摘要 E | n0pe7/Ai ie5ijkxZ( 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
` h!&-> -%l, Zd9 任务 p9WskYpm • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
) `7+o9& • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
63Yu05' FF~4y>R7u m0 \}Cc 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 nV*s dSt 连接建模技术：衍射光束分束器 .G~5F- 8' 
R} 9jgB ：
@b\_ 696. • 相位函数设计
E(+wl • 结构设计
w!w _` 7[ • TEA 评估
T8TsKjqOZ • FMM 评估
<?Izfl6 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
~.`r( N/{Yi
_n 仅相位传输设计 ~LW%lMy;^| Le:mMd= G L9?/ -@M 结构设计 SH$cn,3F8 UA4d|^ ev i3&B%JiLX 使用TEA进行性能评估 cBR8HkP~ C{i;spc!bi =&:f+!1$ 使用FMM进行性能评估 ::R00gd +Z~!n #33RhJu5, 进一步的分析（优化后，容差分析） yxWMatZ2 
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