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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-09-11
    摘要 \[ W`hhJ  
    hyY^$p+  
       I5E5,{  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 iV:\,<8d  
    4{h^O@*g  
    任务 H'I5LYsXO~  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Lr Kx  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 7 6HB@'xY  
    GL^ j |1  
    @ev^e !B  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 GS*_m4.Ry6  
    连接建模技术:衍射光束分束器 ]''tuo2g8  
      
    D=B:tP  
    &zPM# Q  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 Q'[~$~&`  
    '.e 5Ku  
    ^y~oXS(  
    将传输函数转化为结构 Ok phbAX  
    (kx>\FIK*  
    !v*#E{r"g=  
    衍射光束分束器表面 ~]BR(n  
    KF7d`bRe  
    Cyud)BZvm  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM hDbZ62DDN  
    T{ lm z<g  
    S;BMM8U  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 {XW>3 "  
    z.W1Za  
    tfv@ )9  
    设计与评估结果 (JiEV3GH  
    • 相位函数设计 we?t/YB=  
    • 结构设计 M+4S>Sjw  
    • TEA 评估 >Lz2zlZI  
    • FMM 评估 HPK}Z|Vl  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) lb]k"L%KU7  
    efh1-3f  
    仅相位传输设计 "?YpF2pD  
    `~@}f"c`u  
    =OR&,xt  
    结构设计 l> >BeZ  
    os(}X(   
    6uFGq)4p@  
    使用TEA进行性能评估 94XRf"^  
    }Z`@Z'  
    t;[Q&Jl  
    使用FMM进行性能评估 p-/}@r3Z+  
    73M;-qnU  
    [oH,FSuO!2  
    进一步的分析(优化后,容差分析) j MA%`*r  
    w2tkJcQ3  
    t*Wxvoxk  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ,-BZsZ0~  
    y)Lyo'`  
    /h@rLJ)o>  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 *tT5Zt/&Sr  
    fVBRP[,   
    P+3)YO1C  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 =`%%*  
     
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