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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 +r_[Tj|Er  
    "mK (?U!A  
     Jx w<*  
                                                             ^i\1c-/  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 [^~9wFNtd  
                                                                 |vzWSm  
    建模任务                                                         <vDm(-i3  
    C|LQYz-{  
     caht4N{T  
    [hbp#I~*[  
    光栅元件   ,O$C9pH9  
    KW^aARJ)  
                                                             gQ#T7  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: wP?q5r5  
    • FMM/RCWA "@$STptkc  
    • Diffractive Lens Component *pp1Wa7O  
                                                                 g1 ,  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       faX#KRpfd  
    ]5/U}Um  
                                                         /GGu` f  
    BwD1}1jp  
    正弦光栅-传输相位形态     e]h'  
    Y'1V(5/&  
                                                         ^#se4qQ  
    ,$$$_+m\  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         %$| k3[4V  
    Y3>\;W*?  
     Un{ln*AR\  
    0u2uYiE-l  
    正弦光栅-衍射效率 QPE.b-S  
    tC-KW~&  
                                                                 uf] $@6)  
    ;tiU OixJ  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ^?[<!VBI  
    5T#D5Z<m  
           u6T?oK9j  
    REBDr;tv  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   j],.`Y  
                                           rxeXz<  
    JZxF)] ^  
                                                                 ~la04wR28  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) (`? snMc  
    5zna?(#}  
                                                               Qp&yS U8  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         FH`&C*/F0Y  
    B?Sfcq-  
    Cbs4`D,  
     CT%m_lN  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         PGl-2Cr  
    N2s%p6RMPD  
     [;YBX] t  
                                                                 BM~niW;k  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         3eP0v  
    Kg-X]yu*0  
     }h h^U^ia  
                                                                 %ab)Gs  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         5?0gC&WfN  
    9$@ g;?}Ps  
     UDtbfc7bk  
     
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