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光学测量＞显微 K63OjR >H `k+ci7; 任务/系统描述 +4Aj/$%[q dzjp ,c@
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 ~Y7>P$G) 6U Q~Fv`] 显微镜系统中对光栅进行完全矢量分析 &GG J=c\ 对复杂系统进行数秒内的快速高性能分析 FO<PMK 在光线追迹以及物理光学建模间简单切换 DI{VJ&n66 $nUhM|It 说明：光源 UMILAoR )"/.2S;  3yX^ 93 pZ,=iqr 说明：透镜系统 ?1T)cd* w
&1_k:Z&  sG7G$G*ta!
-GJ~xcf0 说明：样品结构 3k(A&]~v vMu6u . e  RZoSP(6 Lp.dF)C\ 说明：探测器 % CV @FdB RL4J{4K  i/ E" E7 |L[/]@| 结果：3D光线追迹 <| 8N\FU{ p{ X?_ F
 (yA`h@@WS f8 E,.$> 结果：场追迹矩形光栅 2n+tc Of0(.-Q w  _zt)c!
iga.B 结果：场追迹锯齿形光栅 pse$ S=  6i' GM`>w yhm6%
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