摘要 `GW&*[.7 %OB>FY:| Y]KHCY 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
8>W52~^fU :"Otsb7 任务 rab$[?] • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
O39 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
fM7B<eB LAo$AiTUR{ &M<"Fmn 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 tpEy-"D& 连接建模技术:衍射光束分束器 U~)5 {
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 ZS4dW_*[ ]'[:QGr =0]K(p, 将传输函数转化为结构 bGL} nPo *?d\Zcj85[ d~r A`!s7` 衍射光束分束器表面 cW_wIy\]& mRRZ/m?A( (lS[a 衍射光束求解器 - TEA & FMM %K')_NS@ D
(8Z90 K>e-IxA);0 光栅级数 & 可编程光栅分析器 Md@x2Ja }BU%<5CQ )Z1&`rv 设计与评估结果:
@vyEN.K%mm • 相位函数设计
&V$cwB • 结构设计
_s#]WyU1g • TEA 评估
p+|8(w9A${ • FMM 评估
YVa,?&i=N • 高度缩放检查(用于优化/容限)
KJ32L \%Y`>x. 仅相位传输设计 ?%$O7_ThvA } % Ie ]r3/hDRDL@ 结构设计 }xt^}:D aaCRZKr &z40l['4bz 使用TEA进行性能评估 }DM W,+3 aT IzfqCM HVoPJ!K3 使用FMM进行性能评估 ZCj1Cz]"l< n
nAtXVy =E]tEi 进一步的分析(优化后,容差分析) tt2
S.j
7F0J*M 0Zwx3[bq6K 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 /eH37H G .<0^q, ,(Zxd4?y 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 =|aZNHqH n@ba>m4{ "*D9.LyM 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 9%|skTgIqH