摘要 +5Yc/Qp p`-`(i=iJo 4flyV - 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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vDH- 任务 a? CV;9 • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
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`6qT3v • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
[>+(zlK" pPm[<^\# S Fn*clx< 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 w@7NoD= 连接建模技术：衍射光束分束器 SLO;c{EFH 
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2 ：
ufm`h) N • 相位函数设计
0l !%}E • 结构设计
gbM#jhQ • TEA 评估
u&1n~ t` • FMM 评估
&}31q` • 高度缩放检查（用于优化/容限）
q[1:h nk9Kq\2f: 仅相位传输设计 S#dkJu]]# ;AK;% J6/Mm7R 结构设计 J:Uf}!D 'F^nW_ryW "*|plB 使用TEA进行性能评估 R:k NAtK 7$x~}*u q}* "0r 使用FMM进行性能评估 Fy5xIRyI\F ( -DA% Px5ArSS 进一步的分析（优化后，容差分析） +ia F$ 
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