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光学测量＞显微 }f }IA\8]
q{X T 任务/系统视图 G[q9A$yw i=8UBryr'e  M^ 5e~y ?mOg@) wx 亮点 a{`"6 8 WOO%YU =  cw+g
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a{_ KSg 显微镜系统中光栅的全矢量分析 Z 5>V{ o 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 n(jjvLf 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 ck$2Ue2`@w 8^w/HCC8O 说明：光源 `{G?>z Fp S+FQa7k  C|6{fd4? pGGV\zD^  Dq`~XS* '\L0xw4 说明：透镜系统 u)7
]1e{ a `38db(z  @xJCn}`Zj 说明：样品结构 zKJ. Tj W 6 {7 3p@  h]P/KVqR. QUPf *3Oy 说明：探测器 !~d'{ sy6 E{gv,cUM  n{{ P 3f
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 `Z8^+AMc tE:X,Lt[ 结果：3D光线追迹 cno;>[$ %uEtQh[  ss;
5C:*y <~O}6HQ#  ( H[ M1(9A>|nF 结果：光线追迹 &gWiu9WbS B<+pg  {~nvs4X 1C'P)f28 结果：光线追迹衍射级数 q\U4n[Zk F(E<,l2[  H`? *
bG |1i]L @& 结果：场追迹采样平面 xDLM Po& !^1[ s@1  ,$BgR2^ #~1wv^ 结果：场追迹焦平面 w~{| S7/ s@ z{dmL  *) }
:l R|H [lbw 结果：减小光栅周期 Y.9~Bo<<r
3XGB+$]C 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 r!~(R+,c Lb^(E-
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