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光学测量＞显微 +CXq41g"c = .) :tGDp 任务/系统描述 1CJAFi>%D s heCwhV
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 ta'wX ivt ~ S 显微镜系统中对光栅进行完全矢量分析 S0LaQ <9. 对复杂系统进行数秒内的快速高性能分析 m& D#5C 在光线追迹以及物理光学建模间简单切换 ~~m(CJ4S ,Vof<,x0 说明：光源 +=nWB=iCb ,,Ivey!kL  D^U?!S&4~ u% =2g'+)_ 说明：透镜系统 Qv] rj]% KYl!Iw67d  ~8-xj6^
glBS|b$\: 说明：样品结构 [F{P0({%? ,s:vi Xk  O3#eQs F%O+w;J4 说明：探测器 gr# |ZK.` j6L (U~%  f9)0OHa lvLz){ 结果：3D光线追迹 wLvM< p7OX 4[Wwm
 oR3t vw. lB8g D 结果：场追迹矩形光栅 i|28:FJA mMO]l(a&  ,rNud]NM8
Oq)7XL4 结果：场追迹锯齿形光栅 ),^pi?  .kgt? r
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