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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 G[8in   
    S,U Pl}KF  
    A<\JQ  
                                                             \`, [)`  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 Ne $"g[uFU  
                                                                 l c_E!"1  
    建模任务                                                         +kq'+Y7  
    .))v0   
     6YuY|JD  
    peJKNX.!q  
    光栅元件   XyMG.r-,  
    ^m/14MN|  
                                                             saU]`w_Z*  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: lCF `*DM#  
    • FMM/RCWA 1xU3#b&2tC  
    • Diffractive Lens Component ^'p|!`:  
                                                                 `MEYd U1  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       vA)O {W\o  
    P/JK$nb  
                                                         341?0 %=  
    8 4i_k  
    正弦光栅-传输相位形态     4d_s%n?C  
    AH4EtZC=W  
                                                         oo=#XZkk  
    \v6 M:KR5/  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         -o+74=E8[?  
    tA$)cg+.  
     /%4_-Cpm  
     KluA  
    正弦光栅-衍射效率 |0{u->+ )  
    \@}#Gez  
                                                                 CSV;+,Vv  
    577:u<Yt  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       WZ!WxX>zO  
    qzFQEepso  
           Omi^>c4G  
    aS|wpm)K>8  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   O:#+%  
                                           $6F)R|  
    Dml*T(WM>  
                                                                 AM} brO  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 1Uf*^WW4  
    CK_(b"  
                                                               |3K)$.6~  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         #'OaKt?Z)  
    #a| L3zR5v  
    Gg\G'QU  
     Q,Z*8FH=  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Px M!U!t  
    M}DH5H"s  
     ha;l(U>  
                                                                 8u2+tB  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         xjdw'v+qZo  
    cgC\mM4Nla  
     U,1AfzlF  
                                                                 # x>ga  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         }a&mY^  
    V 'X;jC  
     t ]c{c#N/  
     
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