摘要 0Y8gUpe3P6 eC-& .Fl Nf| 0O\+%y 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Ok!P~2J " .7@ 任务 ]3 "0#Y • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
}F>RI jj • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
i]ZGq7YJ% dcf,a<K\ "Hw%@]# 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 7nB4(A2[S4 连接建模技术：衍射光束分束器 ^T&{ORWz 
\l/(L5gY ：
/` M# • 相位函数设计
_g Mr ]%Q • 结构设计
o33t~@ RX • TEA 评估
CbZ;gjgY* • FMM 评估
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• 高度缩放检查（用于优化/容限）
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N1~Pa 仅相位传输设计 ndFVP;q '-"[>`[q F:jNv3W 1 结构设计 ./I? |ih (VO' Kd _OGv2r 使用TEA进行性能评估 lW"0fZ_x'E JL
{H3r&/S E{)X ;kN= 使用FMM进行性能评估 yV`Tw"p T'6`A<`3 % vO(.A+ 进一步的分析（优化后，容差分析） k;cIEEdZD 
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