摘要
&qdhxc4 \ B84 vaP` ' 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
;9h ;oB@ 9-{=m+|b 任务 <nqv)g"u0 • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
Kf BT'6t • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
s^eiym P /QyKXg6)l egG<"e*W}N 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 EI 35&7( 连接建模技术：衍射光束分束器 4RtAwB 
ML\>TDt ：
b@;Wh-{d • 相位函数设计
W~ET/h • 结构设计
[MFnS",7c • TEA 评估
,.W7Z ~z • FMM 评估
I 8
:e `L • 高度缩放检查（用于优化/容限）
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kJ 6qH0]7m aI 仅相位传输设计 n^T,R ;cI*"-I:F H T Or 结构设计 ~bhS$*t64 *$<W"@%^J V|_
h[hXE 使用TEA进行性能评估 _ 2!8,M X O9sEaVX r!2U #rz 使用FMM进行性能评估 z ~ C8JY: ;Y^'$I2fR# R2Fjv@Egk 进一步的分析（优化后，容差分析） 8#7qHT;cx 
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