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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 &Yp+k}XU  
    p*|ah%F6N  
    任务说明 ga-{!$b*  
    .Gh%p`<  
    2F1ZAl  
    *>k!hq;j  
    灵活地导出制造数据： }W$8M>l  
    - 平滑的界面 ASW4,%cl  
    - 量化界面 lEHwZ<je  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 zmI5"K"'F  
     %M9;I  
    亮点 KAed!z9  
     导出各种表面形状的制造数据 =}v ;1m  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 1Bg_FPu  
         vU!8`x)  
    IIxJqGN:  
    一般界面的制造数据 /7gi/uh~-(  
    IaLMWoh  
    R:/ha(+  
    p<KIF>rf|  
    支持文件格式： R& #tSL  
    - 纯文本 nUc;/  
    - ASCII码 KCUU#t|8V\  
    - 点云 BwxnDeG)  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） :y# T9R9  
     QR"bYQ  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） B3mS]  
    3]/.\(2  
    采样高度剖面的STL导出 ; 0ko@ \Lq  
    ^s{hs(8%R  
    \dcdw* v@  
    S`iR9{+&  
    量化界面的GDSII导出 }>}1oUCi  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 NZk&JND  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 YT=eVg53  
    0xCz'mJ  
     
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