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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 W{!5}Sh  
    Ksh[I,+N\  
    #Dgu V  
                                                             *^7^g!=z2  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 )BI%cD  
                                                                 kSol%C  
    建模任务                                                         {wt9/IlG1  
    ~2 XGw9`J2  
     dc~vQDNw[X  
    +/%4E %  
    光栅元件   yB *aG  
    pX3El$p  
                                                             FMn|cO.vEP  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: K*'AjT9wX+  
    • FMM/RCWA &WAU[{4W  
    • Diffractive Lens Component U v>^ Z2  
                                                                 Wt!;Y,1 s  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       u 1}dHMoX~  
    Ktzn)7-  
                                                         QjJlVlp  
    j!Ys/ D  
    正弦光栅-传输相位形态     'cQ`jWZQ  
    =? q&/ cru  
                                                         iH]0 YT.E  
    wod{C!  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         n]5Pfg|a  
    :18}$  
     n31nORx50  
    F{7 BY~d  
    正弦光栅-衍射效率 e*( _Cvxp  
    iK'A m.o+  
                                                                 p((.(fx  
    WRAv>s9  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       r[kHVT8  
    .g}Y! l  
           j `3IizN2  
    O f-gG~  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   p{r{}iYI  
                                           (lYC2i_b#  
    sZqi)lo-s  
                                                                 D,-L!P  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) *x 2u  
    ahM? ;p  
                                                               j.c4  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         95D(0qv  
    ,<OS: ]  
    hiR+cPSF  
     +`m0i1uI3  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         &w%%^ +n |  
    ;4oKF7]   
     rHjR 4q  
                                                                 !a5e{QG0  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         =`gFwH<   
    1 EV0Y]T1  
     6ESS>I"su  
                                                                 CFY4PuI"!  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         | 8n,|%e  
    J/vcP  
     j z&=8  
     
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