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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) UG Fx  
    >f'n l  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 JI3AR e?y  
    / w_ Sc{  
    1. 描述 89`AF1  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 #ZCgpg$wM  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 xPQO}wKa  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 #n{wK+lz  
    15iCJ p  
    2. 系统 RNRMw;cT  
    .Z8 x!!Q*  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    d+fmVM?p  
    3. 透镜系统组件编辑 QMy;?,  
    @`wBe#+\  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 .DHZs#R  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 `Wn0v2@a(~  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 $w[@L7'(  
    包括序列光学表面和光学介质。 L(`^T`  
    >|6[uKrO  
     7 g  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 #mk#&i3"k  
    +**H7: bO  
    %+gze|J  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 S &s7]  
    可以选择选取光线的方法: duXv [1  
    — 在x-y-网格 6\4oHRJC  
    — 六边形 kzJNdYtdH  
    — 自由选取 M`BD]{tN}  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    YwoytoXK  
    f@\ k_  
    5. 系统的3维视图 L.U [eH  
    <g>_#fz"K  
    -T4?5T_  
    6. 其他系统参数 &oTSff>p}  
    系统由单色平面波照明 7<IrN\@U  
    照明波长266.08nm kL*Q})  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: T-fW[][&$  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (}4tj4d  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 jGR_EE  
    光束尺寸探测器置于焦平面 lCWk)m8  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 YOGw Q  
    (mt,:hX  
    \ts:'  
    K JPB-  
    J:#B,2F+^  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ghbxRnU}  
    #4%,09+  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    t.lm`=  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    `u%//m_(  
    NjYpNd?g  
    B964#4& 9  
    kn+`2-0  
    VH#]67  
    .[= 0(NO  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 }(op;7  
    G!XizhE  
    t+m$lqm  
    VirtualLab可用于计算点列图。 /Lu wPM  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 RBt"7'  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Wf0ui1@  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 :#d$[:r#  
    hd/5*C{s  
    9. 焦平面上的结果 A3$ rPb8  
    &IXr*I  
    z[z'.{;D  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 :V}8a!3h  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 uZm<:d2%)  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 7" Dw4}T  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 <^n9?[m*  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    Lkqu"V  
    2x$\vL0  
    10. 总结 ~u,g5  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 e/#4)@]  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Gp; [WY\  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;Qk*h'}f  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 I0m/   
     
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