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摘要 M@LaD 5 2YP"nj#
t2-zJJf8 OD@@O9 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 5+Zx-oWq_ ;HLMU36q 建模任务 k~s>8N:&G 9|kEq>d
efAahH 3vGaT4TDx 光栅元件 1-Wnc'(OK :Ro"
0/d
RxDxLU2kt 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: (Ss77~W7 • FMM/RCWA gJ[q
{b • Diffractive Lens Component }zfLm`vJ I>4Tbwy.- 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) a518N*]j ]zR;%p
Z?!:=x>7m G>{:D'# 正弦光栅-传输相位形态 OaCj3d> I9j+x])
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]R @:a/ 正弦光栅-传输相位形态 nR |LV'( @.]K6qC
VFaK>gQ !vo '8r?& 正弦光栅-衍射效率 +mQC:B7> . eag84_
2D_Vo ])l/ DBh/V#* D 正弦光栅-效率vs. 周期 _(s|Q QO`Sn N}
LGgx.Z MVU'GHv 正弦光栅—选定周期的相位形态 O}iKPY8K `&Of82*w `r0
qn'* 6g,3s?aT 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Gqz)=' T7Qd
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8_,wOkk_B 闪耀光栅-传输相位形态 3'@jRK ghd[G} q>l kLHS g<0%-p 闪耀光栅-衍射效率 i@?<]n 2i'-lM=
R\=\6( " z8[|LF-dx 闪耀光栅-效率vs.周期 (V%vFD1) -EIMh^
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