摘要
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3`+Bq+ s%/x3anz= 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
YW7Pimks Yj{-|2YzL 任务 Usl963A#'F • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
4Je[!X@C • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
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* wz< 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 AO~f=GW 连接建模技术:衍射光束分束器 ={G0p=~+,p
!4vepa}Y Q`)iy/1M 通过配置助手和IFTA进行相位设计 UNF@%O4_T c_Lcsn von<I 将传输函数转化为结构 y"T(Unvc pZ)N,O3 OSY.$$IO 衍射光束分束器表面 ?8-ho0f0 K:L_y1!T H~<w*[uT 衍射光束求解器 - TEA & FMM E@/*eJ E2i'lO\P OVUJiBp 光栅级数 & 可编程光栅分析器 ;km ^ OO$ sL4j@Lt _@@.VmZL 设计与评估结果:
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Am5 • 相位函数设计
_~.S~;o!b • 结构设计
z2U^z*n{ • TEA 评估
%?m_;iv • FMM 评估
:y1,OR/k • 高度缩放检查(用于优化/容限)
xU;/LJ6 S~hoAl"xb/ 仅相位传输设计 YLv5[pV ^^T
xx &2sfu0K 结构设计 w`_"R6 /2>.*H_2 ;iO5
8S3 使用TEA进行性能评估 ?bGk%jjHXM S1a6uE +!cibTQTT 使用FMM进行性能评估 :$Xvq-#$| 2*5pjd{Kt @kW RI* m 进一步的分析(优化后,容差分析) Q" G;L
S+bpWA G]zyx"0Sqb 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 LV@tt&|N
i\dd 5pH6] $ 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 V*gh"gZ< q,T4-
E 6PT"9vR`) 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 4 u=v