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摘要 l< Y x hf[K\aAk 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 !s$fqn
6 Nn$$yUkMX -?uwlpm# 1. 建模任务 99 ["I: z,)Fvs4U. 2. 干涉条纹的变化 HwHI$IB f: Rh9 cMj<k8.{ 3. VirtualLab Fusion概览 ~'ovJ46tx sEoS[t|" =xgW$c/yB 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 }~7>S5 设置输入场 ^/c|s!U^ - Basic Source Models [教程视频] .D :v0Zm}m 定义组件的位置和方向 z, OMR`W - Basic Source Models [教程视频] ZrTq)BZ 正确设置通道以进行非顺序跟踪 HV}NT~ - Basic Source Models [使用案例] <C&UDj 使用参数运行检查影响/变化 Uc4r - Usage of the Parameter Run Document [用例] !MbRI }Eav@3h6
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