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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 9s&dN  
    {]Ec:6  
    1T0s UIY  
                                                             9w.ZXd  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 Mz: "p.  
                                                                 /3j3'~0  
    建模任务                                                         UO4z~  
    eOZ"kw"uHu  
     M a^}7D /  
    ~n;U5hcB  
    光栅元件   JQDS3v=1$  
    ImsyyeY]  
                                                             N) '|l0x0  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: NX8. \Pf#  
    • FMM/RCWA kE854Ej  
    • Diffractive Lens Component {sF;R.P&r  
                                                                 Np@RK1}  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       '}9 %12\^h  
    `{H!V~42  
                                                         <Y)Aez  
    zxC~a97`  
    正弦光栅-传输相位形态     +[7 DRT:  
    >0S(se$  
                                                         m[<z/D  
    B8>3GZi  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         %mRnJgV5k  
    7_`_iymR  
     u-R;rf5%k  
    o!zo%#0;#)  
    正弦光栅-衍射效率 rO]2we/B,4  
    OjsMT]  
                                                                 Lklb  
    C ett*jm_  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       #Yx /ubg6  
    8TCbEPS@Q  
           ^zKP5nzL  
    P\&n0C~  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   7ZFd;-  
                                           LfMN 'Cb  
    Q|7;Zsd:  
                                                                 ZJV;&[$[  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) +r$VrNVs  
    /! M%9gu  
                                                               #YK=e&da  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                          h 3V; J  
    I @ D<rjR  
    b&!x.+d-z  
     c>+hY5?C  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         /;WFRp.  
    ,"Nb;Yhg  
     6c*QBzNL  
                                                                 e7n` fEpO  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         q U^`fIa  
    v,c;dlg_  
     ZmS ]4WM<  
                                                                 ?tkd5kE  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Lv@'v4.({  
    !BR@"%hx  
     < ;fI*km  
     
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