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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 [l}H%S   
    BS3{TGn  
    .Nk5W%7]=  
                                                             L *cP8v4  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 m qwJya  
                                                                 Vwb_$Yi+]  
    建模任务                                                         c7D{^$L9 v  
    kK:U+`+  
     JCci*F#r  
    G5ShheZd  
    光栅元件   EHK+qrym  
    4 %V9  
                                                             v.hQ 9#:  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Q/0oe())  
    • FMM/RCWA iK!FVKi}  
    • Diffractive Lens Component \h?6/@3ob  
                                                                 O8~RfB  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       -$$mrU  
    qWJHb Dd  
                                                         pj$kSS|m6-  
    aYM~Ub:x{  
    正弦光栅-传输相位形态     ,(&Fb~r]  
    r7FJqd  
                                                         ^6J*:(eM  
    Ns]$+|  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         Q%524%f$  
    GK;IY=8W  
     S gssNv  
    ^7yaM B!  
    正弦光栅-衍射效率 Bo\~PV[  
    *5{1.7  
                                                                 Cbp zYv32  
    7$x%A&]  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       _mJhY0Oc  
    tu(^D23  
           q]Kv.x]$R  
    C DoD9Hq,  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   'Va<GHr>+  
                                           #lc6-K#  
    u%lUi2P2E  
                                                                 @v3)N[|d  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ydA@@C\&  
    O3mw5<%15  
                                                               gAVD-]`  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         yL),G*[p\}  
    |6;-P&_n  
    +v$W$s&b-h  
     Gpi_p  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         [!MS1v c;  
    pjl>ZoOM  
     ?1zGs2Qs  
                                                                 pe<T" [X  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         eoXbZ  
    V.6pfL  
     *?$M=tH  
                                                                 HA7%8R*.2i  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         5W$Jxuyqj  
    i+pQ 7wx  
     zR <fz  
     
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