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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 QX?moW6UW  
    Foj|1zJS_  
    任务说明 F+5 5p8  
    on hLhrZ  
    'ym Mu}q  
    YpZuAJm<2_  
    灵活地导出制造数据： w[vccARQ  
    - 平滑的界面 BSkmFd(*  
    - 量化界面 nCV7(ldmH  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 EFU)0IAL[  
     @@3 NSKA  
    亮点 [fwk[qFa  
     导出各种表面形状的制造数据 ?w'03lr%  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 OGH,K'l  
         Cw!tB1D  
    uQ ]ZMc  
    一般界面的制造数据 Y x66Xy  
    kg(}%Ih  
    <2O#!bX1  
    hw`pi6  
    支持文件格式： ,ZYPffu<*  
    - 纯文本 <D&  Ep  
    - ASCII码 1D1kjM^Bo  
    - 点云 F1}d@^K 7d  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） .LM|@OeaD!  
     ijcF[bm E  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） a$iDn_{  
    Qo]qs+  
    采样高度剖面的STL导出 18j>x3tn  
    b5~p:f-&4B  
    Ii3F|Vb G  
    YHgNL LZ?  
    量化界面的GDSII导出 ]2&RN@  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 f6( 1jx"  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 <}xgp[O  
    :v45Ls4J  
     
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