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摘要 g5TXs^g F'ZLN]"{
BzH7E[R49 1N<)lZl) 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 2vKnxK+ 5 /IVw}:G 建模任务 rS9*_-NH 1p,G8 v+B
R{.wAH( avls[Bq 光栅元件 KM(U-<<R ja2LQe@Q
<u44YvLBm 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: NW=j>7 • FMM/RCWA 9a)D8 • Diffractive Lens Component &eY$(o-Hw +7+
VbsFG 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) J.":oD j^ZpBN L
X %,;IW]a B!<{s' 正弦光栅-传输相位形态 N|q:wyS| |6\ ?"#
2!dIW5I vE?qF9I{$0 正弦光栅-传输相位形态 Y_PCL9G{p I}Q3B3Byg
}W<]fK `Y.RAw5LrE 正弦光栅-衍射效率 (m3p28Q? NLb/Bja
A@'):V8_%C y>8!qVX 正弦光栅-效率vs. 周期 CNcH)2Mk SVXey?A;CJ
_a*Wk OY~5o&Oa 正弦光栅—选定周期的相位形态 7+T\ ?Pmj }f y9\s[}c_ U$VTk 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) L6$,<}l oB9Fas!N
2T?t[;- 闪耀光栅-传输相位形态 %XG X( XA9$n_|bw D (qT$# >tP/"4c 闪耀光栅-衍射效率 [W{`L_" =]W{u`
>&?wo{b AH=6xtS- 闪耀光栅-效率vs.周期 ~n"V0!:'4 ?WUE+(oH>
tGmyTBgx J+DuQ;k; 闪耀光栅-选定周期相位形态 o/)\Q>IY >R !^aJ
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