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光整形>衍射光学 EkV#i
4wv0~T$;x 任务说明 ;8=Bee4 (<B%Gy@ ~NE`Ad.G `i|!wD,=\ 灵活地导出制造数据: AxEdQRGk - 平滑的界面 &@xm< A\S - 量化界面 w3i74C&0 - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 <c5g-*V: DN%JT[7 亮点 4,@jSr|I3i 导出各种表面形状的制造数据 5222"yn"c 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 H|e7IsY% [.Fm-$M- aAP86MHO 一般界面的制造数据 m2~`EL> <FR!x#!
#"oLz"{ d_ :f- 支持文件格式: /\qzTo - 纯文本 +9]t]Vrw - ASCII码 CqWO 0 - 点云 IJ5'n - CAD格式(例如,STL,IGES) kbvF
9# ;>/Mal STL导出平滑界面(例如Asphere) mb`h L{1[:a)']B 采样高度剖面的STL导出 ;TC]<N.YJT IRR b^Q6 'k}w|gNB ltrti.& 量化界面的GDSII导出 H`k
YDp 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 /F^
Jn_ 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 %<8?$-[ 'Hj([N
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