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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 <Jp1A# %p  
    4rU! 4l  
    n`;R pr&  
                                                             zSjgx_#U  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 G(1 K9{i$  
                                                                 XvSIWs  
    建模任务                                                         Z]:BYX'  
    >AI<60/<  
     pyW u9  
    Z#Lx_*p]Q  
    光栅元件   |[cdri^?D  
    3LlU]  
                                                             fV ZW[9[  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: f e $Wu  
    • FMM/RCWA 3,.% s  
    • Diffractive Lens Component p#_[  
                                                                 y>(rZ^y&  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       D(r:}pyU  
    "6I[4U"@  
                                                         MPRO !45Z  
    XSB8z   
    正弦光栅-传输相位形态     BEw{X|7  
    (clU$m+oXX  
                                                         ^@}#me@  
    <4D%v"zRP  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         @%@zH%b  
    Xi~9&ed#$i  
     Gz dgL"M[  
    e!o(g&wBj  
    正弦光栅-衍射效率 hswTn`f  
    A'"-m)1P  
                                                                 P&t;WPZ  
    WaYO1*=  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       bx(w :]2  
    _F8T\f |  
           2;N@aZX  
    xVR:; Jy[  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   gGKKs&n7  
                                           $au2%NL  
    X N;/nU  
                                                                 56s*A*z$ ;  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) /Antb6E  
    /{G/|a  
                                                               dp^N_9$cdO  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         XZ:1!;  
    A ^B@VuK  
    1!s28C5u  
     C.E[6$oVc  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         >RR<eYu7m  
    $'$>UFR  
     ?0npEz|  
                                                                 ,35Ag#va  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Ve14rn  
    l @A"U)A(  
     ma7fDo0,`h  
                                                                 A[ 1)!e  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ;Prg'R[o;  
    5<r)+?!n  
     R`C.ha  
     
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