示例.0082(1.0) t :YZua 4Xa]yA = 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 cb]X27uww
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iV}]" 1. 描述 m=@xZw< ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ;k `51=Wi ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 :23S%B~X ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 /fb}]e]N
iTAj${ > 2. 系统 E!1\9wzM{ e_Hpai<b 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
"%D"h 3. 透镜系统组件编辑 3WQa^'u
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 gdTW
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 uCB9;+ Hjw
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 E-C]<{`O
■ 包括序列光学表面和光学介质。 0{
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/mz.HCs `dV2\^*A 4. 光线追迹系统分析器-选项 ANBuX6q )u{]rb[ X\Zan$oi
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ynM~&]fk#k
■ 可以选择选取光线的方法: rrRv 7J&Q
— 在x-y-网格 `WL3aI":
— 六边形 DKfpap}8u
— 自由选取 _xh)]R
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 JRz)A4P iZfZF 5. 系统的3维视图 *w*K&$g `B3-#!2X
t adeG 6. 其他系统参数 `K+%/|! ■ 系统由单色平面波照明 O-V]I0 ■ 照明波长266.08nm r&a}U6k(y ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: U"8Hw@ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 co8R-AB — 一个虚拟屏位于焦平面 yOEy3d=* — 光束尺寸探测器置于焦平面 Cn5"zDK$ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 0`7yPq* Mo N/?VA *s 4Ym hR|xUp
+d=f_@i 7. 光线追迹系统分析器的结果 ps2j ]g c]x-mj = 光线经过整个光学系统的三维视图
-JEPh!oTt 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Nm&'&L%Ch Q`8-|(ngw sz270k%[ tL;.vRx Ey:?! Q3hf =&$ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 };rp25i i@rUZYF rucw{)
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 &aIFtlC
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 J#Y0R"fo
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 8Pd9&/Y
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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&1T)'Bn 9. 焦平面上的结果 SW}Rkr\e
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ~{{S<S
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■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。
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■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm d.w]\
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ~Sb)i f
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 \Db`RvEmR t{},Th 10. 总结 >F7HKwg}Z ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 30WOH
'n ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 #J/RI[a ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 bnkZWw'9 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 `~d7l@6F