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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 L%5g]=  
    `%Jq^uW  
    #n6<jF1G  
                                                             e>Q_&6L  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 m8NKuhu  
                                                                 ]x^v;r~  
    建模任务                                                         +kZW:t!-  
    sY@x(qkIOc  
     u ioBI d  
    D9-D%R,  
    光栅元件   qcR"i+b  
    ~[3B<^e  
                                                             bqSp4TI  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: f ,WAl\  
    • FMM/RCWA C ]+J  
    • Diffractive Lens Component W>T6Wlxu`6  
                                                                 rBrJTF:.  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       +9[s(E?SY  
    Hribk[99  
                                                         ht5eb"c+ 8  
    * v W#XDx  
    正弦光栅-传输相位形态     %eQw\o,a  
    :vRUb>z  
                                                         |}2X|4&X  
    ,{VC(/d  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         >uVr;,=y  
    =6^phZ(  
     }RN&w ]<  
    u!DAeE  
    正弦光栅-衍射效率 tC4 7P[b  
    2}8xY:|@(U  
                                                                 ,/6 aA7(  
    <P#]U"?A  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       MO-)j_o-Z  
    xji2#S%  
           a^QyYX}\qR  
    ?R8wmE[w  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   J-)9>~[E<  
                                           X0e#w?  
    5V"g,]'Nd  
                                                                 <yz&> +9,  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) i{5,mS&  
    /R!/)sg  
                                                               iQJ[?l`  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         1@vlbgLr@  
    c037#&Q%#  
    3r]N\c  
     wR*>9LjeG  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         FatLc|[  
    rXG?'jN  
     C)8>_PY[M  
                                                                 $2lPUQZ<5  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         41Htsj  
    +?[,{WtV  
     e SlZAdK  
                                                                 C=uYX"  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                          Re^~8q[  
    U-0A}@N  
     /swNhDQ"o  
     
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