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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 D}Ilyk_uUw  
     'k&?DZ!  
    "fQRk  
                                                             cd;NpN  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 PBks` |+  
                                                                 u"$a>S_  
    建模任务                                                         D y6$J3 r  
    ]6tkEyuq  
     \o3"~\|6C  
    $mco0 %$  
    光栅元件   iZ[tHw||  
    BH0!6Oq  
                                                             dw@E)  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: cTZ)"^z!  
    • FMM/RCWA aI#4H+/  
    • Diffractive Lens Component ^c9ThV.v  
                                                                 Mj0Cat=  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ?SY<~i<K-  
    }\v^+scD  
                                                         {7Cx#Ewd  
     e/e0d<(1  
    正弦光栅-传输相位形态     `!\ivIi^  
    0rMqWP  
                                                         6(56,i<#/  
    }IUP5O6  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         nR5bs;gk"  
    mp `PE=  
     zCXqBuvu1  
    DM7}&~  
    正弦光栅-衍射效率 G=M] 8+h  
    m>Ux`Gp+  
                                                                 PN F4>)  
    AfWl6a?T8:  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       d5xxb _oE  
    +h[e0J|v{  
           4E"d/  
    hd^x}iK"  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   y{rn-?`{  
                                           }6~)bLzI}  
    *Jnh";~b  
                                                                 ;R1B9-,  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) %= u/3b:o  
    +802`eax  
                                                               9$tl00  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         hN4VlNKu  
    p?myuNd[  
    oXc/#{NC  
     cqQRU  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         IlHY%8F{  
    rnvQ<671W  
     ko[TDh$T5  
                                                                 RebTg1vGu  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         r=csi  
    HCc`  
     \y*j4 0  
                                                                 G*\sdBW!k  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         jKt-~:  
    &telCg:  
     ltEF:{mLe#  
     
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