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摘要 !nVX .m9 tP!sOvQ:
3}g?d/^E3 +6<MK; 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 9[T#uh!DC }J`{g/ 建模任务 8SAz,m!W) K1:F{*
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xcM+OX1 光栅元件 ' 1P_* 8x,;B_Zu
Rz=]KeZu 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ,eUMSg~P.7 • FMM/RCWA }T,E$vsx • Diffractive Lens Component 0SKt8pL` R<UjhCvx. 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) [&3"kb Z/-%Eb]L1
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jjM 正弦光栅-传输相位形态 8-?n<h%8E n+uq|sYVa
bMSF-lQ gP1$#KgU 正弦光栅-传输相位形态 KMbBow3o*~ kI[EG<N1k
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+ ,+'f unH 正弦光栅-衍射效率 9 oq(5BG, 3"L$*toRA
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NOfYi 正弦光栅-效率vs. 周期 R:ar85F #='#`5_5
;=^WIC+Nr |g;XC^!%=o 正弦光栅—选定周期的相位形态 D3^v[>E2 ,MvvW{EY pwZ &2&| 5~[Fh2+ 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) W}=2?vHV= Sr+1.77}
6kDU}]c:H] 闪耀光栅-传输相位形态 n--`zx-[' >XZq=q]E! Xif`gb6` #F{|G:\@[ 闪耀光栅-衍射效率 Ahwu'mgnC Hd2_Cg FB
XqwdJND r}5GJ|p0 闪耀光栅-效率vs.周期 rpXw 8 <'vM+Lk
UNAuF8>K eBN>|mE4N 闪耀光栅-选定周期相位形态 PCIC*!{ .-34g5
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