摘要 Q2c| sK8
|0A"3w 0UEEvD5 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
[i 18$q5D /Q4T Q\: 任务 8\ ?7k • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
sw.c w}1 • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
2NHkK_B1P u%J04vG"D x=g=e
<_ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 T 5; zgr 连接建模技术：衍射光束分束器 M]O
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Q k e8BRBn ：
!~+"TI}_%w • 相位函数设计
pFfd6P • 结构设计
{E6M_qZ • TEA 评估
S
VCTiG8t • FMM 评估
{BkTJQ) • 高度缩放检查（用于优化/容限）
L *a:j xq`mo 仅相位传输设计 T r|B:)X zX{O "w Wpgp YcPS 结构设计 0(!j]w"r3 b-Q*!U t Akar@ wh 使用TEA进行性能评估 BE`{? -G H =Y7#{} c/:d$o - 使用FMM进行性能评估 C`qo +m|S7 yr' &I8Q' 进一步的分析（优化后，容差分析） EW$.,%b1 
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