摘要 IF0!@f QwWd"Of \q1tT!] 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
w/ rQ OHV{ "4H@&:-(p 任务 fxPg"R!1i • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
3MNM<Ih • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
;[R6rVHe{ `}#rcDK C&H'?0Y@ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 reh{jMC 连接建模技术：衍射光束分束器 =3- ?$ 
s$hO /INr ：
/Rq\Mgb • 相位函数设计
>pfeP"[(3 • 结构设计
K9k!P8Rd • TEA 评估
~ h3G}EH • FMM 评估
{V
QGfN • 高度缩放检查（用于优化/容限）
]A=\P,D OA3J(4!"W 仅相位传输设计 Ia#!T"]@W6 'l.tV7 W34xrm 结构设计 H
u;"TG F*P hV|XU 2 3PRb<q 使用TEA进行性能评估 fasW b&~z !\7`I}: }b(h D|e 使用FMM进行性能评估 c}qpmW F uH9Vj<E$K *XhlIQ 进一步的分析（优化后，容差分析） <@ .e.H 
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