摘要 o-C#|t3hH p{D4"Qn+P9 ~" i0x 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
?6^|ZtB Yg9joNB h 任务 c>:R3^\lwx • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
_S}A= hK' • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
=elp H^N )%d*3\Tsd em{ (4!W> 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 KNLnn;l 连接建模技术：衍射光束分束器 eE
GfM0 
n>>Qn&ym ：
uN([*'0Cg • 相位函数设计
9RN-suE[ • 结构设计
Od4E x;F • TEA 评估
? T9(Vw • FMM 评估
N , 8/Y • 高度缩放检查（用于优化/容限）
+LM#n #T TJ q~)Bm 仅相位传输设计 7Mb# O_eh NS%WeAf 3RLF p\i"s 结构设计 QnZcBXI8 MjlP+; ! #]nx!*JNZ 使用TEA进行性能评估 i;LXu%3\ OQW#a[=WQ 1N7Kv4, 使用FMM进行性能评估 1$M@]7e+!+ TT =b79k %3NqS iMs 进一步的分析（优化后，容差分析） UfN&v >8f 
Og,$ sH}`
