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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) (WK $ )f  
    C61KY7iyR  
    关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 -K`0`n}  
     -> -  
    1. 描述 %>uGzQ61  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ,>%AEN6N2  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ] t|KFk!)  
    ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 s &v<5W2P  
    oOuhbFu  
    2. 系统 '[p~| mX  
    .ukP)rGe  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    =VlO53Hy{  
    3. 透镜系统组件编辑 nm*!#hx  
    {Gs&u>>R"^  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 {=7W;uL  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 YE5v~2  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #UC4l]Ru A  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 q+32|k>)  
    `X]-blHo  
    Vzz0)`*hQ  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 o><~.T=d&  
    .9 WUp>  
    1+o>#8D  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 4i[3|hv'  
    ■ 可以选择选取光线的方法: qJW>Y}  
    — 在x-y-网格 C["^%0lj  
    — 六边形 r{kV*^\E  
    — 自由选取 5JI+42S \  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    C9Fc(Y?_  
    N7Z&_$Bx  
    5. 系统的3维视图 LaJc;Jt$  
    "G|Gyc  
    T~%5^+[h  
    6. 其他系统参数 /w!b2KwV  
    ■ 系统由单色平面波照明 M!=v"C#  
    ■ 照明波长266.08nm S'Q$N-Dy  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: W #qM$  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ~m uVQ  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 h|%d=`P,  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 }tx~y-QQ  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 . xX xjl  
    .Rc&EO  
    "SyyOD )WA  
    #>~$`Sg  
    7z=Ss'O]  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 pWps-e  
    %9BC%w]y  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    d2.eDEOsC  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    J~<:yBup}  
    uz Z|w+3O  
    )J (ekfM  
    DfV_08  
    r9s1\7]x  
    yQ+#Tlji  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 RPaB4>  
    N ~M:+ \  
    fgl"ox  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 FPFt3XL  
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 f*5=,$0  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 e@0wF59  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 [ Q=) f  
    TmX~vZ  
    9. 焦平面上的结果 q.<q(r  
    D9H|]W~   
    %F&j B  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 f#JLE+0Y  
    ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 MQ\:/]a  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm r7ywK9UL  
    ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 *i%!j/QDAP  
    ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
    .#j)YG  
    1oX"}YY1  
    10. 总结 }(M<sEK~  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 j*QY_Ny*  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 'Q(A5zfN]Y  
    ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 mvUYp,JECl  
    ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 0U`Ic_.  
     
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