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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 EkV#i  
    4wv0~T$;x  
    任务说明 ;8=Bee4  
    (<B%Gy@  
    ~NE`Ad.G  
    `i|!wD,=\  
    灵活地导出制造数据: AxEdQRGk  
    - 平滑的界面 &@xm< A\S  
    - 量化界面 w3i74C&0  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 <c5g-*V:  
    DN%JT[7  
    亮点 4,@jSr|I3i  
     导出各种表面形状的制造数据 5222"yn"c  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 H|e7IsY%  
         [.Fm-$M-  
    aAP86MHO  
    一般界面的制造数据 m2~`EL>  
    <FR!x#!   
    #"oLz"{  
    d_:f-  
    支持文件格式: / \qzTo  
    - 纯文本 +9]t]Vrw  
    - ASCII码 CqWO 0  
    - 点云 IJ5'n  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) kbvF 9#  
    ;>/Mal  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) mb`h  
    L{1[:a)']B  
    采样高度剖面的STL导出 ;TC]<N.YJT  
    IRR b^Q6  
    'k}w|gNB  
    ltrti.&  
    量化界面的GDSII导出 H`k YDp  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 /F^ Jn_  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 %<8?$-[  
    ' Hj([N  
     
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