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光学测量＞显微 5}9-)\8=z w(r$n|Ks9 任务/系统视图 _baqN!N 66D< Up'K  n )} J< 51.F,uY 亮点 J><O
51 3`TC*  s6Bt)8 A
Y:^ =jV7 显微镜系统中光栅的全矢量分析 7E Y~5U/4 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 Jkpw 8E7 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 5YC56,X 5|m|R"I*Y 说明：光源 rZu_"bcJ 34YYw@?}Y  Q+mMp I eno *JK  KyXg w K rMIJA4> 说明：透镜系统 F Paj
p lx$Y-Tb^F  x)"=*Jj 说明：样品结构 {Hp?rY@ :m#vvH  #Yw^n?~~ ?jqZeO#W7 说明：探测器 ^l$(- #'y KG>.7xVWV7  rA ` zuYo
T d;e\s/]
 /4_}wi\ dC( 6s=4 结果：3D光线追迹 v[Q)cqj/ ` t6lnO  _'I9rGlx3 @b>]q$)(}  *r-Bt1 t<`ar@} 结果：光线追迹 7PQedZ<\ aNq Vs|H  dtg Ja_ z?
{# / 结果：光线追迹衍射级数 d Hp6 G^Y Xrz0ch  htF&VeIte 2f:'~ P56 结果：场追迹采样平面 i44:V R| vaQ,l6z
.h  %kc g#p+tE t[Q^Xp 结果：场追迹焦平面 ^-AC tA) yr=r? h}  QqwX Fk }!d}febk_ 结果：减小光栅周期 \O0fo^+U,,
JNu - z:J 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 %bimcRX#W )8<X6
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