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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 /i"vEI  
    @2v L'6  
    M}!7/8HUC  
                                                             , b ,`;I  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 YT+fOndjaF  
                                                                 l]%_D*<Y  
    建模任务                                                         x|<rt96 6A  
    KV k 36;$  
     =SA@3)kHH  
    eh2w7 @7Q  
    光栅元件   9w[7X"#n  
    *LOpbf  
                                                             SouPk/-B80  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: k?0yH$)'t  
    • FMM/RCWA M\ vj&T{k  
    • Diffractive Lens Component ^*#5iT8/  
                                                                 5?kJ]:  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       }\|$8~  
    JBtcl# |  
                                                         \|BtgT*$b  
    mg[=~&J^  
    正弦光栅-传输相位形态     !R-M:|  
    d^ L` dot  
                                                         1Y$ gt  
    s+YQ :>F  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         kIWQ _2  
    P6&@fwJ<  
     4`)`%R$  
    Pni  
    正弦光栅-衍射效率 p 2It/O  
    /@g D 8  
                                                                 H{ p   
    S75wtz)e  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       tPIT+1.]z  
    m{9m.~d  
           6QkdH7Qf=  
    @(Wx(3JR?}  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Rx<m+=  
                                           cq>{  
    jq yqOhb4  
                                                                 \`}Rdr!p%  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) N`1:U 4}  
    RMUR@o5N  
                                                               !4\`g?  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         57k@] 3 4  
    wkOo8@J\  
    [tGAo/  
     Vz6p^kMB  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Pc#8~t}2  
    _W'>?e0i  
      }&BE*U8_  
                                                                 JV(qTb W  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         J@PwN^`  
    4|YCBXWh  
     -CtLL _I  
                                                                 6My=GByC  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         3}e-qFlV8,  
    o%XAw   
     nd*9vxM  
     
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