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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 1Z\(:ab13  
    !nec 7  
       D~cW ]2  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 %GM>u2baw  
    uK$=3[;U/!  
    任务 +2- qlU  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 o^6jyb!j  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。  pgC d  
    %p<$|'  
    d/l,C4p  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 +c-6#7hh  
    连接建模技术:衍射光束分束器 smQ4CLJ  
      
    aL88E  
    %,33gZzf  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 ]PeLcB  
    yPSVwe|g  
    6hp{,8|D"m  
    将传输函数转化为结构 xcHen/4X  
    "]v uD  
     ~q*i;*  
    衍射光束分束器表面 6 4?Pfir6  
    l+t #"3  
    q5%2WM]6  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM IDj_l+?c  
    xM% pvx.'L  
    v}Z9+ yRC2  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 o1e4.-xI  
    * nLIXnm  
    {W-5:~?"  
    设计与评估结果 \xF;{}v  
    • 相位函数设计 3QIdN  
    • 结构设计 P= e4lF.  
    • TEA 评估 \$j^_C>  
    • FMM 评估 dl:-k  r8  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) AU/#b(mI  
    hBjVe?{  
    仅相位传输设计 p7s@%scp  
    JwjI{,jY  
    e]>/H8  
    结构设计 ,`y yR:F  
    9MT? .q  
    2%5?F n=  
    使用TEA进行性能评估 |P>|D+I0  
    yji>*XG  
    `-o5&>'nf  
    使用FMM进行性能评估 CldDr<k3  
    21 ViHV  
    * flWL  
    进一步的分析(优化后,容差分析) `v~!H\q  
    m*`cuSU|o  
    lw s(/a*c  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ~> PgJ ^G  
    R+d< fe  
    8-ZUS|7B  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 H/^B.5RYE>  
    %Z7%jma  
    `os8;`G  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 BY$[g13  
     
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