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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 cXY'>N  
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                                                             kxW>Da<6  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 kN j3!u$  
                                                                 <gdgcvd  
    建模任务                                                         k<| l \]w  
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    光栅元件   S9NN.dKu  
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                                                             =_=Z;#`cXk  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: WQ}!]$<"y  
    • FMM/RCWA FMd LkyK;  
    • Diffractive Lens Component #a |ch6B  
                                                                 )SX6)__  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       K`,d$  
    U[QD!  
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    PGPbpl&\t  
    正弦光栅-传输相位形态     ~'2r&?=\  
    [b.'3a++  
                                                         Dw`m>'J0  
    cvUut^CdK  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         N 2"3~  #  
    I\upnEKKzZ  
     |R;l5ZKvV  
    7p.h{F'A  
    正弦光栅-衍射效率 "P'&+dH8  
    %x6Ov\s2  
                                                                 w2d]96*kQe  
    ZjZhz`  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       %R|"Afa=  
    ^+as\  
           %A62xnX  
    :@ E1Pun?  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   4`6c28K0?  
                                           %XI"<Y\yL  
    |[ Ie.&)  
                                                                 Hs%QEvZl  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) TH>?Gi) "  
    2]D$|M?$~  
                                                               xegQRc  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         b6nZ55 h  
    "%E-X:Il#  
    :4 j a@~  
     @fqV0l!GR  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         E69:bQ94u  
    TF=k(@9J?  
     <!~1{`n%9J  
                                                                 +YkW[a\4  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         A mI>m  
    0+}EA[  
     Z'Exw-ca  
                                                                 7}ws |4Y  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         x}?DkFuxb  
    ;%u_ ;,((  
     Vvm=MBgN  
     
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