摘要 D] ~MC H&
Ca`B ),!;| bh 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
LLXVNO@e+ ehG/zVgn 任务 1u(.T0j7f • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
SD$h@p=!= • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
m"jV}@ag X R&';Oro _Bp1co85MQ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 x61 U[/r 连接建模技术：衍射光束分束器 <xC#@OZ 
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0m&(9 • 相位函数设计
zC:wNz@zK • 结构设计
dwv 6 ;x • TEA 评估
;6{@^ • FMM 评估
JS>Gd/Jd • 高度缩放检查（用于优化/容限）
A4?+T+#d 8Bq!4uq\5| 仅相位传输设计 ;/ *6U . eO ?Z^ -+em!g' 结构设计 pdEiqLhH fiN3 xP]V
{E0z@D) U- 使用TEA进行性能评估 iTg; 7~1pY 1#4PG'H {Pu\?Cq 使用FMM进行性能评估 .ol'.t , S r]Ff{la5 a9?y`{% L 进一步的分析（优化后，容差分析） \ S)2 
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