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光学测量＞显微 ]e >R K' ?/TS i0 R 任务/系统视图 7: A x(El u83J@nDQ  M@h|bN b:=TB0Fx?n 亮点 Zkx[[gzL 17 D"cP  rX*H)3F
Tq NadHQ 显微镜系统中光栅的全矢量分析 dX\.t < 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 6)z?f4, 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 }
$uxJB D*Ik7Pe 说明：光源 fKp#\tCc y (* 1v\Q  dp++%:j 6Ztq  \Z^TXyu u583_k% 说明：透镜系统 'sLiu8G wx\v:A  ~ )qtply 说明：样品结构 vgD {qg@ [v$0[IuY,  D,;\o7V ! E,A7s 说明：探测器 !h(|\"
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 S5KEXnjm n"+ [ :w4 结果：3D光线追迹 qzI&< 4 a k ->ML  IGS1| e?`5>& Up  ?|WoIV. 4%2~Wi8 结果：光线追迹 =1O<E AgOp.~*Z~V  so)"4
SEu I&MY{f 结果：光线追迹衍射级数 WX}xmtLs [vMvV4,  6lk l7zm nt;haeJ 结果：场追迹采样平面 _$wmI/_J M <c)+Fno[E_  %uJ<M-@r=u "VkTY|a 结果：场追迹焦平面 KBX K0zWh7 2H/Z _+\  Ct2j ZqCDo zUkN 0 结果：减小光栅周期 v^)bhIPe;
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{1e % 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 4J;-Dq P&j (,7
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