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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 {GUb'J  
    vkd *ER^  
    任务说明 t G]N*%@  
    cE^kpnVq|<  
    A)OdQFet(  
    Pg7>ce  
    灵活地导出制造数据： !)NYW4"  
    - 平滑的界面 h{\t*U 54'  
    - 量化界面 /CIx$G  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 : @s8?eg  
     '^hsH1  
    亮点  NI^{$QMj  
     导出各种表面形状的制造数据 Z#CxQ D%\  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 {":c@I  
         R'Sa?6xS4  
    >+L7k^[,0  
    一般界面的制造数据 % =y;L:S\p  
    }(m1ql  
    P2O\!'aEh  
    6j_ 678  
    支持文件格式： w_\nB}_  
    - 纯文本 M/*Bh,M`  
    - ASCII码 J)_>%.  
    - 点云 { AFf:[G  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 3b e6p  
     $Ru&>D#stK  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） qbH %Hx  
    SBC~QD>L+  
    采样高度剖面的STL导出 >A<Df  
    gglf\)E;}E  
    YDW|-HIF  
    ]7*kWc2  
    量化界面的GDSII导出 ;r3}g"D@  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 (9E( Q*J5x  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 lHcA j{6  
    >$Fp}?xX  
     
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