摘要 YL;ZZ2A (|I0C 'Ki >6@*%LM 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
~lzV=c$t k(3 s^B 任务 bsR^H5O@ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
' B8fc-n • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
/ZvNgaH5M Z@RAdwjR`p M#=woj&[ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 KVSy^-." 连接建模技术：衍射光束分束器 a Ey_H-6f 
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oMkB!s • 相位函数设计
1 mFc]1W • 结构设计
{1#5\t>9yD • TEA 评估
GNZQj8 • FMM 评估
%Kw5 b ; • 高度缩放检查（用于优化/容限）
v )%EG @H]g_yw [: 仅相位传输设计 RRV@nDf jQ%}e" dU :s^^f&R 结构设计 YZr^;jfP e@L+z |uj1T=ZY 使用TEA进行性能评估 oT\B-lx 9/~m837x nD MNaMYb 使用FMM进行性能评估 U%t:]6d&} zc* qmb p#^L
ZX 进一步的分析（优化后，容差分析） v~L } : 
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