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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 3YLK?X8  
    #v(As) 4^  
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                                                             jlb8<xIC]  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 cy@oAoBq  
                                                                 lai@,_<GV  
    建模任务                                                         n}Z%-w$K#  
    0 @#Jz#?  
     K_+M?ap_  
    ulALGzPh  
    光栅元件   ,$!fyi[;C  
    +On2R&m  
                                                             VJ#ys _W  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: N=u( 3So  
    • FMM/RCWA jy~hLEt7  
    • Diffractive Lens Component @8c@H#H  
                                                                 +ase>'<N#  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       z>+CMH5L)  
    ]iTP5~8U  
                                                         hD#Mhy5h  
    w)<.v+u.Y  
    正弦光栅-传输相位形态     ,sj(g/hg  
    f]10^y5&  
                                                         L__{U_p  
    yUcU-pQ  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         b:9"nALgC  
    +mG"m hF  
     .&5 3sJ0{  
    ug}u>vQ>  
    正弦光栅-衍射效率 UHV"<9tk  
    i= ^6nwD&  
                                                                 9k93:#{WE  
    R,.qQF\*  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       [2Y@O7;n I  
    -A L^  
           KD\%B5Jy  
    &9gI?b8  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   cC9Zc#aK  
                                           nIOSP :'>  
    w[vccARQ  
                                                                 bOYM-\ {y  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 0f_`;{  
    EFU)0IAL[  
                                                               >`WQxkpy  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         _TdH6[9  
    2I suBX\[  
    2ETv H~23  
     |pknaz  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         wg k[_i  
    3it*l-i\  
     \0i0#Dt9  
                                                                 N:KM8PZ&~  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         cAx$W6S  
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                                                                 |BtFT  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         )~xH!%4F  
    ) C\/(  
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