[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 %aU4,j^],o  
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   O:Va&Cyj*  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 `>6T&  
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任务 fkjeR B  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 DG(%-w8p"  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 xRum*}|4  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 P7:d ly[,q  
连接建模技术：衍射光束分束器 _;hf<|c  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 ESTM$k}X  
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将传输函数转化为结构 9sSN<7  
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衍射光束分束器表面 ,zhJY ?sk  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM p[9s<lEh  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 \OQkZ.cU;  
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设计与评估结果： 0 Y>M=|  
• 相位函数设计 z.36;yT/  
• 结构设计 D3D}DaEYj  
• TEA 评估 kGHQ`h  
• FMM 评估 _{4^|{>Pv  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） Io n~  
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仅相位传输设计 wi_

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结构设计 /(hUfYm0  
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使用TEA进行性能评估 /
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使用FMM进行性能评估 -F@L}|  

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进一步的分析（优化后，容差分析） ^7^N}x@  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 V5i*O3a~  
E&`Nh5JfC  
H[ m<RaG8  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 C0jj(ku&  
K2{aNvR)t  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 /,@p\Ae5