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光学测量＞显微 e8 1+as GDQQ4-|O 任务/系统视图 Jbn^G7vH<6 V <ii  m Eg3.| U'LPaf$O 亮点 :{s0tw>Z }z F,dst  :(YFIW`59
&fW'_, - 显微镜系统中光栅的全矢量分析 g=$nNQ
\6= 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 ~7w LnB 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 N$.=1Q$F6 %)w7t[A2D 说明：光源 ! NJGW *G8Z[ht%r  Z# %s/TL #x6EZnG  >VppM ` VA @ 说明：透镜系统 E(_lm&,4+ >c$3@$  uT>"(wnJ| 说明：样品结构 (QS 0 i3cMRcS;  E
BSjU8 7ufTmz#j< 说明：探测器 8~sC$sIlE 2 ^qJ'<2]M  n-{.7
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akG|ic-~ 结果：3D光线追迹 p]qz+Z/
Wf~PP;  MaLH2?je^n X/ Ii}X/p  CIVV"p`} n72 kJ3u. 结果：光线追迹 5cb8=W - p) ?6~\F:  d .Q<! Au3 p!EG:B4 结果：光线追迹衍射级数 ';m;K
(g :kC*<f\  2Vs+8 / ,u9 >c*Ss\ 结果：场追迹采样平面 ZAgtVbO7
`)>}b 3  8\G"I %pLqX61t= 结果：场追迹焦平面 _p?s[r * B%5"B} nG  U?ZWDr"*`w EHfB9%O7y 结果：减小光栅周期 !b$]D?=}
iu$Y0.H@ 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 /]of @
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