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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 _akjgwu  
    `D=d!!1eUi  
    q(R|3l^6T  
                                                             O8v9tGZoh  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 7B5b +  
                                                                 aR@+Qf  
    建模任务                                                         c3c3T`B  
    5&_")k3$*  
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    >o`+j$j  
    光栅元件   Oi$1maxT  
    r4X\/  
                                                             31#jLWY'0  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: & @_PY  
    • FMM/RCWA `)KGajB  
    • Diffractive Lens Component ?|}qT05  
                                                                 D^p)`*  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       &%)F5PT  
    #D?w,<_8,  
                                                         luac  
    7Lj:m.0O^  
    正弦光栅-传输相位形态     ]c|JxgU  
    SfrM|o  
                                                         I 0x;rP  
    ` l'QAIo  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         t,0}}9%?  
    ''!j:49  
     (Nd)$Oq[4  
    dN:^RCFzS  
    正弦光栅-衍射效率 iyUnxqP  
    =`N 0  
                                                                 \`2EfYJ{  
    <pKOFN%m  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       55] MRv  
    9PG{>W$M  
           ,VUOsNN4\  
    jeA2y jAC  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   pX!T; Re;  
                                           /n$R-Q  
    on5\rY<I:@  
                                                                 gX n `!  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) k$#1T +(G  
    @7Ln1v  
                                                               v6! `H  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         v"%>ms"n  
    (sH4 T>  
    8NE[L#k  
     ;<+Z}d/g9  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         10r!p: D  
    @(N} {om  
     Ro<5c_k  
                                                                 maQxU(  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         FLkZZ\  
    3|)cT1ej  
     OH]45bd &7  
                                                                 i\.(6hf+  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         G@T_o4t  
    +~,q"6  
     zA$ f$J7\^  
     
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