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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 6,3o_"J!  
    M }d:B)cz  
    `<X-3)>;G  
                                                             CG=c@-"n/  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 HN{c)DIm]  
                                                                 ][MtG  
    建模任务                                                         UDg' s  
    !EB<N<P"t  
     s51$x M  
    !`Rh2g*o9  
    光栅元件   <GNLDpj  
    =79R;|5  
                                                             .="X vVdkp  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: <s'de$[  
    • FMM/RCWA %7)=k}4  
    • Diffractive Lens Component UUJQc ~=  
                                                                 EE!}$qOR  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       m,E$KHt (  
    D%YgS$p[M$  
                                                         fo@^=-4A-  
    .z`70ot?  
    正弦光栅-传输相位形态     Y$r78h=4  
    xLz=)k[''  
                                                         ijF_ KP'  
    // o.+?S  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         YZBh}l6t  
    tF0jH+7J-  
     c~Ka) dF|  
    c[dzO .~  
    正弦光栅-衍射效率 C8}:z\A_@Z  
    7C{ y NX#  
                                                                 RwWg:4   
    @Iv;y*y  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       dw bR,K  
    V0\[|E;F  
           smQ^(S^  
    Nz,yd%ua  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   :o' XE|N  
                                           *x"80UXL  
    k&]nF,f  
                                                                 qos7u91z  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) !Lf<hS^  
    9Eyx Ob  
                                                               nVb@sI{{k  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         BX@Iq  
    fd\RS1[  
    RdTM5ANT  
     a:h<M^n049  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         *gbK :*_J  
    >gk_klLh  
     :gh[BeqQ)  
                                                                 [. 5m}V  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         6[> lzEZ  
    k9^Hmhjw  
     +&Ld` d!n  
                                                                 A=Wg0eYy\  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         g`7XE  
    XIeLu"TSL  
     >ZgzE  
     
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