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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 U+7!Vpq  
    F*{1, gb  
    任务说明 \O G`+"|L  
    z.6I6IfL\L  
    {K ,-fbE  
    u[b0MNE~  
    灵活地导出制造数据： Q?WgGE4>  
    - 平滑的界面 +T*]!9%<`:  
    - 量化界面 -D^.I  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 U!D\Vd  
     _2p D  
    亮点 #Ab,h#f*7  
     导出各种表面形状的制造数据 =+>^:3cCQ  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 1_RN*M +#  
         hutdw>  
    k.K;7GZC  
    一般界面的制造数据 5 cz6\A&  
    Y. 1dk  
    &?(472<f**  
    5lYzgt-oP  
    支持文件格式： geJO#;  
    - 纯文本 N3SB-E+  
    - ASCII码 m>8tA+K)+)  
    - 点云 S<=|i  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） NWt5)xl  
     r]yI5 ;  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） jB-wJNP/  
    ^,,lo<d_L  
    采样高度剖面的STL导出 jQRl-[n  
    F ?.J1]  
    `bMwt?[*  
    y_A7CG"^  
    量化界面的GDSII导出 {q^?Rw  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 8B"my\  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 kO'_g1f<[  
    ; +%|!~  
     
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