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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 z %3"d0  
    8+a<#? ;  
    yr9A0F0  
                                                             ^P g YP  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 pt%~,M _  
                                                                 (vsk^3R[6  
    建模任务                                                         BMWeD  
    60%~+oHi~  
     gDNTIOV  
    FP9<E93br  
    光栅元件   *<1x:PR  
    q\t>D _lU  
                                                             cvV?V\1f  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: k\&IFSp  
    • FMM/RCWA oB06{/6  
    • Diffractive Lens Component ;=VK _3"  
                                                                 v#%>uLl  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       B%rr}Ro1e  
    RQS:h]?:l  
                                                         XBWSO@M'  
    ym*#ZE`B!  
    正弦光栅-传输相位形态     zHoO?tGf  
    ";?C4%L  
                                                         5@>4)dk\  
    B,vHn2W  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         tct 5*.|  
    D*T$ v   
     ,gL)~6!A  
    E}b> 7L&w  
    正弦光栅-衍射效率 .A"T086  
    qe6C|W~n  
                                                                 E0)mI)RW.  
    `k{ff  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       gc2|V6(  
    ?9zoQ[  
           kk_9G -M  
    Kjn&  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   &pMlt7  
                                           w] 5U  
    COan) <Ku  
                                                                 *Nf4bH%MN  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) i5E:FS^!I  
    AYPf)K;%  
                                                               !: EW21m  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         d JQ }{,+6  
    $;)noYo  
    k$0|^GL8  
     4-d99|mv  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         3h[:0W!C]  
    s9_`Wrg?  
     yNqm]H3<MP  
                                                                 t.>te'DK/  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ??\*D9rCn  
    8!&ds~?  
     im4e!gRE  
                                                                 N}}PlGp$  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         K.#,O+-Kg`  
    iB}LnC:  
     :rTKqX&"j  
     
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