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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 z %+?\.oH  
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    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Cd|V<BB9  
    ET=q 1t8  
    任务 _i}6zxqw  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 "vU:qwm  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 ;EL!TzL:8  
    3eI:$1"Q  
    tBrd+}e2*  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 7OC ,KgJ3  
    连接建模技术:衍射光束分束器 {_^sR}%]F  
      
    xOTm-Cm9L  
    ?>RJ8\Sj  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 ^Y #?@  
    m&2< ?a}l  
    <ezvz..g  
    将传输函数转化为结构 <-}6X  
    ,"j |0Q  
    pN*>A^  
    衍射光束分束器表面 ix7N q7!N  
    A[oi?.D  
    \zj8| +  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM wG^{Jf&@$  
    dVO|q9 /  
    x:sTE u@  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 ]lZ!en  
    V-7!)&q  
    #FuOTBNvB  
    设计与评估结果 E@ t~juF!  
    • 相位函数设计 l6l)M  
    • 结构设计 h"wXmAf4%  
    • TEA 评估 zpg*hlv  
    • FMM 评估 }p8a'3@Z  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) KS(s<ip|  
    DJrA@hm/Y  
    仅相位传输设计 m:p1O3[R  
    n~K_|  
    !n)2HDYhx,  
    结构设计 n/^wzG  
    l)XzU&Sc~  
    F5+f?B~?R?  
    使用TEA进行性能评估 'Ur$jW  
    ZZl)p\r  
    :j?Lil%R  
    使用FMM进行性能评估 G'{4ec0<{  
    <5C3c&sds  
    pmQ9i A@=  
    进一步的分析(优化后,容差分析) ,VJ0J!@  
    u^iK?S#Ci8  
    5;dnxhf  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 V/762&2X  
    ?N$  
    8LR_K]\  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 7c+TS--  
    a8Ci 7<V  
    roW8 4x  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 E(TL+o  
     
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