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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 x' ?.~  
    u{pTva  
    Ga?UHw~  
                                                             E s:5yX!  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 `43vxcMg  
                                                                 $'y1 Po'2  
    建模任务                                                         b sMC#xT  
    KG-UW  
     yq!CWXZ2  
    W*3o|x   
    光栅元件   y]MWd#U  
    C~:b*X   
                                                             tRkrV]K  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ~V!EtZG$  
    • FMM/RCWA z 3Zu C{  
    • Diffractive Lens Component #'#4hJ*YC  
                                                                 P mC82"  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       \2(MpB\_6!  
    A?\h|u<  
                                                         2,+@# q  
    .5Q5\qc=  
    正弦光栅-传输相位形态     & 8zk3  
    XpOCQyFnM  
                                                         l#mtND3  
    ADTU{6UPS  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         =SA 4\/  
    ?Z5$0-g'hU  
     DCz\TwzU  
    sek6+#|=  
    正弦光栅-衍射效率 LxIuxt=X|p  
    Xx=K?Z?3.  
                                                                 B6-AIPb  
    byp.V_a}/  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       D5}DV  
    _Wq7U1v`  
           p0"BO4({{  
    $&bU2]  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   :u,2" ]  
                                           cPx66Dh&  
    Pxap;;\  
                                                                 >3v0yh_3  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) OX'/?B((  
    k&n\ =tKN  
                                                               AX/=}G  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ( ?atGFgu  
    jY1^+y{  
    3L%Y"4(mm  
     V=:,]fTr  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         h<t<]i'  
    1 OuSH+  
     44z=m MR<  
                                                                 \xy:6gd:  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         n\~"Wim<b  
    Z`e$~n(Bh  
     E>o&GYc  
                                                                 t201ud2$  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         9 ?EY.}~  
    |j\eBCnH3  
     r9U[-CX:"  
     
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