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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 ZQ:Y5 ph  
    UvI!e4_  
    8%"e-chd  
                                                        
    n5 i}J/Sa2  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 ob;oxJ@[c  
                                                                 Z/x1?{z  
    建模任务                                                         N3?d?+A$  
    V1fPH;  
     l gC  
    cBA[D~s  
    光栅元件   t|q=NK/  
    M~6I-HexT|  
                                                        
    b-Hn=e_  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: BpCSf.zZ  
    • FMM/RCWA pGFocw  
    • Diffractive Lens Component r3kI'I|bq  
                                                                 lD pi1]2  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       7Av]f3Zr  
    /[s$A?  
                                                    
    :uEp7Y4  
    ?,NAihN]  
    正弦光栅-传输相位形态     *O;N"jf  
    K+\hv~+@  
                                                    
    ka*UyW}  
    )&9RoW()?  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         #cs!`Ngb+  
    H,}?YW  
    PjHm#a3zg%  
    N9Ml&*%oX{  
    正弦光栅-衍射效率 */)gk=x8  
    h2>0#Vp3j  
                                                            
    -&? -  
    Q ZlUUj\  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ^wlep1D  
    U*@_T3N  
      
    }dz(DP d  
    J\V(MN,  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   #5D+XBT  
                                      
    X&IY(CX  
    S&*pR3,u  
                                                                 g6V*wjC  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) H/$q]i*#K  
    %?fzT+-=%  
                                                          
    7h2bL6Y88  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         To`?<]8  
    %vXQ Sz  
    Z ux2VepT  
    s<b7/;w'  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         #"_MY-  
    oB9m\o7$  
    (XJQ$n  
                                                                 Fn,|J[sC  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         MeX1y]<It  
    ^= G+]$8  
    jq)|Uq'6  
                                                                 F!{SeH:  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         YC'~8\x3z  
    wNZ7(W.U  
    LnGSYrx1  
     
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