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光学测量>显微 a-NTA #mQ@4k9i 任务/系统视图 UoT`/. As,`($= Y1PR?c
Q rW?WdEg 亮点 ^k6_j\5j YSD G! !5ps,+o z!}E2j_9P 显微镜系统中光栅的全矢量分析 26j<>>2 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 (:l6R9'= 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 zdYH9d>D Q#g`D,:o%~ 说明:光源 ^j}C]cq{Xg
)-2Nc7 CS[]T9|_ Df6i*Ko| >=@-]X2%j 2-4N)q 说明:透镜系统 (|QJ[@?q :>&q?xvA w#.3na 说明:样品结构 u
BEwYQB alb3oipOB lod+]*MD NW\CEJV 说明:探测器 >_}isCd, U^PXpNQ' 'cO8& | |1@O>GG
Olzw)WjG kvbZx{s 结果:3D光线追迹 j<^!"_G]*? qk& F>6<9* v-8>@s jy8 _pdKcE\X @ m`C%7< L.;b(bFe 结果:光线追迹 Myc-lCE Clf$EX;~ 3fOOT7!FL 5:@bNNX'j 结果:光线追迹衍射级数 |
Y:`>2ev kz=ho~ @ pBqf+}g4 //@6w;P 结果:场追迹采样平面 +g1>h,K 3 k3Yu"GY^ Z`-$b~0 6P{bUom? 结果:场追迹焦平面 !U`4 S
m(*<H G$C2?|V)= %FjUtB 结果:减小光栅周期 ~n
'A1 4?pb!@l 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 1H-Wk 2}^=NUM\NX
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