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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学  ,m,)I  
    jM\*A#Jo5  
    任务说明 <8,cuX\  
    @)K%2Y`  
    cV`E>w=D0  
    -,["c9'3  
    灵活地导出制造数据： j;+?HbL  
    - 平滑的界面 Un6/e/6,  
    - 量化界面 =|=.>?t6Z0  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 n`4K4y%Dy}  
     j) ,,"54*  
    亮点 r7Ya\0gU  
     导出各种表面形状的制造数据 Ko^c|}mh*!  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 RxQh2<?  
         JsotOic%  
    >CkjUZu]&  
    一般界面的制造数据 @u1zB:  
    R6=$u{D  
    I2H6y"p N  
    +S=Rn,  
    支持文件格式： Kt(-@\)!  
    - 纯文本 Z y_V9j[n  
    - ASCII码 9aJ%`i  
    - 点云 u<n Lag  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） oHs2L-G  
     cCR+D.F  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） a<fUI%_  
    8#Q$zLK42N  
    采样高度剖面的STL导出 /x1MPP>fu  
    ]~\sA  
    C{d7J'Avk  
    ^gFqRbuS  
    量化界面的GDSII导出 Q~Z=(rP20  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 z.}[m,oTF  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ~/_SMPLo  
    D_8x6`z  
     
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