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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 #O</\|aH)i  
    <"I?jgo  
    hh&Js'd  
                                                             3Hm7 uBZ  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 $GF&x>]]  
                                                                 n|]N7 b'  
    建模任务                                                         kukaim>K  
    +{xG<Wkltz  
     )_O.{$ to  
    |E|T%i^}./  
    光栅元件   @}G|R\2P  
    n1)'cS5}  
                                                             Y:%"K  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: kh&_#,  
    • FMM/RCWA m~Me^yt>}  
    • Diffractive Lens Component .jum "va%  
                                                                 4JK@<GBK6  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       c'lIWuL)  
    vz,LF=s2  
                                                         v|To+ P6b  
    ^8\Y`Z0%  
    正弦光栅-传输相位形态     g _x\T+=  
    eH `t \n  
                                                         b.(XS?4o  
    ;q&Z9 lm  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         6)+9G_  
    Wbs^(iUU}  
     [+7"{UvT  
    `^f}$R|  
    正弦光栅-衍射效率 vK`S!7x'&  
    Rh yegD  
                                                                 |3|wdzV  
    \y,; Cfl<  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       bN4d:0Y  
    mN7&%Z  
           I`#EhH  
    iGyVG41U  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Z#@6#S`  
                                           :3 PGf  
    9`,,%vdj  
                                                                 r"1A`89  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ]t7ClT)n!  
    ;_w MWl0F  
                                                               YN`UTi\s  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         6e&g$ R v  
    }7&\eV{qU  
    i~ROQMN1  
     4KZSL: A  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         w8U2y/:>  
    I@+lFG   
      Ckw83X  
                                                                 4g S[D  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         NywB 3  
    U=M#41J  
     - =yTAx  
                                                                 Bac?'ypm  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         jf2y0W>6s  
    D@2Ya/c  
     JPHUmv6  
     
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