摘要 SJ WP8+ l3Bxi1k[C eV{FcJha 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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cS1 sY;gh`4h 任务 jcv1z v. • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
dD.d?rnZq7 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
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>V=|9, vX0I^8. _AFt6\ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 s
eZ<52f2 连接建模技术:衍射光束分束器 mTuB* b#I*~ iP?ASqo{ 通过配置助手和IFTA进行相位设计 4xpWO6Q u0oYb_Yv w[$nO# 将传输函数转化为结构 ?#EXG dj'8x48H2W j'40>Ct=i 衍射光束分束器表面 WO(&<(? noUZ9M|hz +S5_J&~ 衍射光束求解器 - TEA & FMM a6k(O8Ank3 =Z>V}`n tId !C 光栅级数 & 可编程光栅分析器 hpz*jyh8 0-~6}
r$ %`\_l 设计与评估结果:
*"QE1Fum' • 相位函数设计
t|U2ws# • 结构设计
i(f;'fb* • TEA 评估
!E:Vn *k; • FMM 评估
4bFVyv • 高度缩放检查(用于优化/容限)
JTh=JHJ Oc/_T> 仅相位传输设计 1DlcO>#@ %1?V6& Gxa.<E^k 结构设计 hC,-9c x^O2Lj,w\ 6[|< 使用TEA进行性能评估 s^?sJUj -b>O4_N 2SPFjpG8n 使用FMM进行性能评估 U:4Og8 =U7D}n
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iOuu 进一步的分析(优化后,容差分析) _yB9/F j% USu+& pdha"EV 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 9"lW"lG! c)!s[o L yqb<<4I 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 kmr
4cU5 />. X+N p+sPCF 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 v?TJ!o