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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 %>I!mD"X\  
    "EEE09~l\  
    任务说明 :^%s oEi  
    W\.f:"2qr  
    ^e@c Ozt  
    W}L =JJo},  
    灵活地导出制造数据： lG# &Pv>-  
    - 平滑的界面 sbK 0OA  
    - 量化界面 s^C*uP;R  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 /oiAAB27  
     6/4OFvL1  
    亮点 W\eB   
     导出各种表面形状的制造数据 @1n0<V /  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 3tXtt@Yy  
         eg(xN/D  
    bSz6O/A/  
    一般界面的制造数据 QQ2xNNF[  
    e}[$ =  
    asQ" |]m  
    !&Q,]\j  
    支持文件格式： d1y(Jt  
    - 纯文本 #S<>+,Lk  
    - ASCII码 =1yUH9\,b  
    - 点云 K:'pK1zy  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） |lJXI:G G  
     ?'T>/<(  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 00;=6q]TA  
    ?-@h Nrx  
    采样高度剖面的STL导出 ;uoH+`pf  
    ][G<CO`k  
    ybS7uo  
    I*lq0&  
    量化界面的GDSII导出 bO2$0!=I  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 QJ"B d`wc  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 T$}<So|  
    U +mx@C_  
     
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