摘要 _w\i ~To! B~]6 [Z aPlEM_escS 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
e 1XKlgl W5'6L =WG 任务 g"" 1\rc= • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
MS#" TG/) • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
z&0[F`U ^ U,iDK_ jY\z+lW6A 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 g%= K
rO 连接建模技术：衍射光束分束器 ].d%R a :{ 
q}p$S2 ` ：
2He R1m< • 相位函数设计
E4o{Z+C • 结构设计
q bSI98r w • TEA 评估
U"|1 @W# • FMM 评估
DjaXJ?' • 高度缩放检查（用于优化/容限）
@TW:6v` DM v;\E~D 仅相位传输设计 +}at#%1@ Zs t)S( +JG05h%' 结构设计 g&$5!ifgi H0tu3Pqk !21G $ [H 使用TEA进行性能评估 c}$>UhLe =Bc{0p* G6{ PrV# 使用FMM进行性能评估 rD$5]%Y tk -)N+M. QZ(O2!Mg 进一步的分析（优化后，容差分析） y|B HSc3 
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