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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 L u1pxL  
    E <\\/Q%w  
    , FR/X/8  
                                                             #3_ @aq*  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 G rI<w.9X  
                                                                 F h+g@ u6  
    建模任务                                                         m(Iy W734I  
    LvNulMEK  
     _ O;R  
    J=b 'b%  
    光栅元件   &/(JIWc1su  
    =b#:j:r  
                                                             vrIWw?/z?  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: OM81$Xo=  
    • FMM/RCWA $'3'[Nr(;t  
    • Diffractive Lens Component }z5u^_-m  
                                                                 009Q#[A  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       C4)m4r%  
    +h8`8k'}-2  
                                                         mI5!rrRD|  
    p\DSFB  
    正弦光栅-传输相位形态     h}Lrpr2r  
    w9675D+  
                                                         DA>TT~L  
    f /t`B^}@  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         r9n:[A&HE  
    *gOUpbtXa  
     zBc |gx  
    eU\XAN#@  
    正弦光栅-衍射效率 sQn@:Gk  
    MqRJ:x  
                                                                 5]zH!>-F  
    LIn2&r:U  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       9# #(B  
    sY:=bU^P  
           Q9i[?=F:z  
    b-RuUfUn0  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   1p8hn!V  
                                           d6)+d9?<  
    B_* Ayk  
                                                                 sfk;c#K  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) &r2\P6J  
    tGF3Hw^mS  
                                                               xtut S  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         D# gC-,  
    #I\" 'n5M  
    KxDp+]N]  
     /7x1Z*Hg  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Hyi'z1  
    /@&#U bN\  
     F?t;bV  
                                                                 4hzdc ] a  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         QOY{j  
    EI496bsRHm  
     hD{ `j  
                                                                 i&{%} ==7  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ;vy<!@Y;8  
    :*s@L2D6  
     g.\%jDM  
     
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