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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 O5*uL{pvT{  
    F5q1VEe  
    Ri0+nJ6  
                                                             $iJ #%&D  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 LtIZgOd<  
                                                                 S60`'!y  
    建模任务                                                         xT>V ;aa\  
    7NqV*  
     #(4hX6?5AI  
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    光栅元件   ?`}U|]c  
    @"2-tn@q_  
                                                             9K(b Z {  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: emO!6]0gJ  
    • FMM/RCWA _{);n$`  
    • Diffractive Lens Component j* ?MFvwE  
                                                                 v1rGq  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ,%<77LE  
    _<Tz 1>j=  
                                                         %"V,V3kw4  
    $6Psq=|  
    正弦光栅-传输相位形态     h|Qh/jCX  
    >8- `  
                                                         H^0KNMf(  
    CeemR>\t  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         #=m5*}=  
    =p:6u_@XWj  
     ;kA2"c]m  
    v\u+=}r l  
    正弦光栅-衍射效率 4Qs#ws])  
    }=5(*Vg  
                                                                 5#tvc4+)  
    xRmB?kM3]5  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       LdV_7)  
    @wz7jzMi  
           5O*$#C;c  
    qr1^i1%\  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   (>'d`^kjk  
                                           #4?3OU#  
    xNU}uW>>T  
                                                                 >EG;2]M&  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) =s<QN*zJB0  
    IFe[3mB5  
                                                               _1QNO#X  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         PT=%]o]  
    kQtl&{;k?  
    r\?*?sL  
     eyOAG4QTV  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         yuWrU<Kw  
    Q&7Qht:ea:  
     iZF{9@  
                                                                 Y|bGd_j  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ~V4|DN[I  
    -!" 8j"pA:  
     dx#N)?  
                                                                 l1msXBC  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ?0F#\0  
    0nX5 $Kn  
     uxBk7E%6  
     
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