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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 P[8`]=  
    rQ;m|@  
    <{3VK  
                                                             K S,X$)9  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 bxc#bl3  
                                                                 +<Uc42i7n  
    建模任务                                                         Pd%o6~_*  
    +<"sC+2  
     .B"h6WMz  
    f<!eJO:<'  
    光栅元件   EbY%:jR  
    mUm9[X~'  
                                                             y2TJDb1  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: y_Bmd   
    • FMM/RCWA +g/y)]AP  
    • Diffractive Lens Component `Q, moz  
                                                                 g.s~Ph-G  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       `V$i*{c:#  
    D5]T.8kX(7  
                                                         ^$6EO) <  
    Z[FSy-;"  
    正弦光栅-传输相位形态     UKZsq5Q  
    wX<)Fj'  
                                                         p3\F1](Z  
    ^ bexXYh  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         @2L+"=u#  
    3!Gnc0%c  
     wx>BNlT@?  
    >(|T]u](q  
    正弦光栅-衍射效率 [_^K}\/+  
    &+xNR2";  
                                                                 =BMON{K  
    :,fs' !  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ,&Gn7[<  
    0AZ Vc  
           dTB^6 >H  
    Cz+`C9#  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   \{\*h/m  
                                           ~Z=Q+'Hu0  
    2h@/Q)z  
                                                                 $GSn#} yz  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) q$yTG!q*  
    O8w R#(/  
                                                               & VJ+X|Z  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Ty}'A(U  
    [GyW1-p33w  
    yS0!#AG  
     /3Zo8.  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         T[`o$j6  
    QaH32(iH  
     #e}Q|pF  
                                                                 {dH87 nt  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         bz[U<  
    `+CRUdr  
     @>}!g9c  
                                                                 [i== Tp  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         2`9e20  
    %c<e`P;  
     fZw/kjx@  
     
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