摘要 '"GdO; }& 6$%]p1"!K P7 (&*=V 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
.: 87B= p !hewtb5 任务 QEQ8gfN9> • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
f2uog$H k • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
7EI(7:gOn !}l)okQH<# v $+G_ @ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 v~L } : 连接建模技术：衍射光束分束器 NV36Q^Am[ 
6X7r =w ：
_^#PV} • 相位函数设计
M}(4> W • 结构设计
o1GWcxu *\ • TEA 评估
?9mWMf%t • FMM 评估
?# ,\, • 高度缩放检查（用于优化/容限）
ir \ d8. UrN$nhH 仅相位传输设计 |Ro\2uSr kki]6_/n q'C'S#qqn 结构设计 b]hRmW Vxo3RwmR by>,h4 使用TEA进行性能评估 k(u W( 6 +&(sZFW5o lJ}G"RTm 使用FMM进行性能评估 !%T@DT=l& ZZ[5Z =te? FRs5 Pb1 进一步的分析（优化后，容差分析） T{?!sB3 
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