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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 'm2,7]  
    o1n c.2/0J  
    任务说明 5mFi)0={y  
    5X`.2q=d  
    W B!$qie\  
    :\bttPw5  
    灵活地导出制造数据： @{ nT4{  
    - 平滑的界面 mB1)!  
    - 量化界面 hVGakp9WE  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 <4O=[Q5S  
     =vK(-h  
    亮点 _8S).*  
     导出各种表面形状的制造数据 W:) M}}&H  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Ko%rB+d  
         +pF z&)?  
    aoJ&< vl3  
    一般界面的制造数据 2#E;5UYu  
    +QHhAA$  
    ]7VK&YfN  
    UWusSi3+LG  
    支持文件格式： ar^`r!ABEh  
    - 纯文本 }F3Z~  
    - ASCII码 Zv-6H*zM6  
    - 点云 {==Q6BG*  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） b#y}VY)?  
     DX!$k[  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 5S7Z]DXiT8  
    J`x9 XWYw  
    采样高度剖面的STL导出 R -h7c!ko  
    3$kZu  
    'rF TtT  
    L`Ic0}|lzy  
    量化界面的GDSII导出 A5/h*`Q\\  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Kp&d9e{ Yc  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 .6'T;SoK>  
    2xnOWW   
     
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