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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 \ [cH/{nt  
    |B eA==  
       Yr+d1(  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 [G\o+D?2  
    Y:wF5pp;  
    任务 f7Zf}1|  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 &RWM<6JP  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 e|VJ9|;3  
    )`<6taKx@n  
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    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 |-n ('gQ[  
    连接建模技术:衍射光束分束器 )U'yUUi  
      
    $R";  
    SBX|Bcyk*  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 $~=2{  
    ;,dkJ7M  
    v`SY6;<2  
    将传输函数转化为结构 -Un=T X  
    ) o xIzF  
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    衍射光束分束器表面 z>|)ieL  
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    WO@H*  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM \e|U9;Mf  
    pisB,wP$2  
    0Z,{s158L  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 PPj[;(A  
    n8$=f'Hgb  
    x{Sd P$  
    设计与评估结果 6b<+8w  
    • 相位函数设计 "<x&pQZ%  
    • 结构设计 8?1o<8hV  
    • TEA 评估 5q Rc4d'  
    • FMM 评估 HlPG3LD!  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) "5}%"-#  
    Oqmg;\pm  
    仅相位传输设计 /[iG5~G  
    E=k w)<X2  
    EE]=f=3  
    结构设计 H_Os4}  
    ?+Q$#pb  
    w" JGO  
    使用TEA进行性能评估 Y\p $SN  
    \?&A u  
    *NlpotW,f  
    使用FMM进行性能评估 f05=Mc&)  
    /EU ; ?O  
    13a(FG  
    进一步的分析(优化后,容差分析) ik5|,#}m&  
    9 mPIykAj8  
    ~{M@?8wi  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 jo_ sAb  
    KDD@%E  
    Sl>>SP  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 jV^C19  
    ~@Kf2dHes  
    C(o.Cy6  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 h!e2 +4{4{  
     
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