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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 rF:l+I]  
    gc"A Tc  
    X[;-SXq  
                                                             J^xIfV~ zt  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 #sJL"GB  
                                                                 _]"uq/UWp  
    建模任务                                                         *_,: &Ur  
    }P(<]UF  
     6qYK"^+xu  
    G{!adBna  
    光栅元件   f$I$A(0P  
    &XF@Dvv  
                                                             s<b(@L 1  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: dZ;rn!dg>  
    • FMM/RCWA .EXxNB]%Y&  
    • Diffractive Lens Component L8.u7(-#  
                                                                 \*i[m&3;q  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       D@iE2-n&V  
    $:!L38[7$  
                                                         mO0a: i!  
    G$7!/O%#_  
    正弦光栅-传输相位形态     yGZsPQIaV  
    DMpNm F>  
                                                         ?'%9  
    RuBL_Vi  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         @S#Ls="G  
    9zac[t no  
     'M=c-{f~  
    C[2LP$6*/  
    正弦光栅-衍射效率 E7AYK&  
    ~z&Ho  
                                                                 hY}.2  
    &:}}T=@M1  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       2y` :#e`x1  
    O tD!@GQ6  
           T.B} k`$  
    n\'@]qG)Z4  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   0?/vcsO  
                                           EhK~S(r^  
    S<=|i  
                                                                 wpS $ -  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) )sBbmct_S  
    ^h~oxZJw  
                                                               0OF]|hH  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         l>{+X )  
    yaWHGre  
    x^u [L$  
     jdW#; ]7+y  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         }v$T1Cw  
    J]mq|vE  
     a/s6|ri`0  
                                                                 A;e0h)F$-  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         \h UE, ^  
    +8eW/Bs@2  
     ~h@<14c{X  
                                                                  OYwH$5  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ow@1.5WL+  
    [>xGynU0  
     [X=J]e^D  
     
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