摘要 !K!)S^^Po? MO[c0n% =nLO?qoe 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
,r@xPZPz:e YQN.Ohtv*F 任务 dI!8 S • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
|drf"lX<{ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
}|A X_=a V:(y*tFA J K[T]|G 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 m[8IEKo 连接建模技术：衍射光束分束器 7kdeYr~<1 
J(4g4? ：
iZC>)&ax • 相位函数设计
F9%,MSt • 结构设计
7vw;Egd@@- • TEA 评估
E!uJ 6\ • FMM 评估
/\d(c/, 4 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
[M`=HhJ4 $_wo6/J5+D 仅相位传输设计 f`,-b hv3;irK]& g rc:Y 结构设计 a%v>eXc v _.HGG S
"3wv:BL 使用TEA进行性能评估 Zd$JW=KR]l z4bN)W )p zOL;"/R 使用FMM进行性能评估 9976H\{ ;>8kPG Gy9
$Wj 进一步的分析（优化后，容差分析） lirN YJ]tO 
,%kmXh
