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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 \VMD$zZx  
    1SIq[1  
    RkeltE~u  
                                                             Uggw-sRU  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ?']h%'Q  
                                                                 p{dwZ_gl  
    建模任务                                                         M6r^L6$N  
    Pl=]Srw  
     rX7QbAB  
    6 9y;`15  
    光栅元件   &ZHC-qMRK  
    M]v=-  
                                                             x"P);su  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: |WryBzZ>on  
    • FMM/RCWA DHC+C4  
    • Diffractive Lens Component C`jM0Q  
                                                                 X6+qpp  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       _M[,! {C  
    vR6Bn  
                                                         yqXH:757~  
    cV{%^0? D  
    正弦光栅-传输相位形态     _/*U2.xS  
    3l<S}k@M)  
                                                         Z BUArIC  
    $/1c= Y@  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         *1Z5+uVT[  
    dBV7Te4L  
     l%R50aL  
    h0Z{,s}  
    正弦光栅-衍射效率 y;?ie]3G  
    { x0t  
                                                                 ^[-el=oKn0  
    tGdf/aTjy  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       kU-t7'?4  
    IL/Yc1  
           %ows BO+  
    /"H`.LD.?  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   )Rat0$6  
                                            =$8nUX`  
    kPBV6+d~  
                                                                 Zc |/{$>:W  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Cd79 tu|  
    d%I" /8-J  
                                                               S_T^G` [  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         /N>e&e[35\  
    :!;'J/B@..  
    WnUweSdW  
     1 Q-bYJG  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         C'=k&#<-  
    +QM@VQ  
     +bK.NcS  
                                                                 rKHY?{!  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         {HC@u{K -  
    , $Qo =  
     }u+a<:pkK  
                                                                 7J28JK  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         !{n<K:x1  
    _ ~RpGX  
     ]u-]'P  
     
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