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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 +rJ6DZ  
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    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 y-db CYMc  
    Bz<hP*.O  
    任务 X3\PVsH$K  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 W;'fAohr  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 0eNdKE  
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    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 \ dFE.4  
    连接建模技术:衍射光束分束器 Td'Mc-/  
      
    VD$5 Djq  
    HbegdbTJ  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 R(d<PlZ  
    )A$"COM4  
    mUa#sTm  
    将传输函数转化为结构 >[AmIYg  
    4AS%^&ah  
    l!f_ +lv  
    衍射光束分束器表面 z.Ic?Wz7  
    [zx|3wWAX-  
    /)6T>/  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM M bWby'  
    |n/;x$Cb  
    &KjMw:l  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 2%sZaM  
    %dzt'uz  
    [UA*We 1  
    设计与评估结果 6sBt6?_T  
    • 相位函数设计 ?> }p'{I  
    • 结构设计 C< c6Ub  
    • TEA 评估 "pM >TMAE  
    • FMM 评估 Hz.i$L0}  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) [kg?q5F)  
    v>]g="5}8  
    仅相位传输设计 ?4bYb]8Z  
    ~.: { Ik]  
    a+E 8s7C/D  
    结构设计 dd  
    ?6CLUu|7n  
    pi?/]}:  
    使用TEA进行性能评估 LDr?'M!D  
    N4vcd=uG#  
    e,JBz~CK*w  
    使用FMM进行性能评估 ij$NTY=u  
    ;k!.ey $S  
    Sb[>R(0:  
    进一步的分析(优化后,容差分析) ,Z~`aHhr  
    q[\3,Y  
    LP"g(D2'n  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 F9 r5 Z  
    p(n0(}eVC'  
    G}8tFo. d1  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 ^3dc#5]Xf  
    gy}3ZA*F  
    ,Vi_~b  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 nK;d\DO  
     
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