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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 $^ 3 f}IzA  
    CU&,Kq@  
    dK$dQR#  
                                                             +:Zi(SuS]  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 _9 O'  
                                                                 ] 6B!eB !  
    建模任务                                                         \H12~=p`B  
    =Bx~'RYl1d  
     pU/.|Sh  
    9>P(eN  
    光栅元件   5E|2 S_)G  
    }H.vH  
                                                             U\6DEnII?!  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 7NEn+OI4  
    • FMM/RCWA __npX_4%S  
    • Diffractive Lens Component 8~>3&jX  
                                                                 -6>rR{z  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       xb>+~59:  
    YT8`Vz$+  
                                                         @]4s&;  
    xn[di-L F  
    正弦光栅-传输相位形态     HPB1d!^  
    {}e IpK,+  
                                                         D._r@~o  
    e)7r  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         1)ne-e  
    gV BV@v!W  
     "(GeW286k  
    fOAb?:D  
    正弦光栅-衍射效率 [8#l~ |U  
    Bw[VK7  
                                                                 _A*0K,F-  
     v<W++X7z  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       k=}hY+/=  
    39#>C~BOl  
           eNb =`  
    Y.J$f<[R  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   WkE;tC*  
                                           cyyFIJj]  
    GYO"1PM  
                                                                 /8T{bJ5  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) )1le-SC  
    3E-&8x7uYR  
                                                               'z/hj>B<  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         /FY_LM  
    8wOPpdc  
    >E3OYa?G  
     we3t,?`rk7  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         TzJN,]F!M  
    wW~2]*n  
     (X/JXu{  
                                                                 C 4,W[L]4"  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ;7}*Xr|  
    &/p 9+gd  
     l]gf T&  
                                                                 ]h6<o*  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         GU`2I/R  
    :O2N'vl47A  
     L 'y+^L|X  
     
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