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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 4meidKw]  
    |Z`M*.d+  
     20I4r  
                                                             "El^38Ho  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 V#ndyUM;  
                                                                 xT9Yes&  
    建模任务                                                         8{R_6BS  
    *0%4l_i  
     p+, 1Fi  
    IK*oFo{C=K  
    光栅元件   :8p&#M  
    v~ ^ks{  
                                                             (Ij0AeJ#  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: KxO/]  
    • FMM/RCWA I3Lg?bZ  
    • Diffractive Lens Component cCM j\H@  
                                                                 [RAj3Fr0  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       M[ x_#m|  
    F\>oxttS1  
                                                         ds- yif6   
    [NYj.#,oR  
    正弦光栅-传输相位形态     QJx9I_  
    ZhH+D`9  
                                                         f?,-j>[.=f  
    TE3*ktB{N  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         5a'yXB}  
    ;aq`N}d  
     l iw,O 6  
    CV'&4oq  
    正弦光栅-衍射效率 Xo2^N2I  
    bfFmTI$,  
                                                                 S8\+XJ  
    r=h8oUNEJ*  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       m"n.Dz/S  
    [}z?1Gj;W(  
           ,{?wKXJ}L!  
    )))2f skZ  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   XJe/tR  
                                           K} +S+ *_  
    YU&4yk lE  
                                                                 aiYo8+{!#  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) P3G:th@j=  
    ] bIt@GB  
                                                               }/20%fP  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         &GuF\wJ{7  
    Sa Cx)8ul0  
    d7E7f  
     hHpx?9O+!  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         &`\ep9  
    [q'eEN G  
     @8|Gh]\P  
                                                                 _ j~4+H  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ei@3,{~5  
    Rfht\{N 7  
     0{Bf9cH  
                                                                 TM0b-W (H  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         {ih:FcI  
    P@C c]Z  
     VUp. j  
     
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