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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 Rcf_31 L  
    :9c QK]O6  
    任务说明 +J$[RxQ#  
    E'$r#k:o  
    -<}_K,Ky`  
    d>NElug  
    灵活地导出制造数据： Y-n* K'  
    - 平滑的界面 #:z.Br`  
    - 量化界面 E/LR(d_  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Gw3|"14  
     @6ZQkX/  
    亮点 %\[LM$f{z  
     导出各种表面形状的制造数据 npz*4\4  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 DI**fywu[3  
         Yv9(8  
    hti)<#f  
    一般界面的制造数据 R#Id"O  
    Tm[IOuhM'?  
    T\b e(@r  
     F[115/  
    支持文件格式： uFb&WIo1  
    - 纯文本 |>GtClL  
    - ASCII码 _7]* 5Pxo  
    - 点云 NXDdU^w7B  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） E@R7b(:*  
     {Rjj  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） +K;(H']Z<-  
    Fc7mAV=  
    采样高度剖面的STL导出 \Q?r+VZ  
    ?^2(|t9KU  
    z`xdRe{QP  
    [st4FaQ36  
    量化界面的GDSII导出 (5;w^E9*n;  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Wze\z  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 >Rjk d>K3  
    -O\!IXG^  
     
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