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摘要
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H{8\<E:V+} 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 R\^tr tP9}:gu 'Tn$lh 1. 建模任务 Y]PZ| G) OA;L^d 2. 干涉条纹的变化 !VW#hc\A5 o,L !F`W 7@\iBmr6 3. VirtualLab Fusion概览 sx;1V{|g %/7`G-a.B O;~1M3Ii 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 /D12N'VaE 设置输入场 fXN;N&I - Basic Source Models [教程视频] LS`Gg7]S 定义组件的位置和方向 y=CemJ[~ - Basic Source Models [教程视频] &AzA0r&, 正确设置通道以进行非顺序跟踪 X!m/I
i$q - Basic Source Models [使用案例] F9hCT) 使用参数运行检查影响/变化 fqi584 - Usage of the Parameter Run Document [用例] 2&M
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