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摘要 8A}w}h >_P7 k5Y^
}#'wy lP& 7U 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 Aifc0P-H M*FUtu 建模任务 sS;6QkI"y ,#[0As29u
j_*$Avy 1ael{b! 光栅元件 6nh!g 1>P[3Y@}
qd#?8 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: c7Sa|9*dR • FMM/RCWA vN:gu\^- • Diffractive Lens Component lo*OmAF S9R(; 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) y\Kr@;q0w D+ mZ7&L
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Qd;P?W6 正弦光栅-传输相位形态 XWN
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Fb=(FQ2Y? stuj,8 正弦光栅-传输相位形态 HA&7
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_+PiaJ&' I^"ouM9}Q 正弦光栅-衍射效率 zaW y7@? F: %-x=q
yO*~)ALb+ it]im 正弦光栅-效率vs. 周期 TI4#A E ~!UC:&UKo
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]o7 正弦光栅—选定周期的相位形态 p=%Vo@*] XN9s!5A<L) :5Vk+s]8 .4on7<-a 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 2%| MmiC%"7wt
MU6|>{ 闪耀光栅-传输相位形态 HVO
mM17 },58B AsFn%8_I p}q27<O*/ 闪耀光栅-衍射效率 ^X-3YhJ4U <vMna< /d
ql"&E{u? t8X$M;$ 闪耀光栅-效率vs.周期 9V&}% ,=sbK?&
Ku;|Dz/=o PWeCk2 xH 闪耀光栅-选定周期相位形态 ^u'hl$`^ k1tJ$}
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