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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 .~mCXz<x  
    iM5vrz`n  
    F8=nhn  
                                                             /S~m)$vu  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 Fo}7hab  
                                                                 /;oqf4MF  
    建模任务                                                         &=Y e6 f[  
    h{_*oBa  
     F,T~\gO5,  
    dR+1aY;  
    光栅元件   !p[`IWZ  
    >|*yh~  
                                                             W^3;F1  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 50n}my'2h  
    • FMM/RCWA 33a uho  
    • Diffractive Lens Component /3B6 Mtb  
                                                                 XvKFPr0~  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       xs!p|  
    yPgmg@G@/  
                                                         J/W{/E>;  
    s>%Pd7:  
    正弦光栅-传输相位形态     LFu%v7L`  
    "A[ b rG  
                                                         *b)Q5dw@1  
    IIz0m3';+  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         k \qiF|B)Z  
    |vILp/"9=W  
     KnzsHli,~k  
    Vrp[r *V@E  
    正弦光栅-衍射效率 g^~Kze  
    uaw <  
                                                                 ||eAE)  
    7r 0,> 3"  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       jH *)%n5,\  
    k6**u  
           ^b-18 ~s  
    h(' )"  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   9uYyfb: ,z  
                                           B0Xl+JIR#  
    Wa'sZ#  
                                                                 ,)fkr]`<  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ~<9{#uM  
    K@:m/Z}|4  
                                                               z@VP:au  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         .$rC0<G[K  
    ?mYYt]R  
    aT!;{+  
     SO?8%s(   
    闪耀光栅-衍射效率                                                         l]_=:)" ]  
    yR71%]*.  
     |m G7XL,  
                                                                 "Ty/k8?  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         vO@s$qi  
    Q^_/By@  
     n$)_9:Z-j  
                                                                 {}Ejt:rKN  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         !Pj/7JC0  
    A74920X`W  
     D'[Uc6  
     
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