示例.0082(1.0) $1lI6 =
, kd55y 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 m03D+@F
Uao8#<CkvJ 1. 描述 3kqO5+,C ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 "}ibH{$lM ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 v3\
| ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 u*}[fQ`aF
r:N =?X`N 2. 系统 8k[=$Ro ["O/%6b9+ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
n1!hfu7@s 3. 透镜系统组件编辑 .kwz$b+h
}OZut!_
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Yx#?lA2gx
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 &k53*Wo
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 vX?MB
■ 包括序列光学表面和光学介质。 n0)0"S|y1
_EHz>DJ9 fG dT2}gd 4. 光线追迹系统分析器-选项 \iL{q^Im B|I9Ex~L X 8/9x-E_
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 y-#{v.|L
■ 可以选择选取光线的方法: Df hu
— 在x-y-网格 g}@W9'!
— 六边形 mH`K~8pRg
— 自由选取 [pY1\$,
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 FT'2J qe/dWJBa 5. 系统的3维视图 `|uwR5 2eC`^
vM3 b\yp 6. 其他系统参数 yV.E+~y ■ 系统由单色平面波照明 +4
W6{` ■ 照明波长266.08nm <ztcCRov ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: xVnk]:c — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 -tPia=^ — 一个虚拟屏位于焦平面 npCiqO — 光束尺寸探测器置于焦平面 !#[B#DZc( ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 6[x6:{^J JX)%iJq# ;6)Onwx 57|RE5]|! <Jc
:a?ICe 7. 光线追迹系统分析器的结果 3aY^6& #jqcUno 光线经过整个光学系统的三维视图
'G)UIjl 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
E\Qm09Dj`< ?+P D?c7 {,X}Btnwp F`Ld
WA %|izt/B ,@Fde=Lw 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 -bP_jIZF;g TC* 78;r L,\wB7t
■ VirtualLab可用于计算点列图。 hU|TP3*
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 sx^0*h-Qq
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 (5/>arDn
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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CT0 ~ 9. 焦平面上的结果 "3;b,<0
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 o%SD\zk
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 7[I%UP
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm umuE5MKY<
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 H&*KpOL
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 5jey%)= &