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摘要 ;OmmXygl !U}A1)
( gO ?-0 sW+YfJT 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 cO<]%L0 5/DTE:M< 建模任务 :ORCsl6- 7CUu:6%
Ri4_zb !^!<Xz; 光栅元件 QL}5vSl &d`Umm]
ADA%$NhJ! 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: O;f^'N • FMM/RCWA F}0QocD • Diffractive Lens Component ;|w &n m(nlu 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) !$AVlMnJ x+|Fw d
SDiZOypS jd l1Q<Z 正弦光栅-传输相位形态 mLk@&WxG Di9yd
x`PIJE dJ?VN!B0 正弦光栅-传输相位形态 y4VCehdJ
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T;GBZR% yt>Pf<AI 正弦光栅-衍射效率 |_F-Abk nen6!bw4
|/arxb& 8 jqt=}b 正弦光栅-效率vs. 周期 ,M7sOp6} #1hT#YN
'nP'MA9b;a j6Jz 正弦光栅—选定周期的相位形态 'e3y| E2(;R!ML# ?*}76u V==' 7n 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) (m)%5*: <tf4j3lwH
c/;t.+g 闪耀光栅-传输相位形态 L)8 +/+ X$/3 {tOuKnnS 7b+OIZB 闪耀光栅-衍射效率 ~Zl`Ap -J[zJ4z#
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#m; T~"tex] 闪耀光栅-效率vs.周期 0#K@^a (n" )
<kLY1EILM Zt lS*id_ 闪耀光栅-选定周期相位形态 wrqdQ}@( yel>-=Vn
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