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摘要 !RyO\>:q OGl$W>w1 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 lEHzyh}2k p.+ho~sC,. it] E-^2> 1. 建模任务 fDG0BNLY d*)CT?d& 2. 干涉条纹的变化 3}|'0(hYL %IC73? +f*OliMD 3. VirtualLab Fusion概览 btdb%Q* >^XBa*4;Y ;<G=M2 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 F(na{<g}; 设置输入场 kP/M<X" - Basic Source Models [教程视频] 6s0_#wZC 定义组件的位置和方向 5M9 I, - Basic Source Models [教程视频] 0b4R 正确设置通道以进行非顺序跟踪 22f`LoM - Basic Source Models [使用案例] [<'-yQ{l\ 使用参数运行检查影响/变化 5@^ dgq - Usage of the Parameter Run Document [用例] yHxosxd<* A^q[N
k)TSR5A fN'HE#W1Xa 5. VirtualLab Fusion 技术 nLV9<M
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