摘要 bZ=d!)%P-{ iD9GAe}x
eL*Edl| # 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
!Wk "a7 b@k3y9 & 任务 ]#; JPO#* • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
p("do1: • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
z]pH'c39 _F$?Z EJZ2V>\_-0 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 tO# y4< 连接建模技术：衍射光束分束器 1
OX(eXF> 
N 6eY-`4y ：
(RQ kwu/ • 相位函数设计
Vki3D'.7N • 结构设计
Gg_i:4F • TEA 评估
nI-\HAX • FMM 评估
v vFX\j3 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
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>dM#` 6HyQm?c>a 仅相位传输设计 3 S Dw-k ibh!8" [ >n#Pq{7aF 结构设计 mwBOhEefNJ s i C/k* 6j0!$q^ 使用TEA进行性能评估 NcdOz x> ,+0_kndR yPW?%7 h 使用FMM进行性能评估 8{'L:yzMY A^G%8 )\ 0^4Tem@ 进一步的分析（优化后，容差分析） m)&2zV/Q 
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