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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 =|j*VF2y"  
    e>ZbZy?  
    tkm~KLWV&7  
                                                             s K""  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 wI1M0@}PV  
                                                                 6Y92&  
    建模任务                                                         b n<I#ZH2  
    JO<gN= [  
     i"2J5LLv  
    YG}p$\R  
    光栅元件   *Dd(+NI  
    mTrI""Jsu;  
                                                             =Ov;'MC  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: IxK 3,@d  
    • FMM/RCWA ".*a)  
    • Diffractive Lens Component 7>W+Uq  
                                                                 }QApeZd+q  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       FEm1^X#]  
    f//j{P[  
                                                         <.?^LT  
    }R(0[0NQe-  
    正弦光栅-传输相位形态     ^=-*L 3f  
    8`rAE_n`%  
                                                         lyOrM7Gs  
    //'xR8Z  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ]/<Qn-BbU  
    2S7H_qo$  
     a-UD_|!  
    Ue>A  
    正弦光栅-衍射效率 Hjo:;s  
    '%eaK_+7  
                                                                 ')yF0  
    @Z=y'yc'y.  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       .eDxIWW+ft  
    =`7)X\i@z  
           yo Q?lh  
    8YJqM,t5)  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   -V<=`e  
                                           4<eJ  
    Y+PvL|`O  
                                                                 ;03*qOYc  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) x/jN& ;"/  
    no\}aTx  
                                                               +2k|g2  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         40l#'< y;  
    MRl*r K  
    fi-&[llg  
     NdED8 iRc  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         pFv[z':&Q  
    _>:=<xyOq  
     ~1wdAq`'a  
                                                                 +D{*L0$D"  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         [2H(yLwO  
    WHD/s  
     iw]B QjK  
                                                                 WY. \<$7  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                          "ppb%=  
    c_8mQ  
     %Cbc@=k  
     
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