摘要 0Y8gUpe3P6 eC-&.Fl Nf| 0O\+%y 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Ok!P~2J " .7@ 任务 ]3 "0#Y • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
}F>RIjj • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
i]ZGq7YJ% dcf,a<K\ "Hw%@]# 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 7nB4(A2[S4 连接建模技术:衍射光束分束器 ^T&{ORWz
\l/(L5gY x{pj`'J) 通过配置助手和IFTA进行相位设计 .\oz DGHSyB^+1 YuhfPa 将传输函数转化为结构 2 5~Z%_? wq?"NQ?O< \'2rs152 衍射光束分束器表面 && ]ix3 E-WpsNJ)X RvR.t"8 衍射光束求解器 - TEA & FMM :W)lt28_ jRsl/dmy K@p9_K8 光栅级数 & 可编程光栅分析器 )<QX2~m< ]!TE XJo.^<m 设计与评估结果:
/`M# • 相位函数设计
_gMr]%Q • 结构设计
o33t~@ RX • TEA 评估
CbZ;gjgY* • FMM 评估
N^QxqQ~
• 高度缩放检查(用于优化/容限)
Xm,fyk> 'd
N1~Pa 仅相位传输设计 ndFVP;q '-"[>`[q F:jNv3W1 结构设计 ./I? |ih (VO'Kd _OGv2r 使用TEA进行性能评估 lW"0fZ_x'E JL
{H3r&/S E{)X ;kN= 使用FMM进行性能评估 yV`Tw"p T'6`A<`3 %vO(.A+ 进一步的分析(优化后,容差分析) k;cIEEdZD
mx)!] B" g{Av
=66Z 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 4Q!%16
P /[?}LrDO !n;3jAl&$ 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 +tk`$g @q!T,({kx Ab[o~X" 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 qUfoEpW2=6