摘要 /2cn`dR, I5]58Ohx `,Fc271` 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
OX}ZdM!&f Q6p75$SVq 任务 YXg^t$ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
8\+XtS • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
([ A%>u> h IH"_6s#$& u~!Pzz3" 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 D 7 7$aCt 连接建模技术：衍射光束分束器 O` _]n 
U%K gLg# ：
UO ' X"` • 相位函数设计
_mDvRFq • 结构设计
mnH1-}oL
• TEA 评估
C7!=LiK} • FMM 评估
Yt;@ @xe& • 高度缩放检查（用于优化/容限）
t`0(5v $]b&3_O$N8 仅相位传输设计 aIE\B4w `4"&_ltD =@k 3*#\ 结构设计 Ot3+<{ :LB< z#M WhL 1OG 使用TEA进行性能评估 ^j'vM\^`ml #~ [mn_C hF-X8$[ 使用FMM进行性能评估 q?oJ=]m" nHB`<B 4\Cb4jq%/ 进一步的分析（优化后，容差分析） G/8G`teAZ 
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