摘要 $I]x &cF jmzvp6N$8 =F-^RnO%\ 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
tU2;Wb!Y } $c( $ 任务 e Em0c]]9 • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
G [-jZ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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[ eQIi}\ ` 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 T.dO0$,Q@$ 连接建模技术：衍射光束分束器 Kd1\D!#!6 
)Bvu[r Uy ：
}}2hI` • 相位函数设计
41D[[Gh • 结构设计
)U`kU`+' • TEA 评估
NU*6iLIq|F • FMM 评估
%LW~oI. • 高度缩放检查（用于优化/容限）
.lS6KBf@ R:<AR.)K 仅相位传输设计 m_f^#: Bv*h ?`Q 7s i.] 结构设计 'z5 ;o :T 2yc\A3ft# Y [,C1, 使用TEA进行性能评估 5to NEDN w $ HC! qm_E/B 使用FMM进行性能评估 (<-0UR]%q; `- 2`UGB- _< Tz 1>j= 进一步的分析（优化后，容差分析） 014 !~ c 
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