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光学测量＞显微 ]*M-8_D k Up[b~ 任务/系统视图 B9glPcy}SS =Z aTD-%id  6zfi\(fop X$<s@_#1 亮点 @TTB$ & 1 : _+  (6*CORE
ygA~d9" 显微镜系统中光栅的全矢量分析 Qq. ht 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 uIO<6p) 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 +v7mw<6s +oT/ v3, 说明：光源 YgN:$+ g5 mEUdJvSG(  !((J-:= +mgmC_Q(0  \9%SR ~ `<z"BGQ 说明：透镜系统 R2 I
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e 说明：样品结构 S?M 'JoYy #9 a\Ab  nSM8o<) H []v t\I
; 说明：探测器 /g_cz&luR 4zRz U  Lcx)wof
w4m)l QM
 "\x<Zg; E,/<; 结果：3D光线追迹 DhVF^=x$ / X
#4  FKX+
z o<Esh;;*nm  ODbEL/ kT jx. 结果：光线追迹 94>EA/+Ek xejQ!MAB  w6RB |^ 7j
]d{lD 结果：光线追迹衍射级数 V?.')?'V nk p,  6dCS Gb #}8l9[Q|M 结果：场追迹采样平面 v*.[O/,EBR #s\ HiO$BT  cL ]vJ`?Ih '\ MYC8" 结果：场追迹焦平面 Q=,6W:j Hz*5ZIw  Em%0C@C e6
R<V]g 结果：减小光栅周期 Mx3MNX /
iB]xYfQ&@V 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 LkUYh3 TQ/EH~Sz
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