摘要 He*c=^8k @!Rklh b `8/D$ 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
*f o> UY (\T8 任务 {I8C&GS • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
Y / I32@ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
"1Y'VpKm(~ "\+.S]~ 4 '5|YGQj 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 GK=b 连接建模技术：衍射光束分束器 2( U;{;\n* 
]j0/. pG ：
hp`ZmLq/[ • 相位函数设计
Wb wwI)1 • 结构设计
@'<=E AXe • TEA 评估
,KCxNdg^#- • FMM 评估
*-*SCA`E^= • 高度缩放检查（用于优化/容限）
)|/%]@` N wjfq" 7Q 仅相位传输设计 4]#$YehM5 U!(es0rX
C TKeY 结构设计 {&J~P&,k { is L< GT<!e ]=6 使用TEA进行性能评估 >p'{! k |nfMoUI RO@=&3s 使用FMM进行性能评估 7"F29 \ FGzKx9I9 l 0U23i 进一步的分析（优化后，容差分析） ^HxIy;EQ<z 
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