摘要 pV1~REk$& h>fY'r)DAx uRp-yu[nt% 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
RCsd C7nLa@ 任务 =WHd y; • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
)WD<Q x& • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
G"C'/ \[Q,>{^ L-q.Q 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 k3u3X~u 连接建模技术：衍射光束分束器 qi$6y? 
?a(ApD\ ：
y&UcTE2;%( • 相位函数设计
>q "mI6F • 结构设计
#T&''a • TEA 评估
]~G wZB'M • FMM 评估
3N[t2Y 1r • 高度缩放检查（用于优化/容限）
h# B%'9 r >6Ku Z_ 仅相位传输设计 Ic P]EgB X=8y$Yy (~ #{{Ja
结构设计 4Un (}P' 2ntL7F<ow UBLr|e>dQE 使用TEA进行性能评估 ^cn%]X#. jEo)#j];`< C%vR !Az 使用FMM进行性能评估 /0A9d-Qd< i l|e5TD^ Uf4A9$R.G 进一步的分析（优化后，容差分析） 'S;INs2|-> 
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