摘要 v
o:KL%) />x EpR3_A Apu - 9|oP 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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7T[L5-g 任务 jZIT[HM • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
E]q>ggeNH • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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4}"oQk:r oN}\bK Y's=31G@ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 G:e=9qTf 连接建模技术：衍射光束分束器 4s
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S[y' {; ：
="T}mc • 相位函数设计
h(2{+Y+ • 结构设计
p!DdX • TEA 评估
T>| +cg • FMM 评估
PM*lnd#J • 高度缩放检查（用于优化/容限）
`mkOjsj & v2|zIZ 仅相位传输设计 U-?r>K2
'1!%yKc0 mmFc ch$Jv 结构设计 Iv7BIK^ 0 }f>
81[^ H"+|n2E^ 使用TEA进行性能评估 P Jb /tKC v 'L"sgW6I SFWS<H(IN 使用FMM进行性能评估 AJ
0Bb7 Gyu = } #~*v*F~3 进一步的分析（优化后，容差分析） -XECYwTh 
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