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光学测量＞显微 ?'V78N sA oiyvKMHz7 任务/系统视图 k=)U #]Vw$X_S  ^A ]4 ~A0AB
`7 亮点 ?qQ{]_q1&. fN9{@)2Mz  TXB!Y!RG#
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显微镜系统中光栅的全矢量分析 #A>*pF 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 ]D6<6OB 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 R&uPoY,f %jAc8~vW? 说明：光源 _kD5pC = Gb^63.}  )QAYjW!Z as:= QMV  {tVA(&\< l&H-<Z.8m 说明：透镜系统 dwn|1%D kV8R.Baf3  P0UR{tK 说明：样品结构 o9sQ!gptw b8a (.}8*  U'jmgHq n[/D>Pi 说明：探测器 rT="ciQ B+FTkJ0t+G  %Vo' \|
Qz`evvH
 1 =]#=)+ 3\2&?VAjR 结果：3D光线追迹 ^(Gl$GC$Mu Z@q1&}D!  iu{y.}? ! 5 S#  5+GTK)D 0Cc3NNdz 结果：光线追迹 []OS p& S> Fb'rJ3  OBF M70K R 1*&rjB 结果：光线追迹衍射级数 li3X } aR6~r^jB  qLBQ!>lR
65B&>`H~ 结果：场追迹采样平面 dhLd2WSyH covCa )kf  E2hM L m<Gd 6V5 结果：场追迹焦平面 |QrVGm@2 W&A^.% 2l  B{#Fm6 y Jx,4be 结果：减小光栅周期 xfUV'=~(
25G~rklk 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 g9GPy U ddYb=L+_b
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