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摘要 A}MF>.!}C R/ 3#(5 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 UmOK7SPi ^9`~-w WlRaD%Q 1. 建模任务 NY\-p=3c7= Mk|*=#e; 2. 干涉条纹的变化 cW?~]E'< %40+si3c ]tc
Cr; 3. VirtualLab Fusion概览 mL]5Tnc <-N7Skkk! sp&g 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 Z.3*sp0
yv 设置输入场 *(j-jbA - Basic Source Models [教程视频] ydf;g5OZ 定义组件的位置和方向 *%jd>e7d - Basic Source Models [教程视频] '[Z.\ 正确设置通道以进行非顺序跟踪 dZ"d`M>o6 - Basic Source Models [使用案例] p^U#1c 使用参数运行检查影响/变化 P/ 7aj:h~P - Usage of the Parameter Run Document [用例] PLs(+>H J%lEyU
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