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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 ^j[Ku  
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    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 N2[jO+6  
    8<{;=m8cQ  
    任务 (![t_r0  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 bs BZ E  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 xG8`'SNY  
    HS7_MGU  
    @0D![oA  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 UUH;L  
    连接建模技术:衍射光束分束器 -Uri|^t  
      
    SHwRX? B|  
    O) 1E$#~  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 j %H`0  
    @iRO7 6m  
    C38%H  
    将传输函数转化为结构 t$5jx  
    +aj^Cs1$  
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    衍射光束分束器表面 0E1=W 6UZ  
    p/3BD&6  
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    衍射光束求解器 - TEA & FMM ^SAq^3^P!  
    9T?64t<Ju  
    c|Y!c!9F  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 H]]c9`ayt  
    2f^-~dz  
    S/fW/W*/}  
    设计与评估结果 ED/FlL{  
    • 相位函数设计 v8~YR'T0`V  
    • 结构设计 Fg4@On[,i  
    • TEA 评估 ~~q}cywBk  
    • FMM 评估 4w;~4#ZPp  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) [;Fofu Z  
    cQn)^jx=  
    仅相位传输设计 R6<4"?*r  
    ??(Kwtx{  
    n,sY\=vB  
    结构设计 > H~6NBd5D  
    2( _=SfQ  
    ul=7>";=|  
    使用TEA进行性能评估 -dG,*0 >  
    3~<}bee5|q  
    1`QsW&9=b  
    使用FMM进行性能评估 Z2bUs!0  
    (u9Zk~)F  
    d;44;*D  
    进一步的分析(优化后,容差分析) auL^%M|$R  
    qtY m!g  
    .8(%4ejJ(  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 fGTOIi@#  
    (bvoF5%  
    Hk9U&j$  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 AerFgQiS  
    SX_4=^  
    'F7VM?HBfg  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 e T-9  
     
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