摘要 ltDohm? j|wN7@Zc w6cl3J& 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
c+e?xXCEAz 5!fYTo|G> 任务 RPgz"- • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
pKy4***I3 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
K&`1{, ;J TY#)Bh :,aY|2si 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 o}114X4q; 连接建模技术:衍射光束分束器 ty.$H24
\q1tT!] MkoK(m{7 通过配置助手和IFTA进行相位设计 O_a^|ln& :R=6Ku> :M6v<Kg{; 将传输函数转化为结构 C'|9nK$% X:g5;NT
m","m 衍射光束分束器表面 J'|=J 5kTs7zJ^ v{ >3)$1 衍射光束求解器 - TEA & FMM mLZ1u\7W hFv{?v }rfikm 光栅级数 & 可编程光栅分析器 N=<`|I IUv#nB3 oC>J{z 设计与评估结果:
O;<wDh)Yt • 相位函数设计
!P=Cv= • 结构设计
KoNu{TJ • TEA 评估
s{' Sl{-Eu • FMM 评估
{sC Ni • 高度缩放检查(用于优化/容限)
G5/A{1sz& /ki-Tha 仅相位传输设计 {+WY,%e ^BA%]pe$I FefroaJ:u 结构设计 )&j`5sSXcr fF0i^E< mYgfGPF` 使用TEA进行性能评估 0<\|D^m=&h OLb s~
>VA ~?ezd0 使用FMM进行性能评估 6(`N!]e*L 8eS(gKD )dhR&@r*w 进一步的分析(优化后,容差分析) WDIin6u-
~k?rP}>0 <C'_:&M 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 .u7}p# bLai@mL&a a(A~S u97 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 Jh
E C [Xu8~c X ,w#lUgp 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 I
</P_:4G