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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 09-11
    摘要 " c}pY^(  
    QvjsI;CQ-  
       ^!N_Nx/M  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 9C3q4.$D  
    >8oRO  
    任务 ~Ui<y=d  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 7BdvJ"  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 uiM*!ge  
    4k<4=E  
    UPUO8W)<Z6  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 4AzS~5S  
    连接建模技术:衍射光束分束器 g:O~1jq  
      
    9`QWqu[  
    ~vBmW_j  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 )^L+iht  
    -=5z&) X  
    8H3|^J  
    将传输函数转化为结构 ZKPnvL70  
    ,W7\AY07]  
    vR-rCve$P  
    衍射光束分束器表面 W}.;]x%1B  
    bgL`FW i3  
    z(K[i?&  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM h+}`mi  
    69TQHJ[  
    k9'%8(7M:  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 ub0]nov  
    $kvF]|<bu  
    {pE")O7~P  
    设计与评估结果 eHm!  
    • 相位函数设计 N-4LdC  
    • 结构设计 ;v*$6DIC5  
    • TEA 评估 bu,Z'  
    • FMM 评估 Vv0dBFe  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) 0:Yz'k5  
    =-1d m+P  
    仅相位传输设计 <s)+V6 \E  
    \y"!`.E7\d  
    Cd"O'<^Sb  
    结构设计 ?_(0cVi  
    2BsMFMIw1  
    N9Y,%lQ|B8  
    使用TEA进行性能评估 "!9~77  
    `oXUVr  
    K q: +{'  
    使用FMM进行性能评估 +\?#8U/k  
    :|EM1-lwf  
    `6?r.;wj  
    进一步的分析(优化后,容差分析) &d[&8V5S  
    HhH[pE  
    $._p !,<  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 L'`W5B@  
    xT#j-T  
    /E@LnKe  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 (iIJ[{[H4)  
    wk<QYLEk  
    GCkc[]2p  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 4Fgy<^94`  
     
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