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摘要
&K]|{1+ w'}s'gGE 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 ,;6%s>Cvd( {Q/@ Y.~< d '2JMdbc 1. 建模任务 CH+%q+I pjO 2. 干涉条纹的变化 cV:Q(|QC 9I 6^-m@: 4`~OxL 3. VirtualLab Fusion概览 3=]/+{B rKPsv*w *Iw19o-I 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 -T+yS BO_3 设置输入场 ~b8.]Z^ - Basic Source Models [教程视频] Jur$O,u40l 定义组件的位置和方向 H?opG<R=ek - Basic Source Models [教程视频] '
Sd&I:? 正确设置通道以进行非顺序跟踪 M/V"Ke"N - Basic Source Models [使用案例] gu3)HCZ 使用参数运行检查影响/变化 CWs;1`aP - Usage of the Parameter Run Document [用例] e7G>'K y3*IF2G
jM*wm~4>@ Ct/6< 5. VirtualLab Fusion 技术 IwFf8?
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