摘要 '"GdO;}& 6$%]p1"!K P7 (&*=V 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
.: 87B= p!hewtb5 任务 QEQ8gfN9> • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
f2uog$Hk • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
7EI(7:gOn !}l)okQH<# v$+G_ @ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 v~L} : 连接建模技术:衍射光束分束器 NV36Q^Am[
6X7r=w zp% MK+x 通过配置助手和IFTA进行相位设计 4{}u PbS r1}7Q7-z )#xd]~< 将传输函数转化为结构 t{F6+d p 1YAy\F~`. *q|.H9
K( 衍射光束分束器表面 8ENAif TcauCL I"Ju3o?u 衍射光束求解器 - TEA & FMM $ daI++v`
w{I60|C]* 4JU#3 光栅级数 & 可编程光栅分析器 BL]!j#''KE L L9I:^ riFE.; 设计与评估结果:
_^#PV} • 相位函数设计
M}(4>W • 结构设计
o1GWcxu*\ • TEA 评估
?9mWMf%t • FMM 评估
?# ,\, • 高度缩放检查(用于优化/容限)
ir \ d8. UrN$nhH 仅相位传输设计 |Ro\2uSr kki]6_/n q'C'S#qqn 结构设计 b]hRmW Vxo3RwmR by>,h4 使用TEA进行性能评估 k(u W( 6 +&(sZFW5o lJ}G"RTm 使用FMM进行性能评估 !%T@DT=l& ZZ[5Z=te? FRs5 Pb1 进一步的分析(优化后,容差分析) T{?!sB3
"N7C7`izc e] **Z,Z 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 8QFY:.h& CDU^X$Q yK{ ;72 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 0Zk A.p &NHIX(b6 P/M*XUG. 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 B<8Z?:3YS