摘要 E~ _2Jf\U #9}E @GGs 8s pGDg\g 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
:\L{S +4f>njARIb 任务 6+BR5Nr • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
LU~U> • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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!w7Yv 连接建模技术：衍射光束分束器 S*Scf~Qp 
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JYOyz+wNd • 相位函数设计
n^'ip{ • 结构设计
rBa <s • TEA 评估
D{I^_ ~-\5 • FMM 评估
]H0BUg • 高度缩放检查（用于优化/容限）
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\zM\^S>] z"bgtlfb8 仅相位传输设计 [tym~ZZ]_m j!GJ$yd=-6 hc2[,Hju{O 结构设计 v' .:?9 eG9t n{ Q]Q i 使用TEA进行性能评估 k-xh-& 4_ 3Jpz* ]24aK_Uu 使用FMM进行性能评估 GLQ1rT } * |_P 'A
.c*<_ 进一步的分析（优化后，容差分析） Q
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