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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 \'-E[xNcWI  
    _REAzxe S  
    任务说明 ,!oR"b!  
    tQmuok4"d  
    aW;DfH  
    &a?k1R>  
    灵活地导出制造数据： -~WDv[ [  
    - 平滑的界面 <@J0 770  
    - 量化界面 )6:1`&6  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 #Mrc!pT]xy  
     -5d^n\CDK  
    亮点 USJk *  
     导出各种表面形状的制造数据 2su/I  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 JbXd9AMh2  
         F$te5 ` a  
    S)=3%toS>  
    一般界面的制造数据 GVld]ioycG  
    pMLTXqL  
    '0 J*9  
    TWSx9ii!M:  
    支持文件格式： GtpBd40"  
    - 纯文本 ]jgMN7  
    - ASCII码 /#g P#Z%  
    - 点云 4{CeV7  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 84A:Rd'k3)  
     nUf0TkA  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） .njk^,N  
    X|dlVNL8p  
    采样高度剖面的STL导出 )8*}-z  
    k\KI#.>  
    hkl9 EVO)  
    eNu]K,rT  
    量化界面的GDSII导出 6d/1PGB  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 U%rq(`;  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 Fuy"JmeR  
    N<^)tR8+  
     
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