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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 0^5SL/2  
    =Qp~@k=2  
    $F`jM/B6  
                                                        
    P+wV.pF|  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 TfDx> F$  
                                                                 <hkg~4EKc  
    建模任务                                                         IFH%R>={  
    tb/bEy^  
    J}hi)k  
    Nf%jLK~  
    光栅元件   KaZ*HPe(  
    `)*   
                                                        
    c&e?_@} |  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ^EN_C<V;"d  
    • FMM/RCWA gk"S`1>  
    • Diffractive Lens Component kZBIXW,G  
                                                                 1%G<gbHpI  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       , pq<.?&E  
    nG1 mx/w  
                                                    
    #^" \WG7{  
    Ts:3_4-k  
    正弦光栅-传输相位形态     @c,}\"(  
    Pv1C o:  
                                                    
    uB>NwCL;  
    Ny /bNQS  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         t^)q[g  
    xV:.)Dq9  
    fJtJ2xi  
    {  KE[8n  
    正弦光栅-衍射效率 \_#0Z+pX  
    #?k$0|60  
                                                            
    U#gHc:$  
    _Z~wpO}/  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       6+_)(+ c  
    (9CB&LZ(+E  
      
    c BQ|m A  
    S)p{4`p%  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   hY7Q$B<  
                                      
    4d)w2t?H%  
    Ro*$7j0!Hf  
                                                                 yb2*K+Kv  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) VjS %!P  
    s<cg&`u,<M  
                                                          
    !u.{<51b  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         f#pT6  
    &THM]3:  
    .7ESPr  
    Q*+@"tk<  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         .L0pS.=LT  
    L01R.3Z+  
    s03 DL  
                                                                 2lDgv ug  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         *,-)4)7d  
    (pm]U7  
    DKqFe5rw  
                                                                 W1f]A#t<  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         aSi:(w  
    W78Z<Vm  
    ez%RWck  
     
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