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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 Ok({Al1A,w  
    [dU/;Sk5  
    7qXgHrr0|U  
                                                        
    S_2I8G^A  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 dGh<R|U3  
                                                                 ieS5*@^k  
    建模任务                                                         HNjkRl)QR  
    [AX).b  
    )vGRfFjw_  
    rzaEVXbz1  
    光栅元件   ;N"XW=F4e  
    s9`T%pg  
                                                        
    ocgbBE  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 7P|(j<JX6'  
    • FMM/RCWA ]P<&CEk  
    • Diffractive Lens Component "v*RY "5#  
                                                                 [S</QS!  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       5-mJj&0:!  
    *%)L?*  
                                                    
    ~Nc] `95  
    PL+fLCk,I  
    正弦光栅-传输相位形态     H V   
    dnIBAe  
                                                    
    l3iL.?&Pa  
    'pm2C6AC  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         x-Mp6  
    4qm5`o\hb  
    Qn*c<:  
    3?5 ~KxOE(  
    正弦光栅-衍射效率 Ha+FH8rZ  
    ^jmnE.8R  
                                                            
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    3&?Tc|F+  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       .cZ&~ N  
    ([9h.M6v  
      
    <&L;9fr  
    hU=J^Gi0  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   *!s4#|h  
                                      
    y6PAXvv'{  
    3.dUMJ$_  
                                                                 "!Qhk3*  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) T:!sfhrZ~<  
    {YGz=5^  
                                                          
    RD_;us@&&*  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         g3Xz-  
    wyc,Ir  
    q]r!5&Z  
    nL:vRJr-$  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         xY~ DMcO?  
    @`_j't,  
    j{;3+LCo*  
                                                                 Iiy:<c  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Uv+pdRXn  
    k]>k1Mi=  
    NqwVs VL  
                                                                 Z?X$8o^Z  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         H_AV3 ;  
    ,jt098W  
    !}3`Pl.(r  
     
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