摘要 hC9EL=
A c2Exga_ JPHM+3v 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
UNK .39 7XLqP 任务 gVe]?Jva` • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
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,{zDMA • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
J_fs}Y1q\ s;..a &C' |28'<BL 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 (> _Lb 连接建模技术：衍射光束分束器 #oR`_Dm)P 
\<\H1;=.@' ：
K~2sX>l • 相位函数设计
&3;"$P • 结构设计
1KbZ6Msy • TEA 评估
^)I}# • FMM 评估
\uZ|2WG` • 高度缩放检查（用于优化/容限）
!icI Rqcf= 4(VV@:_% 仅相位传输设计 /H"fycZ ^1vKhO+p$ dvqg H 结构设计 dP +wcl4 PH%'^YA l7 g1}:;VG= 使用TEA进行性能评估 WJu(,zM?G ;6D3>Lm 9<&M~(dwT4 使用FMM进行性能评估 C:}1r 'S9o!hb'@ X7AxI\h 进一步的分析（优化后，容差分析） HfgTc
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