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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 ;bhT@aB1  
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    pD]OT-8  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 POR\e|hRT]  
                                                                 X[TR3[1}  
    建模任务                                                         #R RRu2  
    ?G&ikxl  
    8HdAFRw  
    1ZRT:N<-  
    光栅元件   C"enpc_C/  
    8-6L|#J#  
                                                        
    Y[S1$(K&*  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: HUOj0T  
    • FMM/RCWA ]M'=^32  
    • Diffractive Lens Component M& CqSd  
                                                                 5NLDYi@3  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       BL58] P84  
    vVcob }ZH  
                                                    
    H 7 ^/q7  
    =E{`^IT'R  
    正弦光栅-传输相位形态     k-""_WJ~^  
    Pr,q*_Yy  
                                                    
    NW)1#]gg%  
    lB[kbJ  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         /|#fejPh  
    f:P}*^ Gw  
    5nVt[Puw  
    /JU.?M35  
    正弦光栅-衍射效率 ]jRfH(i  
    ?b5 ^  
                                                            
    S>; 5[l 4  
    eKqk= (  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       5i{j' {_(8  
    cPc</[x[W  
      
    -1@<=jX3_  
    dcWD(-  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   _oDz-  
                                      
    HiJE}V;Vq  
    {T~#?v(  
                                                                  1ZB"EQ  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) S`m]f5u|  
    8qu6.  
                                                          
    5.J.RE"M  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         vEz"xz1j!]  
    2T[9f;jM'  
    t5IEQ2  
    SOvF[,+  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         tIS<U(N ;  
    %C_HXr@  
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                                                                 s=/v';5J2!  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         |)/aGZ+  
    Tkgs]q79  
    t#eTV@-  
                                                                 QUQ'3  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         y Fq&8 x<X  
    hqkz^!rp  
    4#hSJ(~7S  
     
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