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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) MPg)=LI  
    W_(j3pV?Ml  
    关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 SdxDa  
     0 e ~JMUb  
    1. 描述 3/e.38m|  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Y}|X|!0x  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 'RYIW/a  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 mtp+rr  
     !_D0vI;  
    2. 系统 e+ BQww  
    e95Lo+:f  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    &LZn FR  
    3. 透镜系统组件编辑 ?5|>@>  
    q{I%Q)t)gU  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 j2.|ln"!  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 ~{B7 k:  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 MvHm)h  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 0c'<3@39k|  
     yyRiP|hJ  
    g:D>.lKd  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 R0]1xGz  
    0g y/:T  
    lVR~Bh  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ?2;&O`x*  
    ■ 可以选择选取光线的方法： *,8^@(th  
    — 在x-y-网格 zrL$]Oy}x  
    — 六边形 K'Tm_"[u  
    — 自由选取 Z/;(f L  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     }{qZ[/JwqN  
    y'~U%,ki6  
    5. 系统的3维视图 bv9i*]  
    EQyC1j  
    z Rl3KjET  
    6. 其他系统参数 X!Mx5fg  
    ■ 系统由单色平面波照明 }=UHbU.n~!  
    ■ 照明波长266.08nm 6]_pIf  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： t?ZI".>  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 M7a.8-!1  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 o]` *M|  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 YX7L?=;.@  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 '(VJ&UlS2  
    ?'#` nx(!  
    WJndoB.f[2  
    goRL1L,5  
    }Qc@m9;bH  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 `d +Da=L  
    ?m=N]!n  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    +EAsW(F1  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    k\YG^I  
    `PdQX.wN  
    wd^':  
    |zNX=mAV  
    ia~HQ$'+n  
    V>%rv'G8  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 69?wc!  
    wj<6kG  
    B5VKs,g  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 bv9]\qC]T<  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 0r] t`{H  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 r CHl?J  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 gQelD6c  
     d>&,9c%  
    9. 焦平面上的结果 =:,g  
    e&F8m%t  
    He/8=$c%  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 >,Ci?[pf  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 N1S{suic  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm %2/EaaR  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 qIE9$7*X  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     +z\^t_"f  
    Nk 8B_{  
    10. 总结 B+VubUPMS  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 4qbBc1,7y  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 4*#18<u5  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 |=ba9&q  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 B =T'5&  
     
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