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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 4Y5lP00!}  
    6Lc{SR  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 E#!tXO&,  
     v6 C$Y+5~  
    1. 描述 |ns B'Q  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 :*} -,{uX  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 L~+/LV  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 S6CI+W  
     'CMbq Lk#  
    2. 系统 TT@ U_^o  
    (hJ&`Tt  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    &.l^>#  
    3. 透镜系统组件编辑  mPL0s  
    kz\Ss|jl  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 2Onp{,'}  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 X`6"^ xme  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 }6_*i!68"U  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 ({OQ JBC  
     /rIyW?& f  
    K0YQ b&*k  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 s(Bcw`'#  
    *\(MG|S  
    >t_h/:JZ)  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?KtF!:_C  
    ■ 可以选择选取光线的方法： (Z0_e&=*  
    — 在x-y-网格 g\% Z+Dc  
    — 六边形 M u i\E  
    — 自由选取 @C|nc&E2s  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     U4.$o ]58  
    VIHuo,  
    5. 系统的3维视图 kV+%(Gl8  
    1Q/= s,{u  
    #CV]S4/^  
    6. 其他系统参数 Vw|P;LLl`  
    ■ 系统由单色平面波照明 =%B5TBG  
    ■ 照明波长266.08nm 4{@{VsXN  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： lrAhdi  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 p0[+Zm{#l  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 /9e?uC6  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 ?I[*{}@n"  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 >UQY3C  
    E<jW; trt_  
    !:PiQ19 'u  
    rz0)S py6  
    o! l Ykud  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 mqj-/DN6*  
    " Lh&s<[  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    q;}iW:r&Q  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    Ptc+ypTu  
    Gl@{y (  
    Pa6pq;4St  
    }T0O~c{$i  
    &+n9T?+b  
    R RE8|%p;B  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 DXo]O}VF  
    o] Xt2E  
    0k#7LubWZl  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 =W &Mt  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 QtwQVOK  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 D#AqZS>B  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 [~u&#!*W  
     Zwm/c]6`  
    9. 焦平面上的结果 RC/45:hZZ  
    x_ /}R3d  
    'Oj 1@0*0  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 vQ L$.A3>  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 8PzGUn;\  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm -OSj<m<  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 |{&M#qXe  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     >{N}UNZ$}  
    >MGWN  
    10. 总结 |mP};&b  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 <sw@P":F  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 ~ ;LzTL  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 @zC6`  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 Bb:C^CHIQm  
     
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