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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 zwZvKV/g  
    VS/M@y_./  
    r) x  
                                                             cN0 *<  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 /M%>M]  
                                                                 +Ps.HW#NY  
    建模任务                                                         Sc]K-]1(H  
    3s/1\m%  
     7H)$NG<U$  
    ;O% H]oN  
    光栅元件   CdF;0A9.3  
    u0Wt"d-=  
                                                             %h@1lsm1+  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: g5@JA^\vZT  
    • FMM/RCWA b'\Q/;oz>  
    • Diffractive Lens Component '";#v.!  
                                                                 D#L(ZlD4  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       $ uHQl#!;  
    z )'9[t  
                                                         ~jL%l  
    ySr,HXz  
    正弦光栅-传输相位形态     p /-du^:2  
    EjLq&QR.  
                                                         VIz(@  
    R>O_2`c  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         VKl,m ;&N  
    /IWA U)A0  
     5P\>$N1p  
    ]0."{^ksL  
    正弦光栅-衍射效率 FL' }~il  
    ot<d FvD  
                                                                 ).^d3Kp  
    aO(PVS|P  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       -`I|=lBz{H  
    A,.X  
           9>&zOITTaL  
    QMBT8x/+_'  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   t`z"=S  
                                           Mpojabsh  
    !b+4[ xky  
                                                                 4CF;>b f~  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) _=~u\$  
    zG#5lzIu,  
                                                               )k=KLQ\b  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         btuG%D{a^  
    >Bb X:  
    &#2&V>pE  
     BuV71/Vb{Q  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         J _O5^=BP  
    <2U@O` gC  
     hN2A%ds*(j  
                                                                 RRt(%Wm*  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         :cC$1zv@  
    309 pl  
     PT2;%=f  
                                                                 gTho:;q7a  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         0(7 IsG=t  
    v8ap"9b  
     /Sj~lHh  
     
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