示例.0082(1.0) UG
Fx >f'nl 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 JI3AR
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/w_Sc{ 1. 描述 89`AF1 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 #ZCgpg$wM ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 xPQO}wKa ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 #n{wK+lz
15iCJ p 2. 系统 RNRMw;cT .Z8 x!!Q* 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
d+fmVM?p 3. 透镜系统组件编辑 QMy;?,
@`wBe#+\
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 .DHZs#R
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 `Wn0v2@a(~
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 $w[@L7'(
■ 包括序列光学表面和光学介质。 L(`^T`
>|6[uKrO 7g 4. 光线追迹系统分析器-选项 #mk#&i3"k +**H7: bO %+gze|J
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 S &s7]
■ 可以选择选取光线的方法: duXv
[1
— 在x-y-网格 6\4oHRJC
— 六边形 kzJNdYtdH
— 自由选取 M`BD]{tN}
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 YwoytoXK f@\
k_ 5. 系统的3维视图 L.U [eH <g>_#fz"K
-T4?5T_ 6. 其他系统参数 &oTSff>p} ■ 系统由单色平面波照明 7<IrN\@U ■ 照明波长266.08nm k L*Q}) ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: T-fW[][&$ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (}4tj4d — 一个虚拟屏位于焦平面 j[wGR_EE — 光束尺寸探测器置于焦平面 lCWk)m8 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 YOGwQ (mt,:hX \ts:' K JPB- J:#B,2F+^ 7. 光线追迹系统分析器的结果 ghbxRnU} #4%,09+ 光线经过整个光学系统的三维视图
t.lm`= 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
`u %//m_( NjYpNd?g B964#4&
9 kn+`2-0 VH#]67 .[= 0(NO 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 }(op;7
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 /LuwPM
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 RBt"7 '
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Wf0ui1@
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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hd/5*C{s 9. 焦平面上的结果 A3$
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 :V}8a!3h
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 uZm<:d2%)
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 7"
Dw4}T
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 <^n9?[m*
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Lkqu"V 2x$\vL0 10. 总结 ~u,g5 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 e/#4)@] ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Gp;[WY\ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;Qk* h'}f ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 I0m/