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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 \dCdyl6V  
    N(IUNL  
    任务说明 GCIm_ n  
    _H;ObTiB  
    L>PpXTWwy  
    ~+|p.(I  
    灵活地导出制造数据： 3 =S.-  
    - 平滑的界面 :0vNg:u+  
    - 量化界面 S3n$  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 u''(;U[  
     3c ^_IuW-  
    亮点 l~\'Z2op   
     导出各种表面形状的制造数据 fdPg{3x*k  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 3 8f9jF%7j  
         w1.KRe{M  
    gsZCWT  
    一般界面的制造数据 'g$|:bw/  
    KBOxr5w  
    7o ;}"Y1  
    .lj\ H  
    支持文件格式： v/(< fI^  
    - 纯文本 _w'4f )7  
    - ASCII码 sbG3,'i)  
    - 点云 Iunt!L  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） @90)  
     ./[t'dgC  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 2avSsN{^  
    4s3n|6v  
    采样高度剖面的STL导出 dhV =;'   
    j]kx~  
    K 0b(D8!  
    *P9)M%  
    量化界面的GDSII导出 "y62Wo6m)  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 OI1&Z4Lx  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 IV!&jL  
    z m_mLk$4H  
     
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