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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 DxG8`}+  
    B?;P:!/1  
    任务说明 ;<BMgO}N  
    ,UW!?}@  
    4l_~-Peh  
    ?rQIUP{D7  
    灵活地导出制造数据： P:m6:F@hO  
    - 平滑的界面 pUeok+k_  
    - 量化界面 6f;20dn 6  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ]U.*KkQ  
     uVzvUz{b  
    亮点 a7TvX{<d  
     导出各种表面形状的制造数据 --F6n/>  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 `'b2 z=j  
         lT;uL~j  
    _kUtj(re  
    一般界面的制造数据 + y|Q7+  
    }} zY]A  
    fD2 )/5j1  
    q4Y7 HE|ym  
    支持文件格式： G`,M?l mL  
    - 纯文本 0!q@b  
    - ASCII码 rWip[>^  
    - 点云 M)sAMfuUw  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） |6b&khAM  
     %G'P!xQhy  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 1F{,Zr  
    \W"p<oo|H  
    采样高度剖面的STL导出 (vwKC D&  
    B;J8^esypD  
    4ms"mIt  
    :} DTK  
    量化界面的GDSII导出 uMK8V_p*?  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 .hK:-q,  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 WO[O0!X  
    Xt$Y&Ho  
     
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