摘要 &y.dmW KX+ey8@[ RXSf,O 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
D guB ';YgG<u 任务 oN,s.Of • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
bg7n • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
{w5Z7s0 .[pUuVq] ,@CfVQz 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 EA0iYzV 连接建模技术:衍射光束分束器 knHv?#
{U @3yB NPU^)B 通过配置助手和IFTA进行相位设计 ;bjnL>eW AlX3Wv} &9 B_/m3 将传输函数转化为结构 ;iX<`re~ Go8F5a@j mb1IQ & 衍射光束分束器表面 >)Dhi+D /6tcSg) 8 njuDl 衍射光束求解器 - TEA & FMM 4M`Xrfwm'[ rxE&fjW h7W}OF_=y 光栅级数 & 可编程光栅分析器 zy)i1d ejcwg*i \r-N(;m 设计与评估结果:
7'j9rmTXs • 相位函数设计
Ye|G44z • 结构设计
&YX6"S_B • TEA 评估
lo:~aJ8 • FMM 评估
KTmaglgp • 高度缩放检查(用于优化/容限)
iJnh$jo TmP8q
仅相位传输设计 i?>Hr| %C*^:\y mK\aI 结构设计 h}6_ybmZ .ZX2^)`XD uBeNXOre 使用TEA进行性能评估 Y mDn+VIg "$@,n7k >]/dOH,A 使用FMM进行性能评估 P\(30 L8P36]> oyvtZ/@ 进一步的分析(优化后,容差分析) h$&rE@N|
l2/@<0P *8-p7,D 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 #"r kuDO chLeq !;WbOnLP 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 WOb8"*OM NsmVd dj lU$X4JBzS 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 2f{kBD