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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-14
    摘要 {@({po  
    !d^5mati)T  
    6\ (\  
                                                        
     O'_D*?  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 yht_*7.lM  
                                                                 U@i+XZc"S  
    建模任务                                                         L0Xb^vx}m  
    # Z8<H  
    5{j1<4zxR  
    r"k\G\,%  
    光栅元件   Dy5'm?  
    D4[t@*m>7  
                                                        
    E{1O<qO<  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: :+en8^r%  
    • FMM/RCWA #_|6yo}  
    • Diffractive Lens Component PT|t6V"wd  
                                                                 Gi?"  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       > u~ l_?  
    Y}ITA=L7  
                                                    
    ~ /]u72?rP  
    F"~uu9u  
    正弦光栅-传输相位形态     c]#F^(-A`  
    _6xC4@~h*  
                                                    
    yB,$4:C  
    m)g:@^$  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         A6pPx1-&  
    c?>@P  
    IL*C/y  
    o[&*vc)  
    正弦光栅-衍射效率 YyjnyG  
    M qFuZg  
                                                            
    R~PD[.\u  
    2E;UHR  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       tg.[.v Ks  
    {OH "d  
      
    T}M!A|   
    A )tGB&  
    正弦光栅—选定周期的相位形态    2tMe#V  
                                      
    LJ\uRfs  
    bM+}j+0  
                                                                 :bNqK0[rS  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) h3[^uY e  
    :Z3Tyj}4  
                                                          
    Mj2`p#5wKh  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         N7=lSBm  
    Hyh$-iCa  
    "**Tw'  
    6F !B;D-Q  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         o'+p,_y9Y@  
    4,4S5u[|  
    J!YB_6b  
                                                                 IT!u4iH[  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ^T2o9f  
    62)Qr  
    pMndyuoJl  
                                                                 ?d&l_Pa0e  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         `n)e] dn  
    %{Ib  
    9EHhVi  
     
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