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摘要 _~tF2`,Y_p )$1j"mV
d^54mfgI 6qmV/DL 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 4`o0?_.' s^6,"C 建模任务 )(.g~Q: +8"8s
cGo_qR/B(> P()n=&XO6 光栅元件 _IEbRVpb y+$vHnS/jC
@\gE{;a8 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Ivcy=W=Jk • FMM/RCWA =d@)*W 6 • Diffractive Lens Component NMg(tmh <2kv/ 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)
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CD#U`jf CUc , 正弦光栅-传输相位形态 FeZW S>N Wn=I[K&&
N`,,sw dj9i*#F 正弦光栅-传输相位形态 (7,Q4T p]~PyzG!
.#sX|c=W VR_/Vh]@ 正弦光栅-衍射效率 P!j*4t >(YH@Z&;
0S+$l dR>$vbjh1Z 正弦光栅-效率vs. 周期 5>e<|@2
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s/>0gu]A8 e{4e<hd 正弦光栅—选定周期的相位形态 {#@[ttw$U hWn-[w/l_ .!2
u#A DBu8}2R 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) )FA:wsy~E 4u0?[v[Hu
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x MR@Qn[RdM 闪耀光栅-衍射效率 }a UQ#x
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