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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-14
    摘要 =5a~xlBjD  
    w^sM,c5d  
    ~9#\+[ d_  
                                                             iqig~fjK ~  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 H,9e<x#own  
                                                                 AfpB=3  
    建模任务                                                         +e. bO5Y  
    IKb 7#Ut  
     ^n"ve2   
    r3<yG"J86  
    光栅元件   D0/ \  
    |d?0ZA:z  
                                                             8 C@iD%  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: C S"2Sd 1`  
    • FMM/RCWA HA&][%^  
    • Diffractive Lens Component ymT&[+V  
                                                                 M]oO1GM  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       #uVH~P5TM  
    tRZCOEo4  
                                                         3N|,c]|  
    !run3ip`Z  
    正弦光栅-传输相位形态     =ltT6of@o  
    r5t C  
                                                         rIR~YMv!  
    7 [N1Vr(1  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         Fr?o 4E6h  
    @{\q1J>  
      ~,Ck  
    ,.6Hh'^65^  
    正弦光栅-衍射效率 RNE} )B  
    SsiAyQ|Ma  
                                                                 BFc=GiPnQ  
    c7.%Bn,  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       _ #288`bU  
    D'2&'7-sm\  
           \2~Cn c*O  
    WDNuR #J?  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   5rK7nLb  
                                           ZgVYC4=Q-\  
    xH#R_  
                                                                 ,{MA90!  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) #Y`GWT1==  
    fx2r\ usX[  
                                                               PB*m D7"  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         `?{i dg  
    3QM6M9M  
    Xn^gxOPM  
     J=|PZ2"  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         H z&a~  
    {{w5F2b((%  
     >u?pq6;  
                                                                 .I_Mmaq;i  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ^3 C8GzOsO  
    Ugzq;}V#  
     B%QvFxZz  
                                                                 Y4 q;  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         aE BQx  
    "u:5  
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