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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 gx03xPeu  
    VKm!Ri$  
    '6$*YN&5  
                                                             kVI#(uO  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 n\I#CH0V  
                                                                 r[.>P$U  
    建模任务                                                         S1_6C:^k  
    +6smsL~<#v  
     Z3 ;!l  
    NVIK>cT6  
    光栅元件   wiOgyMdx  
    d|Gl`BG   
                                                             \^1+U JU  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: AeIrr*~]B  
    • FMM/RCWA juAMAplf  
    • Diffractive Lens Component <)g8y A  
                                                                 R j~  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       'B83m#HR#  
    &X9Z W$C  
                                                         c/L>>t  
    Md)zEj`\  
    正弦光栅-传输相位形态     <";,GaZQ  
    p3ISWJa!  
                                                         q0%  
    S1n3(U:m  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         c4e_6=Iv  
    L_Q#(in  
     |vte=)%  
    1\RGM<q$f  
    正弦光栅-衍射效率 9 7%0;a8  
    rQ4*k'lA:  
                                                                 sUl6hX4  
    M)?dEgU}M  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       X.ONa_  
    QQk{\ PV  
           rA0,`}8\  
    A>VI{  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   * v8Ts  
                                           -71dN0hWh  
    d#:3be{|&q  
                                                                 h9$ Fx  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ^n#1<K[E  
    @RD+xYm  
                                                               Dz!fpE'L  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         BE&B}LfvfO  
    *IlaM'[*  
    z^o1GY  
     n<Svw a}  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         u^I(Ny  
    6nDV1O5  
     "`}~~.q  
                                                                 QVZD/shq  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         d lH$yub  
    d {lP  
     RVtQ20e";r  
                                                                 (VyNvB  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         2^~<("+w  
    I3u{zHVwI  
     t{!  
     
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