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摘要 ;bhT@aB1 7 xa>
h)nG)|c pD]OT-8 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 POR\e|hRT] X[TR3[1} 建模任务 #R
RRu2 ?G&ikxl
8HdAFRw 1ZRT:N<- 光栅元件 C"enpc_C/ 8-6L|#J#
Y[S1$(K&* 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: HUO j0T • FMM/RCWA ]M'=^32 • Diffractive Lens Component M&
CqSd 5NLDYi@3 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) BL58] P84 vVcob}ZH
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^/q7 =E{`^IT'R 正弦光栅-传输相位形态 k-""_WJ~^ Pr,q*_Yy
NW)1#]gg% lB[kbJ 正弦光栅-传输相位形态 /|#fejPh f:P}*^
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5nVt[Puw /JU.?M35 正弦光栅-衍射效率 ]jRfH(i ?b5^
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5[l 4 eKqk= ( 正弦光栅-效率vs. 周期 5i{j' {_(8 cPc</[x[W
-1@<=jX3_ dcWD(- 正弦光栅—选定周期的相位形态 _oDz- HiJE}V;Vq {T ~#?v(
1ZB"EQ 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) S`m]f5u| 8qu6.
5.J.RE"M 闪耀光栅-传输相位形态 vEz"xz1j!] 2T[9f;jM' t5IEQ2 SOvF[,+ 闪耀光栅-衍射效率 tIS<U(N; %C_HXr@
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s=/v';5J2! 闪耀光栅-效率vs.周期 |)/aGZ+ Tkgs]q79
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