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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 21.N+H'  
    o]m56  
    1iIag}?p  
                                                             r_e]sOCb  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 H"%SzU  
                                                                 ,v>| Ub,  
    建模任务                                                         ~VaO,8&+L  
    h} <Ie <  
     5=9gH  
    {^SHIL  
    光栅元件   #;Z+ X)  
    t7b\#o  
                                                             R9O[`~BA2  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: j[\aGS7u  
    • FMM/RCWA - u'5xn7  
    • Diffractive Lens Component OQa;EBO  
                                                                 e?eX9yA7F  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       Pqb])-M9p  
    GXx/pBdy[4  
                                                         YlEV@  
    /d]{ #,k  
    正弦光栅-传输相位形态     t/0h)mL}  
    ] ! :0^|  
                                                         wNhtw'E8  
    5sK1rDN  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         %[7<GcWl  
    CAV Q[r5y  
     Wf!<Qot|R#  
    Fg -4u&Ik  
    正弦光栅-衍射效率 )6,Pmq~)  
    Zlf) dDn  
                                                                 &?j]L4%  
    8f{;oO  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       coFQu ; i  
    =}Xw}X+[WY  
           TNK~ETE4  
    8lcB.M  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   H`X>  
                                           5Bog\mS  
    (D rDWD4_  
                                                                 $Hbd:1%i {  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) [d/uy>z,  
    C'Z6l^{>  
                                                               rytaC(  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ums*EKjs97  
    IL2OVLX  
    !w-`:d?  
     NamO5(1C  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         (&t8.7O  
    WjsE#9D!of  
     ;H:+w\?8f$  
                                                                 ~G*eJc0S:  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         q'~F6$kv5  
    S6pvbaMZ  
     [_SV$Jz  
                                                                 (S4[,Sx6E  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Zo(p6rku  
     ]6 ]Nr  
     mbh;oX+  
     
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