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光整形>衍射光学 &8^1:CcE x.:k0;%Q 任务说明 Dqu][~oQ n!>#o1Qr N`Q[OFe nOE 1bf^l 灵活地导出制造数据: hV6=-QL*B - 平滑的界面 TM1D|H - 量化界面 ^^m3
11= - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 wzka4J { 3"pl="[* 亮点 z$q:Yg 导出各种表面形状的制造数据
Ue8k9%qV 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 _?IP}} jA: sIZ|N"2]A* + mqz)-x 一般界面的制造数据 Wz^M*=, ,7{}}l bR*/d-v^ 6x_tX 支持文件格式: J% t[{ - 纯文本 YhzDi>hob - ASCII码 i7RW8* - 点云 !UV/p"CfX - CAD格式(例如,STL,IGES) =rrbS8To= U'8ub(:& STL导出平滑界面(例如Asphere) > 10pk ;J)8#| 采样高度剖面的STL导出 NIQX?|;b{ ]("5O V5 ;Npv 2yAab \s[/{3 量化界面的GDSII导出 B9-Nb 4 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 \~YyY'J 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 o.Jq1$)~y q|[P[7z
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