摘要 %Nx,ZD@ C(M ?$s ` f6{.Uq%SGp 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
7W>(T8K X\ xxld. j6 任务 e2L >"/ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
7JBr{3;eS • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
gJ>#HEkMB U(%6ny HmH M#~5(` 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 8fK/0u^`d 连接建模技术：衍射光束分束器 9~y:K$NO 
$lA dh ：
_rz\[{) • 相位函数设计
3sDyB-\& • 结构设计
f*T}Ov4 • TEA 评估
:)h4SD8Y • FMM 评估
PF+Or • 高度缩放检查（用于优化/容限）
ZP-9KA$" ,uO_C(G/i 仅相位传输设计 x'SIHV4M@Q wNUcL *n ezri9\Ju 结构设计 5JhpBx/>o= 8?| W-rN <N3~X,c h 使用TEA进行性能评估 wB+F/]]|N 'R99m ?" 'z@]hm# 使用FMM进行性能评估 a)7&2J 735l&(3A\ B[2t. d;h 进一步的分析（优化后，容差分析） R[TaP 7n 
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