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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 -T!f,g3vW  
    D>|H 2  
       U T>s 5C  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 m2 -Sx  
    R= a|Blp  
    任务 <DpevoF  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 R|JC1f8P5  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 L%">iQOG#  
    b>_o xK  
    PxF <\pu&  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 ,?PTcQF  
    连接建模技术:衍射光束分束器 BMhy=+\  
      
    ~L]|?d"  
    dL:-Y.?0M  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 k")R[)92b?  
    KgV3j]d  
    =nz}XH%=  
    将传输函数转化为结构 JROM_>mC  
    IOTR/anu  
    ckV`OaRw4  
    衍射光束分束器表面 P D4Tz!F  
    aF8fqu\  
    @*>@AFnf\Z  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM 9Kr+\F  
    b6W2^tr-  
    hp8%.V$f  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 Pf*^ZB%  
    $Vsk Ew"|M  
    )i q-yjO6  
    设计与评估结果 Z 1zVwHa_  
    • 相位函数设计 H|,Oswk~-  
    • 结构设计 ?MXejEC  
    • TEA 评估 `L:CA5sBud  
    • FMM 评估 U QE qX  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) =,%CLS,6w  
    C?ulj9=Z  
    仅相位传输设计 vesJEaw7  
    rJFc({ 0  
    Z -,J)gW  
    结构设计 `IOs-%s  
    lW<PoT  
    m7&O9?X  
    使用TEA进行性能评估 -yR.<KnL  
    A3vUPWdDk  
    A"`foI$0  
    使用FMM进行性能评估 J~%K_~Li  
    K6y :mJYp\  
    {)DHH:n  
    进一步的分析(优化后,容差分析) }>)@WL:q  
    ";BlIovT=R  
    p7);uF^O%  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 Av?2<  
    RE}?5XHb  
    ,\X@~ j  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 ub7zA!%  
    DKfE.p)  
    *"WDb|PBb  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 cKN$ =gd  
     
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