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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-24
    光整形>衍射光学 >FReGiK$T  
    gv9z`[erS  
    任务说明 o`\@Yq$.  
    ~)iQbLI  
    KJ8Qi+cZ  
    Eo_; N c  
    灵活地导出制造数据： )[5.*g@  
    - 平滑的界面 F6-U{+KU$!  
    - 量化界面 q@Sj$  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 go5l<:9  
     _eMY ?  
    亮点 9E]7Etfw  
     导出各种表面形状的制造数据 s F3M= uz  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 4AuJ1Z  
         A@JZK+WB}  
     ~b LhI  
    一般界面的制造数据 gR8vF  
    fnudu0k  
    3ypf_]<  
    JiCy77H  
    支持文件格式： )n17}Qm`V  
    - 纯文本 [USE&_RN  
    - ASCII码 I07_o"3>qr  
    - 点云 "QCViR  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Bhw|!Y&%  
     5`[B:<E4  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Zcxj.F(,  
    C\; $RH  
    采样高度剖面的STL导出 N!^5<2z@eT  
    B;xGTl@8  
    ~[4zm$R^  
    Ems0"e  
    量化界面的GDSII导出 "\1QJ  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 hS +R /7  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 \x+"1  
    m6M:l"u  
     
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