摘要 w`F4.e "N4rh<< a]u1_ $) 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
*O@uF4+!1 =#ls<Zo: 任务 Kg MW • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
]>\!} \R< • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
;*_U)th Uq}-<q -j OCzp 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 "lJ [H=\ 连接建模技术：衍射光束分束器 Kv26rY8Q 
M,nLPHg K ：
KoPhPH • 相位函数设计
M)oJ06`K • 结构设计
!@<>S>uGG • TEA 评估
EL[N%M3 • FMM 评估
VD*xhuy$k • 高度缩放检查（用于优化/容限）
^?3e?Q? #FfUkV 仅相位传输设计 P_f>a?OL : @94_'i7\ 0Tm"Zh?B| 结构设计 CdN,R"V0$@ "?~u*5 ~!w()v n 使用TEA进行性能评估 E" P5rT !hJ%
:^ xL 3)J0f+M>dv 使用FMM进行性能评估 ;|e6Qc9 p|D-ez8 A
S#D9o 进一步的分析（优化后，容差分析） Gv};mkX[N 
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