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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 h^kNM8  
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                                                             9w;J7jgOT!  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 3H#/u! W  
                                                                 :*:fu n  
    建模任务                                                         _ZM9 "<M-X  
    DPQGh`J  
     F%Umau*1  
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    光栅元件   oEoJa:h  
    'oZn<c`  
                                                             vLFaZ^(  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: LiD |4(3  
    • FMM/RCWA y<%.wM]-J  
    • Diffractive Lens Component 1 lCikS^c  
                                                                 -s%-*K+,W  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       8Gl5)=2  
    3hf ;4Mb  
                                                         o/ g+Z  
    %_R|@cyD  
    正弦光栅-传输相位形态     dN\P&"`  
    \.;ct  
                                                         R5&$h$[/  
    GHC?Tp   
    正弦光栅-传输相位形态                                                         (&S[R{=^j  
    <Z:8~:@  
     8 ]06!7S}  
    \P~rg~  
    正弦光栅-衍射效率 ddq 1NW  
    ciGpluQF  
                                                                 4IP\iw#w  
    kH8$nkeev  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       5*wApu{2A  
    a3dzok  
           +V);'"L  
    CziaxJ  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   :7Z\3_D/  
                                           YUVc9PV)Ws  
    7hF,gl5  
                                                                 H")N_BB  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Fwx~ ~"I  
    2VV[*QI  
                                                               HEB/\  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         (\mulj  
    Ih-3t*L  
    /x:(SR2,  
     bg1"v a#2  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ,hTwNVWI9  
    n:*_uc^C  
     ?dKa;0\  
                                                                 /,Dwu?Lcqp  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         N5f0| U&  
    qaMZfA  
     9oj e`Ay  
                                                                 tFvgvx\:  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Cb )=n6  
    x?f0Hk+  
     3Zaq#uA  
     
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