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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 f/b }X3K  
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                                                             eh'mSf^=p  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ^gFjm~2I  
                                                                 V=|^r?  
    建模任务                                                         Ssu{Lj  
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    34C ^vBp  
    光栅元件   5Ag>,>kJ6  
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                                                             1V`]sfRK  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: +k"dN^K]D  
    • FMM/RCWA \i-jME(sN  
    • Diffractive Lens Component bIm$7a`T  
                                                                 Xh]\q)  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       2LYd # !i  
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                                                         ?E2k]y6<  
    Hcd>\0  
    正弦光栅-传输相位形态     7o z(hO~  
    x#0C+cU  
                                                         >*}qGk  
    y`Pp"!P"O  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         1TQ $(bI  
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     (r[<g*+3  
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    正弦光栅-衍射效率 )O- x1U  
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                                                                 p 2~Q  
    -e(2?Xq9  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       [/uKo13  
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           G P1>h.J  
    N/?Ms rZw  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   _R(5?rG,  
                                           n'*Ljp  
    !CBx$1z  
                                                                 \S7OC   
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) jPU# {Wo#  
    }2c}y7B,_  
                                                               ^}1RDdQ"U  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         g41Lh3dj  
    1yB;"q&Xd  
    "(efd~.]  
     NuO>zAu  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ') 1sw%[2  
    )vU{JY;  
     8]?1gDS|9O  
                                                                 Xi{(1o4%  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         k13/yiv  
    Y|VzeJC  
     |16 :Zoq  
                                                                 EhFhL4Xdn  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         .V.N^8(:a  
    f A,+qs  
     R-Fi`#PG2  
     
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