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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    光币
    20293
    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 6小时前
    光整形>衍射光学 &8^1:CcE  
    x.:k0;%Q  
    任务说明 Dqu][~oQ  
    n!>#o 1Qr  
    N`Q[OFe  
    nOE 1bf^l  
    灵活地导出制造数据： hV6=-QL*B  
    - 平滑的界面 TM1D|H  
    - 量化界面 ^^m3 11=  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 wzka4J{  
     3"pl="[*  
    亮点 z$q:Y g  
     导出各种表面形状的制造数据 Ue8k9%qV  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 _?IP}}jA:  
         sIZ|N"2]A*  
    +mqz)-x  
    一般界面的制造数据 Wz^M*=,  
    ,7{}}l  
    bR*/d-v^  
    6x _tX  
    支持文件格式： J% t[{  
    - 纯文本 YhzDi>hob  
    - ASCII码 i7RW8*  
    - 点云 !UV/p"CfX  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） =rrbS8To=  
     U'8ub(:&  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） >10pk  
    ;J)8#|  
    采样高度剖面的STL导出 NIQX?|;b{  
    ]("5O V5  
    ;Npv 2yAab  
    \s[/{3  
    量化界面的GDSII导出 B9-Nb 4  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 \~YyY'J  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 o.Jq1$)~y  
    q|[P[7z  
     
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