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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 r@$B'CsLj  
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    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 9t }xXk  
    @&:VKpu\  
    任务 p":@>v?  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 s`Vf+ l0  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 "t+r+ipf])  
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    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 (HSw%e  
    连接建模技术:衍射光束分束器 "yri[X  
      
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    Vj7Hgc-,  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 _S<?t9mS  
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    >nNl^ yqW  
    将传输函数转化为结构 .nPL2zO  
    R9E6uz.j  
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    衍射光束分束器表面 \)GR\~z0h  
    )8]3kQffJ=  
    UC#"=Xd 4  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM #XL`S  
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    (olLB  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 o_3*;}k8  
    yI4DVu.  
    w[{*9  
    设计与评估结果 uf?b%:A  
    • 相位函数设计 yjR)Z9t  
    • 结构设计 @:IL/o*  
    • TEA 评估 H\f/n`@,G  
    • FMM 评估 0w+5'lOg  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) wJ(8}eI  
    hqWbp*  
    仅相位传输设计 :4]J2U\@  
    m/" J s  
    'M lXnHxt  
    结构设计 )?9\$^I  
    jB/V{Y#y9@  
    cyHhy_~R  
    使用TEA进行性能评估 E6JV}`hSk  
    0ZT 0  
    [{/$9k-aF?  
    使用FMM进行性能评估 1zR/HT  
    YkVRl [  
    ofl'G]/$+  
    进一步的分析(优化后,容差分析) @%%bRY  
    K~$35c3M  
    LAos0bc)w\  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 cPm~` Zd  
    `TkbF9N+  
    AO^]>/7ed  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 >0 7shNX  
    "C& Jwm?  
    +L n M\n  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ;i}i5yv2  
     
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