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摘要 cy7GiB2' W=}l=o!G.
pez*kU+9 #9O
*@ 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 6#vD>@H |;'V":yDs 建模任务 rtv\Pf| G%S=K2v
qqT6C%Q`kG Ttn=VX{
\ 光栅元件 VE4!=4 ]8ua>1XS
l*uNi47| 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: O7ceSz • FMM/RCWA }|H]>U& • Diffractive Lens Component n9gj{]% uljd)kLy4O 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) M |?qSFv: ;[0<QmeI!
:-.R*W \hQ[5> 正弦光栅-传输相位形态 E}c(4RY <i^Bq=E<rJ
Qc\JUm] vmAMlgZ8{< 正弦光栅-传输相位形态 T({:Y. A; T9KzVxHp5
?;,s=2 h|yv*1/| 正弦光栅-衍射效率 4LtFv)i r1EccY
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fw) L{bcmo\U 正弦光栅-效率vs. 周期 .oH0yNFX r^ S4 I&
;WJ}zjo > )s,L:{< 正弦光栅—选定周期的相位形态 F)j-D(c4 mC
n,I UA>~xJp= 5xwztcR- 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 24Z7;' ylLQKdcL
a-4'jT: 闪耀光栅-传输相位形态 ;{ XKZ} T2Z;)e$m_ BZQ98"Fz* <?&GBCe 闪耀光栅-衍射效率 I7 pxi$8f :1q+[T/ @
:HYqm*v;W TOn{o}Y B 闪耀光栅-效率vs.周期 ,E3"AisI .UakO,"z
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v\Vr 2WIL0Siwl 闪耀光栅-选定周期相位形态 Ym(^ih UA!h[+Z
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