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摘要 j>B* 8*Ss :~#)Xa0I 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 kkWv#,qwU a2tEp+7? p$qk\efv*4 1. 建模任务 OM{^F=Ap m C`*#[ 2. 干涉条纹的变化 bX,#z, P/.<sr=2 t$wbwP 3. VirtualLab Fusion概览 =QGmJ3 ^L)TfI_n GBT|1c'i 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 ;+(VO 设置输入场 FO%pdLs, - Basic Source Models [教程视频] 'Grii, 定义组件的位置和方向 |R _rfJh - Basic Source Models [教程视频] &(A#F[ =0 正确设置通道以进行非顺序跟踪 *OznZIn - Basic Source Models [使用案例] T!ZjgCY} 使用参数运行检查影响/变化 8'jt59/f - Usage of the Parameter Run Document [用例] xPPA8~Dm* u!5q)>Wt( MP)Prl> Nw$OJ9$L>
5. VirtualLab Fusion 技术 ..X _nF 7 QNx*8 p
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