摘要 6"?#s/fk b N>Ar YA8/TFu<_ 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
J=^5GfM)J {Q K9pZB 任务 `,GFiTPd • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
v/KTEM • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
ioTqT:. aM[fag$c k3OnvnJb 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 E.VEW;= 连接建模技术:衍射光束分束器 &#q%#M:
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93` 设计与评估结果:
?~Vev D • 相位函数设计
-H_7GVSnl • 结构设计
K&