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摘要 Ok({Al1A,w [dU/;Sk5
7qXgHrr0|U S_2I8G^A 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 dGh<R|U3 ieS5*@^k 建模任务 HNjkRl)QR [AX).b
)vGRfFjw_ rzaEVXbz1 光栅元件 ;N"XW=F4e s9`T% pg
ocgbBE 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 7P|(j<JX6' • FMM/RCWA ]P<&CEk • Diffractive Lens Component "v*RY "5# [S</QS! 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) 5-mJj&0:! *%)L?*
~Nc]`95 PL+fLCk,I 正弦光栅-传输相位形态 H V dnIBAe
l3iL.?&Pa 'pm2C6AC 正弦光栅-传输相位形态 x-Mp6 4qm5`o\hb
Qn*c<: 3?5
~KxOE( 正弦光栅-衍射效率 Ha+FH8rZ ^jmnE.8R
? ! 1uw 3&?Tc|F+ 正弦光栅-效率vs. 周期 .cZ&~ N ([9h.M6v
<&L;9fr hU=J^Gi0 正弦光栅—选定周期的相位形态 *!s4#|h y6PAXvv'{ 3.dUMJ$_ "!Qhk3* 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) T:!sfhrZ~< {YGz=5 ^
RD_;us@&&* 闪耀光栅-传输相位形态 g3Xz- wyc,Ir q]r!5&Z |