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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 $,J}w%A  
    4].o:d;`/  
    J4"A6`O  
                                                             RRPPojKZ  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 iLIb-d?!a&  
                                                                 j6EF0/_|e  
    建模任务                                                         )c&ya|h  
    X'<RqvDc5  
     1/m$#sz  
    _B#x{ii  
    光栅元件   \Cu=Le^  
    tM;cvc`/  
                                                             pi~5}bF!a  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 6IV):S~  
    • FMM/RCWA [uHU[ sG  
    • Diffractive Lens Component S6(48/  
                                                                 p<(a);<L  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       Uz_p-J0  
    (*P`  
                                                         ?4U4o<   
    E"_{S.Wc  
    正弦光栅-传输相位形态     OblHN*  
    oJ %Nt&q  
                                                         9#9bm  
    ?g{[U0)  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         zN!yOlp5  
    g*My1+J!  
     iAQ[;M 3p  
    Iy49o!  
    正弦光栅-衍射效率 Y @'do)  
    oA[`| ji  
                                                                 ^7/v[J<<  
    kJJiDDL0;*  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       \Db;7wh  
    -k7b# +T  
           b#p0s?*  
    z^`4n_(Ygu  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   &WBpd}|+Y  
                                           F?R6zvive  
    BHAFO E  
                                                                 9ybR+dGm+  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 6]%=q)oL[  
    hWbu Z%  
                                                               :t!J 9  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         B=K<k+{6"  
    #*qV kPX  
    ~y"R{-%uS  
     Qc-W2%  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         KTT!P 4  
    0@b<?Ms9  
     4cSs=|m?+  
                                                                 5I6?gv/  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         USN'-Ah  
    \mGb|aF8  
     .wd7^wI^S  
                                                                 XchD3p+uB  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         8 A]8yX =  
    GY-4w@Wl  
     Z{B[r;  
     
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