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k| Ye[GM* 内容简介 *>f-UNV Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 y&8kORz;? 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 b+3QqbJ[F 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 qD?-&>dBWi 0'O*Y
]h+ 讯技科技股份有限公司 XI*cu\7sy
35X4]
t 目录 dJYQdo^X Preface 1 gjnTG:}}}+ 内容简介 2 BO3%p 目录 i j,BiWgj$8 1 引言 1 iQnIk|8 2 光学薄膜基础 2 XexslzI 2.1 一般规则 2 {Y#$ 2.2 正交入射规则 3 nax(V 2.3 斜入射规则 6 ;mYj`/Yj 2.4 精确计算 7 D%=FCmL5@= 2.5 相干性 8 7TW</g( 2.6 参考文献 10 3Az7urIY 3 Essential Macleod的快速预览 10 BvA09lK 4 Essential Macleod的特点 32 ddiBjp2.! 4.1 容量和局限性 33 :Kt'Fm,s? 4.2 程序在哪里? 33 c5e
wG 4.3 数据文件 35 Z}*{4V`R 4.4 设计规则 35 $7bl,~Z 4.5 材料数据库和资料库 37 2|C(|fD4 4.5.1材料损失 38 j(SBpM 4.5.1材料数据库和导入材料 39 \L@DDK|"`6 4.5.2 材料库 41 a6&+>\o 4.5.3导出材料数据 43 DD]e0 pa 4.6 常用单位 43 L1i:hgq0] 4.7 插值和外推法 46 "X7;^yY 4.8 材料数据的平滑 50 KnjowK 4.9 更多光学常数模型 54 Xzp!X({ 4.10 文档的一般编辑规则 55 ca{u"n 4.11 撤销和重做 56 ^Td_B03) 4.12 设计文档 57 PF4"J^V 4.10.1 公式 58 +~~&FO2 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 K
V-}:u( 4.10.3 沉积密度 59
")cJA f 4.10.4 平行和楔形介质 60 6YCFSvA#/ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 %tRQK$]c 4.10.4 性能 61 ZLRAiL 4.10.5 保存设计和性能 64 u{_jweZ 4.10.6 默认设计 64 Z[{k-_HgAm 4.11 图表 64 zu@5,AH 4.11.1 合并曲线图 67 RXF%A5FXh 4.11.2 自适应绘制 68 609_ZW;) 4.11.3 动态绘图 68 UD@u hL 4.11.4 3D绘图 69 _Ka6! 9 4.12 导入和导出 73 +"Ui@^ 4.12.1 剪贴板 73 M_Qv{ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 IV5B5Q'D 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 'l| e}eti> 4.13 背景 77 xc HG5bg| 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ."#M
X! 4.15 生成Rugate 84 g[d.lJ=Q-N 4.16 参考文献 91 0;bi*2U 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 And|T 6u 5.1 Jobs 92 UJWkG^? 5.2 创建一个新Job(工作) 93 U(jZf{`Mz 5.3 输入材料 94 =Bq3O58+ 5.4 设计数据文件夹 95 AUk,sCxd 5.5 默认设计 95 1Y-m=~J7 6 细化和合成 97 \z4I'"MC.9 6.1 优化介绍 97 +?!x;qS^ 6.2 细化 (Refinement) 98 y
;$8C 6.3 合成 (Synthesis) 100 ]^j'2nJv0 6.4 目标和评价函数 101 *<[Nvk^ 6.4.1 目标输入 102 mimJ_=]DC 6.4.2 目标 103 covr0N) 6.4.3 特殊的评价函数 104 Z?#_3h$"T 6.5 层锁定和连接 104 lhk[U!># 6.6 细化技术 104 fW,,@2P 6.6.1 单纯形 105 7%E]E,f/# 6.6.1.1 单纯形参数 106 RKY~[IQ, 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 o?Wp[{K 6.6.2.1 Optimac参数 108 +@QN)ZwVy 6.6.3 模拟退火算法 109 mF?GQls` 6.6.3.1 模拟退火参数 109 |"Rl_+d7D 6.6.4 共轭梯度 111 "XU
M$:D 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 kYVn4Wq 6.6.5 拟牛顿法 112 Wx i|(} 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 nS53mLU) 6.6.6 针合成 113 `Z}7G@ol 6.6.6.1 针合成参数 114 H</Mh*Fl2G 6.6.7 差分进化 114 JE<zQf( & 6.6.8非局部细化 115 /ox9m7Fz7 6.6.8.1非局部细化参数 115 Kf.G'v46 6.7 我应该使用哪种技术? 116 wQ4IQ! 6.7.1 细化 116 0! :1o61 6.7.2 合成 117 PyS~2)=B 6.8 参考文献 117 epWO}@
