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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 j)ZvlRi,  
    IK5FSN]s/  
    & i"33.#]  
                                                             _'<V<OjVM!  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 kRs[H xI3  
                                                                 {dvrj<?  
    建模任务                                                         iY"I:1l.  
    9+@"DuYc6  
     ,OWdp<z  
    !P/ ]o  
    光栅元件   H6E@C}cyM  
    MuB8gSu  
                                                             }'$6EgX  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 3U<\y6/  
    • FMM/RCWA h`+Gs{1qw  
    • Diffractive Lens Component *V#v6r7<Y/  
                                                                 1<A+.W  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       !VpZo*+   
    ;y<)RM  
                                                         d='z^vHK  
    o O%!P<D  
    正弦光栅-传输相位形态     $de_>  
    "BjQs<]%sF  
                                                         P]!$MOt  
    Na: M1Uhb  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         _/ j44q  
    "F>-W \%  
     d|TRP,y  
    X +;Q=  
    正弦光栅-衍射效率 2#_9x7g+  
    -`wGF#}y(=  
                                                                 D}"\nCz}y&  
    +A W6 >yV`  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       95(c{ l/  
    ~cSC-|$^&  
           q9pBS1Ej  
    V'c9DoSRI\  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ]w%7/N0R  
                                           W()FKP\??!  
    y[q W>  
                                                                 v|_?qBs"  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) L3Ry#uw  
    vb: '%^v  
                                                               8v1asFxs.  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         9rB^)eV  
    y>2v 9;Qp  
    |:!#k A  
     DetBZ.  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         oLruYSaD  
    XT>e/x9'  
     3I:DL#f  
                                                                 wgLS9.  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         "R*B~73  
    .%->   
     }C" #b\A2  
                                                                 q>Px   
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ,)]ZD H  
    !}1n?~]`  
     nkhM1y  
     
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