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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 L'XX++2  
    WVaIC$Y  
    2n}nRv/'  
                                                             t Dx!m~[  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 )Ih '0>=  
                                                                 '\yp}r'u  
    建模任务                                                         'Oyx X  
    axT-  
     r?Y+TtF\e  
    NPjh2 AJm  
    光栅元件   &^WJ:BvA|^  
    |)'gQvDM  
                                                             Z Z1s}TG  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: n^O Wz4  
    • FMM/RCWA uM3F[p%V^  
    • Diffractive Lens Component mIu-  
                                                                 1QHCX*_  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       > "G H Li  
    \@]/ks=K  
                                                         OE,uw2uaT  
    a|B^%  
    正弦光栅-传输相位形态     ('1k%`R%  
    Vg1! u+`<  
                                                         AEx|<E0  
    )3O0:]<H  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         s^nPSY!  
    ,>-Q#  
     C^Jf&a  
    T*"15ppfk  
    正弦光栅-衍射效率 $,+'|_0yM  
    /($!("b  
                                                                 o* q F"xG  
    \VW&z:/*pZ  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       }Ip"j]h  
    **I9Nw!IH  
           fneg[K  
    XxT7YCi  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   '8g/^Y@  
                                           .;gK*`G2W)  
    79J@`  
                                                                 "z+Z8l1.  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) $#V ^CmW.  
    |JVeW[C  
                                                               Y~=]RCg  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         .hh 2II  
    ZB-+ bY  
    2i);2>HLG  
     g*9jPwdG  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         QC:/xP  
    \Fh k>  
     "P:kZ= M Q  
                                                                 =2%EIZ0oW  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         F\. n42Tz  
    h3^ &,U  
     gI A{6,A  
                                                                 K`PmWxNPh  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         K7&A^$`  
    *!De(lhEc  
     g%w@v$  
     
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