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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 D `c YQ-  
    txw:m*(%  
       QJjqtOf>  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Q!iM7C!8  
    }$?x wcPU  
    任务 a"4j9cO  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 qlNK }  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 Gk g)\ 3  
    3{O^q/R  
    |gg 6|,Bt4  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 IZoS2^:yw  
    连接建模技术:衍射光束分束器 HM /2/ /  
      
    _?]bd-E  
    8XIG<Nc  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 ;*Ldnj;B  
    gi#bU  
    EIPNR:6t  
    将传输函数转化为结构 ]yiwdQ  
    _o`+c wc  
    q'fZA;  
    衍射光束分束器表面 >08'+\~:b  
    Qyx%:PE  
    ^}fc]ovV  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM " N>~]  
    Zn0e#n  
    Fuq ;4UcbL  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 ;89 `!V O  
    38#BINhBt  
    #eadkj #;  
    设计与评估结果 [|.IXdJ!  
    • 相位函数设计 H0r@dn  
    • 结构设计 4+I@   
    • TEA 评估 "H\1Z,P<m  
    • FMM 评估 0h=NbLr|S-  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) yq]=+X>(  
    jMr[ UZ  
    仅相位传输设计 kCRfO}wt3  
    !Lkk1z o  
    |Lf>Z2E  
    结构设计 Pfi|RTX$'*  
    >%LZ|*U  
    @ >_v/U'  
    使用TEA进行性能评估 DXA<m2&64N  
    $r+ _Y/  
    x# MMrV&M  
    使用FMM进行性能评估 ~j3O0s<gK  
     /5M0[C E  
    I[nSf]Vm>  
    进一步的分析(优化后,容差分析) >V1vw7Pa  
    6.5E d-  
    &`x1_*l  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 r)<c ~\0 7  
    M18 >%zM  
    Ck1{\=t  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 jEhPx  
    k4T`{s}e  
    wH]5VltUT1  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 A; _Zw[  
     
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