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摘要 EsxTBg .;v'oR1x5 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 (']z\4o hahD.P< nk,Mo5iqV 1. 建模任务 &$Ip$"H nPX'E`ut-V 2. 干涉条纹的变化 Ytnr$*5. q9z!g/,d/ LzSusjEW@ 3. VirtualLab Fusion概览 gY^TBR0?m !Kqj&y5 jN{xpd 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 X10TZ 设置输入场 w)SxwlW} - Basic Source Models [教程视频] -ns a3P 定义组件的位置和方向 F88SV6 - Basic Source Models [教程视频] g#nsA(_L 正确设置通道以进行非顺序跟踪 q$*_C kT - Basic Source Models [使用案例] 3'uES4+r 使用参数运行检查影响/变化 aZ3 #g - Usage of the Parameter Run Document [用例]
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{$=%5 aL6 5t\2 5. VirtualLab Fusion 技术 %ycT}Lu 05zdy-Fb
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