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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 n1;V2k{uV  
    8vP d~te  
    f'.yM*  
                                                              ipyO&v  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 .[_&>@bmrP  
                                                                 :8 )4:4$^  
    建模任务                                                         c9ZoO;  
    $qEJO=v  
     ^#Z(&/5f0  
    Cn{UzSKfs  
    光栅元件   Cy2X>Tl"<E  
    >:Oo[{)  
                                                             \Lc]6?,R  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: nrxN_0 R%  
    • FMM/RCWA ^1nf|Xj [  
    • Diffractive Lens Component yT,UM^'  
                                                                 d6n6= [*  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       P$oa6`%l  
    >AfJxdd1  
                                                         5&xvY.!27V  
    3)eeUO+  
    正弦光栅-传输相位形态     Wx-{F  
    \e?T 9c6,  
                                                         ~/Ry=8   
    Gs9jX/ #  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         jjbw.n+1  
    JBg>E3*N  
     D0-e,)G}V,  
    iy4JI,-W  
    正弦光栅-衍射效率 ew0 )  
    vTP_vsdeG  
                                                                 \:#b9t{B-  
    :,u+[0-S  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       kjmF-\  
    <0vvlOL5  
           Op0 #9W  
    _1hqD EM  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   'nLv0.7*  
                                           qI"mW@G~H  
    @s[bRp`gd  
                                                                 aL`pvsnF  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) <)&ykcB  
    h'}5 "m  
                                                               uu/M XID  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         [_~U<   
    n/6A@C  
    +Q '|->#  
     |~/{lE=I  
    闪耀光栅-衍射效率                                                          {jl4`  
    2<O hO ^  
     jC@^/rMh  
                                                                 y^XwJX-f  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         HR}c9wy,q\  
    :[rx|9M6  
     &sKYO<6K }  
                                                                 8e-{S~@W  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         vS0P] AUo  
    J2R<'(  
     UFl*^j_)]  
     
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