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摘要 sH>Z{xjr kXq*Jq
I+Q`i:\,q *WQ}ucE^# 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 IJ%S[> VS#i>nlT 建模任务 z5CWgN $z9z'^HqO
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f 光栅元件 pEjA*6v|, [p+h b
~?pF'3q 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 6c3+q+#J2 • FMM/RCWA L}&U%eD • Diffractive Lens Component hwmpiyu od- 0wJN-m 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) HHbkR2H1 NC 0H5
7^bO` 9oteQN{9 正弦光栅-传输相位形态 RN?z)9! W`C&$v#
&8Cuu$T9) 7CGKm8T 正弦光栅-传输相位形态 K/ q:aMq x@I@7Pvo3
fN8|4 K%<Z"2!+ 正弦光栅-衍射效率 _|MY/SN4A ;6o p|
BPnZ"w_ K5Fzmo a 正弦光栅-效率vs. 周期 $4V ~hI4 9-+6Ed^2
46'EZ@#s }6P]32d 正弦光栅—选定周期的相位形态 q_8qowu" _Y*:
l7 zxCxGT\; 0\AYUa?RM 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) TA=Ij,z~ ^/HE_keY
%@U<|9 %ua 闪耀光栅-传输相位形态 apUV6h-v 5:f}bW* >L anuv)O Nuk\8C 闪耀光栅-衍射效率 FXFQ@q*}v J$PE7*NU
&adKKYN il-v>GJU7{ 闪耀光栅-效率vs.周期 $g#j, SSi}1
+v&+8S`+ rQK2&37-,@ 闪耀光栅-选定周期相位形态 SZc6=^$ ltHC+8aZ
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