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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 0M 5m8  
    TtP2>eh-  
    任务说明 +<w\K*  
    ><"0GPxrx  
    C^nTLw;K  
    s!WI:E7  
    灵活地导出制造数据: esK0H<]  
    - 平滑的界面 B%/N{i*Z  
    - 量化界面 H:.l:PJ  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 %S]g8O[}nl  
    GKa_6X_  
    亮点 6'qu[ ~ }Q  
     导出各种表面形状的制造数据 2*}qQ0J  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 DI7g-h8`  
         %mMPALN]{  
    Kld#C51X f  
    一般界面的制造数据 zM!2JC  
    0:q R,NW^#  
    x$=""?dd  
    Z^r? MX/  
    支持文件格式: q1vsvL9Q  
    - 纯文本 -1c{Jo  
    - ASCII码 aF%V  
    - 点云 <-F[q'!C1  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) N Ah^2X  
    X^9eCj;c  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) eGQ -Ht,N  
    "*Gp@  
    采样高度剖面的STL导出 [WW ~SOJe  
    od RtJ[   
    L}\~)  
    )T!3du:M  
    量化界面的GDSII导出 y$U(oIU>  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 3jDAj!_ea  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 C7xmk;c w  
    #D|n6[Y'.t  
     
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