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摘要 -.Z;n1'^ "M %WV>
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H^$7= 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 Xupwh5G2 ag!q:6& 建模任务 3Z%jx# TF,([p*
"""eU," o'YK\L!p 光栅元件 >[P`$XkXd4 DM(c :+K-
T{F
' Y% 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 2 rS`ViicD • FMM/RCWA Wr4Ob*2iD • Diffractive Lens Component &>}f\ch/ 88DMD"$B 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) QGXR< |