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摘要 7}OzTup jb~a z
#H{<nVvg^ l>`N+ pZ$ 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 ]wh8m1 _IuEa\> 建模任务 ]:i
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)X@Obg >^LVj[.1 光栅元件 u*B.<GmN
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et(/` 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: CP_ ?DyWU • FMM/RCWA vDZhoD=VR • Diffractive Lens Component daf$` F]]np&UV. 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) W7>4-gk Qj5~ lX`W
["- pylhK j!q5 Bc? 正弦光栅-传输相位形态 h>-JXuN &dF$:$'s
A`Q'I$fj #gq4%; 正弦光栅-传输相位形态 oJe9H < i#$9>X
|={><0 #c@Dn.W 正弦光栅-衍射效率 8:;_MBt hYMIe]kJ
RmxgCe(2a }dw`[{cm 正弦光栅-效率vs. 周期 C`+g:qT |!{Q4<
:VP4|H#SP tRRPNY 正弦光栅—选定周期的相位形态 1RM;"b/ Mnyg:y*= {[G2{ijRz _
vVw2HH 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 0Ge*\Q p8K4^H
4[a?..X 闪耀光栅-传输相位形态 9 +"D8J7 x?Z)q4 9)0AwLlv VvN52
qeL 闪耀光栅-衍射效率 ^I3cU'X 8T92;.~(
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LX Yh_H$uW 闪耀光栅-效率vs.周期 35z]pn%L ]'V8{l
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