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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 sT;:V  
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    Cbq|<p# #o  
                                                             'y? HF@NJ  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 X  *f le  
                                                                 yaw33/iN  
    建模任务                                                         )Z.M(P  
    D$vP&7pOr4  
     @8$3Q,fF(  
    }vof| (Yh  
    光栅元件   K;NaiRP#k  
    Lu6?$N57rC  
                                                             _XP3|E;I/  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ,<cF<9h  
    • FMM/RCWA n?EL\B   
    • Diffractive Lens Component * SHQ[L4{  
                                                                 yrgb6)]nm@  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       /qeSR3WC  
    `(dRb  
                                                         %CaUC'  
    km[ PbC  
    正弦光栅-传输相位形态      (r!d4  
    6j{O/  
                                                         }aJK^>^>A  
    OBBEsD/bc  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ;xl_9Ht/  
    M)T{6 w  
     (d@ =   
    KJ]ejb$  
    正弦光栅-衍射效率 ,TdL-a5  
    gL-\@4\wc  
                                                                 P-*=e8z{  
    gvi]#|  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       8g!C'5  
    DdG*eKC  
           1r-#QuV#  
    d J;y>_  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   F87aIJ.pGN  
                                           YJ[Jo3M@j0  
    =nTNL.SX  
                                                                 H>/LC* 8-  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ~H+W[r}  
    SyWLPh  
                                                               g'Id3 1r'  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Dqu][~oQ  
    Db5y";T  
    ^HM9'*&KJ  
     oO 8opS7F  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ti}g?\VT  
    "VfV;)]|w  
     4qc 0QA%  
                                                                 3|FZ!8D  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         k.d Q;v}  
    |##rs  
     'J=knjAT  
                                                                 ji(Y?vhQt  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         _H (:$=$Q  
    s,2gd'  
     B,]:<1l~  
     
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