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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 ;)wk ^W  
    ,7k-LAA  
    y?P`vHf  
                                                             O&&_)  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 OhMJt&s9P=  
                                                                 DycXJ3eQ  
    建模任务                                                         ~I9o *cq  
    M<*WC{  
     U=7nz|  
    @rA V;D%  
    光栅元件   =FI[/"476  
    !dU$1:7  
                                                             3~V .  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ~MXhp5PI   
    • FMM/RCWA IF-y/]  
    • Diffractive Lens Component g<,0kl2'S  
                                                                 #HW<@E  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ez.a  
    6GPI gPL,  
                                                         k#u)+e.'  
    Jp%5qBS^  
    正弦光栅-传输相位形态     z1 MT@G)S$  
    + d3  
                                                         <VQ)}HW;k  
    gujP{Z  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         .Gvk5Wn  
    hqlQ-aytS  
     :=TIq  
    U8y?S]}vo  
    正弦光栅-衍射效率 \G7F/$g  
    A<"< DDy  
                                                                 2H0BNrYM  
    s;=C&N5g  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       %[s%H)e)  
    FpU8$o~r{  
           #p55/54ZI  
    h3&|yS|  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Mp>(cs  
                                           kd\Hj~*  
    CaO-aL  
                                                                 q<! -Anc  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) QIlZZ  
    a'/i/@h  
                                                               T_=WX_h $  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                          o kA<  
    '6WS<@%}  
    \!BVf@>p%  
      7gZ}Qy  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         YURMXbj  
    Z b$]9(RS  
     ;RX u}pd  
                                                                 +egwZ$5I  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         m%apGp'=1  
    6hv.;n};  
     g#^MO]pY  
                                                                 zBTW&  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         s</qT6@  
    +kQ=2dva  
     QDV+(  
     
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