摘要 U,tWLX$@ 1J[|Ow :eL
ja* 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
*v0}S5^ /" .WpvDDUK3 任务 [8rl{~9E • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
#2Z\K>L • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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8T O;SD90 EM0]"s@Lf 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 UO8./%'
连接建模技术：衍射光束分束器 $#HUxwx4 
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D$PR<>=y • 相位函数设计
)ZQML0}P; • 结构设计
iVqa0Gl+} • TEA 评估
(Gpk;DD • FMM 评估
,`;Dre • 高度缩放检查（用于优化/容限）
=~F.7wq*^ d}_%xkC 仅相位传输设计 ?j- ;;NNf G,JK$j>*l
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[Q 结构设计 _.G p}0a ^. ;
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%GcNjZk5 使用TEA进行性能评估 k=r)kkO) n>
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~ /;\{zA$uC= 使用FMM进行性能评估 O a#m}b d vTsbs/6 n;,>Fv 进一步的分析（优化后，容差分析） {5N!udLDr5 
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