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光学测量＞显微 D<5)i)J" U 2/H,D 任务/系统描述 qfvd( w a kgXI^K
 )<9g+^ >>Hsx2M 亮点 zC!]bWsD
o1MI&}r
 1gts =g . FIlw 显微镜系统中对光栅进行完全矢量分析 ~el#pf~ 对复杂系统进行数秒内的快速高性能分析 (\.[pj%-O 在光线追迹以及物理光学建模间简单切换 2{!'L'km n99:2 r_ 说明：光源 2GX Aq~h@ Wt()DG|[  AvRZf-Geg : aLShxKA 说明：透镜系统 N+\#k*n? y.JAtsxD  5|x&Z/hL
t #MU2b 说明：样品结构 |^C?~g r-'\<d(J$  ./jkY 7
k j\q1b:pE 说明：探测器 {z|0Y&>[= 39S}/S)  R un)E*sf s2_j@k?% 结果：3D光线追迹 ,;;M69c[
x R +P,kD?
 LPb4 3 ly%$>BRU 结果：场追迹矩形光栅 JxiLjvI q UB&ofO  bPC {4l
muT+H(Z p} 结果：场追迹锯齿形光栅 4o9#B:N]J  35) ]R`f ?{\8!_Gvsl
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