摘要 wm2Q(l*HH , 5r 2!d yJb;V# 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
5Y9 j/wA 5+3Z?|b 任务 `m'2RNSc+# • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
y
I mriCT • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
8 -8=
\ d G:=tf&1R B)^]V<l(w 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 V i#(x9. 连接建模技术：衍射光束分束器 U k*s`Y 
miN(a; Q2P ：
^u Z%d • 相位函数设计
Uc9Uj • 结构设计
iwmXgsRa9} • TEA 评估
\-sD RW • FMM 评估
qvk?5#B • 高度缩放检查（用于优化/容限）
q(uu;l[ HVu_@[SYR3 仅相位传输设计 t5e(9Yhj $V\xN(Ed 3 {$c b"5 结构设计 $rjv4e}7 u8[X\f }:h dAZ+z 使用TEA进行性能评估 {ZfTUt)-P Za01z^ sk],_ l< 使用FMM进行性能评估 _wHqfj) Vx#xq#wK (iS94}-) 进一步的分析（优化后，容差分析） zxsnrn;| 
o^AK@\e:^Z
