摘要 z%+?\.oH ,W{Qv<oo _k5KJKvr 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Cd|V<BB9 ET=q
1t8 任务 _i}6zxqw • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
"vU:qwm • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
;EL!TzL:8 3e I:$1"Q tBrd+}e2* 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 7OC,KgJ3 连接建模技术:衍射光束分束器 {_^sR}%]F
xOTm-Cm9L ?>RJ8\Sj 通过配置助手和IFTA进行相位设计 ^Y #?@ m&2<?a}l <ezvz..g 将传输函数转化为结构 <-}6X ,"j|0Q pN*>A^ 衍射光束分束器表面 ix7N q7!N A[oi?.D \zj8| + 衍射光束求解器 - TEA & FMM wG^{Jf&@$ dVO|q9 / x:sTE u@ 光栅级数 & 可编程光栅分析器 ]lZ!en V-7!)&q #Fu OTBNvB 设计与评估结果:
E@t~juF! • 相位函数设计
l6l)M • 结构设计
h"wXmAf4% • TEA 评估
zpg*hlv • FMM 评估
}p8a'3@Z • 高度缩放检查(用于优化/容限)
KS(s<ip| DJrA@hm/Y 仅相位传输设计 m:p1O3[R n~K_| !n)2HDYhx, 结构设计 n/^wzG l)XzU&Sc~ F5+f?B~?R? 使用TEA进行性能评估 'Ur$jW ZZl)p\r :j?Lil%R 使用FMM进行性能评估 G'{4ec0<{ <5C3c&sds pmQ9iA@= 进一步的分析(优化后,容差分析) ,VJ0J!@
u^iK?S#Ci8 5;dnxhf 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 V/762&2X ?N $ 8LR_K]\ 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 7c+TS-- a8Ci 7<V roW8 4x 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 E(TL+o