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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) TK[[6IB  
    G?=&\fg_:  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ~jzLw@"~$^  
    xH{-UQ3R  
    1. 描述 -Yh(bS l  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 d=%NFCIV  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 LQ4:SV'3  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 h]t v+\0  
    SO(BkxV@  
    2. 系统 IF|;;*Z8  
    ?O#,{ZZf=  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    }Oc+EV-Z  
    3. 透镜系统组件编辑 OUF%DMl4  
    :i?6#_2IC  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 <nD@4J-A0  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 .Y]0gi8z  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 1G5AL2  
    包括序列光学表面和光学介质。 KB|mtsi  
    La9}JvQoX  
    av|T|J/(  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 _.V5-iN  
    e1h7~ j  
    E>tHKNyVTp  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 |C z7_Rn  
    可以选择选取光线的方法: EYj~Xj8_  
    — 在x-y-网格 F I[BZZW  
    — 六边形 + c3pe4  
    — 自由选取 ?{aJ#w   
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    i]? Eq?k  
    >4Tk#+%Jj  
    5. 系统的3维视图 [>54?4{|.  
    TmLCmy!  
    IJ2'  
    6. 其他系统参数 a`%`9GD  
    系统由单色平面波照明 3lZl  
    照明波长266.08nm BQ Vro;#Jc  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 3w"JzC@  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ='b)6R  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 O{~Xp!QQt  
    光束尺寸探测器置于焦平面 |6bvUFr  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 K=JDl-#!  
    L +Uq4S^  
    `MPR-"Z6  
    ]-{ fr+  
    -_5Dk'R#`  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 xCXsyZ2h  
    '#3FEo  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Os$E,4,py  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    OHBCanZZ,  
    HYGd :SeH  
    iY07lvG<  
    T\.(e*hC  
    9G SpDc  
    :qbU@)p*  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 /"D,gn1S*  
    "J+L]IC?AD  
    ;6pB7N  
    VirtualLab可用于计算点列图。 77[TqRLf  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 7afG4 (<k  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 n5UUoBv  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 AP,ZMpw  
    -+1O*L!  
    9. 焦平面上的结果 0~RD@>]  
    E7\K{]  
    $%DoLpE>  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2?q>yL!Gz  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 J~WT;s  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm WJONk_WAc  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 <dP \vLH_  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    8j70X <R  
    uXFI7vV6P  
    10. 总结 &gr 8;O:0  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 r D <T  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ,.ivdg( /  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 J?J4<l9  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 5)XUT`;'){  
     
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