摘要 9I
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h|jsi*4NnL fY-{,+ `' 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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?~^ut 任务 D.\p7
NJ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
j~L{=ojz% • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
9D
0ujup e|{6^g<ru y#T":jpR 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 KH[%HN5v 连接建模技术：衍射光束分束器 C\fc 4 
4Ly!:GH3T ：
! .!qJ% • 相位函数设计
o/9 V1" • 结构设计
+F`!
Jt • TEA 评估
]Nm_<%lT • FMM 评估
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4bu • 高度缩放检查（用于优化/容限）
<0Q`:'\.> 3Vt-]DGX 仅相位传输设计 tn:9 =f{r+'[;^ b-~Gt ]%>m 结构设计 C}W/9_I6Uo 1 8|H N{E >R&,q 使用TEA进行性能评估 >JnEhVRQJ9 I`FH^= 9jJ&QACn
使用FMM进行性能评估 f}#pKsX . 0oM~e 8Zwq:lV Q 进一步的分析（优化后，容差分析） DBVe69/S 
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