摘要 v ?)-KtX| FLO#!G 4 }{HRs? 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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JO 任务 <h2WM (n • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
:0.Z/s - • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
bIP{ Dx KS gRuNC=sR : luVsQ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 #N%xr'H 连接建模技术：衍射光束分束器 KDW%*%! 
8H3|i7.1h ：
*z`_U]tP • 相位函数设计
"jzU` • 结构设计
gk\I ivPb • TEA 评估
5Ya TE<G • FMM 评估
DPJ#Y -0 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
a|`Pg 1j# s)#FqB8 仅相位传输设计 ^SB?NRk Fd-PjW/E8 -
*!R 结构设计 '<~l% q _6&x$ *O [k.|iCD 使用TEA进行性能评估 &, 2h=H,M @Hj5ZJ
3 ./LD 使用FMM进行性能评估 C N@bJo2 EAU6z(X$ 4[|^7 8 进一步的分析（优化后，容差分析） 9D++SU2 :} 
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