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摘要 arR9uxP 'Olp2g8=
^]&uMkPN \pXs&}%1,F 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 6V"| s[
ze8: 建模任务 hmRnr=2N ET_a>]<mv
csceu+IA HH-A\#6J 光栅元件 Q M#1XbT J4yL"iMt
FUVoKX!# 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: kK27hfsw • FMM/RCWA u?(@hUV. • Diffractive Lens Component pSjJ u D 3D"2yTM( 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) Nl[]8G}; I~'%
x)Y?kVw21" -YXNB[C 正弦光栅-传输相位形态 @H{QHi 6zo'w Wc3
xJphG DChqcdx~~ 正弦光栅-传输相位形态 2
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7$;#-l }?KvT$s 正弦光栅-衍射效率 )\
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-/x=`S* |K|[>[?Z/ 正弦光栅-效率vs. 周期 ;Av=/hU -B`Nkc
(i1JDe r{cefKJHg 正弦光栅—选定周期的相位形态 (Dy6I;S Ic 5TtN~/> nx
wzXIEWJ 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ~[_u@8l!mN ^tMb"WO
L}~"R/iWCT 闪耀光栅-传输相位形态 9nM_LV Wq5}SM M id v ?z
hw0 闪耀光栅-衍射效率 )x!b{5'"7 Oe)d|6=
`"(FWK=8)" 4YV0v,z 闪耀光栅-效率vs.周期 f`$F^= $U_M|Xa
[P'"|TM[~ ,Y:ET1: 闪耀光栅-选定周期相位形态 `D%U5Jb Wc*jTip
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