摘要 #Ang8O@y nO d '$q 6}RRrYL7I 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
#78P_{ #! 9b0M'x'W5 任务 \"r*wae • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
gmY*}d`
'f • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
N!`8-ap\^ ;8G( l OEkx}.w 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 .skR4f,h 连接建模技术：衍射光束分束器 NB z3j 
:IZ(9=hs ：
NdS6j'%B@7 • 相位函数设计
Y]5\%JR • 结构设计
btfjmR<Tp • TEA 评估
JYbE(&l%de • FMM 评估
k+"+s
bsW' • 高度缩放检查（用于优化/容限）
Q e!Q
$ "rj qDpH 仅相位传输设计 $Yr'`(C bc q>~\w1%}a\ *|f&a 结构设计 $> 3/6(bW +7jr ]kP9 )Tc eNH 使用TEA进行性能评估 J {gqm ]to"X7/ (;V=A4F-D 使用FMM进行性能评估 OAc*W<Q 0 <bwsK,C 8QeM6;^/5 进一步的分析（优化后，容差分析） 0x }8} 
wp!< u
%
