[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 2|o6~m<pE  
i6r%;ueLb  
   pN&Dpz^  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 KMznl=LF  
E`>-+~ZUsk  
任务 SPL72+S`,  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 mY.[AIB  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。  KEsMes(*  
_U$d.B'*)z  
[e ;K$  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 _p7c<$;  
连接建模技术：衍射光束分束器 i}RxTmG<  
   oj@B'j  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 !yH&l6s  
uKh),@JV  
,g{`M]Ov  
将传输函数转化为结构 S8<O$^L^  
-U"(CGb5  
1I KDp]SN  
衍射光束分束器表面 $t-HJ<!  
bWwc2##7jo  
c^UG
}:Y  
衍射光束求解器 - TEA & FMM j;1X-  
|>GtClL  
,/|"0$p2x  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 8@Xq ,J  
&iL"=\#  
Oh~JyrZy  
设计与评估结果： +D`IcR-x  
• 相位函数设计 <;+&`R  
• 结构设计 zfO0+fMH  
• TEA 评估 \Q?r+VZ  
• FMM 评估 ?^2(|t9KU  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） 4&r
^mGs,  
hFZ7
{pj  
仅相位传输设计 U9IN#;W  
*xM4nUu<~  
>Rjk d>K3  
结构设计 jUZ84Gm{  
lzfaW-nu  
]gHw;ry  
使用TEA进行性能评估 &voyEvX/S  
Cz+>S3v M  
:Y0*P  
使用FMM进行性能评估 4rc4}Yu,JI  
l^%Ez?-:s  
HzF  
进一步的分析（优化后，容差分析） O]~cv^  
bf-.SX~  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 .4^Ep\\  
u8v;O}#  
TPt<(-}W  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 35?et-=w  
>>Z.]  
"e0$/WQ6J  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 i!LEA/"V