摘要 gb_r <j:w Ptj,9bf<\ V _1'` F 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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# 任务 cJIA/HQe • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
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• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
Iu3*`H h;s~I/e( MLd*WpiI. 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
y<r@zb9 连接建模技术：衍射光束分束器 } `X.^}oe 
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S M ：
x)^/3 • 相位函数设计
/4Df ' d • 结构设计
Ts~MkO • TEA 评估
J2va Kl • FMM 评估
iC$mb~G • 高度缩放检查（用于优化/容限）
\!]Zq#*kH ;|.~'' : 仅相位传输设计 `S&$y4|Vs Za5bx,^ CH`_4UAX% 结构设计 xs'vd:l.Pp \W;+@w|c MO1t 0My c 使用TEA进行性能评估 7aV(tMz d dxz.%a@PW 7GyJmzEE 使用FMM进行性能评估 yv2&K=rZp qjtrU#n 2V-zmyJs5 进一步的分析（优化后，容差分析） t 7(#Cuv- 
6)@Y 41H]C
