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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 .3{PgrZ  
    63J_u-o  
    !zhg3B# p  
                                                             Qj?qWVapA  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 #hA]r.  
                                                                 YPjjSi:#  
    建模任务                                                         <$f7&6B  
    RjII(4Et  
     +}XFkH~  
    1@ e22\  
    光栅元件   Q\P?[i]  
    :V(+]<  
                                                             ,9(=Iu-?1  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: +YL9gNN>P  
    • FMM/RCWA P4M*vZq)  
    • Diffractive Lens Component [<HU ~PP  
                                                                 x >u \  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       k *a?Ey$  
    %Fh*$gzh*5  
                                                         <.DFa/G   
    wkO8  
    正弦光栅-传输相位形态     -P+@n)?T6  
    dSD7(s!  
                                                         mSw$? >  
    sHk,#EsKH  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ;*3OkNxa3  
    FC'v= *  
     -,M*j|   
    tWs ]Zd  
    正弦光栅-衍射效率 /M:R|91:_  
    H nKO  
                                                                 E3pnu.;U:_  
    2:31J4t-<  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       QY]^^f  
    j k%MP6  
           C^}2::Qu  
    X~aD\%kC7  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   j}0W|*  
                                           `N+A8  
    9t 3mU:  
                                                                 SDdefB  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) x@-bY  
    6ty>0  
                                                               6`KAl rH  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         P/BWFN1  
    8"d0Su4r  
    uR|?5DK  
     wVI 1sR  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         y7K&@ Y  
    y"|QY!fK  
     d?j_L`?+  
                                                                 8Ol#-2>k$  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         C%s+o0b  
    QJBzv|  
     E0;KTcZi  
                                                                 B{\cV-X$0  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ? o@5PL  
    QZcdfJck=+  
     BPp`r_m8w}  
     
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