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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 1xF<c<  
    +Xjevg6DU  
    任务说明 soi.`xE  
    ("$ ,FRTQ:  
    Q'n]+%YN  
    T6=q[LpsKN  
    灵活地导出制造数据： 1=.+!Tg  
    - 平滑的界面 A/+bwCDP  
    - 量化界面 @5y ~A}Vd  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 x&PVsXdt5m  
     84uHK)h<%  
    亮点 P-c<[DSM'I  
     导出各种表面形状的制造数据 #Z.2g].  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ,F)9{ <r]  
         QY]G+3W  
    ywS2` (  
    一般界面的制造数据 aE'nW@YL.  
    6xsB#v*  
    %x G3z7;  
    2|C(|fD4  
    支持文件格式： j(SBpM  
    - 纯文本 KqH_?r`  
    - ASCII码 RN"O/b}qQ  
    - 点云 4`Z8EV  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） yDdi+  
     E")g1xGaK  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） '&#YaD=""  
    Xzp!X({   
    采样高度剖面的STL导出 ca{u"n  
    ^Td_B03)  
    78[5@U  
    ILQB%0!  
    量化界面的GDSII导出 |{G GATni  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 D ^~G(m;-  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ZSo#vQ  
    ;[~:Y[N  
     
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