摘要 1Z\(:ab13 !nec 7 D~cW
]2 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
%GM>u2baw uK$=3[;U/! 任务 +2-
qlU • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
o^6jyb!j • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
pgC d %p<$|' d/l, C4p 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 +c-6#7hh 连接建模技术：衍射光束分束器 smQ4CLJ 
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：
\xF;{ }v • 相位函数设计
3QIdN • 结构设计
P= e4lF. • TEA 评估
\$j^_C> • FMM 评估
dl:-k r8 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
AU/#b(mI hBjVe?{ 仅相位传输设计 p 7s@%scp JwjI{,jY e]>/H8 结构设计 ,`y yR:F 9MT? .q 2%5?F n= 使用TEA进行性能评估 |P>|D+I0 yji>*XG `-o5&>'nf 使用FMM进行性能评估 CldDr<k3 21 V iHV *
flW L 进一步的分析（优化后，容差分析） `v~!H\q 
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