示例.0082(1.0) 5#E`=C% m#\dSl} 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 hf&9uHN%7m
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}{|Yz 1. 描述 Y9XEP7 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 /R wjCUf ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 p>8D;#HmL ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 LyFN.2qw
+A?U{q 2. 系统 "87:?v[[1 sdw(R#GE 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
j*r{2f4Rt 3. 透镜系统组件编辑 > /caXvS
i?^L/b`H
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 J<jy2@"tXo
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 |Ds1
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 fVpMx4&F
■ 包括序列光学表面和光学介质。 k~1?VQ+?M
0oIe>r .3Oap*X 4. 光线追迹系统分析器-选项 PB\x3pV!} svH !1b S;`A{Mow
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,r\o}E2
■ 可以选择选取光线的方法: \LexR.Di
— 在x-y-网格 dDLeSz$b
— 六边形 WNrk}LFof
— 自由选取
r3UUlR/Do
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /f;~X"! h2fNuu" 5. 系统的3维视图 k\?Ii<m Qq|57X)P*
O3kA;[f; 6. 其他系统参数 nb%6X82Q ■ 系统由单色平面波照明 j|#Bo:2km ■ 照明波长266.08nm 8FY?!C ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: %n9aaoD — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 c9h6C — 一个虚拟屏位于焦平面 iGB}Il) — 光束尺寸探测器置于焦平面 l2Rb\4 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 z-)O9PV |@4' <4t XZd,&YiaG *gWwALGo5 1p=]hC 7. 光线追迹系统分析器的结果 -ZLJeY L #QMz<P/Gl6 光线经过整个光学系统的三维视图
_.8S& 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
R8'RA%O9J -nV9:opD h~zT ydnH YUk\Q% ZPYS$Ydy vx5Zl&6r 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 [d]9Oa4 /mzlH 0LJv'
■ VirtualLab可用于计算点列图。 $(x]
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 e$rZ5X
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 u]UOSf n
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Pe3o;mx
8KzkB;=n 9. 焦平面上的结果 * r7rZFS
/cP"h!P}~~
1bwOmhkS
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 X!EP$!
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 lL0APT;
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm QoT;WM Z
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 LZxNAua
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 |P?*5xPB @cXMG6:{ 10. 总结 K[zVa ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 >i?oC^QM ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 [(7S .5I ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 e$Pj.>-<= ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Ml-6OvQ7g