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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 PU[] Nw  
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    EQ\/I( =l  
                                                        
    bt"*@NJ$  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 wm_xH_{F  
                                                                 Sw%^&*J  
    建模任务                                                         >,7 -cm=.  
    WQK ~;GV-  
    [Q6PFdQ_JT  
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    光栅元件   9n%vz@X  
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    ch!/k  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 3P N<J  
    • FMM/RCWA PVLLuv  
    • Diffractive Lens Component 90X<Qs  
                                                                 ) 7w%\i{M  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       M*<Ee]u  
    16Cd0[h?  
                                                    
    bW-9YXj%  
    }Ox5,S}ra  
    正弦光栅-传输相位形态     M8(N9)N  
    Z^wogIAV  
                                                    
    b9X"p*'p  
    e#BxlC  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         x5jd2wS Dx  
    Xw)W6H|  
    b*Sw") #  
    VN]70LFz*i  
    正弦光栅-衍射效率 %m)vQ\Vtx  
    }6b" JoC  
                                                            
    <5BNcl\ZL  
    2D;2QdO  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       4z6kFQgu  
    M-7^\wXTA  
      
    w]1Ltq*g/  
    pV[SY6/  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   hX4 V}kj  
                                      
    Bc&Y[u-n  
    #|-i*2@oR  
                                                                 !A":L0[7n  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) &1 t84p:^=  
    o@2Y98~Q}  
                                                          
    ` "Lk@  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         h\-3Y U  
    zpgRK4p,I"  
    r|av|7R  
    'nJ,mZx  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Yc^;?n`x  
    6 H{G$[2  
    0H!J  
                                                                 0(qtn9;=2  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         o*_arzhA  
     \uG^w(*)  
    SR>(GQ,m0;  
                                                                 L NS O]\  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         zt!)7HBo  
    sU7fVke1   
    B}fd#dr  
     
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