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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 5^W},:3R  
    "`'' eV3  
    K9 tuiD+j  
                                                             1s@%q <  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 }q~M$  
                                                                 ` e~nn  
    建模任务                                                         wf[B-2q)  
    M*x1{g C/  
     /^F$cQX(  
    Oi~ ]~+2  
    光栅元件   paG^W&`;  
    6JYVC>i  
                                                             b9(_bsc  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Rl2*oOVz  
    • FMM/RCWA F7r!zKXZ  
    • Diffractive Lens Component 2kS]:4)T  
                                                                 O=C z*j  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       @! gJOy  
    '@epiF&  
                                                         6AW{qU6  
    7@@,4_q E  
    正弦光栅-传输相位形态     $<[Q8V-  
    `l0&,]  
                                                         yK #9)W-  
    V&75n.L  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         p[zKc2TPk  
    1oSrhUTy  
     *b@YoQe3!  
    v9t26>{~  
    正弦光栅-衍射效率 y]veqa  
    <+tSTc4>r  
                                                                 5/ee&sJR  
    rv\yS:2  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       2qF ?%  
    S-$N!G~!  
           88GS Bg:YH  
    ~_ 8X%ut y  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ?C[W~m P  
                                           A=(<g";m  
    zP8a=Iv  
                                                                 W8$ky[2R  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ]hPu  
    Pr%Y!|  
                                                               5a PPq~%  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         b3Uw"{p  
    w'/ Mn+  
    Bv)^GU&   
     DLWG0$#!  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         !\DlX |  
    i Sm .E  
     X &z|im'd  
                                                                 vIL'&~C\y  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         z; dFS  
    M_+"RKp  
     1TagQ  
                                                                 DaN=NURDV  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         7Ntt#C;]U  
    /.{q2]  
     O)$rC  
     
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