摘要 -T!f,g3vW D>|H 2 UT>s5C 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
m 2-Sx R= a|Blp 任务 <DpevoF • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
R|JC1f8P5 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
L%">iQOG# b>_o xK PxF<\pu& 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 ,?PTcQF 连接建模技术:衍射光束分束器 BMhy=+\
~L]|?d" dL:-Y.?0M 通过配置助手和IFTA进行相位设计 k")R[)92b? KgV3j]d =nz}XH%= 将传输函数转化为结构 JROM_>mC IOTR/anu ckV`OaRw4 衍射光束分束器表面 P
D4Tz!F aF8fqu\ @*>@AFnf\Z 衍射光束求解器 - TEA & FMM 9Kr+\F b6W2^tr- hp8%.V$f 光栅级数 & 可编程光栅分析器 Pf*^ZB% $Vsk Ew"|M )iq-yjO6 设计与评估结果:
Z1zVwHa_ • 相位函数设计
H|,Oswk~- • 结构设计
?MXejEC • TEA 评估
`L:CA5sBud • FMM 评估
U QE qX • 高度缩放检查(用于优化/容限)
=,%CLS,6w C?ulj9=Z 仅相位传输设计 vesJEaw7 rJFc({ 0
Z -,J)gW 结构设计 `IOs-%s lW<PoT m7&O9?X 使用TEA进行性能评估 -yR.<KnL A3vUPWdDk A"`foI$0 使用FMM进行性能评估 J~%K_~Li K6y :mJYp\ {)DHH:n 进一步的分析(优化后,容差分析) }>)@WL:q
";BlIovT=R p7);uF^O% 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 Av?2< R E}?5XHb ,\X@~j 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 ub7zA!% DKfE.p) *"WDb|PBb 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 cKN$ =gd