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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 Hnv{sND[  
    ;* vVucx  
    -uDB#?q:W  
                                                             a}Db9=  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 !$"DD[~\  
                                                                 -S]yXZ  
    建模任务                                                         S~QL x  
    _`>F>aP  
     "p43#  
    mJ=3faM  
    光栅元件   bwjjwu&  
    78v4c Q Y  
                                                             B5>1T[T'-  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: yJx{6  
    • FMM/RCWA oyGO!j  
    • Diffractive Lens Component pu(a&0  
                                                                 D"WqJcDt  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       B!|<<;Da6  
    D-7PO3F:F  
                                                         5cbtMNP  
    ^`Tns6u>  
    正弦光栅-传输相位形态     ?UC3ES  
    IL?mt2IQ>  
                                                         3s iWq9 .  
    X|'EyZ  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ew(CfW2  
    lsV9-)yyl  
     huTa Ei  
    h)[{{JSf  
    正弦光栅-衍射效率 ~n:dHK`  
    s)#8>s-  
                                                                 GY@-}p~it  
    P"dWh;I_  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       \{F{yq(  
    E|ce[|2  
           j tdhdA  
    cPh U q ET  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   1Ih.?7}  
                                           8r^~`rL  
    $vNz^!zgV  
                                                                 oVPtA@  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) S/}6AX#F4  
    wYtL1D(  
                                                               ,f`435R  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         (VYY-%N`  
    \%nFCK0  
    x0^O?UR  
     h+e Oe}  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         r<]Db&k   
    YNc] x>  
     pK=$)<I"6  
                                                                 G[4TT#  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         yc.Vm[!  
    t+'|&b][Qi  
     ?CB*MWjd  
                                                                 7^|oO~x6  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         [6@{^  
    #J. v[bOWQ  
     B4^+&B#  
     
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