摘要 5/Q^p" FMuM:%&J] hof:+ aW 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
&gZ5dTj> A\_cGM 2 任务 RUmJ=i'4/ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
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", • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
a="Z]JGk x(7K=K'] d:6?miMH]t 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 1_!*R]a q 连接建模技术：衍射光束分束器 mh!;W=|/" 
1j<=TWit ：
](4V 3w. • 相位函数设计
j8!fzJG • 结构设计
Y!v `0z • TEA 评估
X~GnK>R • FMM 评估
cpp0Y^ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
BDyOX6 )R+@vh#Q<$ 仅相位传输设计 MVK=' 2P~ zYdjS ]QM 6d(zDA 结构设计 ZJ@M}-4O1 Q2iS0# 9`+c<j4/B 使用TEA进行性能评估 /Ws@YP 0n|op:]BHM V=BF"S;-' 使用FMM进行性能评估 PmO utYV ^)conSm r}MXXn,f 进一步的分析（优化后，容差分析） ?h"+q8& 
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