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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 `GW&*[.7  
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    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 8>W52~^fU  
    :" Otsb7  
    任务 rab$[?]  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 O39   
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 fM7B<eB  
    LAo$AiTUR{  
    &M<"Fmn  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 tpEy-"D&  
    连接建模技术:衍射光束分束器 U~)5{  
      
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    通过配置助手和IFTA进行相位设计 ZS4dW_*[  
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    =0] K(p,  
    将传输函数转化为结构 bGL}nPo  
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    衍射光束分束器表面 cW_wIy\]&  
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    衍射光束求解器 - TEA & FMM %K')_NS@  
    D (8Z90  
    K>e-IxA);0  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 Md@x2Ja  
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    )Z1&`rv  
    设计与评估结果 @vyEN.K%mm  
    • 相位函数设计 &V$cwB  
    • 结构设计 _s#]WyU1g  
    • TEA 评估 p+|8(w9A${  
    • FMM 评估 YVa,?&i=N  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) KJ32L  
    \%Y`>x.  
    仅相位传输设计 ?%$O7_ThvA  
    } % Ie  
    ]r3/hDRDL@  
    结构设计 }xt^}:D  
    aaCRZKr  
    &z40l['4bz  
    使用TEA进行性能评估 }DM W,+3  
    aT Izf qCM  
    HVoP J!K3  
    使用FMM进行性能评估 ZCj1Cz]"l<  
    n nAtXVy  
    =E]tEi  
    进一步的分析(优化后,容差分析) tt2 S.j  
    7F0J*M  
    0Zwx3[bq6K  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 /eH37H  
    G.<0^q,  
    ,(Zxd4?y  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 =|aZNHqH  
    n@ba>m4{  
    "*D9.LyM  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 9%|skTgIqH  
     
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