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摘要 Ox"SQ`nSj' M0"}>`1lJ 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 ]gB:ht \Gz
79VW $ D(q 1. 建模任务 ;2iDa <'z.3@D 2. 干涉条纹的变化 teg[l-R"7z e^Glgaf 5tm:|.`SQ 3. VirtualLab Fusion概览 -owap-Va dZ'H'm;,! }n$I #G}\/ 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 MnD^jcx
设置输入场 ;v>+D
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7?"-NrW~ yVb yw(gS 5. VirtualLab Fusion 技术 LFPYnK =1Tn~)^O
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