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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 _~Id~b  
    WBN3:Y7  
    u(W>HVEG  
                                                             >BWe"{;  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 [zJ|61^  
                                                                 .+) AeGh  
    建模任务                                                         e+~@"^|  
    B=}s7$^  
     :8t;_f  
    ZHM NG~!  
    光栅元件   ]!>tP,<`'  
    kxCN0e#_  
                                                             fnJx$PD~  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: s|vx2-Cu]  
    • FMM/RCWA JA09 o(  
    • Diffractive Lens Component &|fPskpy  
                                                                 7}L.(Jp9  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       bn:74,GeyK  
    <5!)5+G  
                                                         ntxaFVD  
    $Sgq7  
    正弦光栅-传输相位形态     v%muno,  
    a! 3eZ,  
                                                         FtW=Cc`hC_  
    &q>C  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         f"-3'kqo  
    m1D,#=C,_  
     ThY\K>@]  
    )YVs=0j  
    正弦光栅-衍射效率 Q k2*=BVh  
    d(YAH@  
                                                                 p`Ok(C_  
    6!@p$ pm)a  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       GdM|?u&s"  
    LfvNO/:,  
           u p zBd]  
    e$`;z%6y  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ^|%N _ s  
                                           q{}U5(,{0  
    W0S\g#  
                                                                 +3 J5j+  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 8dh ?JqX  
    Am<){&XT ]  
                                                               l!<(}?u9  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         &`}d;r|yn1  
    C:_-F3|]cJ  
    19bqz )  
     #Cb~-2:+7  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         [5PQrf~Mo  
    a+B3`6  
     Q sPZ dC  
                                                                 -n:;/ere7-  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         *-3*51 jW  
    Iv{uk$^7S  
     $\aJ.N6rb  
                                                                 UW Px|]RC  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         zUA -  
    Xc9NM1bp=  
     <Q8d{--o  
     
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