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光学测量＞显微
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z\/5 3Sy< 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ba3-t;S
在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 ?R5'#|EyX 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 x>~p;z#VX @:x"] !1 说明：光源 0"g@!gSrQ 1>r ,vD&  `Vq`z]} :h:@o h_=  t?^9HP1b_ gNx+>h`AF 说明：透镜系统 {5%/ T, $cVi ;2$p  eu'1H@vX( 说明：样品结构 jLcHY-P0V T[Pa/j{  r?l;I3~ P= H+ # 说明：探测器 MF[z -7 1'G8o=~  k*-NsNPw$
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 :Y )to/h +ySY>`1k~ 结果：3D光线追迹 Xev54!619 CQODXB^  cbKL$| &14W vAU  I"xWw/ Ec Y(GN4@`S 结果：光线追迹 J< JBdk _ ^7|!(Sz  Wn!G.(Jq -PAF p3w\y 结果：光线追迹衍射级数 r dj@u47 S*%iiD)  &WZP2Q| }gsO&g"8 结果：场追迹采样平面 ew#T8F[ w 7tC|^#G  dyQh:u
- C]`eH *z~8 结果：场追迹焦平面 `HUf v@5 {TZE/A3D,  b2h":G|s 8U.$FMx : 结果：减小光栅周期 -Gsl[Rc0H;
pH9HK 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 "+iAd.qd @~jxG%y86
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