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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 dsh S+d  
    *Q@%< R  
    +Xg]@IS-eg  
                                                        
    f;k'dqlv  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 3 oG5E"G  
                                                                 O#e'.n!rI  
    建模任务                                                         <opBOZ d  
    g`}+K U  
    _FET$$>z N  
    ;&N;6V"}  
    光栅元件   _Co*"hl>2  
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    R0n# FL^E  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ?y\gjC6CNG  
    • FMM/RCWA j(`L)/|O  
    • Diffractive Lens Component @} 61D  
                                                                 MMpGI^x!-X  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       yX:*TK4  
    Fnnk }I}  
                                                    
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    ]&')# YO  
    正弦光栅-传输相位形态     eN/o}<(e  
    ~ cKmf]  
                                                    
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    SYPG.O?I  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         z]NzLz9VfL  
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    P+m{hn~%  
    正弦光栅-衍射效率 BnLM;5 >  
    yX}riXe  
                                                            
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    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       |G+6R-_  
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    正弦光栅—选定周期的相位形态   _`/: gkZS  
                                      
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    Ix;9D'^}  
                                                                 6n{`t/  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) T9@W,0#  
    ?I6us X9$  
                                                          
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    闪耀光栅-传输相位形态                                                         kvzGI>H:  
    ,DN>aEu1  
    6gLk?^.  
    D0(%{S^  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         < p<J;@  
     Pa .D+  
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                                                                 hJavi>374  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ##gq{hgjb$  
    hrpql_9.  
    e12.suv  
                                                                 Oy :;v7  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         k^ CFu  
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