摘要 Et}% sdS ANj%q9e!Yi 98_os 2` 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
vt5>>rl S_VzmCi 任务 @w P .Rd • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
6Q+VW_~ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
"/UPq6 BCd0X. m( zx"0^r} 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 N5k9 o:2 连接建模技术：衍射光束分束器 ,p\*cHB9 
9{A*[.XK] ：
/`O'eH • 相位函数设计
\D[~ 54 • 结构设计
C|QJQ@bj0
• TEA 评估
>rh< %55P` • FMM 评估
_&xkj8O • 高度缩放检查（用于优化/容限）
O}7 aX ' 23q2u6.F` 仅相位传输设计 ZPY84)A_} ,z0E 2 dBW#PRg 结构设计 uYc&Q $U Zt4 r_ 7 %,) Xi 使用TEA进行性能评估 .fY$$aD$4 j7HOh|q +T7FG_ 使用FMM进行性能评估 yXc@i)9w3 'wTJ X> / B 进一步的分析（优化后，容差分析） 0+S'i82=M 
j;*=
^s
