摘要 >?^_JEC6 F44KbUH k`r`ZA(kQ- 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
0)9'x)l: fqD1Ej 任务 f/%QMhM: • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
cDLjjK7: • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
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!U6T q,2 +\i P(~vqo>! 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 5VK.Zs\ 连接建模技术:衍射光束分束器 nB#XQ8Nzx^
bLyaJ%pa\/ c>yqq' 通过配置助手和IFTA进行相位设计 >jg"y Et+W LQ6) O",*N 将传输函数转化为结构 W3 2]#M= *waaM]u T8-,t];i 衍射光束分束器表面 I@o42% w2 U|)CZcM qI5`:PH%n 衍射光束求解器 - TEA & FMM Ggp. %kS6F ;wj8:9
; 3YJa3fflK 光栅级数 & 可编程光栅分析器 \LQ54^eB v0'`K 5M f|'8~C5I@> 设计与评估结果:
;n;bap • 相位函数设计
s(shgI 3g • 结构设计
FR? \H"'x • TEA 评估
p2uZ*sY(D • FMM 评估
0iTh |K0 • 高度缩放检查(用于优化/容限)
>}6V=r3[+ 1_6oM/?' 仅相位传输设计 /m(v5v7( ;A;FR3=) .%T.sQ 结构设计 8$V:+u Z<@dM2b) {~+o+LV 使用TEA进行性能评估 a?ux !OL[1_-4|K \9T/%[r# 使用FMM进行性能评估 acdF5ch@ :|PgGhW 'fr~1pmx#3 进一步的分析(优化后,容差分析) E7>D:BQ\2
\O(~:KN Ue2%w/Yo 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 fH*1.0f]6 6Dz N.fz Va3/#is' 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 0mi$_Ld+ 6Us*zKgW r`5svY 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 5!*@gn