摘要 e0 y.J r=3`Eb"t p@~Y [a = 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
7r?,wM *LhwIY 任务 ^A&{g.0 • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
X= -= z5 • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
O,),0zcYF `^{G` es VtzZ1/J E 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 tH;9"z#
~ 连接建模技术：衍射光束分束器 MkF WZ9c3 
9; XbyA] ：
]b}3f< • 相位函数设计
$#e}9g. • 结构设计
bZWR. </ • TEA 评估
sCy.i/y • FMM 评估
anz7ae&P'K • 高度缩放检查（用于优化/容限）
pHVDug3 ;;UsHhbhI 仅相位传输设计 6 T ~+vT P[H`]q| W!8$:Ih_Z 结构设计 *]q`:~u2 zB y%$5~Fw GPAC0K^p 使用TEA进行性能评估 fU.hb%m)Q\ : /?
Op Th,]nVsGs~ 使用FMM进行性能评估 0j;|IU\ yT3K 2A >oy%qLHe~t 进一步的分析（优化后，容差分析） $aXYtHI 
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