[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 SquuK1P=  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 <|;)iT1VeT  
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任务 _
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• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 QFU1l"(qGk  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 )|B3TjHC  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 Y\j5{;V  
连接建模技术：衍射光束分束器 z K6'wL!!I  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 <nJ8%aY,  
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将传输函数转化为结构  lx&;?QQ  
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衍射光束分束器表面 hIFfvUl  
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L)3JTNiB  
衍射光束求解器 - TEA & FMM HB9|AQ4K  
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CDT3&N1'R  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 Yl"l|2 :  
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F~x>\?iN  
设计与评估结果： PLhlbzcf  
• 相位函数设计 aUbmEHFTV  
• 结构设计 uolEX+  
• TEA 评估 fu{.Ir  
• FMM 评估 T*qSk!  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） -P-&]F5  
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仅相位传输设计 tQIa6c4|  
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结构设计 b
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使用TEA进行性能评估 ObSRd$M  
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使用FMM进行性能评估 o>o! -uf  
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进一步的分析（优化后，容差分析） VTJxVYE  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 Jq_AR!} %  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 >6A8+=  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 C
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