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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 XMzL\Edo  
    Z:7X=t =  
    RKB--$ibj  
                                                             f-!t31?XK  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 A& u"NgJ  
                                                                 $n>|9(K8  
    建模任务                                                         vl+vzAd  
    g|L" |Q  
     unn2MP'  
    H~y 7o_tg  
    光栅元件   OJ0Dw*K<  
    zfAHE {c  
                                                             $w!;~s  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: :y#KR\T1  
    • FMM/RCWA 0tV"X  
    • Diffractive Lens Component BCN<l +u  
                                                                 iX ;E"ov]  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       9nIBs{`/Ac  
    BfQRw>dZ"{  
                                                         Rf7*Ut wVr  
    Ewg5s?2|  
    正弦光栅-传输相位形态     <tp\+v! u  
     O+D"7  
                                                         p<hV7x-{  
    V$e\84<  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         'uAH, .B  
    =+@IpXj  
     ;yh}$)^9  
    w s(9@  
    正弦光栅-衍射效率 CYlZ<W'  
    5G-)>  
                                                                 dno=C  
    WPbWG$Li  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       9AJMm1 _  
    P\#z[TuHKC  
           D#lx&J.s  
    MN|8(f5Gs  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   P8#;a  
                                           zD8q(]: A  
    \gd.Bl  
                                                                 n|,kL!++.  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) @r.u8e)l  
    P(N$U^pj  
                                                               ?<@yo&)  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ?V|t7^+:  
    Mq7d*Bgb  
    S].=gR0:  
     G[U'-a}I  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         adEcIvN$  
    e%#8]$  
     wr\d5j  
                                                                 TRQX#))B  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         )KvQaC  
    X2#;1 ku  
     neC]\B[Xm  
                                                                 ]@@3]  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         XO |U4 #ya  
    E&G_7->  
     z` b. ~<P  
     
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