摘要 \[cH/{nt |B
eA== Yr+d1( 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
[G\o+D?2 Y:wF5pp; 任务 f7Zf}1| • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
&RWM<6JP • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
e|VJ9|;3 )`<6taKx@n lDC}HC 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 |-n
('gQ[ 连接建模技术:衍射光束分束器 )U'yUUi
$R"; SBX|Bcyk* 通过配置助手和IFTA进行相位设计 $~=2{ ;,dkJ7M v`SY6;<2 将传输函数转化为结构 -Un=TX )
oxIzF E3f9<hm 衍射光束分束器表面 z>|)ieL (`pNXQ0n WO@H* 衍射光束求解器 - TEA & FMM \e|U9;Mf pisB,wP$2 0Z,{s158L 光栅级数 & 可编程光栅分析器 PPj[;(A n8$=f'Hgb x{Sd
P$ 设计与评估结果:
6b<+8w • 相位函数设计
"<x&pQZ% • 结构设计
8?1o<8hV • TEA 评估
5qRc4d' • FMM 评估
HlPG3LD! • 高度缩放检查(用于优化/容限)
"5}%"-# Oqmg;\pm 仅相位传输设计 /[iG5~G E=kw)<X2 EE]=f=3 结构设计 H_Os4} ?+Q$#pb w" JGO 使用TEA进行性能评估 Y\p$SN \?&Au *NlpotW,f 使用FMM进行性能评估 f05=Mc&) /EU; ?O 13a(FG 进一步的分析(优化后,容差分析) ik5|,#}m&
9 mPIykAj8 ~{M@?8wi 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 j o_
sAb KDD@%E Sl>>SP 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 jV^C19 ~@Kf2dHes C(o.Cy6 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 h!e2
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