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摘要 YAR$6& =0&XdxX 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 :&5u) |j"C52Q )T '?"guh` 1. 建模任务 X%-"b` >CG;df<~ 2. 干涉条纹的变化 At>e4t2@ &5jc
&CS #}.{|'L 3. VirtualLab Fusion概览 2KXFXR 4grV2xtX yq, qS0Fo 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 6&+dpr&c~= 设置输入场 bZSt<cH3 - Basic Source Models [教程视频] >l}v
_k*~B 定义组件的位置和方向 {B=64,D^7R - Basic Source Models [教程视频] oTk\r$4eb 正确设置通道以进行非顺序跟踪 qKXg'1#E) - Basic Source Models [使用案例] Y<^Or 使用参数运行检查影响/变化 l - Usage of the Parameter Run Document [用例] %Lx#7bR U GQ
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