5t  
    [[}ukG4  
    1. 描述 |Y2n6gkH[  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 s:tWEgZk?  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Z_T~2t  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 GzT?I 7|M  
    eYv+tjIF  
    2. 系统 clIn}wQ  
    =knBwjeD  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    $! g~pV  
    3. 透镜系统组件编辑 oV~S4|9:  
    *kJa$3*r  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ;*20b@  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 %XXjQ5p  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 q+lCA#Sx  
    包括序列光学表面和光学介质。 Ti#x62X{  
    !VvM  
    dmMrZ1u2  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 s-l3_210  
    F@ZB6~T~.  
    _Vr}ipx-k  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 OoZv\"}!_  
    可以选择选取光线的方法: ^j?"0|  
    — 在x-y-网格 }</"~Kw!  
    — 六边形 %V-Hy;V  
    — 自由选取 #Jfmt~ks '  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    sWP_fb1  
    U(<~("ocN  
    5. 系统的3维视图 )Qo^Mz  
    &Hl w2^  
    df$pT?o  
    6. 其他系统参数 ]pVuRj'pP  
    系统由单色平面波照明 9;A9Q9Yr  
    照明波长266.08nm `O?j -zR  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: pEb/yIT"  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 !@ )JqF.  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 >V&GL{  
    光束尺寸探测器置于焦平面 <mQ9YO#  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 hWr}Uui  
    jZq CM{  
    Ja%isIdh  
    1kh()IrA  
    _+&/P&  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 hOm0ND?;1  
    8oJp_sw  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    t y%Hrw  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ,Aq |IH3j  
    d s}E|Q  
    l_T5KV  
    #| m*k  
    ^O3p:X4u  
    u4:6zU/{  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 .gw6W0\F  
    =K9-  
    ~fz9PoC  
    VirtualLab可用于计算点列图。 TnPx.mwK\  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 }DkdF  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 %){)/~e&  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 +`.,6TNVlY  
    W0# VDe]>  
    9. 焦平面上的结果 (gUxS.zU  
    G5$YXNV  
    (KphAA8  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 51!#m|  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 {Ytqs(`   
    焦平面上的光斑尺寸为183mm %r:Uff@  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 WL<f!   
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    H`jvT]  
    =UZm4=T  
    10. 总结 Fr,b5 M<L7  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 lJU]sZ9~b  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 iZ2nBi Q  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 qmbhx9V   
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ?qczMck_  
     
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