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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-14
    摘要 J'&B:PZObB  
    K!- &Zv  
    n L+YL  
                                                        
    4&]To@>  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 V:G}=~+=  
                                                                 uWR,6\_jY  
    建模任务                                                         V>>) 7E:Q  
    h*\TCl)  
    {F(-s"1;xO  
    7\0|`{|R@  
    光栅元件   Y6f+__O  
    wwK~H  
                                                        
    *<.WL"Qhl  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: %KJhtd"q  
    • FMM/RCWA ,Og[[0g  
    • Diffractive Lens Component K.#,O+-Kg`  
                                                                 9o_ g_q  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       `Dz]z_  
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    K.V!@bPlw9  
    %7C%`)T]  
    正弦光栅-传输相位形态     DX&lBV  
    +YQ~t,/  
                                                    
    *,pZ fc  
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    正弦光栅-传输相位形态                                                         oieQ2>lYh  
    \~z?PA.$  
    <i:*p1#Bm  
    I!F}`d  
    正弦光栅-衍射效率 i)@U.-*5m  
    =q"w2b&  
                                                            
    ')P2O\YS  
    (^tr}?C  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       je- , S>U  
    X ]pR,\B  
      
    eN<>#: `  
    0.J1!RIK/  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   { .aK{ V  
                                      
    &AQg'|  
     fW5" 4,  
                                                                 zt)p`kdD  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) BGlGpl  
    Rm,[D)D^0N  
                                                          
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    闪耀光栅-传输相位形态                                                         TdNuD V  
    S.Wh4kMUe  
    }J+ ce  
    b!4N)t>gl  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         t-*VsPy  
    pIID= 8RJ.  
    )Y&MIJ7>@  
                                                                 [ 5CS}FB  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         p|FlWR'mA  
     95.qAFB1  
    BB2_J=wA  
                                                                 iXUWIgr  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         b"ol\&1 #  
    P[Y{LKAbb  
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