摘要 I*1S/o_xI O=jN&<rb C 7nKk/r 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
f(u&XuZ En9R>A;` 任务 amB@N6* • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
}BN\/;<A • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
"'eWn6O( r7)@M%A ZcZ;$* 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 sS,#0Qt. 连接建模技术:衍射光束分束器 +*t|yKO>[
e!o(g&wBj $+:(f{Va* 通过配置助手和IFTA进行相位设计 D&[Z;,CHMA 4S *,\ q]q ^&:'NR 将传输函数转化为结构 M g!ra" %N~;{!![p V8'`nuC+ 衍射光束分束器表面 U4_"aT>My t>U!Zal" XN;/nU 衍射光束求解器 - TEA & FMM NdQ%:OKC /Antb6E [(cL/_ 光栅级数 & 可编程光栅分析器 4
10:%WGc dB`b9)Tk0z Mj~${vj 设计与评估结果:
8t9aHla • 相位函数设计
<"I?jgo • 结构设计
2xmT#m • TEA 评估
UpeQOC • FMM 评估
YZ[%uArm • 高度缩放检查(用于优化/容限)
?0npEz| ,35Ag#va 仅相位传输设计 HIPL!ss] mG}k 3e- kukaim>K 结构设计 zH+<bEo=1= ]7F)bIG[ &HxT41pku 使用TEA进行性能评估 _5h0@^m7y H^v{Vo ` Xqy 使用FMM进行性能评估 ' PL_~ /'+4vXc@ M+UMR+K 进一步的分析(优化后,容差分析) w)<4>(D
0|Q.U td/5Bmj 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 QX/]gX 7xR|_+%~K D'?]yyrf 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 t;XS;b% TA9dkYlE/ mdt
?:F4Q 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 r1hD
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