摘要 rWULv =berCV LK:J kjp^ 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
jt`\n1q) U["-`:>jfp 任务 nh]}KFO h • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
T*{nf • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
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O8 %CIRN} >_|$7m.?n[ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 ?:DUsg 连接建模技术:衍射光束分束器 I%M"I0FV
<c.8f;1F ]$&N"&q 通过配置助手和IFTA进行相位设计 $2w][ d1 5j~1%~,# Ohn?>qQ 将传输函数转化为结构 %$[#/H7=W H&SoVi_V d#1yVdqRl 衍射光束分束器表面 v%@)I_6[P 9Q>85IiT {1;R& 衍射光束求解器 - TEA & FMM B+2EIaI wl /1~! "cz'|z` 光栅级数 & 可编程光栅分析器 r(KAG"5 W2BZG(dm A/!"+Yfw 设计与评估结果:
Seh(G • 相位函数设计
5@_kGoqd • 结构设计
2 9#jKh • TEA 评估
YkSHJ{> • FMM 评估
RXRoMg!-P • 高度缩放检查(用于优化/容限)
u*$]Bx K$KVm^` 仅相位传输设计 722:2 { LYO2L1u) L*FQ`:lZ 结构设计 +Ze;BKZ3 +~$pkxD" C7FxV2 使用TEA进行性能评估 $.x,[R
aN +_1sFH` w+u1" 使用FMM进行性能评估 qLV3Y?S!L Rga
*68s|& \V#fl 进一步的分析(优化后,容差分析) DY\~O
_<KUa\ 0X:$ASocU 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 [@_W-rA a}Z+"D e2yCWolmTS 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 m/3,;P.6 _:]g:F[
# >f'aW 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 c~+KrWbZ~