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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 oDz|%N2s|  
    ,0.kg  
    任务说明 =abcLrf2G  
    ExS5RV@v'  
    E,}{iqAb  
    _9 ]:0bDUo  
    灵活地导出制造数据： |JxVfX8^  
    - 平滑的界面 )hXTgUZa  
    - 量化界面 Wye* ~t  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Cp6S2v I  
     < $0is:]  
    亮点 LV^^Bd8Ct  
     导出各种表面形状的制造数据 >+P}S@  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 gwRB6m$  
         m-vn5OX  
    ~v.mbh  
    一般界面的制造数据 ctZ,qg*N  
    /I=|;FGq  
    oLT#'42+H  
    w`)5(~b  
    支持文件格式： U]=yCEb8p  
    - 纯文本 >v.f H6P,}  
    - ASCII码 =9GA LoGL  
    - 点云 %^IQ<   
    - CAD格式（例如，STL，IGES） tQ|c.`)W  
     lFjz*g2'  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） r ;RYGLx  
    w\bwa!3Y  
    采样高度剖面的STL导出 )!2@v@SQ  
    9&n9J^3L  
    |Ns4^2  
    ""0 Y^M2I  
    量化界面的GDSII导出 QxYm3x5  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Q)DEcx-|,  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 /?'~`4!(  
    eU1F7LS  
     
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