[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 rWULv  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 j
t`\n1q)  
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任务 nh]}KFO h  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 T*{nf  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 b]6@ O8  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 ?:DUsg  
连接建模技术：衍射光束分束器 I%M"I0FV  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 $2w][ d1  
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将传输函数转化为结构 %$[#/H7=W  
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衍射光束分束器表面 v%@)I_6[P  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM B+2EIaI  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 r(KAG"5  
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A/!"+Yfw  
设计与评估结果： Seh(G  
• 相位函数设计 5@_kGoqd  
• 结构设计 2 9#jKh  
• TEA 评估 YkSHJ{>  
• FMM 评估 RXRoMg!-P  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） u*$]Bx  
K$KVm^`  
仅相位传输设计 722:2 {  
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结构设计 +Ze;BKZ3  
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C7FxV2  
使用TEA进行性能评估 $.x,[R aN  
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使用FMM进行性能评估 qLV3Y?S!L  
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进一步的分析（优化后，容差分析） DY\~O  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 [@_W-rA  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 m/3,;P.6  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 c~+KrW
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