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摘要 %CrTO( dL_9/f4
{$#88Qa\- \}~71y} 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 [.}Uzx 4;Vi@(G) 建模任务 PEg]z {T-^xwc
Fy0sn| !^o{}*]Pi 光栅元件 \C>+ubF r-*j"1 e
;+.cD 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: U#&+n-npO • FMM/RCWA `<kB/T • Diffractive Lens Component /4N ?v. jf #d06wYz= 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) 1wm`a dS\!tdHP-Q
u:Ye`]~o c2Exga_ 正弦光栅-传输相位形态 o)>iHzR</ (G/(w%#7_
#kh:GAp] K|l}+:k 正弦光栅-传输相位形态 }+Q4s] t{QQ;'
(z8;J>7 #oR`_Dm)P 正弦光栅-衍射效率 ~)n[Vf H^54o$5
SF9N S*mr W#E(?M[r 正弦光栅-效率vs. 周期 _RUL$Ds =@S
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XFY 正弦光栅—选定周期的相位形态 rS+) )! #p7gg61 4w#2m>. I$p1^8~L 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) "}#%h&, }+bo?~2E&
7qZC+x6_L 闪耀光栅-传输相位形态 >3pT).wH|M Tl'wA^~H :WX
OD &3;"$P 闪耀光栅-衍射效率 8aIqc ZNM9@;7
D[?;+g/ Xdo\DQn 闪耀光栅-效率vs.周期 M nZljB fQ~TZ:UrU
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