摘要 $dnHUBB V 1:3 *h4m<\^U 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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5)4^bk 任务 cik@QN<[0 • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
Dgm%Ng • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
YW{V4yW pHvE`s"Ea v 2 GhR* 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 . zAafi0 连接建模技术：衍射光束分束器 -{*V)J_Co 
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^R7z LHU; • 相位函数设计
:UcS$M1LE • 结构设计
mF}k}0 • TEA 评估
[T }]Ma*CS • FMM 评估
W>s'4C` • 高度缩放检查（用于优化/容限）
G`#gV"PlC DiQkT R 仅相位传输设计 Z{
Zox[/ tN3 {7'\7 ~9 WJrRWB 结构设计 &&n O]p` ')<FLCFwT fF > qU- 使用TEA进行性能评估 =Xjuz:9D~ i>Bi&azx /e sk 使用FMM进行性能评估 U\8#Qvghf ,ok J eZ ZU.) K>' 进一步的分析（优化后，容差分析） 9T,QW k 
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