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摘要 6"PwOEt g)UYpi?p-}
~ s# !\Ye C$#X6Q!, 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 jSMs<ox Qe;j_ BH 建模任务 Yt#e[CYnu n=tg{_9f%
+:m'a5Dm xGVL|/?8 光栅元件 N%" /mcO & GM&,
&bw
``e&c 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ?~fuMy B • FMM/RCWA \[F4ooe • Diffractive Lens Component .X(*mmH =sa bJsgL 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) xulwn{R s Lf} @v
m(c5g[6nO WeqQw?- 正弦光栅-传输相位形态 Bvy(vc=UDW ^"hsbk&Yu
b*@y/ e\u` Ow7}&\;^- 正弦光栅-传输相位形态 wU =@,K q9mYhT/Im
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V|E 正弦光栅-衍射效率 <+2M,fq+ jf'#2-
+""8aA |=CV.Su 正弦光栅-效率vs. 周期 )/1,Ogb%_ A! j4;=}
|Lz:i+; #H1ng<QV 正弦光栅—选定周期的相位形态 Mb#-I
GZ V3]"ROH '5vgpmn E*_lT`Hzf 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) QA3q9,C"
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ctg[C$<q| 闪耀光栅-传输相位形态 3#@ETt0X( "jyh.@< HBc^[fJ^- @'yD(ZMAz 闪耀光栅-衍射效率 b-x,`s c%+9uu3
I}a iy.l %kg%ttu7 闪耀光栅-效率vs.周期 #sq$i 3Hli^9&OX_
[foZO&+! Z ?{;|Z5 闪耀光栅-选定周期相位形态 =N9a!ii| 4?AggqW
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