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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 O+~.p  
    3eX;T +|o  
    %9Br  
                                                             AC :cV='  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 {W*_^>;K  
                                                                 d#6'dKV$  
    建模任务                                                         /ZlPEs)  
    {eo4J&as  
     MdM^!sk&`  
    3}V`]B#a  
    光栅元件   'S]7:/CI  
    |>(d^<nR^v  
                                                             #Ux*":  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 0EiURVX  
    • FMM/RCWA c]3% wL  
    • Diffractive Lens Component DdJ>1504  
                                                                 {YnR]|0&  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)        &0! f_  
    /cM<  
                                                         G Xx7/X  
    %6rMS}  
    正弦光栅-传输相位形态     IO3`/R-  
    FaS}$-0  
                                                         ClZ:#uMbN  
    `@?f@p$(B  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         it V@U  
    1|/P[!u  
     rS1mBrqD  
    Teq1VK3Hr  
    正弦光栅-衍射效率 4pNIsjl}  
    3>LyEXOW  
                                                                 z/09~Hc  
    {KkP"j'7h  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       |KEq-  
    F|.,lb |L  
           R&Mv|R   
    K6"#&0  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   wXdtY  
                                           []B9Me  
    yO}RkRA  
                                                                 F-K=Ot j  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) iEd%8 F h  
    2p'ujAK  
                                                               {c5%.<O  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ND);7  
    i"|="O0v5  
    Z(g9rz']0  
     zdY+?s)p  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         [X>\!mt  
    9v[cy`\  
     :5 XNV6^|  
                                                                 H(f~B<7q  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         9[.vtk\iyH  
    %{GYTc \'X  
     nT UKA  
                                                                 Hj&mwn]  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Cm)_xnv  
    yL =*yC  
     H"v3?g`S%  
     
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