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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 yk)j;i4@  
    @~XlI1g$i  
    :Ir:OD# o  
                                                             eEh0T %9K  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 Ny'v/+nQ  
                                                                 vWovR`  
    建模任务                                                         Os!22 O  
    [Z+,)-ke  
     79x9<,a)  
    'nS3o.}  
    光栅元件   )l}wjKfgO  
    u_"h/)C'H  
                                                             xwxjj  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: e;'T?&t  
    • FMM/RCWA X&~Eo  
    • Diffractive Lens Component NKKO A  
                                                                 NETC{:j  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       mlWIq]J  
    7qz-RF#s8  
                                                         wg.fo:Q  
    49$4  
    正弦光栅-传输相位形态     IpXhb[UZ?  
    ` W>B8  
                                                         I yN9 +  
    \>`$x:  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ^z;,deoGh  
    Hc%\9{zH  
     vxT"BvN  
    <'_GQM`G  
    正弦光栅-衍射效率 %Nl(Y@dD*  
    26VdRy{[  
                                                                 ;j>d"i36&  
    .6F3;bg R7  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       Ux T[  
    4Z9 3 g {  
           ZC*d^n]x.  
    I=y j  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   'sBXH EZA]  
                                           2rtP.*dd  
    }C"*ACjF   
                                                                 C(HmLEB^  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Pq>[q?>?  
    +%\j$Pv  
                                                               VFSn!o:C  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         (zDk68=v  
    e=UVsYNx  
    i!oj&&  
     F'$S!K58  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         TK/'=8  
    \g1@A"  
     sg"D;b:X  
                                                                 `$SEkYdt  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ]</4#?_  
    sLi//P?:t  
     hYXZ21(K#  
                                                                 |kNGpwpI  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         &qP-x98E?  
    L(n/uQ :  
     eoe^t:5&  
     
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