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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    摘要 0J</`/gH  
    Mwk_S Cy  
    QLg9aG|  
                                                             vBnHG-5;P  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 74Wg@! P  
                                                                 BQg]$Tr?  
    建模任务                                                         YcZ4y@6"  
    6\@, Lb  
     r0bPaAKw  
    @ xr   
    光栅元件   X6 cb#s0|  
     gOAluP  
                                                             R/|{?:r?:x  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: nQmYeM  
    • FMM/RCWA !S{<Xc'wv  
    • Diffractive Lens Component  2oASz|  
                                                                 1zW6Pb  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ~-i?=  
    XePBA J  
                                                         pjM|}i<'Q  
    [.,6~=}vP  
    正弦光栅-传输相位形态     hZJqo +s  
    \M@8# k|  
                                                         e84TL U?~  
    e[!>ezaIY  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         MEUqQ4/Gl  
    :nEV/"#F  
     6P|neb}  
    jXZNr  
    正弦光栅-衍射效率 $@wkQ%  
    [L^#<@S  
                                                                 _AHVMsz@  
    =1capix 1r  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       8ipLq`)  
    hBu =40K  
           =p6xc}N  
    :g";p.~=  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   &pz8vWCk  
                                           ` 454=3H  
    zPYa@0I  
                                                                 {{,%p#/b  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ? |dz"=y  
    L+L9)8FJ  
                                                               a06DeRCej  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         .YRSd  
    C-Z,L#  
    i$bBN$<b<  
     y[rLk  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         _T$\$v$ {  
    H"l'E9k.&p  
     b.;W|$.  
                                                                 GZo4uwG@a  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         %*nZ,r  
    .bGeZwvf:G  
     }d(6N&;"zN  
                                                                 VUb*,/hxa  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         cw\a,>]H  
    pxj"<q`nw8  
     X c^~|%+  
     
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