[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 FK MuRy|  

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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 MtYi8"+<e.  
Rc2|o.'y  
任务 \:cr2w'c  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 RO-ABFEi(  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 r-#23iT.~  
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#`tn:cP  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 O]OZt,k(  
连接建模技术：衍射光束分束器 x)M=_u2 _  
   6e1/h@p\7  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 ~/hyf]*j  
A^PCI*SN[  
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将传输函数转化为结构 CwKo'PAJ  
4}:a"1P"  
8y!d^EQ  
衍射光束分束器表面 (>
THN*i  
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V j\1HQ  
衍射光束求解器 - TEA & FMM |Uz?i7z  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 rs$sAa*f  
n>F1G MX  
~Uw**PT3M  
设计与评估结果： A&#P=mj  
• 相位函数设计 `3!ERQU  
• 结构设计 eWvL(2`Tx  
• TEA 评估 KsM2?aqwf_  
• FMM 评估 sy+o{] N  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） $QQv$  
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仅相位传输设计 ,bRvj8"M  
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结构设计 |r"1 &ow5  
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3  
使用TEA进行性能评估 0Y#S2ty  
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使用FMM进行性能评估 t?p[w&@M2  
AY['!&T  
<lh+mrXm  
进一步的分析（优化后，容差分析） O/M\Q  
S/CT;M@W  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 oXG,8NOdC  
*V(TNLIh;  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 iivuH2/~?[  
T_CYSS|fX  
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EG0&  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 PdG:aGQ>