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摘要 J'&B:PZObB K!-&Zv nL+YL 4&]To@> 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 V:G }=~+= uWR,6\_jY 建模任务 V>>) 7E:Q h*\TCl) {F(-s"1;xO 7\0|`{|R@ 光栅元件 Y6f+__O wwK~H *<.WL"Qhl 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: %KJhtd"q • FMM/RCWA ,Og[[0g • Diffractive Lens Component K.#,O+-Kg` 9o_ g_q 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) `Dz]z_
0+n&BkS' K.V!@bPlw9 %7C%`)T] 正弦光栅-传输相位形态 DX&lBV +YQ~t,/ *,pZ fc -n=$[-w 正弦光栅-传输相位形态 oieQ2>lYh \~z?PA.$ <i:*p1#Bm I!F}`d 正弦光栅-衍射效率 i)@U.-*5m =q"w2b& ')P2O\YS
(^tr}?C 正弦光栅-效率vs. 周期 je- ,S>U X ]pR,\B eN<>#:` 0.J1!RIK/ 正弦光栅—选定周期的相位形态 {.aK{
V &AQg'| fW5"4, zt)p`kd D 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) BGlGpl Rm,[D)D^0N ]ZR{D7.? 闪耀光栅-传输相位形态 TdNuD V S.Wh4kMUe }J+ce b!4N)t>gl 闪耀光栅-衍射效率 t-*VsPy pIID=8RJ. )Y&MIJ7>@ [ 5CS}FB 闪耀光栅-效率vs.周期 p|FlWR'mA 95.qAFB1 BB2_J=wA iXUWIgr 闪耀光栅-选定周期相位形态 b"ol\&1
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