摘要 zDm3$P= 00>knCe6 j:8Pcx 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
H:Q4!< re4z>O* 任务 +~1FKLu • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
GAs.?JHd • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
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6_* 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 #<V5sgqS 连接建模技术:衍射光束分束器 M4
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@d0~'_vtB 7 > _vH] 通过配置助手和IFTA进行相位设计 <jaQ0S{| s`yg?CR`, McbbEs=) 将传输函数转化为结构 >~'z% E
KJ2P$ [_KOU2 衍射光束分束器表面 XKOPW/ E8lq2r= p&2d&;Qo0 衍射光束求解器 - TEA & FMM 4,=;:#n,J $&jVEMia qd'Z|'j 光栅级数 & 可编程光栅分析器 (BK_A{5 m3(p7Z^Bq O sy_C<O 设计与评估结果:
(b1e!gJpy • 相位函数设计
SoFl]^l • 结构设计
u{sb^cmy • TEA 评估
tu;Pm4q7 • FMM 评估
0hXx31JN N • 高度缩放检查(用于优化/容限)
W]>%*n (7$BF~s:, 仅相位传输设计 SUvrOl
.rX,*|1x Bq-}BN?pz 结构设计 >oi?aD% L)9Z Op5 `Hu2a]e9 使用TEA进行性能评估 nYBa+>3BDf fMM%,/b{ PH^Gjm 使用FMM进行性能评估 }Q6o#oZ : Hu{MN\ {DUtdu[ 进一步的分析(优化后,容差分析)
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qt$GO 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 &xt
GabNk pWH,nn?w. |GP&!] 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 b9v<Jk `9T5Dem|# /wP2Wnq$ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 & Yx12B\