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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 U,tWLX$@  
    1J[|Ow  
       :eL ja*  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 *v0}S5^ /"  
    .WpvDDUK3  
    任务 [8rl{~9E  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 #2Z\K>L  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 a{! 8T  
    O;SD90  
    EM0]"s@Lf  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 UO8./%'  
    连接建模技术:衍射光束分束器 $#HUxwx4  
      
    9p%8VDF=  
    1ZRSeh  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 |C3~Q{A  
    |emZZj  
    RtScv  
    将传输函数转化为结构 /]hE?cmj  
    {+x;J4  
    ;eiqzdP  
    衍射光束分束器表面 D",~?  
    > @n?W"  
    .h@HAnmE  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM pb=yQ}.  
    2[TssJQ  
    ^laf!kIP  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 WJ m:?,  
    7 J+cs^2  
    Y|y X]\,  
    设计与评估结果 D$PR<>=y  
    • 相位函数设计 )ZQML0}P;  
    • 结构设计 iVqa0Gl+}  
    • TEA 评估 (Gpk;DD  
    • FMM 评估 ,`;Dre  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) =~F.7wq*^  
    d}_%xkC  
    仅相位传输设计 ?j-;;NNf  
    G,JK$j>*l  
    J<=k [Q  
    结构设计 _.G p}0a  
    ^. ; x  
    v %GcNjZk5  
    使用TEA进行性能评估 k=r)kkO)  
    n> O3p ~  
    /;\{zA$uC=  
    使用FMM进行性能评估 Oa#m}b  
    d vTsbs/6  
    n;,>Fv  
    进一步的分析(优化后,容差分析) {5N!udLDr5  
    Ri&?uCCM  
    /ng +IC3  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 PTFe>~vr*  
    %9P)Okq  
    ;yVT:qd %  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 |m /XGr  
    Rr3<ln  
    rP7~ R  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶  wk (}q  
     
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