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光学测量＞显微 /5b,& 8'
M4 3n 任务/系统视图 'avzESe~' (J
I4ibP  ^ _0zO$z, ( P%{Tab 亮点 3MPm LV#f +*Y/+.4WE$  Zi<Y?Vm/,O
b1>zGC^| 显微镜系统中光栅的全矢量分析 6q-X$ 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 %{?EfULg 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 G6]W'Kk }TI"j{(QJ 说明：光源 Lq :
!?)I l|TiUjs  8vpB(VxV+ ( v+ nn1,  qS1byqq78l ! ~#zH0# 说明：透镜系统 E }LYO: 9ozN$ :  }TfZ7~o[ 说明：样品结构 O~D>F*_^j "jS @ug  1- Jd Qs6 @#m@ . 说明：探测器 di $\\ Ah Dfz3\|LJ  '$nm~z,V
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 F{,<6/ayRz #7(?B{i 结果：3D光线追迹 uUmk k q%&JAX=  *BdKQ/Dk k9Pwf"m|](  naOCa M uI>ZoNF 结果：光线追迹 dbVMG-z8 '\ g- z  V7~tIhuJH IZ2(F,{o 结果：光线追迹衍射级数 bn*SLWWQ.3 ;-]' OiS;  1 >}x 9D 9szUN; :ZZ 结果：场追迹采样平面 cpLlkR O ."X}A
t  E!Ljq 3iT` A [c1E[ 结果：场追迹焦平面 B:X,vE z.vE RP56  Fi!BXngbd |^:qJ;dO P 结果：减小光栅周期 -/w#f&Y+]8
Sj(5xa[ 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 Wxeg(L}E ;URvZ! {/Z
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