b a 7 导纳图及其他工具 118 WCg*TL} 7.1 简介 118 >~g(acH%`x 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 scffWqEo 7.2.1 四分之一波长规则 119 nY#V~^| 7.2.2 导纳图 120 q]-CTx$ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 me#?1r 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 hr+,-j 7.5 斜入射导纳图 141 '%u7XuU-] 7.6 对称周期 141 |b@H]c;" 7.7 参考文献 142 3N'f Hy 8 典型的镀膜实例 143 }SdI _sLe 8.1 单层抗反射薄膜 145 AX Y.80+ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 98%M`WY 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 7#
/c7 8.4 W-膜层 148 \8~P3M":c 8.5 V-膜层 149 g=*`6@_= 8.6 V-膜层高折射基底 150 =*icCng 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 zH1pW( 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 &nc0stuL 8.9 四层抗反射薄膜 153 3H_mR
j9th 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 6hE. i
x 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 v{N4*P.0T 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 %<g(EKl 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 "!9hcv-; 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 [|=#~(yYQ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Qg7rkRia 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 /D]V3|@E 8.17 1/4波长堆栈 162 ,~R`@5+ 8.18 陷波滤波器 163 P <$)v5f 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 wIrjWU2 8.20 褶皱 165 wH=L+bA>a 8.21 消偏振分光器1 169 aKLA_-E 8.22 消偏振分光器2 171 G2bZl%
,D 8.23 消偏振立体分光器 172 8sDbvVh1F 8.24 消偏振截止滤光片 173 fkprTk^# 8.25 立体偏振分束器1 174 n~1'M/wh 8.26 立方偏振分束器2 177 K/2k/\Jk[_ 8.27 相位延迟器 178 {*=+g>RgD 8.28 红外截止器 179 \(nb
>K 8.29 21层长波带通滤波器 180 h6*&1r 8.30 49层长波带通滤波器 181 hmA$gR_ 8.31 55层短波带通滤波器 182 ?e`4
sf_~ 8.32 47 红外截止器 183 YL )epi^ 8.33 宽带通滤波器 184 <Rs#y: 8.34 诱导透射滤波器 186 fpjy[$8 8.35 诱导透射滤波器2 188 >@NH Al 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 s`j QX\{ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 P87!+pB( 8.35 增益平坦滤波器 193 c)d*[OI8 8.38 啁啾反射镜 1 196 uCc.dluU 8.39 啁啾反射镜2 198 c+6/@y 8.40 啁啾反射镜3 199 !)jw o=l}J 8.41 带保护层的铝膜层 200 b8?qYm 8.42 增加铝反射率膜 201 D 8nt%vy 8.43 参考文献 202 Mp *S +Plp 9 多层膜 204 LvWl*:z 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 +E8Itb, 9.2 内部透过率 204 jV(\]g"/= 9.3 内部透射率数据 205 egBjr? 9.4 实例 206 56;(mbW 9.5 实例2 210 0_}^IiG 9.6 圆锥和带宽计算 212 1v)X]nW 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 9uXu V$. 10 光学薄膜的颜色 216 t/;@~jfr@ 10.1 导言 216 G}o?lo\#h 10.2 色彩 216 6^W6As0 10.3 主波长和纯度 220 "(@W^qF}d 10.4 色相和纯度 221 h'i8o>7 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 hK!Z~
10.6 色差 226 -#=y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 L53qQej< 10.8 颜色渲染指数 234 x=+R0ny 10.9 色差计算 235 pK)*{fC$` 10.10 参考文献 236 *WSH-*0 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 p*11aaIbp~ 11.1 短脉冲 238 'C
l}IDF 11.2 群速度 239 u
N%RB$G 11.3 群速度色散 241 J{GtH[ 11.4 啁啾(chirped) 245
