摘要 >z$|O> j ~zRd||qv u\?u}t v 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
M
- TK CP^^ct-C 任务 H/f=
2b • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
S/jHyJ, • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
WU_Q
7%+QS w2GY,, R e~dU " 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 -+ /| 连接建模技术：衍射光束分束器 30"G%DF d 
4HAfTQ 1G ：
x g@;d • 相位函数设计
B}.ia_&DLR • 结构设计
' WoX-y • TEA 评估
-v]
0@jNe • FMM 评估
.H "gH-I • 高度缩放检查（用于优化/容限）
Y&?]t ~ nIZ g5 仅相位传输设计 IU/*YI%W = 8n*%NC 1L ow[i 结构设计 APy a& TG NH/H+7,o ;2^=#7I? 使用TEA进行性能评估 JdnZY.{S0 qabM@+ m[ $: -Ptm@ 使用FMM进行性能评估 ?*g]27f11 BScysoeD Z|.. hZG 进一步的分析（优化后，容差分析） V.}U p+WL 
TG($l2
