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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 6"?#s/fk  
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    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 J=^5GfM)J  
    {QK9pZB  
    任务 `,GFiTPd  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 v/KTEM  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 ioTqT:.  
    aM[fag$c  
    k3OnvnJb  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 E.VEW;=  
    连接建模技术:衍射光束分束器 &#q%#M:  
      
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    Grd9yLF  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 #2.C$  
    < R@&<E6  
    R<h0RKiM@  
    将传输函数转化为结构 8r\xQr'8h  
    Eh_[8:dK  
    q|D*H9[ke  
    衍射光束分束器表面 a~tBgy+9  
    ~}~ yR*K%  
    B;{sr'CP  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM DUm/0q&  
    1^;&?E  
    nDchLVw  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 ~>$(5 s2  
    v#sx9$K T  
     93 `  
    设计与评估结果 ?~VevD  
    • 相位函数设计 -H_7GVSnl  
    • 结构设计 K&Q0]r?  
    • TEA 评估 R?%|RCht1  
    • FMM 评估 D3 E!jQ1  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) ,%m$_wA$  
    tQ?}x#J  
    仅相位传输设计 p/s5[>N  
    }S&SL)  
    9=~jKl%\vJ  
    结构设计 ]zK} X!  
    Md m(xUs  
    ~RE`@/wQ]  
    使用TEA进行性能评估 R ?\8SdJ  
    *KV] MdS  
    |y=D^NTG  
    使用FMM进行性能评估 r>q`# ~  
    ma* 9O |v^  
    {k~$\J?.  
    进一步的分析(优化后,容差分析) `Op ";E88  
    9p$q@Bc  
    ;6)|'3.B9  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ^jhHaN]G^  
    _H3cqD  
    CblL1q8  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 RMrt4:-DI  
    )5V1H WjU  
    Cw^)}23R  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 d ly 08 74  
     
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