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\M+j u 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
y-db CYMc Bz<hP*.O 任务 X3\PVsH$K • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
W;'fAohr • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
0eNdKE =w! ik9 4%^z=% 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 \ dFE.4 连接建模技术：衍射光束分束器 Td'Mc -/ 
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6sBt6?_T • 相位函数设计
?> }p'{I • 结构设计
C < c6Ub • TEA 评估
"pM >TMAE • FMM 评估
Hz.i $ L0} • 高度缩放检查（用于优化/容限）
[kg?q5F) v>]g="5}8 仅相位传输设计 ?4bYb]8Z ~.: {
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8s7C/D 结构设计 dd ?6CLUu|7n p i ?/]}: 使用TEA进行性能评估 LDr?'M!D N4vcd=uG# e,JBz~CK*w 使用FMM进行性能评估 ij$NTY=u ;k!.ey $S Sb[>R(0: 进一步的分析（优化后，容差分析） ,Z~`aH hr 
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