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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 GMY"*J<E  
    SBj9sFZ  
    f*+eu @  
                                                             =bVaB<!  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 >bKN$,Qen  
                                                                 S\qYw(G  
    建模任务                                                         H*l2,0&W  
    m{U+aqAQK  
     U~,~GU=X  
    /uTU*Oe  
    光栅元件   r%*UU4xvB  
    nm!5L[y!0  
                                                             GzJ("RE0)v  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: gtcU'4~  
    • FMM/RCWA |j[=uS  
    • Diffractive Lens Component YQB.3  
                                                                 JN9 W:X.  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       sCX 8  
    Zcaec#  
                                                         b*-g@S  
    :RJ=f  
    正弦光栅-传输相位形态     LX4*3c|i,  
    p4 \r`  
                                                         $"+ahS<?tC  
    wKjL}1.k  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         (6xrs_ea  
    U!GG8;4  
     ]F,mj-?4x  
    ^%^~:<N  
    正弦光栅-衍射效率 <i~MBy. (  
    6LGy0dWpG  
                                                                 r ek89.p  
    7=YjY)6r^  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       MEOVw[hO  
    REyk,s2"6  
           MroJ!.9  
    6K/j,e>L  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   P= e3f(M2  
                                           V!eq)L  
    ,S|v>i, @  
                                                                 >x(3p@6p  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) w7.I0)MH  
    e 1W9Z $m  
                                                               &dqC =oK]  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         J|DID+M  
    &N{XLg>  
    ,W"[q~  
     _m;#+`E  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         l]BIFZ~  
    l{:7*U{d  
     3JB?G>\!  
                                                                 g\ r%A  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         /8Sg<  
    {q9[0-LyJ  
     SxC   
                                                                 7*bUy)UZ  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         %3L4&W _T  
    3},0b8};  
     oy I8}s:  
     
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