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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 zDm3 $P=  
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    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 H:Q4!<  
    re4z>O*  
    任务 +~1FKLu  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 GAs.?JHd  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 zt  
    A*|\E:fo  
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    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 #<V5sgq S  
    连接建模技术:衍射光束分束器 M4 }))  
      
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    通过配置助手和IFTA进行相位设计 <jaQ 0S{|  
    s`yg?CR`,  
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    将传输函数转化为结构 >~'z%  
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    衍射光束分束器表面 XKOPW/  
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    p&2d&;Qo0  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM 4,=;:#n,J  
    $&jVEMia  
    qd'Z|'j  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 (BK_A {5  
    m3(p7Z^Bq  
    Osy_C<O  
    设计与评估结果 (b1e!gJpy  
    • 相位函数设计 SoFl]^l  
    • 结构设计 u{sb^cmy  
    • TEA 评估 tu ;Pm4q7  
    • FMM 评估 0hXx31JN N  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) W]>%*n  
    (7$BF~s:,  
    仅相位传输设计 SUvrOl   
    .rX,*|1x  
    Bq-}BN?pz  
    结构设计 >oi?aD%  
    L)9Z Op5  
    `Hu2a]e9  
    使用TEA进行性能评估 nYBa+>3BDf  
    fMM%,/b{  
    PH^Gjm  
    使用FMM进行性能评估 }Q6o#oZ  
    : Hu {MN\  
    {DUtdu[  
    进一步的分析(优化后,容差分析) <LJb,l"  
    Bob-qCBV  
    F]0 qt$GO  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 &xt GabNk  
    pWH,nn?w.  
    |GP&!]  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 b9v<Jk  
    `9T5Dem|#  
    /wP2Wnq$  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 & Yx12B\  
     
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