摘要 G @8wv J C)(/NGf 9FcH\ 2J 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
X( qs]: iM +p{ /bN 任务 B"3uuk8 • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
[ n2)6B\/ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
^2-+ MWW. byN4?3 F >7(7 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 ( yv)zg9 连接建模技术：衍射光束分束器 jm&PGZ#n=R 
:S=!]la0h ：
3 adF) mh • 相位函数设计
5@yBU wMSj • 结构设计
)vy_m_f& • TEA 评估
Wf>=^ ~` • FMM 评估
#/o1D^ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
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u Lp .v[!_bk8C 仅相位传输设计 jM;?);Dd Ie'iAY 5Tiap8x+< 结构设计 7~2V5 @{< A}MF>.!}C 9ve)+Lk 使用TEA进行性能评估 G4QsR7 4$Ud4< C`b)}dY 使用FMM进行性能评估 f ( ug3(j Pw/$
}Q9 X mL3 Q 进一步的分析（优化后，容差分析） cW?~]E' < 
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