[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 =Q*3\)7
 
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 1x%B`d  
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任务 cZ#%tT#  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 L@Q+HN  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 nu(7YYCM$  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 I5 qrHBJ >  
连接建模技术：衍射光束分束器 
Y=5P=wE  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 buT6)~lw  
m=SI *V  
+}PN+:yV  
将传输函数转化为结构 `46z D ?  
nv\K!wZI=b  
7Gy:T47T\@  
衍射光束分束器表面 Ov^##E  
W
#=,FZT  
b'Km-'MtH  
衍射光束求解器 - TEA & FMM 3#Bb4\_v  
n>w<vM  
P^tTg  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 5DVYHN9c|  
PcqS#!t  
6q6xqr:W  
设计与评估结果： fP\q?X@]E  
• 相位函数设计 5~j#Z (}u  
• 结构设计 1GK>&;  
• TEA 评估 kw E2V+2  
• FMM 评估 Wky9wr:g  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） ,[)l>!0\H  
B(ktIy  
仅相位传输设计 j[.nk  
dDIR~!T  
f 9Kt>2IN  
结构设计 eLnS1w2  
o]RZd--c<  
0Qq<h;8xEc  
使用TEA进行性能评估 bwH[rT!n  
Od)y4nr3~  
E2d'P  
使用FMM进行性能评估 x~vNUyEN)  
(zsv!U  
Cs7ol-\)  
进一步的分析（优化后，容差分析） m\X\Xp~A  
9)NKI02M|  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 E6ZkO/  
G}9f/$'3  
KmTFJ,iM  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 8B:y46
  
p6
R+t]oH  
@uldD"MJ<]  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 *=.~PR6W{