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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 < pWk   
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    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 YW7Pimks  
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    任务 Usl963A#'F  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 4Je[!X@C  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 Y9r##r+  
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    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 AO~f=GW  
    连接建模技术:衍射光束分束器 ={G0p=~+,p  
      
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    通过配置助手和IFTA进行相位设计 UNF@%O4_T  
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    将传输函数转化为结构 y"T(Unvc  
    pZ)N,O3  
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    衍射光束分束器表面 ?8-ho0f0  
    K:L_y 1!T  
    H~<w*[uT  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM E@/* eJ  
    E2i'lO\P  
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    光栅级数 & 可编程光栅分析器 ;km^ OO$  
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    设计与评估结果 l>*L Am5  
    • 相位函数设计 _~.S~;o!b  
    • 结构设计 z2U^z*n{  
    • TEA 评估 %?m_;iv  
    • FMM 评估 :y1,OR/k  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) xU;/LJ6  
    S~hoAl"xb/  
    仅相位传输设计 YLv5[pV  
    ^ ^T xx  
    &2sfu0K  
    结构设计 w`_"R6  
    /2>.*H_2  
    ;iO5 8S3  
    使用TEA进行性能评估 ?bGk%jjHXM  
    S1a6uE  
    +!cibTQTT  
    使用FMM进行性能评估 :$Xvq-#$|  
    2*5pjd{Kt  
    @kWRI*m  
    进一步的分析(优化后,容差分析) Q" G;L  
    S+bpWA  
    G]zyx"0Sqb  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 LV@tt&|N  
    i\dd  
    5pH6]$  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 V*gh"gZ<  
    q,T4- E  
    6PT"9vR`)  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 4u= v  
     
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