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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 g5TXs^g  
    F' ZLN]"{  
    BzH7E[R49  
                                                        
    1N< )lZl)  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 2vKnxK+ 5  
                                                                 /IVw}:G  
    建模任务                                                         rS9*_-NH  
    1p,G8v+B  
    R{.wAH(  
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    光栅元件   KM (U-<<R  
    ja2LQe@ Q  
                                                        
    <u44YvLBm  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: NW=j>7  
    • FMM/RCWA 9a)D8  
    • Diffractive Lens Component &eY$(o-Hw  
                                                                 +7+ VbsFG  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       J.":oD  
    j^Zp BNL  
                                                    
    X%,;IW]a  
    B!< {s'  
    正弦光栅-传输相位形态     N|q:wyS|  
    |6\ ?"#  
                                                    
    2!dIW5I  
    vE?qF9I{$0  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         Y_PCL9G{p  
    I}Q3B3Byg  
    }W<]fK  
    `Y.RAw5LrE  
    正弦光栅-衍射效率 (m3p28Q?  
    NLb/Bja  
                                                            
    A@'):V8_%C  
    y>8!qVX  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       CNcH)2Mk  
    SVXey?A;CJ  
      
    _a*Wk  
    OY~5o&Oa  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   7+T\  
                                      
    ?Pmj}f  
    y9\s[}c_  
                                                                 U$VTk  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) L6$,<}l  
    oB9Fas!N  
                                                          
    2T?t[;-  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         %X GX(  
    XA9$n_| bw  
    D (qT$#  
    >tP/"4c  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         [W{`L_"  
    =]W{u`   
    >&?wo{b  
                                                                 AH=6xtS-  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ~n"V0!:'4  
    ?WUE+(oH>  
    tGmyTBgx  
                                                                 J+DuQ;k;  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         o/)\Q>IY  
    >R!^aJ  
    Q1eiU Y6  
     
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