摘要 $q+7 , ," :S%|^Q AN |k^X!C 0 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
S`-z$ph} iX,Qh2(ig 任务 mX#T< _=d • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
<l\FHJhjq • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
f(3#5288 \UiuJ+ :c6%;2 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 J/mLB7^R 连接建模技术：衍射光束分束器 8 6I".R$d 
`0so)2ty+ ：
f",B;C • 相位函数设计
tV<A u • 结构设计
SmRU!C$A • TEA 评估
{}. c.W+ • FMM 评估
|S.-5CAh4 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
7igrRU#1% alq>| ,\x 仅相位传输设计 M#:M wa$ 79i>@u% {i=qx#2X?H 结构设计 l jNd!RaB 8sL7p4 `]fY9ZDKs 使用TEA进行性能评估 0z,c6MjM+ v!W,h2:J ;ym UMQ%;/ 使用FMM进行性能评估 B^K C~W k6dSj>F> D L$P 进一步的分析（优化后，容差分析） `OBDx ^6F 
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