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摘要 (n"M) W$gSpZ_7
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C~~ G D[~4G 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 rorzxp{ Ea\a: 建模任务 !"2OcDFx Uj k``;
Z I}m~7 2:p2u1Q
O 光栅元件 e-qr d C+5^[V
Syp|s3u; 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: nkhM1y • FMM/RCWA }'H Da M • Diffractive Lens Component ,z%F="@b9 mqsf#'ri 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) *tRJ= 4i~;Ql
s\7|b:y& 3M1(an\nW 正弦光栅-传输相位形态 r{%NMj a$aI%
WR'A%"qBwi gmLw. |- 正弦光栅-传输相位形态 [&{"1Z r4D66tF
\re.KB#R t9K.Jc0 正弦光栅-衍射效率 1>1|>% <mm}IdH
N_gjOE`x5 VwC,+B 正弦光栅-效率vs. 周期 m};_\Db` 3\(s=-vh
[MiD%FfcNH TfZO0GL$ 正弦光栅—选定周期的相位形态 B=Zo0p^ G^2"\4R]p 7#g C(&\A Fa/i./V2 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) P@5^`b| ;<&s_C3
x_@ev- 闪耀光栅-传输相位形态 zP9 HYS 6@I7UL > uWfse19 T.1z<l"" 闪耀光栅-衍射效率 |f>y"T+1 Y7{|EI+@
sdO;vp^:b gj'ar 闪耀光栅-效率vs.周期 5#d(_ 9CN /v
v5 9> tICxAp: 闪耀光栅-选定周期相位形态 t]@Zd* uq%RZF
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