[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 UzxL" `^7  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 YO$Ig:a#  
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任务 W/qXQORv  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 =I# pXL  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 C%z)D1-  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 BJjic%V  
连接建模技术：衍射光束分束器 t7f(%/] H0  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 N3%#JdzZ$  
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将传输函数转化为结构 8 0tA5AP  
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衍射光束分束器表面 \D@j`o  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM /HdXJL9B  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 " .7@  
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设计与评估结果： zDvV%+RW)  
• 相位函数设计 rS [4Pey  
• 结构设计 dcf,a<K\  
• TEA 评估 k-~}KlP  
• FMM 评估 RdX+:!lD  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） MSCH6R"5  
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仅相位传输设计 Zz0er|9]Q  
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结构设计 Ae2N"%Ej  
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使用TEA进行性能评估 y3efie {J  
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使用FMM进行性能评估 !KI^Z1dP(  
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进一步的分析（优化后，容差分析） q]4h#?.-1v  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 :q/s%`ob  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 vAM1|,U  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 #w''WOk@ZG