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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 oNtoqYwH  
    <sw@P":F  
    LQHL4jRXU  
                                                             \XPGA uEo  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ~ney~Pz_  
                                                                 ;F#(:-:  
    建模任务                                                         r=&,2meo  
    WFiX=@SS  
     }b1FB<e]  
    #]x3(}3W  
    光栅元件   ?+))J~@t  
    `0N7Gc  
                                                             i1|>JM[V  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: bx(@ fl:m  
    • FMM/RCWA m/1FVC@*  
    • Diffractive Lens Component G.H8 ><%  
                                                                 qx'0(q2Ii(  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       yo=L1; H  
    P+0'^:J  
                                                         %\v8 FCb  
    c 3O/#*  
    正弦光栅-传输相位形态     W;'fAohr  
    54CJ6"q  
                                                          <@<bX  
    Hi A E9  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         *^uK=CH1?(  
    ]:Gy]qkO  
     Cjx4vP  
    *3H=t$1G}  
    正弦光栅-衍射效率 lcie6'<  
    ZQ]qJDk  
                                                                 cry1gnWG  
    x-m*p^}  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       $Lr& V~  
    F#gA2VCm  
           3uocAmY  
    ,7LfvZj4[  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   "esuLQC  
                                           F(yR\)!C  
    A$=ny6  
                                                                 p L"{Uqi  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) k1<^Ept  
    orFwy!  
                                                               ^e8xg=8(  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         [(heE  
    !+%gJiu:  
    WR{m?neE_N  
     uQIPnd(V  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         >$JE!.p%o  
    ) 2Ei<  
     Hu"$ )V  
                                                                 w$:\!FImx  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         C2}y#AI  
    +})QTFV  
     c!ZZMC s  
                                                                 :)~l3:O  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         G*I    
    >qo!#vJc a  
     -qc'J<*^4  
     
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