摘要 ^6H fq^ejt u!
x9O8y arrNx|y 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
NK~j>>^; v l}5@6;} 任务 [- a2<E • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
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P/ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
op/HZa :hwZz2Dhi l~!\<, ! 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 -s,^_p{H 连接建模技术：衍射光束分束器 (w-z~#< 
tTLD6# ：
+%OINMo.A • 相位函数设计
lF2im5nZ? • 结构设计
t>)iC)^u • TEA 评估
/!=uM . • FMM 评估
j\B]>PP5 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
zcF~6- aQ o8-B Tq8 仅相位传输设计 r/$+'~apTk w9rwuk GvF8S MO[x 结构设计 J}c57$Z !hrXud=#" &=Gz[1
L 使用TEA进行性能评估 WS/^WxRY 5x(`z
o]t6u .L 使用FMM进行性能评估 gbsRf&4h # =V%S
2~ I?YTX 进一步的分析（优化后，容差分析） W=c7>s0> 
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