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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 "nz\YQdg  
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    6$OmOCA%  
                                                        
    : ;8L1'  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 -7!L]BcZ.  
                                                                 |Ua);B~F  
    建模任务                                                         o}=*E  
    -3ePCAtXbe  
    s17)zi,?4  
    huZ5?'/Fg  
    光栅元件   u.A}&'H  
    6"_pCkn;c<  
                                                        
    Lx_Jw\YO  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: k9eyl)  
    • FMM/RCWA f%PLR9Nh5@  
    • Diffractive Lens Component =R:O`qdC4e  
                                                                 @:im/SE  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       +o@:8!IM1  
    w7` pbcY,  
                                                    
    4M%|N  
    |[~ S&  
    正弦光栅-传输相位形态     6Gg`ExcT5  
    "$N$:B@U  
                                                    
    UIU Pi gd  
    &yP|t":HWX  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         8GBKFNR 8  
    KC"S0 6  
    ^P{y^@XI  
    t<dFH}U`w  
    正弦光栅-衍射效率 1>[#./@  
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    kMW9UUw  
    Y;R,ph.a  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       u3 Z]!l  
    ,|z@ Dy  
      
    UB+~K/  
    i%!<9D~n  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Zrwd  
                                      
    --diG$x.  
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                                                                 &bq1n_  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) (Zx--2lc  
    UU(Pg{DA 6  
                                                          
    Wtaz@ +  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         v5@4 |u3ds  
    ea O'|@;{~  
    ,~,q 0PA7J  
    ;07$G+['  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ^O<v'\!z-  
    u ]y[g  
    xtCMK1# x  
                                                                 ]gX8z#*k  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         _"x%s  
    X*MK(aV3  
    J0vQqTaT  
                                                                 /pkN=OBR  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         >VZxDJ$R  
    ~)#E?:h5  
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