摘要 Eh@T W%9* 7{^4 x#NO ,J (5@8(>a 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
CxA\yG3L& dXcPWbrU4 任务 ]6B mCh • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
) ehB)X • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
2WPF{y%/ .eabtGO, [Ql?Y$QB`4 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 %- ZR~* 连接建模技术：衍射光束分束器 _:g GD8 
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AB2mt:^ • 相位函数设计
Q 7 uAf3 • 结构设计
&e-#|p#v • TEA 评估
>[|GC/C • FMM 评估
O&#S4]Y • 高度缩放检查（用于优化/容限）
~m?74^ i jr, &=C( 仅相位传输设计 {d 1N& qe5tcv}u .'^6QST 结构设计 @V* ju lL(p]!K' I|g@W_ 使用TEA进行性能评估 G2CZwm{/f !,Xy l}
# E! zd( 使用FMM进行性能评估 j-lSFTo y+4?U Q7~'
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