摘要 L'$;;eM4 c;1X u1 L(i0d[F 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
LwS>jNJx ck\gazo~q 任务 jq"iLgEMO • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
Jb"0P`senY • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
Hy0l"CA*| !ie'}|c wf=M|
#}_ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 t A6x 连接建模技术：衍射光束分束器 !' T,%8'] 
ql
c{k/
u ：
3D/<R|p • 相位函数设计
FfR%@
V' • 结构设计
%h-?ff[ • TEA 评估
]6 ]Nr • FMM 评估
&*3O+$L • 高度缩放检查（用于优化/容限）
2or!v^^u 8m poY.E4! 仅相位传输设计 dl&402 js<}>wD7< MY `V0 结构设计 L-\o zp *)4 `"D :k*3? *'K 使用TEA进行性能评估 (<:mCPk(~ qwx{U >s+TD4OfY 使用FMM进行性能评估 _wM YA 8n !-gjA@Pk :VEy\ R>W 进一步的分析（优化后，容差分析） = $t 
f-b#F2I
