摘要 Zh]d&Xeq 7-.Y VM~R ~mx me6"v 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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任务 h }i
/u • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
v- J*PB.0p • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
(m4`l_ \@vR *E lwa xj7 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 8i=J(5= 连接建模技术：衍射光束分束器 4<)%Esyb 
wGD".CS0 ：
z$$ E7i • 相位函数设计
2%i_SX [ • 结构设计
2W: R{dHE • TEA 评估
qZACX.Hw • FMM 评估
:0x,%V74_! • 高度缩放检查（用于优化/容限）
u+UtvzUC losm< 仅相位传输设计 Ppi/`X CRf ! tsj@ A}pmr 结构设计 t+7h(?8L 8TGO6oY+= a|rN %hA4 使用TEA进行性能评估 e\%+~GUTC= 8+K=3=05#U 9W88_rE'e} 使用FMM进行性能评估 EITA[Ba B` lx$]f)%~ 8}z]B^?Fy 进一步的分析（优化后，容差分析） ^F2 OTz4n 
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