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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 /ap3>xkt  
    4{4VC"fa  
    ))m\d*  
                                                             @-=0T!/  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 tb36c<U-  
                                                                 LG3D3{H(.  
    建模任务                                                         a!rU+hiC  
    `&y Qtj# '  
     6HocF/Ye  
    & -L$B  
    光栅元件   _wMxKM  
    }2c)UQD8  
                                                             Z./$}tVUG  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 5hN)y-4@  
    • FMM/RCWA RlW0U-%u  
    • Diffractive Lens Component %L(;}sJ.  
                                                                 qj|P0N{7  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       WOBLgM,|  
    fNR2(8;}  
                                                         Sd[%$)scC  
    b7-M'-Km0_  
    正弦光栅-传输相位形态     xE>H:YPm  
    zv[$ N,  
                                                         8i$quHd&x  
    n!Hj4~T0  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         { 3,_i66  
    K9-;-{qb  
     -_@zyF<G  
    xib?XzxGo  
    正弦光栅-衍射效率 <46> v<  
    K|^PHe  
                                                                 c,@&Z#IZ`  
    }-`N^  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       YkWv*l  
    T0HNld  
           rK` x<  
    o,qq*}=  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   )ZZjuFQJ)  
                                           }+mIP:T  
    RBOb/.$  
                                                                 t)qu@m?FZ)  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) vbA<=V*P  
    t+9[ki  
                                                                6chcpP0  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         da[=d*I.  
    %<dvdIB  
    Zc!rL0T  
     PI G3kJ  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ,5*Z<[*  
    ) |t;nK,  
     {beu  
                                                                 7C;oMh5  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         IL0e:-@!0  
    nj1TX  
     5S9i>B  
                                                                 r!+..c  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Aj{c s  
    KIRCye  
     ;{L~|q J  
     
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