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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 '"GdO;}&  
    6$%]p1"!K  
       P7 (&*=V  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 .: 87B=  
    p!hewtb5  
    任务 QEQ8gfN9>  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 f2uog$H k  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 7EI(7:gOn  
    !}l)okQH<#  
    v$+G_@  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 v~L} :  
    连接建模技术:衍射光束分束器 NV36Q^Am[  
      
    6X7r=w  
    zp% MK+x  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 4{}u PbS  
    r1}7Q7-z  
    )#xd]~ <  
    将传输函数转化为结构 t{F6+dp  
    1YAy\F~`.  
    *q|.H9 K(  
    衍射光束分束器表面 8ENAif   
    TcauCL  
    I"Ju3o?u  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM $daI++v`  
    w{I60|C]*  
    4JU#3  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 BL]!j#''KE  
    LL9I:^  
    riFE.;  
    设计与评估结果 _^#PV}  
    • 相位函数设计 M}(4>W  
    • 结构设计 o1GWcxu*\  
    • TEA 评估 ?9mWMf%t  
    • FMM 评估 ?#,\,  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) ir \d8.  
    UrN$nhH  
    仅相位传输设计 |Ro\2uSr  
    kki]6_/n  
    q'C'S#qqn  
    结构设计 b]hRmW  
    Vxo3RwmR  
     by>,h4  
    使用TEA进行性能评估 k(u W( 6  
    +&(sZFW5o  
    lJ}G"RTm  
    使用FMM进行性能评估 !%T@DT=l&  
    ZZ[5Z =te?  
    FRs5 Pb1  
    进一步的分析(优化后,容差分析) T{?!sB3  
    "N7C7`izc  
    e] **Z,Z  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 8QFY:.h&  
    CDU^X$Q  
    yK{;72  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 0ZkA .p  
    &NHIX(b6  
    P/M*XUG.  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 B<8Z?:3YS  
     
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