[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 qNuv?.7  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 :BrnRW64  
?6.KS  
任务 gen3"\Og{  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 =O}%bZ)Q  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 EcS-tE4%  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 F6neG~Y  
连接建模技术：衍射光束分束器 %lqG*dRx0  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 VHXR)}  
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将传输函数转化为结构 s'fcAh,c6  
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衍射光束分束器表面 -^nQ^Td=j  

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Q/9vDv  
衍射光束求解器 - TEA & FMM 3Jk?)Dy  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 x.4)p6  

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设计与评估结果： <xh'@592  
• 相位函数设计 0T{Y_IG  
• 结构设计 Zv7$epDUz  
• TEA 评估 kHIQ/\3?Q  
• FMM 评估 :92a34  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） KX`nHu;  
~Sem_U`G  
仅相位传输设计 :Tl6:=B  
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B[m{2XzGH  
结构设计
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使用TEA进行性能评估 9,a,A6xry  
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使用FMM进行性能评估 8LM1oal}  
2n+XML  
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进一步的分析（优化后，容差分析） J,M5<s[Xqt  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ?kxWj(D  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 pxnUe1=  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 8}
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