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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 gey`HhZp)  
    , B h[jb`y  
    kT!FC0E{  
                                                             f4CwyL6ur  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 i{ eDV  
                                                                 3Q Zw  
    建模任务                                                         0:Ak 4L6k  
    )!e-5O49r  
     n<y!@p^X  
    %dKUB4  
    光栅元件   >& \QLo[5  
    &=xm>;`3  
                                                             n\ZDI+X  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ~;3N'o  
    • FMM/RCWA 1j9.Q;9  
    • Diffractive Lens Component [D^KM|I%+  
                                                                 b_z;^y~  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       DU|0#z=*t5  
    uJ{N?  
                                                         M~zdcVTbH  
    W{?7Pn?1`  
    正弦光栅-传输相位形态     t%/Y^N;  
    [x'xbQLGd  
                                                         vn KKK.E  
    Ti=~ycwi  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         eICk}gfun  
    }pTy mAN  
     ZBB^?FF  
    =pF 6  
    正弦光栅-衍射效率 5NZob<<  
    OGzth$7A  
                                                                 '/Hx0]V  
    +Y0Wiwr'  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       rH8w||S2U  
    4M}u_}9  
           W52AX.Nm  
    % tN{  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   k"LbB#Q  
                                           S=n,unn#t  
    Y\Odj~Mj  
                                                                 +>@<'YI<  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) NgaX&m`  
    pkWzaf  
                                                               `Jq ?+W  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         -y1%c^36_J  
    a<B[ ~J4i  
    l23_K7  
     +FP*RNM  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         .:B] a7b  
    L6fc_Mo.EE  
     >sv|  
                                                                 35%'HFt_  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         np}F [v  
    L 5J=+k,  
     Hc ]/0:  
                                                                 Tar tV3;`  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         !?`5r)K  
    ;H9d.D8  
     -n?}L#4%8  
     
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