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光整形>衍射光学 0M 5m8 TtP2>eh- 任务说明 +<w\K* ><"0GPxrx C^nTLw;K s!WI:E7 灵活地导出制造数据: esK0H<] - 平滑的界面 B%/N{i*Z - 量化界面 H:.l:PJ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 %S]g8O[}nl GKa_6X_ 亮点 6'qu[~}Q 导出各种表面形状的制造数据 2*}qQ0J 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 DI7g-h8` %mMPALN]{ Kld#C51X f 一般界面的制造数据 zM!2JC 0:qR,NW^# x$=""?dd Z^r?
MX/ 支持文件格式: q1vsvL9Q - 纯文本 -1c{Jo - ASCII码 a F%V - 点云 <-F[q'!C1 - CAD格式(例如,STL,IGES) NAh^2X X^9eCj;c STL导出平滑界面(例如Asphere) eGQ-Ht,N "*Gp@ 采样高度剖面的STL导出 [WW ~SOJe od RtJ[
L}\~) )T!3du:M 量化界面的GDSII导出 y$U(oIU> 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 3jDAj!_ea 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 C7xmk;c
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