摘要 <FZ@Q[RP ! VjFW5'{ V)}rEX 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
kQ ]$ %Lk[ n_' {^6*O 任务 JU&+c6> • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
tDUwy^j • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
K _&4D' rj!0GI eF2|Wjl``; 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 Y`?-VaY 连接建模技术：衍射光束分束器 ^j7 azn 
)=Jk@yj8x ：
= 9 T$Gr • 相位函数设计
=JmT:enV • 结构设计
)vxUT{; sH • TEA 评估
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: • FMM 评估
0 bo/XUpi • 高度缩放检查（用于优化/容限）
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7 o6p98Dpg 仅相位传输设计 ]LM-@G+Jz `jOX6_z?I }1r m 结构设计 bcupo:N 4ni3kmvX #^ ]n0! 使用TEA进行性能评估 Si~vDQ7" QPq7R AoyX\iqQ 使用FMM进行性能评估 1x,tu}<u^ //aF5 :Y# /soKucN"h 进一步的分析（优化后，容差分析） 2@
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