[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 ^y&2N  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 W70BRXe04D  
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任务 aIfB^M*c5  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 8r.MODZG/  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 CZv^,O(M?2  
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TTxSl p2=;  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 /{ 8.Jcx$  
连接建模技术：衍射光束分束器 ]_y;Igaj  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 d D^?%,a  
H,fVF837  
uvD*]zX  
将传输函数转化为结构 n*=Tm KQ  
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衍射光束分束器表面 U%2{PbL  
kdm@1x  
0pe*DbYP5  
衍射光束求解器 - TEA & FMM kb*b|pWlO  
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y*sqnzgF  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 'Ya-;5Y]  
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o, qBMo^.  
设计与评估结果： WoMMAo~  
• 相位函数设计 6}mSA@4&  
• 结构设计 sr.!EQ]  
• TEA 评估 2f0_Xw_V_  
• FMM 评估 6[1lK8o  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） Bv=:F5hLG  
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仅相位传输设计 kh*td(pfP9  
]O68~+6  
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结构设计 NEM
C  
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使用TEA进行性能评估 M#]URS2h<O  
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使用FMM进行性能评估 P?U}@
U~9  
fL R.2vJ  
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进一步的分析（优化后，容差分析） 1A
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}2_i<4,L  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ,Z]4`9c  
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GI*2*m!u  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 c:G0=5  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 Uv/?/;si