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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 w5p+Yx=q  
    tG'c79D\  
    umY4tNe]$  
                                                             #~"jo[  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 &}<IR\ci  
                                                                 d4/ZOj+%  
    建模任务                                                         z,vjY$t:/  
    BO^e.iB/  
     ].eGsh2  
    s<:J(gD  
    光栅元件   IsI\T8yfc  
    ` 6PdMvF  
                                                             |X>:"?4t  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: AyddkjX  
    • FMM/RCWA opKtSF|)  
    • Diffractive Lens Component uXXwMc<p  
                                                                 (sY?"(~j?T  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ~%cbp&s*/q  
    krgsmDi7  
                                                         vb# d%1b5  
    l&zd7BM9(  
    正弦光栅-传输相位形态     a!;?!f-i  
    WlU5`NJl]2  
                                                         <S<(wFE@4  
    ."dmL=  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         CQS34&G$a  
    DEIn:d  
     k@^)>J^  
    ds`a6>746  
    正弦光栅-衍射效率 e(cctC|l  
    L0}"H .  
                                                                 WL<Cj_N_{H  
    I_4'9  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ^b'[ 81%  
    }{s<!b  
           7^=O^!sa  
    6#v"+V  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   t68h$u  
                                           $Ad 5hkz  
    7cH[}v`pn  
                                                                 xI$B",?(  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) .Gw;]s3  
    .Um.dXBYU  
                                                               lCDXFy(E  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         \xwE4K  
    9 u{#S}c`  
    0Db#W6*^  
     Iq MXd K|  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Ji gc@@B.  
    - 3kg,=HU;  
     49cQA$Ad  
                                                                 pno]B ld'z  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         3DbS\jja  
    %R(1^lFI$  
     }sZme3*J[  
                                                                 YvRMUT  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         *s} dtJ  
    pPUKx =d  
     /2 ')u|  
     
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