摘要 8 [i#x|`g
2V(ye9 V-a/%_D 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
V^ aX^ ; 9_'xq.uP 任务 L%`~`3%n- • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
M.1b RB • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
nt\6o?W {\22C `9t }h<\qvCcU 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 4s/4z@3a 连接建模技术：衍射光束分束器 v'* 
:$d3}TjsA+ ：
M $#zvcp • 相位函数设计
x{<WJ|'B • 结构设计
ug[|'t R8 • TEA 评估
#*q`/O5n • FMM 评估
!zLd ,` • 高度缩放检查（用于优化/容限）
UK+;/Mtg 3 D,PbAd 仅相位传输设计 Fh& ` v0 5%D:w S1 iaXNf
])? 结构设计 t
),~w,7(J %KNnss} }MY7<sMDOy 使用TEA进行性能评估 raY5 nc{ {g\Yy(r
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使用FMM进行性能评估 '{XDh K gbwKT`N* 4IG= mG) 进一步的分析（优化后，容差分析） &0SGAJlec 
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