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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-14
    摘要 Cl4y9|  
    42t D$S5^  
    N;RZIg(x  
                                                             p;BdzV>  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 GEIMCg(TRj  
                                                                 rWi9'6  
    建模任务                                                         <F>\Vl:  
    18V*Cu  
     ;z)$wH0xc  
    NzNAhlXj3  
    光栅元件   c3i|q@ k  
    JL2IVENWc  
                                                             D-A#{e _  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 7Dom[f  
    • FMM/RCWA ;Z C18@  
    • Diffractive Lens Component ks sXi6^  
                                                                 2%1 g%  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       :h*20iP  
    09%q/-$  
                                                         Z(*n ZT,  
    !bT0kP$3}  
    正弦光栅-传输相位形态     FbW kT4t|  
    H*EQ%BLW^,  
                                                         t<}'/ )  
    u#la+/   
    正弦光栅-传输相位形态                                                         tNmH*"wR<  
    aW4tJN%!  
     VlXIM,  
    Mwp#.du(  
    正弦光栅-衍射效率 1S0Hc5vw  
    tN";o\!}  
                                                                 v#YO3nD  
    qV9`  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       peR=J7  
    :[|`&_D9J  
           L'"20=sf  
    o9q%=/@,  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Wq F(  
                                           ;&;coH8`  
    yTkYPx  
                                                                 ~=Er= 0  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) u)R>ozER  
    NVeb,Pf  
                                                               `H+ 7Hj  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Y?ZTl762  
    roj/GZAy"  
    `k^ i#Nc>  
     ;=*b:y Y  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ;7tOFsV  
    w v9s{I{P  
     h7[VXE  
                                                                 nU)}!` E  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         `lN1u'(:  
    qSkt }F%'  
     DY~~pi~  
                                                                 pb_mW;JVu  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ruB&&C6)v  
    aE1h0`OT  
     QbxjfW"/+  
     
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