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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 _w\i~To!  
    B~]6[Z  
       aPlEM_escS  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 e 1XKlgl  
    W5'6L =WG  
    任务 g"" 1\rc=  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 MS#"TG/)  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 z&0[F`U  
    ^U,iDK_  
    jY\z+lW6A  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 g%= K rO  
    连接建模技术:衍射光束分束器 ].d%R a:{  
      
    q}p$S2`  
    ShL!7y*rT{  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 H.|I|XRG/  
    9O&m7]3  
    43h06X`  
    将传输函数转化为结构 8y5"X"U  
    <D:q4t  
    ;UXV!8SM  
    衍射光束分束器表面 .n+ ;&5  
    C.ynOo,W  
    rb@[ Edj  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM 68GH$ji  
    JAKs [@:  
    h0m5o V  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 9mk@\Gqqm  
    O)V;na  
    G*EF_N. G0  
    设计与评估结果 2He R1m<  
    • 相位函数设计 E4o{Z+C  
    • 结构设计 qbSI98r w  
    • TEA 评估 U"|1@W#  
    • FMM 评估 DjaXJ?'  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) @TW:6v`  
    DM v;\E~D  
    仅相位传输设计 +}at#%1@  
    Zs t)S(  
    +JG05h%'  
    结构设计 g&$5!ifgi  
    H0tu3Pqk  
    !21G $ [H  
    使用TEA进行性能评估 c}$>UhLe  
    =Bc{0p*  
    G6{ PrV#  
    使用FMM进行性能评估 rD$5]%Y  
    tk -)N+M.  
    QZ(O2!Mg  
    进一步的分析(优化后,容差分析) y|B HSc3  
    "LDNkw'  
    zqU$V~5;rG  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 $X:,Q,?  
    |O)ZjLx  
    <,p$eQ)T%  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 ~)$R'=  
    GGwwdB\x'  
    6(?@B^S>2  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 E`HA0/  
     
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