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摘要 eiZv|?^0 (n-8p6x( 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 ^uW!=%D xG_ ;F TJ9,c2d+ 1. 建模任务 g<s[6yA ZkYc9!anY 2. 干涉条纹的变化 Vgs( feGs z[Kxy1, n=RAE^[M 3. VirtualLab Fusion概览 r^P}xGGK {6<7M NQ<~$+{ 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 +G&h 设置输入场 b?o T|@ - Basic Source Models [教程视频] }>xgzhdT 定义组件的位置和方向 {KL<Hx2M - Basic Source Models [教程视频] oKTIoTb 正确设置通道以进行非顺序跟踪 w\Q3h`.
- Basic Source Models [使用案例] T\:3(+uK 使用参数运行检查影响/变化 ewgcpV|spn - Usage of the Parameter Run Document [用例] yXNE2K Q8M&nf
w\;=3C` /U1GxX:P, 5. VirtualLab Fusion 技术 (0W%YZ!& ^ h^2='p
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