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摘要 +>em
!~3 NhI&wl
9 >t a?zn>tx 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 \(nb
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建模任务 QFP3S( "l-L-sc,
ArFsr 5wy1%/; 光栅元件 3'd(=hJ45$ u,zA^%
Bs@!S? 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: h,Y!d]2w • FMM/RCWA W\'njN • Diffractive Lens Component .4M8 *wgHa6?+7 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) WjyuaAWY W+A-<Rh\
|H:JwxH SIJ:[=5!7 正弦光栅-传输相位形态 LvWl*:z +E8Itb,
jV(\]g"/= vv2N;/;I 正弦光栅-传输相位形态 ~?V+^<P 3:">]LMi
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T 4}SF 正弦光栅-衍射效率
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"4VC:"$f c0J=gZiP 正弦光栅—选定周期的相位形态 $jt UQ1 @/S6P-4 N30w^W& p*11aaIbp~ 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 'C
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Z_Gb9 闪耀光栅-传输相位形态 {K{&__Nk 4_CV.? 4Xna}7 kmJ{(y)w 闪耀光栅-衍射效率 A),nkw0X 2<dl23
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dx=\Pq CgLS2 闪耀光栅-选定周期相位形态 ?
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