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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 HxAN&g *:  
    [X&VxTxr  
    f{HjM? Mb3  
                                                             ,N1I\f  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 u3k{s  
                                                                 *x<3=9V  
    建模任务                                                         xwJ. cy  
    \/8oua_)  
     /19ZyQw9  
    (DnrJ.QU}t  
    光栅元件   'JpCS  
    LkwjEJQf  
                                                             w=Yc(Y:h  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: uD0<|At/  
    • FMM/RCWA %7wNS  
    • Diffractive Lens Component u}0U!  
                                                                 ~Qm<w3oy  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       AzZb0wW6p  
    + FG Xx  
                                                          %>z)Q  
    +oRBSAg-  
    正弦光栅-传输相位形态     <tn6=IV  
    +M{A4nYY|1  
                                                         Hs#q 7  
    L#~z#  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         %2ZWSQD  
    ;!9-I%e  
     N]|P||fC  
    t,IQ|B&0  
    正弦光栅-衍射效率 Oh'C [  
    50R&;+b  
                                                                 0K:3?Ik  
    y{#9&ct&  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       !?aL_{7J  
    &<Iz?AVr  
           _0Z8V[  
    Naa "^  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   -R BH5+SS2  
                                           ;56mkP  
    5)=YTUCk  
                                                                 d+L!s7  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) I=c}6  
    RA3!k&8?#  
                                                               wqE+hKs,  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         C#oH7o+_.  
    \2OjIEQQ  
    7\<}378/^  
     P^-daRb  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ,1ceNF#oL  
    Y q(CD!  
     /DE`>eJY  
                                                                 "8*5!anu-  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         %^LwLyoVM  
    +AkMU|6  
     uD8,E!\  
                                                                 EF5:$#  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         bKac?y~S_  
    SUaXm#9  
     yr[HuwU  
     
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