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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-14
    摘要 777rE[\@b  
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    hqWbp*  
                                                             64b<0;~  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ` Rsl] GB  
                                                                 tKX}Ok:V%  
    建模任务                                                         ip674'bq7R  
    s%bUgO%&  
     :OX$LCi  
    lkN'uZ  
    光栅元件   [DL|Ht>  
    `M6YblnJZ  
                                                             PgTDjEo  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: h/{8bC@bi  
    • FMM/RCWA AW62~*  
    • Diffractive Lens Component :Ip~)n9t  
                                                                 T&!ZD2I  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       `L;OY 4  
    M(NH9EE  
                                                         e-jw^   
    rF'<r~Lw  
    正弦光栅-传输相位形态     fvO;lA>`  
    ` )]lUvR  
                                                         =_uol8v  
    Slo9#26  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         4xpj<  
    <qr^Nyo4  
     v/ eB,p  
    =J`gGDhGY-  
    正弦光栅-衍射效率 a\>+=mua  
    ;i/"$K  
                                                                 u9 %;{:]h  
    #Af)n(  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       T4vogoy  
    > Z]P]e  
           NuI T{3S  
    ]|t9B/()i  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   l,^xX =,  
                                           J/L)3y   
    \?r$&K]4  
                                                                 3V"dG1?  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) f8R+7Ykx  
    eS* *L 3  
                                                               ktU9LW~  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                          Ls lM$  
     .fbYB,0w  
    w<btv]X1  
     Ia=&.,xub  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         *>G ^!e.u  
    @Ap@m6K?q  
     m9%yR"g9  
                                                                 bJANZn|H  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Zp^)_ 0  
    |&9tU  
     o.p+j  
                                                                 b8eDD+ulk  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         U`:lAG  
    m2jwqx{G  
     3D{82*&  
     
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