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摘要 lQpl8> !ezy
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's$/-AV ZUS06#t} 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 \pXo~;E\ + aWcK6 建模任务 P?Kg7m W E+J +fi
Wm/0Pi w{ Pl 光栅元件 mp8Zb&Ggb !e}4>!L,(^
#lF 2qw 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: V6_~"pRR= • FMM/RCWA s?PB ]Tr • Diffractive Lens Component V5p->X2# 9>;CvR 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) 5:%`&B\ XV1XzG# C
fzUG1|$e NMESGNa)z 正弦光栅-传输相位形态 7,Y+FZ UQjYWXvi
bSa]={}L( GjbOc 正弦光栅-传输相位形态 nI/kX^Pd 2yVQqwQm
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/2u 正弦光栅-衍射效率 xW58B v.c.5@%%o
(#+81 Dr `t+;[G>ZE 正弦光栅-效率vs. 周期 "8E=*2fcw #)4p,H
8:K_S a% ;A0ZcgF 正弦光栅—选定周期的相位形态 -/_hO$|W Yn>FSq^Wp- |}@teN^J*U {"O-/*
f+( 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Eo@rrM: n!U1cB{
G<Urj+3/Xo 闪耀光栅-传输相位形态 .e\PCf9v 6t gq.XL^n v)nBp\fjxp MRzY<MD 闪耀光栅-衍射效率 yF-`f
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j{@li1W@ a..LbQQ 闪耀光栅-效率vs.周期 ES)_X:\X?V K{XE|g
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Q1!+wC 闪耀光栅-选定周期相位形态 K14v6d W+Ou%uv}S
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