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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 r^rk@W;[  
    lnjs{`^  
    eS ?9}TG|  
                                                             :KG=3un]  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 R N@)nc_  
                                                                 `}sFT:1&  
    建模任务                                                         +cmi?~KS*  
    >rP[Xox'  
     G^K;+&T  
    xnWezO_  
    光栅元件   mA,{E-T  
    .:Wp9M  
                                                             '4u/g  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: @RuMo"js  
    • FMM/RCWA 3%o}3.P,:@  
    • Diffractive Lens Component knV*,   
                                                                  DQV9=  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       `#`C.:/n  
    a x;<idC}  
                                                         8JR&s  
    5{1=BZftZ  
    正弦光栅-传输相位形态     DyZ6&*s$  
    \21Gg%W5AE  
                                                         \' A- Lp  
    7AGUi+!ICl  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         =c&.I}^1L  
    ZDI?"dt{  
     e F}KOOfC  
    DXO'MZon3  
    正弦光栅-衍射效率 UEYJd&n0CB  
    z/QYy)_j  
                                                                 0/7.RpX,.  
    &P35\q   
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       z}$.A9yn  
    7u :kR;wk  
           g@/}SJh/>  
    RK$(  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   BAi0w{  
                                           Rd]<591  
    {o*$|4q4  
                                                                 yqtHlz%  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Uy)pEEu  
    +eLL)uk  
                                                               j*f\Z!EeZ  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         r[7*1'. p  
    THK^u+~LM  
    D97 vfC  
     &l_}yf"v  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         0blbf@XA  
    ?pd /cj^  
     e6{E(=R[M  
                                                                 N$:-q'hX  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         P39oHW  
    JdWav!PYm  
     =kK%,Mr  
                                                                 pbWjTI$  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ZIh)D[n  
    UFj!7gX]  
     Up_"qD6  
     
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