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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 sWMY Lo  
    9t{Iv({6p  
    u:}yE^8@  
                                                             Nj}-"R\u  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 |EP=<-|  
                                                                 Hg+bmwM  
    建模任务                                                         *qw//W   
    #D Oui]  
     +{&++^(}a  
    .10$n*  
    光栅元件   g$9s} \6B  
    9y;8JO  
                                                             cD9axlJ  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: $&FeR*$|g  
    • FMM/RCWA IUwMIHq&sW  
    • Diffractive Lens Component a>)|SfsE  
                                                                 'n7Ld6%1  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       X[$FjKZh=F  
    e-YMFJtoK}  
                                                         \']_y\  
    @l@erCw@  
    正弦光栅-传输相位形态     c~n:xblv  
    e~Z>C>J  
                                                         -e_L2<7  
    S!.H _=z%p  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ),4c b  
    K`twbTU  
     4w(#`'I>  
    /\UFJ  
    正弦光栅-衍射效率 2!g7F`/B  
    \t%rIr  
                                                                 4 JDk ()  
    ,I8[tiR"b  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       P~OD d(  
    f]]UNS$AYQ  
           @LR:^>&*  
    $g]'$PB  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   g+/m:(7[s|  
                                           6%fF6  
    Zf8_ko;|:-  
                                                                  ^#&:-4/  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) .WT ar9e#  
    x10u?@  
                                                               :B5M#D!dO  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         M}xyW"yp  
    ?bH!|aW(H  
    :6y;U  
     S3.76&  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         W60C$*h  
    y-^m  
     h5VZ-v_j  
                                                                 eaCh;IpIf  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         4~mmP.c  
    PNhxF C.  
     8;1,saA_9  
                                                                 `w#p8vR  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         SH/^qDT'  
    fFJu]  
     oS Apa  
     
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