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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 \9(- /rE  
    2Jo~m_  
    任务说明 pba8=Z  
    ^>X)"'0+  
    A6NxM8ybn+  
    Gkv~e?Kc~^  
    灵活地导出制造数据： T4~`e_  
    - 平滑的界面 t.E4Tqzc>  
    - 量化界面 w&|R5Q  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 9XoQO9*Q  
     S'!q}|7X 3  
    亮点 _))I.c=v  
     导出各种表面形状的制造数据 5`E`Kb+@  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 h^A3 0f_x  
         V'"I9R'1  
    gM3]%L_  
    一般界面的制造数据 Ob8B  
    WfRfx#MMt  
    :/v,r=Y9p  
    Ki/'Ic1  
    支持文件格式： )W`SC mr]  
    - 纯文本 ?AnjD8i  
    - ASCII码 wMz-U- z  
    - 点云 p`:*mf  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 8wII{FHX  
     SY'2A)  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） JvfQib  
    yOWOU`y?  
    采样高度剖面的STL导出 Zn@W7c,_I  
    }qiF^D}  
    SLtSqG7~  
    !8Z2X!$m{<  
    量化界面的GDSII导出 U!c]_q  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 g@@&sB-A"  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 6x_ T@  
    WHUT/:?f  
     
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