摘要 ^6Hfq^ejt u!
x9O8y arrNx|y 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
NK~j>>^;v l}5@6;} 任务 [- a2<E • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
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P/ • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
op/HZa :hwZz2Dhi l~!\<, ! 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 -s,^_p{H 连接建模技术:衍射光束分束器 (w-z~#<
tTLD6# '_@Y 通过配置助手和IFTA进行相位设计 Jj8z ~3XnJ Og Y4J|< w\:-lX w 将传输函数转化为结构 (l TM5qC O1ofN#u J;Xh{3[vO 衍射光束分束器表面 p'0jdb :S l|/h4BJ' gG>1 衍射光束求解器 - TEA & FMM A{bt
Z#k Nh^T,nv*l sbjAZzrX2i 光栅级数 & 可编程光栅分析器 D}>pl8ke~g 1j`-lD SsIy ;l 设计与评估结果:
+%OINMo.A • 相位函数设计
lF2im5nZ? • 结构设计
t>)iC)^u • TEA 评估
/!=uM. • FMM 评估
j\B]>PP5 • 高度缩放检查(用于优化/容限)
zcF~6-aQ o8-BTq8 仅相位传输设计 r/$+'~apTk w9rwuk GvF8S MO[x 结构设计 J}c57$Z !hrXud=#" &=Gz[1
L 使用TEA进行性能评估 WS/^WxRY 5x(`z
o]t6u .L 使用FMM进行性能评估 gbsRf&4h #=V%S
2~ I?YTX 进一步的分析(优化后,容差分析) W=c7>s0>
w,bILv) peCmb)>Sa 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 %<lfe<;^t w<3}(1 UCj4%y6t 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 <W~5;m 1P#bR`I
> 8c(}*,O/ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 R7;SZo