摘要 ^j [Ku i+1Qf j3{HkcjJG 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
N2[jO+6 8<{;=m8cQ 任务 (![t_r0 • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
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BZE • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
xG8`'SNY HS7_MGU @0D![oA 模拟与设置:工具简介与整体流程概览
UUH;L 连接建模技术:衍射光束分束器 -Uri|^t
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B| O)1E$#~ 通过配置助手和IFTA进行相位设计 j %H`0 @iRO7 6m C38%H 将传输函数转化为结构 t$5jx +aj^Cs1$ rFfy#e 衍射光束分束器表面 0E1=W6UZ p/3BD&6 4\HsU9x 衍射光束求解器 - TEA & FMM ^SAq^3^P! 9T?64t<Ju c|Y!c!9F 光栅级数 & 可编程光栅分析器 H]]c9`ayt 2f^-~dz S/fW/W*/} 设计与评估结果:
ED/FlL{ • 相位函数设计
v8~YR'T0`V • 结构设计
Fg4@On[,i • TEA 评估
~~q}cywBk • FMM 评估
4w;~4#ZPp • 高度缩放检查(用于优化/容限)
[;FofuZ cQn)^jx= 仅相位传输设计 R6<4"?*r ??(Kwtx{ n,sY\=vB 结构设计 > H~6NBd5D 2( _=SfQ ul=7>";=| 使用TEA进行性能评估 -dG,*0 > 3~<}bee5|q 1`QsW&9=b 使用FMM进行性能评估 Z2bUs!0 (u9Zk~)F d;44;*D 进一步的分析(优化后,容差分析) auL^%M|$R
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m!g .8(%4ejJ( 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 fGTOIi@# (bvoF5% Hk9U&j$ 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 AerFgQiS SX_4=^ 'F7VM?HBfg 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 eT-9