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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 Z;njSw%:  
    A2 $05a$%  
    !OMCsUZ  
                                                             L\V`ou  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 Xg;;< /Z  
                                                                 ^x_$%8  
    建模任务                                                         M+b?qw  
    /Z[HU{4  
     h\Q@zR*0a  
    S)/548=`  
    光栅元件   G&YcXyH  
    qh6rMqq  
                                                             nzbAQ3v  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ZB} A^X  
    • FMM/RCWA J~50#vHY  
    • Diffractive Lens Component t0Jqr)9}6  
                                                                 >8b%*f8R  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       4Z5;y[k(  
    %F^,6y  
                                                         6Nt/>[  
    %?Q&a ]  
    正弦光栅-传输相位形态     9A/bA|$  
    Uv652DC  
                                                         `6;$Z)=.  
    9,JWi{lIv  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         9hh~u -8L  
    *adznd  
     ) .KMZ]  
    p#_ 5w  
    正弦光栅-衍射效率 DIJmISk  
    X *:,|  
                                                                 drk BW}_  
    upX@8WxR  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       _pDfPLlY&  
    U<E]c 4*  
           ^@{"a  
    Pn6~66a6  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Tu5p`p3-j  
                                           FFN Sn  
    *M_^I)*L  
                                                                 ect$g#  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) s|`wi}"x  
    7upWM~H^  
                                                               L#J2J$ =  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         =Y5m% ,Bq  
    Y*\N{6$2  
    9NNXj^7  
     t\TxK7i  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         _N)&<'lB<  
    Px9 K  
     #TC}paIpj  
                                                                 w7&.U qjf  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         YDj5+'y  
    = ^Vp \  
     ek]nLN  
                                                                 u6Wan*I?  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         [HUK 9hG  
    IV1Y+Z )  
     x<' $  
     
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