摘要 4pJOJ!? dz5a! e
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1t+]r:{ 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
?=dyU( T|GRkxd,E3 任务 Y\(Q • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
c|X.&<lX • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
8iB1a6TlL T?N' k= puG$\D-[ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 u3R0_8
_.w 连接建模技术:衍射光束分束器 I;qeDCM
kpsus \T sOa`T k 通过配置助手和IFTA进行相位设计 YC - -&66 Sir7TQ4B @
eqVug 将传输函数转化为结构 l]%_D*<Y Xt(w+ /(8Usu?g. 衍射光束分束器表面 '!]ry< |eAl!k ,@tYD(Z 衍射光束求解器 - TEA & FMM 8c`g{
*z %a<N[H3NV@ *>n<7T0 光栅级数 & 可编程光栅分析器 3;Kv9i<~LE .e!dEF)D ^*#5iT8/ 设计与评估结果:
{wih)XNY • 相位函数设计
@QV|<NeH • 结构设计
0$b)@ • TEA 评估
SSYE& • FMM 评估
|y)R lb#d • 高度缩放检查(用于优化/容限)
|lm P#\L6EO. 仅相位传输设计 @\e2Q&O |!euty :: +e);lS"+/ 结构设计 N&K:Jp AYeA)jk a)^f`s^aa 使用TEA进行性能评估 DlC`GZEtqh t%Vc1H2} x[U/
8#f& 使用FMM进行性能评估 c}kZx1 0(VAmb%{ hn{]Q@(I 进一步的分析(优化后,容差分析) xbnx*4o0
~J^Gzl Ki(qA(r 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 @G+Hrd6 UX}ZE.cV qX^#fk7] 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 TUHC[#Vb? <k-&Lh:o3 U']DB h 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 zPEx;lO$