摘要 @DyMq3Gt?& i6E ~]&~.v bWMb@zm 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
+ )7h)u q /tq e:* 任务 qvRs1yr?q • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
4n2*2
yTg • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
l q)[ l D]?9K29 ;oRgg'k< 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 >+*lG>!z 连接建模技术：衍射光束分束器 - 4S4I 
8|rlP ：
rd}|^&e!Dy • 相位函数设计
[L>AU;
: • 结构设计
Iz I
hC • TEA 评估
H`8}w{ ft& • FMM 评估
w'P !<JaZ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
]Hrw$\Ky w0fFm"A|W 仅相位传输设计 o,=dm@j p}-B>v 5x'
^.$K > 结构设计 M rpT5|t ,+E"s3NW oF(|NS^ 使用TEA进行性能评估 E% \Ohs7 l%MIna/Tp AJ85[~(lX 使用FMM进行性能评估 b`DPf@p^kc gJuA*^ CWM_J9f 进一步的分析（优化后，容差分析） R(DlJ 
0u f)6(f
