摘要 vMRKs#&8 fI$, ?> G$@X>)2N8 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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# • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
qA30z%#z_ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
f4tia . cuKgO{.GH HYg _{ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 ^Ws~h\{% 连接建模技术：衍射光束分束器 > %Y#(_~a 
n,HWVo>([ ：
|ITg-t • 相位函数设计
jS- QTG!= • 结构设计
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SyJ` • TEA 评估
R1m18 G HQ • FMM 评估
tllg$CQ5 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
2 rBF<z7 j68Gz5;j 仅相位传输设计 8'quQCx*= Ux<h`
s D@ lJ^+ 结构设计 Ebk@x=E .ev]tu2N AP~!YwL W 使用TEA进行性能评估 Pb` sn 5; 0y1t%C075 50Jr(OeU< 使用FMM进行性能评估 w##Fpv<m g!Qum RF tw(2V$J 进一步的分析（优化后，容差分析） 7xcYM 
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