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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 P,i"&9 8  
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     tPA:_  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 Dl%?OG<  
                                                                 x;u~NKy  
    建模任务                                                         o{V#f_o  
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    sAi&A9"*   
    光栅元件   &5u BNpH  
    W;q+,Io  
                                                        
    ~%s}S  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ^'vIOq-1v  
    • FMM/RCWA <Nex8fiJ9  
    • Diffractive Lens Component R4b-M0H  
                                                                 I}+;ME|<2  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       p1D()-  
    O)uOUB  
                                                    
    :uo[&&c  
    , /&Z3e  
    正弦光栅-传输相位形态     vX+.e1m  
    WL l_'2h  
                                                    
    h4(JUio  
    Uky9zGa  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         EMlIxpCn:  
    mb\h^cKaq  
    KCUU#t|8V\  
    )~V }oKk0t  
    正弦光栅-衍射效率 Jx$iwu  
    0(gq; H5x'  
                                                            
    Nb;H`<JP  
    ',ZF5T5z@  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       FLZSK:3B]  
    5 y   
      
    Q[PK`*2)  
    /L&M,OUcr.  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Hx %$ X  
                                      
    ^e%}[q[>|  
    "MnSJ 2  
                                                                 dl0FQNz8@B  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) h^oH^moq<  
    %d;<2b0  
                                                          
    J} TfRrf  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         *Qkc[XHqy  
    )(m0cP{7  
    c?K~/bx.  
    |~K(F <;j  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         2z_2.0/3  
    }`o? /!X   
    /L v1$~  
                                                                 V8PLFt;  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         U O<:.6"  
    OeElMRU"  
    ;..o7I  
                                                                 pQWHG#?7  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         por/^=e{Y  
    cozXb$bBY  
    v`DI<Lt  
     
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