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光学测量＞显微 c }Ft^Il :|V$\!o'U 任务/系统视图 bf ]f=;.+ >kj`7GA  N..yQ-6x? r?+% ?$ 亮点 8 ndYV>{f -Br Mp%C  :~b3^xhc^
#C~+JL 显微镜系统中光栅的全矢量分析 gn8R[5:!V 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 f=(?JT 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 Ygm`ZA y ~P*6ozSYpY 说明：光源 hm84Aq= f XX7{-Y y  5gH1.7i b #a/5SZP
Z\  *W 4m3L q "cE7
5 说明：透镜系统 q.KG^=10 fM]+SMZy  .Xfq^'I[ 说明：样品结构 ''q@> /7a BDc-v  HmiR.e%<b 9oyE$S h] 说明：探测器 YZL kL26[ B -?6M6#  Ed0QQyC@9
9=v MgW
 $*^kY; s` M9 结果：3D光线追迹 N|8P) Buf/@B7+\  ;X8y Fq F f$L|  03|PYk 6EW o1-m1 <ft 结果：光线追迹 fV &KM*W*@ %}SGl${-  3AHlSX l Q'I 结果：光线追迹衍射级数 6 bomh2 v0
nj M  eK6hS_E 49rf7NT-g 结果：场追迹采样平面 ^`*9QjY u 8g S< \  WzPTFw[ !S^AgZ~ 结果：场追迹焦平面 NO~*T ?&
*S]Ci\{_  J} htu whmdcVh. 结果：减小光栅周期 *EOdEFsR/
i 'a?kSy 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 931bA&SL=/ %b%-Ogz;4
 K0H'4' I V^7V[(~` TlXI|3Ip  $:cE ^8K
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