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摘要 dsh S+d *Q@%<R
+Xg]@IS-eg f;k'dqlv 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 3 oG5E"G O#e' .n!rI 建模任务 <opBOZ
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_FET$$>z N ;&N;6V"} 光栅元件 _Co*"hl>2 ) DzbJ}
R0n#FL^E 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ?y\gjC6CNG • FMM/RCWA j(`L)/|O • Diffractive Lens Component @} 61D MMpGI^x!-X 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) yX:*TK4 Fnnk}I}
pL{h1^O} ]&')#YO 正弦光栅-传输相位形态 eN/o}<(e ~
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)PRyDC- SYPG.O?I 正弦光栅-传输相位形态 z]NzLz9VfL .."=
, 8NY<sFh P+m{hn~% 正弦光栅-衍射效率 BnLM ;5
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1Qi5t?{ cI9} YSk 正弦光栅-效率vs. 周期 |G+6R-_ e%(,)WlTaU
?]`kc 1CkBfK 正弦光栅—选定周期的相位形态 _`/:gkZS 1]L 0r Ix;9D'^} 6n{`t/ 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) T9@W,0# ?I6us X9$
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闪耀光栅-传输相位形态 kvzGI>H: ,DN>aEu1 6gLk?^. D0(%{S^ 闪耀光栅-衍射效率 <p<J;@ Pa.D+
vjy 59m hJavi>374 闪耀光栅-效率vs.周期 ##gq{hgjb$ hrpql_9.
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