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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 &L+uu',M0c  
    kWXLncE  
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                                                             4f[%Bb  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ~V8z%s@  
                                                                 u[b |QR=5  
    建模任务                                                         P"_/P8  
    wsWFD xR  
     \FVfV`x  
    yDafNH  
    光栅元件   ,/{e%J  
    u1%URen[x  
                                                             d&j  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Food<(!.>  
    • FMM/RCWA F}nwTras  
    • Diffractive Lens Component W "'6 M=*  
                                                                 A `Z/B[)  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       t5-O-AI[b{  
    ,2S!$M  
                                                         7=CkZ&(?  
    ' k,2*.A  
    正弦光栅-传输相位形态     ~5N}P>4 *  
    WA`A/`taT  
                                                         M|*YeVs9#  
    ]3_b3@k  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         *S.U8;*Xj  
    dht0PZdx?  
     ,|]J aZq  
    jW'YQrj{<Y  
    正弦光栅-衍射效率 L^sjV/\oW  
    $H)^o!  
                                                                 5'} V`?S  
    xLW$>;kI  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       :o'x?]  
    X;I9\Cp]!  
           9d drtJ]  
    \R#SoOd  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   %j7b0pb  
                                           q)k:pQ   
    = s&Rk~2b/  
                                                                 IO\4dU)  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) <u64)8'  
    c#n 2 !  
                                                               YZol4q|ic  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         |b   
    E/zf9\  
    IzP,)!EE  
     BQ-x#[ %s  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         y)G-6sZ/  
    aGD< #]  
     V(7,N(  
                                                                 QZzamT)"  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         jeC=s~  
    f"ezmZI  
     kBo:)Vej4  
                                                                 NAR6q{c  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ~t6q-P  
    or]v]*:~l  
     J&xZN8jW   
     
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