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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) ~T/tk?:8Vi  
    VoQhzp6&  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 EG|_YW7  
    z`eMb  
    1. 描述 w+Gav4  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?o`:V|<v  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 u{w,y.l1h  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 R<vbhB/lU  
    )TyP{X>  
    2. 系统 OG_v[  C5  
    G*,7pc  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    3[m2F O,Z  
    3. 透镜系统组件编辑 aK]AhOG   
     4CtWEq  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Jl6lZd(Np  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 p$ETAvD  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 d(:I~m  
    包括序列光学表面和光学介质。 ` @lNt}  
    F\v~2/J5v  
    eKLE^`2*@  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 gX$gUB) x  
    aL&9.L|1 g  
    4#.Q|vyl]"  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ^.  
    可以选择选取光线的方法: P RNq8nmxC  
    — 在x-y-网格 sl(go^  
    — 六边形 K r<UPr  
    — 自由选取 yqtaQ0F~  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    g>#}(u!PH  
    KfPgj  
    5. 系统的3维视图 '1fyBU  
    T\ukJ25!  
    Pp_? z0M  
    6. 其他系统参数 .>~er?-  
    系统由单色平面波照明 !qHB?]  
    照明波长266.08nm |/$954Hr#<  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: a,)/D_{1  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 P2 qC[1hYH  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 XX "3.zW  
    光束尺寸探测器置于焦平面 $ER9u2  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ykH@kv Qt  
    xP;>p| M  
    1C]BaPbL  
    Xy`'h5  
    Y*O Bky  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 rhX?\_7o  
    :7JP(j2  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    PfB9 .f{  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    d2)]6)z6  
    U.b|3E/^  
    8rFP*K9  
    Fey^hx w =  
    jGo\_O<of  
    .u=|h3&  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ;O 5Iu  
    Iz;^D!  
    DRTT3;,N  
    VirtualLab可用于计算点列图。 VVpJ +  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 skTtGz8R[  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Pj_DI)^  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 oIMS >&  
    -w8?Ur1x:  
    9. 焦平面上的结果 h(3-/4  
    Y=O-^fL  
    }jU)s{>fb  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 opu)9]`z  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Bn=YGEvz  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm t]iKU@3  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 {sj{3Iu  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ~r'ApeI9  
    qPJSVo  
    10. 总结 86dz Jh  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 v6E5#pse8  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 <]|!quY<*  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 a40>_;}:x  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 t("koA=.  
     
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