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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 8p@Piy{p  
    jN6uT &{T  
    F pa_qjL;  
                                                             S=e{MI  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 9/ibWa\.  
                                                                 ^wc"&;=c|  
    建模任务                                                         ysQ,)QoiR{  
    CJJzCVj  
     'F$l{iR  
    :=/>Vbd: )  
    光栅元件   .tzG_  
    zY('t!u8  
                                                             Dm-zMCf}Q  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: #>mr[   
    • FMM/RCWA E~gyy]8&  
    • Diffractive Lens Component fDvl/|62{  
                                                                 2VE9}%i  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       w &(|e <  
    INi]R^-  
                                                         <oX7P69  
    Y<Fz)dQo  
    正弦光栅-传输相位形态     gm[z[~X@  
    8_ tK4PwP  
                                                         ?l^1 *Q,  
    HLZ;8/|48m  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         LkK~%tY  
    twlk-2yT!  
     'zGo?a  
    0iwZT&O  
    正弦光栅-衍射效率 K3x.RQQ-  
    H s"HID  
                                                                 Ou1JIxZ)|  
    8'4S8DM  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       7TDy.]  
    Wu_kx2h  
           x*nSHb  
    OC<5E121>Y  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Hr]h J c  
                                           *Ie7{EhJ'  
    ~ ArP9 K "  
                                                                 HAJ7m!P  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) HO}Hh[{V9  
    ( m:Zk$  
                                                               {'2@(^3  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Lg*B>=  
    pD01,5/  
    naw0$kXTA  
     v>-VlQ  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         45MLt5^|  
    mHBnC&-/  
     AG?dGj^  
                                                                 `P3>S(Tgy  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         x\s|n{  
    Gmq/3tw  
     !cAyTl(_  
                                                                 j;fpQ_KL  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         a8i]]1Blz  
    -!N&OZ+R   
     nx^]>w  
     
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