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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 eIl&=gZ6>  
    eSf:[^  
    -ybupUJcbv  
                                                             ~*Wb MA  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ?Ci\3)u,P  
                                                                 lnUy ? 0(  
    建模任务                                                         `^x^= og'  
    co|0s+%PBq  
     &bNj/n/  
    AmFHn  
    光栅元件   s,= ^V/c  
    ,$>Z= ~x*  
                                                             R7>@-EG  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: sy?W\(x  
    • FMM/RCWA lRq!|.C  
    • Diffractive Lens Component mbK$Wp#  
                                                                 x(Z@ R\C-a  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       k5/}S@F8  
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                                                         _4w%U[GT,  
    :4dili4|/  
    正弦光栅-传输相位形态     dEn hNPeRl  
    >#Y q&@G  
                                                         hB4.tMgZ  
    muLTYgaM  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         l;fH5z  
    !.A>)+AK  
     {z7{ta  
    mCo5 Gdt  
    正弦光栅-衍射效率 }HzZj;O^2>  
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                                                                 1*"Uc!7.%  
    (`N/1}vk  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       &W%TY:Da|  
    {rDZKy^f  
           6)8']f  
    E*$:~w  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   J&?kezs  
                                           @9L9c  
    gDrqs>8  
                                                                 r]yq #T`z  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) |cacMgly  
    7g$t$cZby,  
                                                               TFhj]r^ {  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         H0S7k`.  
    BdTj0{S1u  
    l40$}!!<  
     xFJ>s-g*  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         `u-}E9{  
    X$aMf &x  
     Ce:kMkJ  
                                                                 9D bp`%j  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         6 B )   
    otOl7XF  
     AxeWj%w@  
                                                                 !(]|!F[m  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         cb+!H>+  
    ]Vubz54  
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