摘要 AAxY {Z-4 P DzVXLpC b;Pqq@P|g 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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E" • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
z #SBt`c • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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hB6 _'D uK="#1z cC /4<eI 3Z 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 kNMhMEez 连接建模技术：衍射光束分束器 "+[:\ 
`BmAu[(e& ：
$Ud -aRlD • 相位函数设计
$h`?l$jC(@ • 结构设计
G9<p Yt{: • TEA 评估
xO`w| k • FMM 评估
\( LKLlam • 高度缩放检查（用于优化/容限）
[9u/x%f( vtc} )s\ 仅相位传输设计 !Ui3 } :=+s^K gEcVQPD@ 结构设计 E<1^i;F J/pW*G-U| &n|# jo(gS 使用TEA进行性能评估 zU:zzT}|TZ yb2*K+K v V jS %!P 使用FMM进行性能评估 s<cg&`u,<M !u.{<51b LDN'o1$qo 进一步的分析（优化后，容差分析） UR ck#5 
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