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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 *=KX0%3  
    xc&&UKd  
    (c'kZ9&  
                                                             Tp.t.Qic  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 M In6p  
                                                                 ^(:Z*+X~>  
    建模任务                                                         L+]|-L`S  
    6z-&Zu7@  
     T 8. to  
    .Jvy0B} B  
    光栅元件   +YNN$i  
    (v2.8zrJ  
                                                             pAY[XN  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: *.2[bQL@v  
    • FMM/RCWA @5)THYAx4  
    • Diffractive Lens Component M#5*gWfq9  
                                                                 SBbPO5^](  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       =a]B#uUn  
    Cbq|<p# #o  
                                                         `;R [*7  
    mi>CHa+$  
    正弦光栅-传输相位形态     /DC\F5 G  
    "AayU  
                                                         p&O-]o8  
    :8CYTEc  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         +'!4kwTR  
    o<f#Zi  
     W4ygJL7 6  
    ;'fn{j6C  
    正弦光栅-衍射效率 % njcWVP;  
    F VVpyB|  
                                                                 uA1DTr?z  
    K]0K/~>8  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       re%MT@L#  
    WokQ X"  
           =I6u*$9<  
    [h=[@jiB  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   D_(K{? KU  
                                           AY~~a)V  
    ,iYKtS3  
                                                                 GO|EeM!iB  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) XY*KWO  
    >_m4 idq1  
                                                               Z,ZebS@yG  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Jemb0Qv  
    (4 6S^*  
    wRLj>nc  
     J]=2] oI2  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         t&^cYPRfY'  
    I8]q~Q<-P  
     7K\H_YY8#  
                                                                 =w/S{yC  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         `tjH#W`  
    @m99xF\e  
     SB<09|2  
                                                                 G1`H H&  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Pp9nilb_(  
    Pqc +pE  
     ~l@-gAyw  
     
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