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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 ^[g7B"`K5  
    8! X K[zL  
    \- f^C}m  
                                                             eEmuE H@X  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 o;"Phc.  
                                                                 `^mY*Cb e  
    建模任务                                                         oMeIXb)z  
    ;oM7H*W C  
     oYmLJzCf  
    ;&} rO.0  
    光栅元件   @b3jO  
    |*5HNP  
                                                             WNO!6*+  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: e-EY]%JO  
    • FMM/RCWA ;r3Xh)k;  
    • Diffractive Lens Component a,ZmDkzuv  
                                                                 #V-0-n,`  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       [))TL  
    MO%kUq|pg  
                                                         ?}ly`Js  
    P*:9u>  
    正弦光栅-传输相位形态     #`o]{UfW  
    GX#SCZ&}C  
                                                         Iw[7;B5v  
    | k?r1dj%O  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         hM "6-60  
    Q:^.Qs"IK  
     Vo`,|3^  
    J e"~/+  
    正弦光栅-衍射效率 U'p-Ko#  
    kNk$[Yfs  
                                                                 COc t d  
    nvbKW.[<f{  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       |w+N(wcJ  
    m&a 8/5  
           PD $' ~2  
    QzilivJf  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   }8eu 9~   
                                           )8&;Q9'o  
    %DhM}f  
                                                                 <5E: ,<  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) .C\##   
    +rFAo00E|  
                                                               c-oIP~,  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         L+D9ZE]  
    ><wYk)0E  
    bw8[L;~%_  
     I%M"I0FV  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         *?3c2Jg=E  
    ]$&N"&q  
     f)19sjAJk  
                                                                 wCgi@\  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Xj5oHHwn  
    H;c3 x"  
     -*[:3%  
                                                                 brEA-xNWQ  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         d#1yVdqRl  
    czg9tG8  
     $5\+Q W  
     
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