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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 ^KJIT3J(#  
    {^#62Y  
    \ oIVE+L/P  
                                                             8vcV-+x  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 }GCt)i_  
                                                                 l&4TfzkY  
    建模任务                                                         vO2o/   
    dZ7+Iw;m  
     FPu"/4v&  
    ?b~Vuo  
    光栅元件   ~sQN\]5VW  
    /)PD+18  
                                                             NVMhbpX6  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ^V~r S8]gj  
    • FMM/RCWA YGObTIGJvf  
    • Diffractive Lens Component {qCmZn5  
                                                                 p_jDnb#  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       g(Jzu'  
    !z;a>[T'  
                                                         mlY0G w_e  
    ! \H!9FR  
    正弦光栅-传输相位形态     +?~'K&@  
    ]cnLJ^2  
                                                         |.Bb Pfe8f  
    }06  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         #"a?3!wr  
    ,iU ]zN//  
     "| <\\HR  
    I#kK! m1Q  
    正弦光栅-衍射效率 +!V*{<K  
    +xwz.:::  
                                                                 dm&F1NkT  
    8Z!+1b  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       o)7gKWjujP  
    FG-w7a2mn  
           E {d Mdz  
    DEaO= p|  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   *tjE#TW  
                                           n< [np;\  
    m u(HNj  
                                                                 ky#d`   
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) lC +p2OG^[  
    <w}k9(Ds  
                                                               hq/\'Z&!+P  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                          c/I.`@  
    ?MuM _6  
    [SgP1>M  
     8f% @  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         TdP_L/>|J  
    phUno2fH  
     _$By c(.c  
                                                                 -@G |i$!  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         28-6(oG  
    I~MBR2$9  
     ~ @Ib:M  
                                                                 *L/_ v  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         *"0Yr`)S  
    `pN"T?Pk  
     Lm9y!>1"O  
     
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