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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 /XN*)m  
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    ZRUh/<\[  
                                                             D*qzNT@`LR  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 \1~I04'=  
                                                                 P$Ax c/H  
    建模任务                                                         D?%e"*>  
    1aVgwAI  
     s 8Jj6V  
    lR, G;  
    光栅元件   F-$Kv-f  
    uO6c3|Zjs  
                                                             1BTgGF  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: f7S^yA[[  
    • FMM/RCWA SK}HXG{?  
    • Diffractive Lens Component |^Ur  
                                                                 3/:LYvM<  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       [rc'/@L  
    FDl,Ey^r/  
                                                         ^971<B(v  
    :C> J-zY  
    正弦光栅-传输相位形态     'aNahzb  
    n|J.)E.  
                                                         p FXd4*  
    ,b.kw}k  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         RsR] T]4  
    9DmSs=A  
     V2lp7"  
    v]l&dgoT  
    正弦光栅-衍射效率 zV6AuUIt  
    LciL/?  
                                                                 {jrZ?e-q  
    Hxj'38Y  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       B #;s(O  
    VyRW'  
           (R,NV3m?w  
    3KDu!w@  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ?&{S~[;l  
                                           U.d'a~pH  
    2LtU;}7s  
                                                                 X S6]C{  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ](]*]a4ss  
    nomu$|I  
                                                               nLzX Z6JlU  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Q9Q!9B @  
    i0i.sizu  
    .LWOM8)  
     F+lm[4n  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         "cIGNTLFA  
    v$qpcu#o  
     0G+L1a-  
                                                                 GZxglU,3T  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Q>cL?ie  
    XfD z #  
     u>JqFw1  
                                                                 !&1}w86  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         K7)j  
    fRZUY <t  
     ?{y:s!!  
     
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