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摘要 fNh0?/3) {,Py%.vvR 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 j/h>G,>T= "=/YPw^0 MU-T>S4
1. 建模任务 7^3a296 <-3_tu>l 2. 干涉条纹的变化 5|pPzEA> 4uSC> REaU=-m- 3. VirtualLab Fusion概览 *It`<F| /Ayo78Pi 4|EV`t}EV 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 2y"|l 设置输入场 q\xT - Basic Source Models [教程视频] ZB|y 定义组件的位置和方向 VuiK5?m - Basic Source Models [教程视频] 1(;_1@P 正确设置通道以进行非顺序跟踪 WF!u2E+ - Basic Source Models [使用案例] S.Z2gFE&tu 使用参数运行检查影响/变化 Sj`GP p - Usage of the Parameter Run Document [用例] u5LrZt]k "'8^OZR 2/coa+Qkv] QUSyVp{$ 5. VirtualLab Fusion 技术 W-ctx"9DS z;F6:aBa
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