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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 I*1S/o_xI  
    O=jN&<rb  
       C 7n Kk/r  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 f(u&XuZ  
    En9R>A;`  
    任务 amB@N6*  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 }BN\/;<A  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 "'eWn6O(  
    r7)@M%A  
    ZcZ;$*  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 sS,#0Qt.  
    连接建模技术:衍射光束分束器 +*t|yKO>[  
      
    e!o(g&wBj  
    $+:(f{Va*  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 D&[Z;,CHMA  
    4S *,\q]q  
    ^&:'NR  
    将传输函数转化为结构 M g!ra"  
    %N~;{!![p  
    V8'`nuC+  
    衍射光束分束器表面 U4_"aT>M y  
    t>U!Zal"  
    X N;/nU  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM NdQ%:OKC  
    /Antb6E  
    [(c L/_  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 4 10:%WGc  
    dB`b9)Tk0z  
    M j~${vj  
    设计与评估结果 8t9aHla  
    • 相位函数设计 <"I?jgo  
    • 结构设计 2xmT#m  
    • TEA 评估 UpeQOC  
    • FMM 评估 YZ[%uArm  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) ?0npEz|  
    ,35Ag#va  
    仅相位传输设计 HIPL!ss]  
    mG}k 3e-  
    kukaim>K  
    结构设计 zH+<bEo=1=  
    ]7F)bIG[  
    &HxT41pku  
    使用TEA进行性能评估 _5h0@^m7y  
    H^v{Vo  
    `Xqy  
    使用FMM进行性能评估 ' PL_~  
    /'+4vXc@  
    M+UMR+K  
    进一步的分析(优化后,容差分析) w)<4>(D  
    0|Q.U  
    td/5Bmj  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 QX/]gX  
    7xR|_+%~K  
    D'?]yyrf  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 t;XS;b %  
    TA9dkYlE/  
    mdt ?:F4Q  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 r1hD %a  
     
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