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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 0>SA90Q  
    $%DoLpE>  
    任务说明 dL% *;   
    }g-w[w 7p  
    +%\Ci!%b  
    \h#aPG<yo  
    灵活地导出制造数据： >YWK"~|i~  
    - 平滑的界面 K<5yjG8&  
    - 量化界面 :s_.K'4?a  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 "A+7G5  
     }YdC[b$j^  
    亮点 J?J4<l9  
     导出各种表面形状的制造数据 KMy"DVqE  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 _";w*lg}  
         & tT6.@kH  
    _"Ym]y28li  
    一般界面的制造数据 .tG3g:  
    i *:QbMb  
    fTPm Fb  
    @br)m](@  
    支持文件格式： K2x2Y=  
    - 纯文本 5\h 6"/6Df  
    - ASCII码 }hg=#*  
    - 点云 9:@Xz5  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 2! ,ndLA  
     co8R-AB  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） yOEy3d=*  
    ?sdSi--  
    采样高度剖面的STL导出 +ho=0 >  
    ,i}EGW,9q  
    <bhGpLh-E  
    Q ]TZyk  
    量化界面的GDSII导出  ;303fS  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 akr2Os  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 QAxy?m,'  
    e< @$(w  
     
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