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摘要 6O4*OR<& DLwlA!z 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 XT0-"-q PpRS4*nR e.\>GwM 1. 建模任务 c<13 r=+ Yjg$o:M 2. 干涉条纹的变化 R;"$ PHD q\tr&@4iC BDt$s(
\ 3. VirtualLab Fusion概览 8YSvBy qMaO1cE\ v9T3= 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 5a |[cR 设置输入场 Dw=L]i
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$N`+& 使用参数运行检查影响/变化 f y|JE9Io_ - Usage of the Parameter Run Document [用例] U/c+j{=~ |@d(2f8
Cq@7oi]W0 kwi$% 5. VirtualLab Fusion 技术 MdX4Rp' 4#t'1tzu#
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