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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 sH>Z{xjr  
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    I+Q`i:\,q  
                                                        
    *WQ}ucE^#  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 IJ%S[>  
                                                                 VS#i>nlT  
    建模任务                                                         z5CWgN  
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    光栅元件   pEjA*6v|,  
    [p +h b  
                                                        
    ~?pF'3q  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 6c3+q+#J2  
    • FMM/RCWA L}&U%eD  
    • Diffractive Lens Component hwmpiyu   
                                                                 od- 0wJN-m  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       HHbkR2H1  
    NC 0H5  
                                                    
    7^bO`  
    9oteQN{9  
    正弦光栅-传输相位形态     RN?z)9!  
    W`C&$v#  
                                                    
    &8Cuu$T9)  
    7CGKm8T  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         K/ q:aMq  
    x@I@7Pvo3  
    fN8|4  
    K%<Z"2!+  
    正弦光栅-衍射效率 _|MY/SN4A  
    ;6o p|  
                                                            
    BPnZ"w_  
    K5Fzmo a  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       $4V ~hI 4  
    9-+6Ed^2  
      
    46'EZ@#s  
    }6P]32d  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   q_8qowu"  
                                      
    _Y*: l7  
    zxCxGT\;  
                                                                 0\AYUa?RM  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) TA=Ij,z~  
    ^/HE_keY  
                                                          
    %@U<|9 %ua  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         apUV6h-v  
    5:f}bW*  
    >Lanuv)O  
    Nuk\8C  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         FXFQ@q*}v  
    J$PE7*NU  
    &adKKYN  
                                                                 il-v>GJU7{  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         $g#j,  
    SSi}1  
    +v&+8S`+  
                                                                 rQK2&37-,@  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         SZc6=^$  
    ltHC+8 aZ  
    iD@2_m)  
     
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