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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 $6# lTYN~  
      La9r  
    iTu0T!4F  
                                                             wYjQ V?,  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 y+A{Y  
                                                                 ./7v",#*.'  
    建模任务                                                         }a^|L"  
    e=7W 7^"_  
     +bUW!$G  
    wdwp9r  
    光栅元件   ]-:1se  
    ) "[HZ/  
                                                             @o&Ytd;i  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: bK4&=#Zh  
    • FMM/RCWA #uKWuGz]  
    • Diffractive Lens Component s/t11;  
                                                                 `|EH[W&y  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       \(fq8AL?  
    4mJFvDZV`  
                                                         h55>{)(E  
    |` "?  
    正弦光栅-传输相位形态     W#{la`#Bu  
    }Eh*xOta  
                                                         =X@o@1  
    j5^-.sEEw  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         \|t{e8}  
    OH6n^WKY  
     f{ ^:3"i  
    "Pj}E=!k  
    正弦光栅-衍射效率 56{I`QjX  
    ~O03Sit-  
                                                                 [s}/nu~U  
    :1;Q(9:v  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       /g76Hw>H  
    %4,?kh``D  
           p `P~i&_  
    QVtM.oi!Q  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   9$RI H\*  
                                           BJ5}GX!  
    w4%AJmt  
                                                                 <n^3uXzD  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) <3Gqv9Y&  
    0+`Pg  
                                                               >qh?L#Fk  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Hg+ F^2<y  
    }l;Lxb2`  
    .Dw,"VHP  
     .=<$S#x^Hb  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         q3S+Y9L  
    &&7r+.Y  
     > 0.W`j(s  
                                                                 :2y"3azxk  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Ns=AjhLc z  
    v>m n/a  
     /3B6 Mtb  
                                                                 XsL#;a C  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         X?o( b/F -  
    , Z ~;U  
     vAi$ [p*im  
     
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