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摘要 >&4I.nA :K
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%`8KG(F^ H"kc^G+(R" 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 IX > j8z[ !c3Qcva 建模任务 U:C-\ M ^$g],PAY
hv_pb#1Ks 0Te)s3X 光栅元件 S.?\>iH[ l#<}|b
I3F6-gH 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: t/EMBfLc • FMM/RCWA .F=<r-0 • Diffractive Lens Component {g23[$X]N #Q!c42}M 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) BdRE*9.0 R
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/;]B1T7 Gff[c%I 正弦光栅-传输相位形态 I=3B
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5r2ctde)Y %$!R] B) 正弦光栅-传输相位形态 &,6y(- $TH'"XK
071 E%u, fTi{oY,zTg 正弦光栅-衍射效率 4N0W& Dy ,sQ0atk7ma
V"D<)VVA AU${0#WV_ 正弦光栅-效率vs. 周期
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LbmB([p A(!ZZ9Wc 正弦光栅—选定周期的相位形态 IJb1)
ZuR %RK\Hz2q3 GhfUCW% Bb2r95h}^ 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) W@uH!n>k &xMJ^Nv
^QL/m\zq@% 闪耀光栅-传输相位形态 U{:(j5m ofJ]`]~VG @{$Cv"6769 %N AFU/& 闪耀光栅-衍射效率 r&l*.C* V?L$ys
#B.w7y5* GJl@ag5h]! 闪耀光栅-效率vs.周期 :\w[xqH E[htB><
DJ2]NA$Q* G:6$P%. 闪耀光栅-选定周期相位形态 Ns(L1'9= =='{[[J
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