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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 ~gB>) ]  
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                                                             'YNT8w/3  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 TIp:FW[  
                                                                 fP.F`V_Y  
    建模任务                                                         *`ZH` V  
    kOI t(e  
     :'#TCDlOb  
    2M# r]  
    光栅元件   /|xra8?H[  
    0-~\ W(  
                                                             pZ/>[TP(%F  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: PaV-F_2  
    • FMM/RCWA vAyFmdJ^  
    • Diffractive Lens Component f B9;_z  
                                                                 EwOV;>@T?  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       K~@Mg1R  
    iD<(b`S  
                                                         ^]{R.(#z  
    |V<h=D5W  
    正弦光栅-传输相位形态     _YcA+3ZL  
    jDQZQ NS  
                                                         H54 R8O$  
    2W4qBaG$=  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         %-d]X{J:  
    'fW6 .0fXa  
     5nsq[Q`  
    kF/9-[]$g,  
    正弦光栅-衍射效率 ,"B+r6}EF  
    ]Kr `9r),  
                                                                 &hRvol\J  
    mdRU^n  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       6`f2-f9%iq  
    Fd0 %lnui  
           Dk?\)lD`  
    33!oS&L  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   lbpq_=  
                                           } \ZaE~  
    F&&$Qn_+  
                                                                 dPhQ :sd>  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) g]*#%Xa  
    fFc/ d(  
                                                               O} f80K  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         0}b tXh  
    >%wLAS",w  
    {?yr'*  
     mvq&Pj 1}L  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         >Z1sb  n  
    i9/aAH0  
     WL'P)lI5  
                                                                 b[`Yi1^]%g  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         92EWIHEWZ  
    Y'ow  
     xP[n  
                                                                 p\<u6v ~J  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ,lyb!k8  
    o_'p3nD  
     C+TI]{t  
     
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