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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 .upcUS8  
    @9c^{x\4  
    6DR8(j)=[%  
                                                             v-Br)lLv  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 "0/OpT7h7  
                                                                 O%+:fJz6wI  
    建模任务                                                         o#+!H!C.O  
    m' aakq  
     @D60  
    }e@j(*8  
    光栅元件   [J*)r8ys  
    H$[--_dI{  
                                                             D(r|sw  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: tHu8|JrH+  
    • FMM/RCWA IXg${I}_Q  
    • Diffractive Lens Component #2WBYScW0  
                                                                 a}Ov @7  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       =)bZSb"<"  
    gVI*`$  
                                                         Ri-I+7(n!  
    ga,yFw  
    正弦光栅-传输相位形态     h]zx7zt-  
    IC{>q3  
                                                         (JM4W "7'  
    \dfq& oyU\  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         -iW[cj R`$  
    x[>A'.m@)  
     ]&9f:5',  
    :s$9#}hw,  
    正弦光栅-衍射效率 )v|a:'%K_  
    T}\U:@b  
                                                                 h{h=',o1  
    r^ "mPgY  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       WUHx0I  
    .KB*u*h  
           YqDw*S{  
    3s|tS2^4  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   f5yd2wKy6  
                                           _QErQ^`  
    f?{Y<M~]  
                                                                 F.\]Hqq  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) nTHP~]  
    4$|G$h  
                                                               ;=n7 Z  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         tRXM8't   
    3^fZUldf  
    !?+3 jzG  
     `V?{  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         J,q:  
    fx}R7GN2  
     Q!Op^4Jz  
                                                                 Nh+$'6yT%  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         d>aZpJ[.  
    ct]5\g?U'  
     m?m,w$K  
                                                                 4,aBNuxWd  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         "Srp/g]a  
    MDB}G '  
     d+IPa<N  
     
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