5^Gv!XW 11.5 光学薄膜—相变 245 GVFR^pzO 11.6 群延迟和延迟色散 246 0-)D`s% 11.7 色度色散 246 rsbdDTy 11.8 色散补偿 249 T&?0hSYt 11.9 空间光线偏移 256 >28.^\?H4 11.10 参考文献 258 F1V[8I.0 12 公差与误差 260 OL,3Jh% x 12.1 蒙特卡罗模型 260 5e!YYt> 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 .YvE 12.2.1 误差工具 267 -Jo8jE~>V 12.2.2 灵敏度工具 271 jzuOs,:R 12.2.2.1 独立灵敏度 271 CgLS2 12.2.2.2 灵敏度分布 275 V:M$-6jv 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 #z|\AmZ\ 12.3 参考文献 276 5z ebH 13 Runsheet 与Simulator 277 4dDDi,)U 13.1 原理介绍 277 ]!>ThBMa 13.2 截止滤光片设计 277 Z[.+Wd\)-9 14 光学常数提取 289 &&iZ?JteZ 14.1 介绍 289 fIrl?X'] 14.2 电介质薄膜 289 NLe+ 14.3 n 和k 的提取工具 295 Sz\"*W;> 14.4 基底的参数提取 302 eqt+EiH 14.5 金属的参数提取 306 Jjb(l W 14.6 不正确的模型 306 QjW7XVxB#N 14.7 参考文献 311 q!iMc 15 反演工程 313 x+V;UD=mH 15.1 随机性和系统性 313 zj!&12w%3 15.2 常见的系统性问题 314 ;(). 15.3 单层膜 314 )PC(1Zn 15.4 多层膜 314 ^ <Z^3c>/ 15.5 含义 319 $}d| ~q\ 15.6 反演工程实例 319 Luxo,Ve 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 NO4V{}?a 15.6.2 反演工程提取折射率 327 } z4=3' 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 !Jo3>!,j 16.1 光学性质的热致偏移 329 y(pHt 16.2 应力工具 335 c65_E<5Z 16.3 均匀性误差 339 Te%'9-jk 16.3.1 圆锥工具 339 1vTncU! 16.3.2 波前问题 341 <B]\& 16.4 参考文献 343 0A%>'< 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 AL.zF\? 17.1 引言 345 BX[92~Bq 17.2 操作数 345
Bp3%*va 18 如何在Function中编写脚本 351 *_<P%J 18.1 简介 351 ({3hX"C@Q 18.2 什么是脚本? 351 =RR225 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 J@ x%TA 18.4 基础 352 Vp
$] 18.4.1 Classes(类别) 352 C24[brf 18.4.2 对象 352 fP`g#t)4Tu 18.4.3 信息(Messages) 352 ^'S0A=1 18.4.4 属性 352 ,s'78Dc$ 18.4.5 方法 353 ,jWMJ0X/N= 18.4.6 变量声明 353 /#Y)nyE
18.5 创建对象 354 kJ6=T6s 18.5.1 创建对象函数 355 !FweXFl 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 e";r_J3w 18.5.3 丢弃对象 356 z`-?5-a]I 18.5.4 总结 356 W G2 E3y 18.6 脚本中的表格 357 a^qLyF&F 18.6.1 方法1 357 s8| =1{ 18.6.2 方法2 357 \14"B gj1 18.7 2D Plots in Scripts 358 1xM'5C?~7 18.8 3D Plots in Scripts 359 I__|+%oC 18.9 注释 360 &x{CC@g/ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
^o+}3= 18.11 一个更高级的脚本 362 ^(I4Do~} 18.12 <esc>键 364 lkf(t&vL2 18.13 包含文件 365 >_QC_UX>4i 18.14 脚本被优化调用 366 l-"c-2-! 18.15 脚本中的对话框 368 YV*s1t/ 18.15.1 介绍 368 D%v4B`4ua' 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ]=p@1 18.15.3 输入框函数 370 }7CMXw
[ 18.15.4 自定义对话框 371 4l2i'H 18.15.5 对话框编辑器 371 ;aBK4<-vl 18.15.6 控制对话框 377 ko2Kz
k 18.15.7 更高级的对话框 380 E
3b`GRay 18.16 Types语句 384 4C^;lK 18.17 打开文件 385 Efi@hdEV 18.18 Bags 387 hXi^{ntw, 18.13 进一步研究 388 C=ni5R 19 vStack 389 ZdHfZ3)dB 19.1 vStack基本原理 389 PL/as3O^A 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 mH>oF| 19.3 五棱镜 393 >N>WOLbb7( 19.4 光束距离 396 5uMh#dm^ 19.5 误差 399 X3#/|> 19.6 二向分色棱镜 399 FR9<$ 19.7 偏振泄漏 404 F)/}Q[o8 19.8 波前误差—相位 405 gK/mm\K@ 19.9 其它计算参数 405 ~dfc 20 报表生成器 406 jC1mui|Y^ 20.1 入门 406 4g]Er<-P 20.2 指令(Instructions) 406 @sJ[<V 20.3 页面布局指令 406 9Vz1*4Ln 20.4 常见的参数图和三维图 407 `k65&]&d 20.5 表格中的常见参数 408 _ngyai1 20.6 迭代指令 408 knX0b$$ 20.7 报表模版 408 AOQimjW9a 20.8 开始设计一个报表模版 409 lk{ 21 一个新的project 413 Ddde,WJA 21.1 创建一个新Job 414 1g6AzUXg 21.2 默认设计 415 _f$8{&`k 21.3 薄膜设计 416 $5y%\A 21.4 误差的灵敏度计算 420 T1hr5V<U 21.5 显色指数计算 422 !)RND 6. 21.6 电场分布 424 @\v, 后记 426 (Da/$S. ep .AW'+ ,wE]:|`qJ 对此镀膜书有兴趣,可以扫码加微联系 a'f"Zdh%w MB
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