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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 \iLd6Qo_aq  
    d?qO`- ~$  
    & I'F-F;  
                                                             (pxz#B4  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 89e.\EH  
                                                                 Ex&RR< 5  
    建模任务                                                         `3s-%>  
    = Ow&UI  
     $MEbePxe  
    -a^sX%|Bl  
    光栅元件   3&d+U)E  
    s?I=}  
                                                             X1~A "sW[  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: op{(mn  
    • FMM/RCWA J0)WRn"h  
    • Diffractive Lens Component L=Jk"qWV0  
                                                                 &aht K}u  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       \Nn%*?f  
    (Jr;:[4XC  
                                                         0<Y&2<v  
    'eXw`kw(  
    正弦光栅-传输相位形态     O9IjU10:  
    x};g!FYfkB  
                                                         5GpKX  
    Z]+Xh  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         L ]'CA^N  
     2x J5  
     zi 14]FWo  
    ,<WykeC  
    正弦光栅-衍射效率 ]OUOL/J  
    J)& +y;.  
                                                                 vK>^#b3  
    W@}5e-q)O  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       I:7,CV  
    H~K2`Cr)4  
           oRF"[G8BV  
    `d;izQ1_=  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   7i8qB462  
                                           Q$5:P&  
    P9!]<so  
                                                                 *\+ 'tFT6  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) @Oay$gP{T  
    JKbB,  
                                                               Mo=-P2)>lt  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         U,(+rMeY0  
    X~4:sJ\P=  
    O|m-k0n  
     a6#PZ!1  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         hiM!htc;M  
    @_nhA/rlc  
     *9&YkVw~  
                                                                 Q1B! W  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         (R,n`x2^  
    GlZDuU  
     \F3t&:  
                                                                 {q4"x5|  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         eci\Q,   
    g >oLc6T  
     #XPU$=  
     
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