摘要 zTS P8Q7 dh K<5E WWjc.A$ 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
_>RTef L5 Vqp 3'=No 任务 J-5E# v • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
uq\[^ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
*|Bt! RG e2N | B2T= O % 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 U^
;H{S 连接建模技术：衍射光束分束器 u#)ARCx ,w 
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:rSCoi>K • 相位函数设计
;D|g5$OE& • 结构设计
K;lxPM] • TEA 评估
r^T+ I3 • FMM 评估
UH`cWV Lpr • 高度缩放检查（用于优化/容限）
a_(T9pr g). IF. 仅相位传输设计 cceh`s=cU Ctx{rf_~ 0S#T}ITm4Z 结构设计 }9~U5UXWU Kr%w"$< nO
`R++ 使用TEA进行性能评估 ]o ($ No =^mBj?(V7 a St:G*a" 使用FMM进行性能评估 o}e]W, n+D93d9LP 1T0s
UIY 进一步的分析（优化后，容差分析） dh V 6r 
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