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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 6"PwOEt  
    g)UYpi?p-}  
    ~ s# !\Ye  
                                                        
    C$#X6Q!,  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 jSMs<ox  
                                                                 Qe;j_ BH  
    建模任务                                                         Yt#e[CYnu  
    n=tg{_9f%  
    +:m'a5Dm  
    xGVL|/?8  
    光栅元件   N%" /mcO  
    & GM&,  
                                                        
    &bw ``e&c  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ?~fuMy B  
    • FMM/RCWA \[F4ooe  
    • Diffractive Lens Component .X(*mmH  
                                                                 =sa bJsgL  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       xulwn{R s  
    Lf} @v  
                                                    
    m(c5g[6nO  
    WeqQw?-  
    正弦光栅-传输相位形态     Bvy(vc=UDW  
    ^"hsbk&Yu  
                                                    
    b*@y/ e\u`  
    Ow7}&\;^-  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         wU= @,K  
    q9mYhT/Im  
    km+}./@  
    \/ 8 V|E  
    正弦光栅-衍射效率 <+2M,fq+  
    jf'#2-   
                                                            
    +""8aA  
    |=CV.Su  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       )/1,Ogb%_  
    A! j4;=}  
      
    |Lz:i +;  
    #H1ng<QV  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Mb#-I GZ  
                                      
    V3]"ROH  
    '5vgpmn  
                                                                 E*_lT`Hzf  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) QA3q9,C"  
    qp@:Zqz8  
                                                          
    ctg[C$<q|  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         3#@ETt0X(  
    "jyh.@<  
    HBc^[fJ^-  
    @'yD(ZMAz  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         b-x,`s  
    c%+9uu3  
    I}aiy.l  
                                                                 %kg%ttu7  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         #sq$i  
    3Hli^9&OX_  
    [foZO&+!  
                                                                 Z ?{;|Z5  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         =N9a!i i|  
    4?AggqW  
    0O,l rF0'  
     
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