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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 !nVX .m9  
    tP!sOvQ:  
    3}g?d/^E3  
                                                        
    +6<MK;  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 9[T#uh!DC  
                                                                 }J`{g/  
    建模任务                                                         8SAz,m!W)  
    K 1:F{*  
    $6!`  
    =q xcM+OX1  
    光栅元件   ' 1P_*  
    8x,;B_Zu  
                                                        
    Rz=]KeZu  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ,eUMSg~P.7  
    • FMM/RCWA }T,E$vsx  
    • Diffractive Lens Component 0 SKt8pL`  
                                                                 R<UjhCvx.  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       [&3"kb  
    Z/-%Eb]L1  
                                                    
    AU'{aC+p  
    ?U-p jjM  
    正弦光栅-传输相位形态     8-?n<h%8E  
    n+uq|sYVa  
                                                    
    bMSF-lQ  
    gP1$#KgU  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         KMbBow3o*~  
    kI[EG<N1k  
    {{EQM +  
    ,+'f unH  
    正弦光栅-衍射效率 9oq(5BG,  
    3"L$*toRA  
                                                            
    IL%&*B  
    ~o # NOfYi  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       R:ar85F  
    #='#`5_5  
      
    ;=^WIC+Nr  
    |g;XC^!%=o  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   D3^v[>E2  
                                      
    ,MvvW{EY  
    pwZ &2&|  
                                                                 5~[ Fh2+  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) W}=2?vHV=  
    Sr+1.77}  
                                                          
    6kDU}]c:H]  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         n--`zx-['  
    >XZq=q]E!  
    Xif`gb6`  
    #F{|G:\@[  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Ahwu'mgnC  
    Hd2_Cg FB  
    XqwdJND  
                                                                 r}5GJ|p0  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         rpXw 8  
    <'vM+Lk  
    U NAuF8>K  
                                                                 eBN>|mE4N  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         PCIC*!{  
    .-34 g5  
    <_Lo3WGwc  
     
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