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摘要 Ch8w_Jf1yx , v,mBYaU 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 bI/d(Q%#< %y;E1pva (ds-p[`[m 1. 建模任务 g"gh2#!D Z".mEF-b 2. 干涉条纹的变化 s\A"B#9r b<o Uy q{I,i(%m8 3. VirtualLab Fusion概览 eV$pza eq+t% +Gv{Apd" 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 %"Tn=fZIF 设置输入场 D.elE: - Basic Source Models [教程视频] 6yEYX'_ 定义组件的位置和方向 04>dxw)8 - Basic Source Models [教程视频] ^c",!Lp}{ 正确设置通道以进行非顺序跟踪 AW3\>WC - Basic Source Models [使用案例] ej-x^G?C 使用参数运行检查影响/变化 {Wp+Y9c[ - Usage of the Parameter Run Document [用例] pJkaP 2(~Y ^_
l`D^)~o8 ~^jdiy5 5. VirtualLab Fusion 技术 $@k[Xh JRQ{Q"`)
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