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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-24
    光整形>衍射光学 %Kx:'m%U  
    RUUV"y  
    任务说明 %N_5p'W  
    ^%V'l-}/  
    -hw^3Af  
    MW8GM}Ho[  
    灵活地导出制造数据： 9 o6ig>C  
    - 平滑的界面 nS)U+q-x&o  
    - 量化界面 T1jAY^^I  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 g-"@%ps  
     L\}o(P(  
    亮点 Cqy84!Z<  
     导出各种表面形状的制造数据 % 1ZJi}~  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 j'FSd*5m  
         QNn\wz_)  
    <QFT>#@T  
    一般界面的制造数据 F|3Te?_  
    p/L|;c  
    m`gH5vQa  
    NpqMdd   
    支持文件格式： 0>Iy`>]  
    - 纯文本 F7lhLly  
    - ASCII码 reJw&t}Q  
    - 点云 ^.)oQo SE  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Bee`Pp2  
     Jt5\  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） @dei} !e  
    m/uBM6SXx  
    采样高度剖面的STL导出 cO%-Av~P  
    0w9)#e+JS  
    V:HxRMF2X  
    chk1tFV  
    量化界面的GDSII导出 _|reo6  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 F,+nj?i!  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 (~ro_WC/I  
    wb~B Y  
     
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