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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 EHM 7=|#  
    ]6 7wk  
    lMf5F8  
                                                             *)SgdC/f  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 4Lq]yUj  
                                                                 PvCE}bY{}  
    建模任务                                                         I:7,CV  
    H~K2`Cr)4  
     oRF"[G8BV  
    `d;izQ1_=  
    光栅元件   7i8qB462  
    Q$5:P&  
                                                             qUg4-Z4  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: j_<n~ri-  
    • FMM/RCWA @Oay$gP{T  
    • Diffractive Lens Component No|{rYYKK  
                                                                 5Rp2O4Z  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       U,(+rMeY0  
    X~4:sJ\P=  
                                                         O|m-k0n  
    a6#PZ!1  
    正弦光栅-传输相位形态     @Ec9Do>  
    LJ#P- `!{&  
                                                         LA Vgf>  
    "Y0[rSz,UW  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         >k-poBw  
    'gH#\he[Dh  
     ?P]md9$(+e  
    kniMXeiu  
    正弦光栅-衍射效率 p7tC~]r:L  
    eci\Q,   
                                                                 fs12<~+z  
    #XPU$=  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       e.H"!X!0#H  
    FZ/&[;E!  
           Vs{sB*:  
    wQ.zj`?$(  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Ut=y`]F  
                                           (*gpa:Sc  
    p}z0(lQ*~  
                                                                 F,:VL*.5kJ  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) "YZ`g}sG  
    0w]?yqnE  
                                                               ugP R)tDfM  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         V [>5  
    `9gx-')]\  
    _Pal)re]U  
     ']D( ({%g  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         vt,X:3  
    hn .fX:}  
     w{IqzmPiH  
                                                                 =;T[2:JUu  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         _,Y79 b6  
    KS_d5NvYl  
     G7?EaLsfQ  
                                                                 VGIc|Q=F  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         `^[ra% a  
    &aOOG8l  
     L|?tcic  
     
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