摘要 `6RccEm
fda4M ayh235>a( 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
[+8*}03 wwv+s ~(0 任务 r9*6=*J| • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
'y5H%I! • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
(&u'S+ Ls+vWfF=# ]"^ p}: 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 T 9'HQu 连接建模技术：衍射光束分束器 dd6%3L{cn 
W7;RQ ：
j/F ('r~L • 相位函数设计
m>3\1`ZF~< • 结构设计
fW[RC d • TEA 评估
=d iGuI B • FMM 评估
}$sTnea • 高度缩放检查（用于优化/容限）
ms\\ R@R NTO.;S|2% 仅相位传输设计 W`P>vK@= MttFB;T p uRYq.`v, 结构设计 uHRxV"@}[1 4@Z!?QzW -1~o ~yGE 使用TEA进行性能评估 :t;i 2Ck /{/mwS"W @,}tY ?>a 使用FMM进行性能评估 +JM@ kdE5b Ra6 }<o U_.}V 进一步的分析（优化后，容差分析） `Q/\w1-Q 
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