摘要 \[
W`hhJ hyY^$p+ I5E5,{ 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
iV:\,<8d 4{h^O@*g 任务 H'I5LYsXO~ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
Lr Kx • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
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|1 @ev^e!B 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 GS*_m4.Ry6 连接建模技术:衍射光束分束器 ]''tuo2g8
D=B :tP &zPM#Q 通过配置助手和IFTA进行相位设计 Q'[~$~&` '.e5Ku ^y~oXS( 将传输函数转化为结构 OkphbAX (kx>\FIK* !v*#E{r"g= 衍射光束分束器表面 ~]BR(n KF7d`bRe Cyud)BZvm 衍射光束求解器 - TEA & FMM hDbZ62DDN T{
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z<g S;BMM8U 光栅级数 & 可编程光栅分析器 {X W>3 " z.W1Za tfv@
)9 设计与评估结果:
(JiEV3GH • 相位函数设计
we?t/YB= • 结构设计
M+4S >Sjw • TEA 评估
>Lz2zlZI • FMM 评估
HPK}Z|Vl • 高度缩放检查(用于优化/容限)
lb]k"L%KU7 efh 1-3f 仅相位传输设计 "?YpF2pD `~@}f"c`u =OR&,xt 结构设计 l> >BeZ os(}X(
6uFGq)4p@ 使用TEA进行性能评估 94XRf"^ }Z`@Z' t;[Q&Jl 使用FMM进行性能评估 p-/}@r3Z+ 73M;-qnU [oH,FSuO!2 进一步的分析(优化后,容差分析) j MA%`*r
w2tkJcQ3 t*Wxvoxk 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ,-BZsZ0~ y)Lyo'` /h@rLJ)o> 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 *tT5Zt/&Sr fVBRP[, P+3)YO1C 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 =`%%*