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光学测量＞显微 #b8/gRfS o/&:w z 任务/系统视图 3@}_ F<"* b UWtlg  B 1p9pr Fx.uPY.a 亮点 {O"dj;RU IGI2).$[  .y'OoDe
! q1Ql18n 显微镜系统中光栅的全矢量分析 X5<L 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 IjrTM{f 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 "#JoB X@yE &V2G <gm0 说明：光源 *&AK.n_ nl?|X2?C  $~9U-B\ I5D\Z  kW(8i}bg hA~}6Qn 说明：透镜系统 DSnsi@Mi .^ v7LF]Q  PB9<jj; 说明：样品结构 I~mw\K{.3M %?
iE3j!q  :Z+(H +lyZ e%f8|3<6 说明：探测器 km3-Hp1 xr?r3Y~^e  CiMN J
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 4<O[d F 'h[g.\ } 结果：3D光线追迹 0umfC "iKK &%W  DSIa3! 0 Lv5AtZl}  v =L^jw wDSU~\ 结果：光线追迹 *J $=UG,u f{ b"=h Q  J}.p6E~j @%jzVF7 结果：光线追迹衍射级数 R2;-WxnN] >
h:~*g  8>epKFEg T*H 4 kM 结果：场追迹采样平面 xW^<.@Agm iI _Fbw8  2Nj0 Hqjq
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, 结果：场追迹焦平面 W:tE ?H u zU}0AVlIL:  >uUbWKn3 z2 4-h C 结果：减小光栅周期 Db3t I#
EoY570PN 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 IYj-cm swJwy~
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