[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 {}V$`L8  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 1o8wy_eSs  
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任务 
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• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 W7t >&3l  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 q(,cY
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 $H'8 #:[d_  
连接建模技术：衍射光束分束器 aYqm0HCT  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 cv2]*  
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将传输函数转化为结构 :Zza)>l  
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衍射光束分束器表面 ndw7v  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM >)Ioo$B  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 G8eD7%{b:)  
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设计与评估结果： 
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• 相位函数设计 zN%97q_  
• 结构设计 Y6
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• TEA 评估 @xS]!1-  
• FMM 评估 ND5$bq Nu?  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） F?9SiX[\  
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仅相位传输设计 eJHp6)2  
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结构设计 `N}d}O8   
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使用TEA进行性能评估 Q8q@Y R#  
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使用FMM进行性能评估 IxOc':/jY  
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进一步的分析（优化后，容差分析） ^/toz).Q  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 jZd}OC<  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 9 |{%i$  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ~jN
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