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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 ltDohm?  
    j|wN7@Zc  
       w6cl3J&  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 c+e?xXCEAz  
    5!fYTo|G>  
    任务 RPgz"-  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 pKy4***I3  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 K&`1{,  
    ;J TY#)Bh  
    :,aY|2si  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 o}114X4q;  
    连接建模技术:衍射光束分束器 ty.$ H24  
      
    \q1tT!]  
    MkoK(m{7  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 O_a^|ln&  
    :R=6Ku>  
    :M6v<Kg{;  
    将传输函数转化为结构 C'|9nK$%  
    X:g5;NT  
    m","m  
    衍射光束分束器表面 J'|=J   
    5kTs7zJ^  
    v { >3)$1  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM mLZ1u\ 7W  
    h Fv{?v  
    }rfikm  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 N=<`|I  
    IUv#nB3  
    oC>J{z  
    设计与评估结果 O;<wD h)Yt  
    • 相位函数设计 !P=Cv=  
    • 结构设计 KoNu{TJ  
    • TEA 评估 s{'Sl{-Eu  
    • FMM 评估 { sC Ni  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) G5/A {1sz&  
    /ki-Tha  
    仅相位传输设计 {+WY,%e  
    ^BA%]pe$I  
    FefroaJ:u  
    结构设计 )&j`5sSXcr  
    fF0i^E<  
    mYgfGPF`  
    使用TEA进行性能评估 0<\|D^m=&h  
    OLb s~ >VA  
    ~?ezd0  
    使用FMM进行性能评估 6(`N!]e*L  
    8eS(gKD  
    )dhR&@r*w  
    进一步的分析(优化后,容差分析) WDIin6u-  
    ~k?rP}>0  
    <C'_:&M  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 .u7} p#  
    bLai@mL&a  
    a(A~S u97  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 Jh E C  
    [Xu8~c X  
    ,w#lUg p  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 I </P_:4G  
     
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