摘要 NTJ,U2 QPVr:+\B{ NHZMH!=4:n 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
bY`Chb. ;\"Nekd| 任务 p , WBF • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
\yymp70w • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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Q>Kw 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 y3* IF2G 连接建模技术：衍射光束分束器 jM*wm~4>@ 
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4 {=\ • 相位函数设计
[0+5 Gx • 结构设计
Z?",+|4 • TEA 评估
"2"*3R<Y • FMM 评估
Sdmynuv
U • 高度缩放检查（用于优化/容限）
`.6Jgf u BJ/#V) 仅相位传输设计 /=OSGIJzm Hi {!<e2 WY ~}sE 结构设计 6a`_i FH H2 `|JQ)!Agx 使用TEA进行性能评估 P3XP=G`E ; Wr,VU] Z42v@?R.!W 使用FMM进行性能评估 d>4e9M " >BQF< c9 E9 Rx 进一步的分析（优化后，容差分析） 7]9s_13] 
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