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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 &y. dmW  
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       RXSf,O  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 DguB  
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    任务 oN,s.Of  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 bg7n  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 {w 5Z7s0  
    .[pUuVq]  
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    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 EA0iYzV  
    连接建模技术:衍射光束分束器 kn  Hv?#  
      
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    通过配置助手和IFTA进行相位设计 ;bjnL>eW  
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    将传输函数转化为结构 ;iX<`re~  
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    衍射光束分束器表面 >)Dhi+D  
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    衍射光束求解器 - TEA & FMM 4M`Xrfwm'[  
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    h7W}OF_=y  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 zy)i1d  
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    \r -N(;m  
    设计与评估结果 7'j9rmTXs  
    • 相位函数设计 Ye |G44z  
    • 结构设计 &YX6"S_B  
    • TEA 评估 lo:~aJ8  
    • FMM 评估 KTmaglgp  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) iJnh$jo  
    TmP8 q  
    仅相位传输设计 i?>Hr|  
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    mK\aI  
    结构设计 h}6_ybmZ  
    .ZX2^)`XD  
    uBeNXOre  
    使用TEA进行性能评估 YmDn+VIg  
    "$@,n7 k  
    >]/dOH,A  
    使用FMM进行性能评估  P\(30  
    L8P 36]>  
    oyvtZ/@  
    进一步的分析(优化后,容差分析) h$&rE@N|  
    l2/ @<0P  
    *8-p7,D  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 # "r kuDO  
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    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 WOb8 "*OM  
    NsmVddj  
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    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 2f{kBD  
     
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