摘要 V/03m3!q </fzBaTo WA<~M) rb 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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任务 S_) va#b# • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
[P<oyd@# • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
Dd*C? 6 J9o ]$.e a^CIJ. P2 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 ] `lTkh 连接建模技术：衍射光束分束器 !#'*@a 
v"^G9u ：
aC;OFINK • 相位函数设计
U F?qL1w • 结构设计
t)5bHVx • TEA 评估
7%C6gU! r • FMM 评估
h ]I ^%7 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
Ty7x jIs ?xIw Q d0 仅相位传输设计 y<kW2 <? Fvg>>HVu h/5.>[VwDh 结构设计 >]FRHJo_ K1jE _]@Z r q>@ 0i 使用TEA进行性能评估 ,|D<De\v& yH irm|o ]5wc8Kh" 使用FMM进行性能评估 $)6y:t" u`g|u:(r H}`}qu #~V 进一步的分析（优化后，容差分析） N_wB 
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