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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 s_wUM)!  
    2z2`  
    任务说明 H:oQ  
    cqL(^R.  
    }Zl"9A#K  
    ]EL\)xCr  
    灵活地导出制造数据： p!"(s/=  
    - 平滑的界面 sk X]8  
    - 量化界面 x*8O*!ZZ  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 !L\'Mk/=A  
     -}<g-*m"q  
    亮点 SPwPCI1?  
     导出各种表面形状的制造数据 g6' !v  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 #\FT EY!  
         .LE+/n  
    n9}RW;N+u  
    一般界面的制造数据 obGWxI%a  
    -0|K,k  
    E$S`6+x`:a  
    j@P5(3r  
    支持文件格式： 9O;vUy)  
    - 纯文本 nm):SEkC  
    - ASCII码 Ml`vx  
    - 点云 9)ea.Gu  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） :('I)C  
     @l>Xnqx)  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） !C`20,U  
    jH0Bo;  
    采样高度剖面的STL导出 )Qr6/c 8}  
    1P5LH 5  
    l{EU_|q  
    iG-N  
    量化界面的GDSII导出 T&/_e   
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 BJIQ zn3  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 bF6gBM@*  
    Kq7C0)23  
     
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