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\M+j u 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
y-db CYMc Bz<hP*.O 任务 X3\PVsH$K • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
W;'fAohr • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
0eNdKE =w!ik9 4%^z=% 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 \ dFE.4 连接建模技术:衍射光束分束器 Td'Mc-/
VD$5 Djq HbegdbTJ 通过配置助手和IFTA进行相位设计 R(d<PlZ )A$"COM4 mUa#sTm 将传输函数转化为结构 >[AmIYg 4AS%^&ah l!f_ +lv 衍射光束分束器表面 z.Ic?Wz7 [zx|3wWAX- /)6T>/ 衍射光束求解器 - TEA & FMM M
bWby' |n/;x$Cb &KjMw:l 光栅级数 & 可编程光栅分析器 2%sZaM %dzt'uz [UA*We 1 设计与评估结果:
6sBt6?_T • 相位函数设计
?>}p'{I • 结构设计
C< c6Ub • TEA 评估
"pM>TMAE • FMM 评估
Hz.i $L0} • 高度缩放检查(用于优化/容限)
[kg?q5F) v>]g="5}8 仅相位传输设计 ?4bYb]8Z ~.:{
Ik] a+E
8s7C/D 结构设计 dd ?6CLUu|7n pi?/]}: 使用TEA进行性能评估 LDr?'M!D N4vcd=uG# e,JBz~CK*w 使用FMM进行性能评估 ij$NTY=u ;k!.ey$S Sb[>R(0: 进一步的分析(优化后,容差分析) ,Z~`aHhr
q[\ 3,Y LP"g(D2'n 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 F9
r5 Z p(n0(}eVC' G}8tFo.d1 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 ^3dc#5]Xf gy}3ZA*F ,Vi_~b 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 nK;d\DO