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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 w.0:#4  
    X ^\kI1  
    jC3)^E@:"  
                                                             "i1r9TLc  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 @`S8d%6P  
                                                                 dZi ?Z  
    建模任务                                                         \4FKZ>1+R  
    YjTA+1}  
     =3R5m>6!/  
    YLAGTH0.]  
    光栅元件   go[(N6hN  
    n>##,o|Vr#  
                                                             RLL2'8"A  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ??g`c=R!V  
    • FMM/RCWA j?gsc Q3  
    • Diffractive Lens Component k\wcj^"cb  
                                                                 /4_^'RB  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       =j$!N# L  
    |d0,54!  
                                                         lWe1Q#  
    +~]:oj  
    正弦光栅-传输相位形态     ~V?3A/]  
    <&Q(I+^  
                                                         VsTa!V^~  
    S-D=-{@  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         [7|j:!  
    }ki}J>j|f  
     >~)IsQ*%  
    cJQ&#u  
    正弦光栅-衍射效率 :Tu%0="ye  
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                                                                 gXThdNU4G  
    1p]Z9$Y  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       I[$SVPe#  
    di,?`  
           WymBjDos:  
    SGUu\yS&s  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Gi*GFv%xB  
                                           XDM~H  
    (}:n#|,{M  
                                                                 `*to( )  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) (bBr O74lR  
    Bx&F*a;5  
                                                               (RtjD`e}  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         7\e96+j|f  
    g\O&gNq<)-  
    v?S~ =$.  
     LG6k KG  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ;p U=>  
    'CkN  
     &GetRDr  
                                                                 A0hfy|1#L  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         F A#?+kd  
    jh|4Y(  
     nL[ zXl  
                                                                 7=gv4arRwt  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         K0bh;I  
    y!;PBsU%Sx  
     fvUD'sx  
     
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