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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 s%>8y\MaK  
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                                                             B[#n,ay  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 k{hNv|:,  
                                                                 wuk\__f4  
    建模任务                                                         s5Wb iOF  
    l]Ym)QP  
     _2}~Vqb+  
    a"t~ K  
    光栅元件   B(} 'yY@%u  
    X8R:9q_  
                                                             >p;&AaXkoG  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: pp7 $Q>6  
    • FMM/RCWA R9"}-A  
    • Diffractive Lens Component I36%oA  
                                                                  &"27U  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       3u+i  
    ;mGPX~38  
                                                         + 660/ e8N  
    t y4R2LnC  
    正弦光栅-传输相位形态     V\]j^$  
    ?2\oi*$  
                                                         5~im.XfiVx  
    gSj0+|  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         G-R83Orl  
    ]w$cqUhM  
     >ZeARCf"f  
    2dHsM'ze  
    正弦光栅-衍射效率 K@*4=0  
    y9LO;{(  
                                                                 [?qzMFb  
     '.>y'=  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ,`k6 @4  
    =K|#5p`  
           utl-#Wwt/  
    ^,5%fl  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   s16, *;Z  
                                           >Bdh`Ot-!  
    >ke.ZZV?  
                                                                 ]s E)-8  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) i: jB  
    FU J<gqL  
                                                               P>_9>k@;Q  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         :2/ jI:L~  
    Oo FMOlb.Z  
    \7#w@3*  
     GRVF/hPn  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ?$uF(>LD  
     4~ L1~Gk  
     PlK3;  
                                                                 ?,+&NX3m  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         fR+{gazk n  
    G -K{  
     xO<%lq`  
                                                                 nt-_)4Fm  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         4sRg+mMI  
    >H5t,FfQL  
     KsK]y,^Z  
     
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