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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 :C={Z}t/F  
    z+zEH9.'  
    O+[s4]  
                                                             L{&Yh|}  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 TWfk r  
                                                                 ,,ML^ey  
    建模任务                                                         g{K \  
    WQB V~.<Yv  
     ;(K"w*  
    y!q`o$nK  
    光栅元件   wZKmU  
    >CHb;*U  
                                                             "/3YV%to-#  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 6X4r2Vq  
    • FMM/RCWA LE?sAN  
    • Diffractive Lens Component U % ?+N  
                                                                 38:5g_  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ~I~lb/  
    M(^ e)7a1  
                                                         ^7=h%{ >=  
    s;sr(34  
    正弦光栅-传输相位形态     Tiimb[|  
    0E{DO<~  
                                                         o/=61K8D  
    nAX/u[  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         R+.kwq3CED  
    \vS > jB  
     4C*0MV  
    6(ER$  
    正弦光栅-衍射效率 ;w._/  
    ' hdLQ\J  
                                                                 P=s3&NDD  
    :dxKcg7  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       xokA_3,1F  
    >T{TE"XyO|  
           O.-A)S@  
     J2Qt!-  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   I<Mb /!TQ  
                                           5Y@Hb!5D  
    Deq@T {  
                                                                 7=&+0@R#/d  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 'Axe:8LA'  
    b%0@nu4  
                                                               +Z]}ce u"  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         KJs`[,;<  
    u}rJqZ  
    $0+&xJVn  
     {Eqx'j  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         D'^UZZlI^I  
     D@]/%;  
     K1&t>2=%  
                                                                 |C0!mU  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Fr2F&NN`D  
    9 aKU}y  
     t%@u)bp  
                                                                 6^2='y~e  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         xZ SDA8kS  
    0w vAtK|Q  
     tGSX TF}G  
     
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