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摘要 x H\!j o%b6"_~%3
.FN;3HU KqN;a i,F 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 l4gF.-.GYF +v2)'?BS 建模任务 {RGQX"k _Sg "|g
O #<F"e;$ _1?nLx7n 光栅元件 qfkdQ/fP XU`ly3!
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tfk 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: *@ { • FMM/RCWA qeW.~B!B • Diffractive Lens Component ?f$U8A4lp "38L ,PW0Z 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) =@nE:uto] VA>0Y
1COSbi] Q>q-6/|UX 正弦光栅-传输相位形态 5hHLC7tT9 yH(3 m#
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/gT^ BbM/Rd1tAm 正弦光栅-传输相位形态 Pl. y9g~ !4a#);`G
C2aA])7D EKD#s,(V*X 正弦光栅-衍射效率 i&1rf | :?}mu1
0h~{K '6kD6o_p1 正弦光栅-效率vs. 周期 ZC%;5O` {!j)j6(NY
VJ8'T"^Hf BoQ%QV69% 正弦光栅—选定周期的相位形态 fP[S.7F+No FWB
*=.A9 d-C%R9 (Hmm^MV) 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) l}iQ0v@ gKY6S?
bsm/y+R 闪耀光栅-传输相位形态 L|Xg4Z _R(9O?;q SA#01}&p 8f<y~L_(` 闪耀光栅-衍射效率 Zb&pH~ 7 ?(Ua+*b
ie11syhV" o%f:BJS 闪耀光栅-效率vs.周期 Y]=k"]:% aM
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