摘要 " c}pY ^( QvjsI;CQ- ^!N _Nx/M 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
9C3q4.$D >8o RO 任务 ~Ui<y=d • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
7BdvJ" • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
uiM*!ge 4k<4=E UPUO8W)<Z6 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 4AzS~5S 连接建模技术:衍射光束分束器 g:O~1jq 9`QWqu[ ~vBmW_j 通过配置助手和IFTA进行相位设计 )^L+iht -=5z&)
X 8H3|^J 将传输函数转化为结构 ZKPnvL70 ,W7\AY07] vR-rCve$P 衍射光束分束器表面 W}.;]x%1B bgL`FW i3 z(K[i?& 衍射光束求解器 - TEA & FMM h+}`mi 69TQHJ[ k9'%8(7M: 光栅级数 & 可编程光栅分析器 ub0]nov $kvF]|<bu {pE")O7~P 设计与评估结果:
eHm! • 相位函数设计
N-4LdC • 结构设计
;v*$6DIC5 • TEA 评估
bu,Z' • FMM 评估
Vv0dBFe • 高度缩放检查(用于优化/容限)
0:Yz'k5 =-1d m+P 仅相位传输设计 <s)+V6\E \y"!`.E7\d Cd"O'<^Sb 结构设计 ?_(0cVi 2BsMFMIw1 N9Y,%lQ|B8 使用TEA进行性能评估 "!9~77 `oXUVr K q: +{' 使用FMM进行性能评估 +\?#8U/k :|EM1-lwf `6?r.;wj 进一步的分析(优化后,容差分析) &d[&8V5S HhH[p E $._p !, < 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 L'`W5B@ xT#j-T /E@LnKe 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 (iIJ[{[H4) wk<QYLEk GCkc[]2p 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 4Fgy<^94`