摘要 U,tWLX$@ 1J[|Ow :eL
ja* 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
*v0}S5^/" .WpvDDUK3 任务 [8rl{~9E • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
#2Z\K>L • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
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8T O;SD90 EM0]"s@Lf 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 UO8./%'
连接建模技术:衍射光束分束器 $#HUxwx4
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1ZRSeh 通过配置助手和IFTA进行相位设计 |C3~Q{A |emZZj RtScv 将传输函数转化为结构 /]hE?cmj {+x;J4 ;eiqzdP 衍射光束分束器表面 D",~? >
@n?W" .h@HAnmE 衍射光束求解器 - TEA & FMM pb=yQ}. 2[TssJQ ^laf!kIP 光栅级数 & 可编程光栅分析器 WJ
m:?, 7 J+cs^2 Y|y X]\, 设计与评估结果:
D$PR<>=y • 相位函数设计
)ZQML0}P; • 结构设计
iVqa0Gl+} • TEA 评估
(Gpk;DD • FMM 评估
,`;Dre • 高度缩放检查(用于优化/容限)
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[Q 结构设计 _.G p}0a ^.;
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%GcNjZk5 使用TEA进行性能评估 k=r)kkO) n>
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~ /;\{zA$uC= 使用FMM进行性能评估 O a#m}b d vTsbs/6 n;,>Fv 进一步的分析(优化后,容差分析) {5N!udLDr5
Ri&?uCCM /ng+IC3 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 PTFe>~vr* %9P)Okq ;yVT:qd
% 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 |m /XGr Rr3<ln rP7~R 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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