摘要 r@$B'CsLj kMS5h~D[ FGVb@=TO> 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
9t}xXk @&:VKpu\ 任务 p":@>v? • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
s`Vf+l0 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
"t+r+ipf]) :0dfB&7 w b+<a 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 (HSw%e 连接建模技术:衍射光束分束器 "yri[X
[tN` :}? Vj7Hgc-, 通过配置助手和IFTA进行相位设计 _S<?t9mS (,TH~("{ >nNl^ yqW 将传输函数转化为结构 .nPL2zO R9E6uz.j {kG;."S+K 衍射光束分束器表面 \)GR\~z0h )8]3kQffJ= UC#"=Xd4 衍射光束求解器 - TEA & FMM #XL`S K051usm (olLB 光栅级数 & 可编程光栅分析器 o_3*;}k8 yI4DVu.
w[{*9 设计与评估结果:
uf?b%:A • 相位函数设计
yjR)Z9t • 结构设计
@:IL/o* • TEA 评估
H\f/n`@,G • FMM 评估
0w+5'lOg • 高度缩放检查(用于优化/容限)
wJ(8}eI hqWbp* 仅相位传输设计 :4] J2U\@ m/" J
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lXnHxt 结构设计 )?9\$^I jB/V{Y#y9@ cyHhy_~R 使用TEA进行性能评估 E6JV}`hSk 0ZT 0 [{/$9k-aF? 使用FMM进行性能评估 1zR/HT YkVRl [ ofl'G] /$+ 进一步的分析(优化后,容差分析) @%%bRY
K~$ 35c3M LAos0bc)w\ 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 cPm~`
Zd `TkbF9N+ AO^]>/7ed 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 >07shNX "C& J wm? +L n M\n 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ;i}i5yv2