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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 cy7GiB2'  
    W=}l=o!G.  
    pez*kU+9  
                                                        
    #9O *@  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 6#vD>@H  
                                                                 |;'V":yDs  
    建模任务                                                         rtv\Pf|  
    G%S=K2 v  
    qqT6C%Q`kG  
    Ttn=VX{ \  
    光栅元件   VE4!=4  
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    l*uNi47|  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: O7ceSz  
    • FMM/RCWA }|H]>U&  
    • Diffractive Lens Component n9gj{]%  
                                                                 uljd)kLy4O  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       M|?qSFv:  
    ;[0<QmeI!  
                                                    
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    \hQ[5>  
    正弦光栅-传输相位形态     E}c(4RY  
    <i^Bq=E<rJ  
                                                    
    Qc\JUm]  
    vmAMlgZ8{<  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         T({:Y. A;  
    T9KzVxHp5  
    ?;,s=2  
    h|yv*1/|  
    正弦光栅-衍射效率 4LtFv)i  
    r1EccY  
                                                            
    );}k@w fw)  
    L{bcmo\U  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       .oH0yNFX  
    r^ S 4 I&  
      
    ;WJ}zjo >  
    )s,L:{<  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   F)j-D(c4  
                                      
    mC n,I  
    UA>~xJp=  
                                                                 5xwztcR-  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 24Z7;'  
    ylLQKdcL  
                                                          
    a-4'jT:  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ;{ XKZ}  
    T2Z;)e$m_  
    BZQ98"Fz*  
    <?&GBCe  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         I7 pxi$8f  
    :1q+[T/ @  
    :HYqm*v;W  
                                                                 TOn{o}Y B  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ,E3"Ai sI  
    .UakO,"z  
    SWD v\Vr  
                                                                 2WIL0Siwl  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Ym(^i h  
    UA!h[+Z  
    jRm:9`.Q  
     
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