[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 t33\f<e  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 k]A=Q  
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任务 w`EC6ZN  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 _%3p&1ld  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 7^V`B^Vu  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 S}VN(g  
连接建模技术：衍射光束分束器 pHowioFx  
   7xM4=\~OG  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 1Q=L/keP  
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XI
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将传输函数转化为结构 WZn"I&Z  
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衍射光束分束器表面 ^?_MIS`4N  
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S(Z\h_m(  
衍射光束求解器 - TEA & FMM -aLM*nIoe  
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v-8{mK`9\  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 A8QUfg@uK~  
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设计与评估结果： [?=DPE%  
• 相位函数设计 PbY.8d%2/k  
• 结构设计 nTw:BU4jd  
• TEA 评估 f'MRC \  
• FMM 评估 @=}NMoNH  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） qY!LzKM0  
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仅相位传输设计 ]<ay_w;  
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结构设计 _dECAk &b  
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使用TEA进行性能评估 xb"e'Zh  
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]k BC,m(  
使用FMM进行性能评估 xOr"3;^  
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进一步的分析（优化后，容差分析） zsj]WP6j  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 i+Mg[x$.  
D+N@l"U{  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 QxuU3#l  
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K{9Vyt9,$  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 |Om9(xT