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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 ~Pv4X2MO  
    t?QR27cs$  
    u"?cmg<.1  
                                                             z )a8 ^]`  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 )0yY|E\  
                                                                 ;jo,&C  
    建模任务                                                         Ke~a  
    Ex&f}/F  
     7'J}|m{7  
    j42U|CuK  
    光栅元件   !3kyPoq+  
    ]lXTIej`dy  
                                                             a4 O  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: CLdLO u"  
    • FMM/RCWA P%ev8]2  
    • Diffractive Lens Component kzbgy)PK3  
                                                                 [ 3]!*Cd  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       =V/$&96Q  
    V\r5  
                                                         ne oT\HV  
    ]9l=geZd%;  
    正弦光栅-传输相位形态     Fwm{oypg%  
    "m3u}!`3  
                                                         S^c5  
    I,_wt+O&j  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         u;F++$=  
    '2WYbcU  
     hE/gul?|_  
    s~Ni\SF  
    正弦光栅-衍射效率 %$~?DDNM  
    "F7g8vu  
                                                                 q\x*@KQgM  
    DHaSBk  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       n,wLk./`  
    :05>~bn>pC  
           2(\~z@g  
    yLW iY~Fd  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   :\4?{,@_h  
                                           "o*F$7D!  
    i jg'X#E  
                                                                 8;5 UO,`T  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) P2_JS]>  
    }e9E+2}Z\  
                                                               fM]zD/ g  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         %+:%%r=Q  
    WID4{>G2  
    0mF3Vs`-Q  
     j I_TN5  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         $"!"=v%B  
    %t([  
     zb OEF  
                                                                 1Yo9Wf;vP  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ?>*i8*  
    DDwH9*  
     J-:\^uP  
                                                                 5sao+dZ"|  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         K=;z&E=<c  
    ]uI#4t~  
     j,K]T J  
     
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