摘要 7E#h(bt j [s\8@5?E
x7G)^ 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
5O]ZX3z> W(Md0* 任务 :SW
vH- ] • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
8B-mZFXpK • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
?Q+*[YEJ5 |pbetA4& GVu[X?q@| 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 bA2[=6 连接建模技术:衍射光束分束器 $)c[FR~a
y29G#Y4J lq]8zm<\)] 通过配置助手和IFTA进行相位设计 |,S]EHIy n%RaEL ^!i4d)) 将传输函数转化为结构 lj8ficANo 1JdMw$H {Y=k`t, 衍射光束分束器表面 WA1yA*S 1:-
M<=J?f ,3eN& 衍射光束求解器 - TEA & FMM [`E_/95 C`3XOth \I/"W#\SJo 光栅级数 & 可编程光栅分析器 9!_LsQ\) pFiE2V_aS sh0x<_ 设计与评估结果:
EbVC4uY • 相位函数设计
9-&@Y • 结构设计
+XX5;;IC • TEA 评估
&z*4Uij • FMM 评估
Xkx&'/QG,U • 高度缩放检查(用于优化/容限)
UUtSme RtxAIMzh? 仅相位传输设计 s(s_v ?k -`Zk`s|! -;HZ!Lf 结构设计 MIZ!+[At <; Td8O89_ sT<h+[2d 使用TEA进行性能评估 FOPmvlA\-< !^1oH** ~j!|(a7 使用FMM进行性能评估 i*09m^r L+lye Ir' v] Xy^7? 进一步的分析(优化后,容差分析) 9NU-1vd~
z|S4\Ae Tn38]UL 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 eR3MU]zF ?iaO6HD xFp9H'j{ 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 1JI7P?\B [{ A5BE - W%9"E??c 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 g^\>hjNX