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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 $S3C_..  
    \iO ,y:  
    任务说明 %~G)xK?W*  
    CSIW|R@   
    'BtvT[KM  
    SmC91XO  
    灵活地导出制造数据： yA =#Ji  
    - 平滑的界面 k${25*M!3  
    - 量化界面 uBH4E;[f  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 >'7Icx  
     kwWDGA?zFB  
    亮点 "}(*Km5Po  
     导出各种表面形状的制造数据 -=@d2LY  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 =`99ez+y  
         ;MR8E9  
    =J<3B H^m  
    一般界面的制造数据 0.=dOz r  
    42~tdD  
    o4\\q66K  
    1F{c5  
    支持文件格式： Qw}uB$S>  
    - 纯文本 ?s6v>#H%  
    - ASCII码 5$d>:" >  
    - 点云 EWrIDZi  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） )pbsvR_  
     kq8.SvIb  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） YZMSiDv[e  
    <Y:{>=  
    采样高度剖面的STL导出 "A6m-xE~  
    =+DfIO  
    3f@@|vZF  
    kNR -eG  
    量化界面的GDSII导出 0*]n#+=  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 UQ c!"D  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 e#!%:M;4P  
    k#liYw I  
     
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