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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 1 XAXokxj  
    .X;zEyd  
       w~NQAHAvo  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 !TH3oLd"  
    b3G4cO;t;  
    任务 Awo H d7M  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 nVF?.c  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 HWJ(O/N  
    =rA"|=  
    pcd*K)  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 mTcopyp  
    连接建模技术:衍射光束分束器 oh k.;  
      
    IcM99'P(  
    B&~#.<23:  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 s4@dEK8W  
    8,Jjv*  
    =l_B58wrx  
    将传输函数转化为结构 7cGc`7  
    /STFXR1@.u  
    ZqhCGHy  
    衍射光束分束器表面 j {w'#x,  
    e`pYO]Z  
    |g vx^)ro  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM }Fd4; ]  
    y9cDPwi:b  
    !o+Y" * /  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 9E/{HNkf  
    b ^wL{q  
    [Bn C_^[W  
    设计与评估结果 =IQ+9Fl2  
    • 相位函数设计 poZ04Uxo>  
    • 结构设计 Lo^0VD!O  
    • TEA 评估 B{UL(6\B  
    • FMM 评估 *=Ko"v }  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) +FD"8 ^YC  
    5OUGln5  
    仅相位传输设计 :+%"kgJNL  
    < j}n/G]  
    l<5@a (  
    结构设计 KMO(f!?  
    3*< O-Jr  
    J*Dt\[X  
    使用TEA进行性能评估 D00I!D16  
    k[9~Er+  
    ~=$0=)c  
    使用FMM进行性能评估 >WfkWUb  
    {MP8B'r-6  
    \J*~AT~5q  
    进一步的分析(优化后,容差分析) "gD]K=  
    T r|B:)X  
    CH!>RRF  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ch|4"&g  
    PtH>I,/  
    K(&I8vAp  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 2YT1]x 3  
    xLxXc!{J5  
    5Lmhip  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 [1+ o  
     
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