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%YaUc{.% 内容简介 yq?_#r Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 $VrKoL\ScA 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Vd{h|=J 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 elgCPX&:W A!kNqJ2 讯技科技股份有限公司 ikGH:{
3PonF4 目录 QS~;C&1Hl Preface 1 Ur626} 内容简介 2 %acy%Sy 目录 i aqb;H 'F 1 引言 1 S%ri/}qI[{ 2 光学薄膜基础 2 !_`T8pJ` 2.1 一般规则 2
,qRSB>5c 2.2 正交入射规则 3 O8+[)+6^ 2.3 斜入射规则 6 bw7!MAXd 2.4 精确计算 7 bmAgB}Ior 2.5 相干性 8 [hg|bpEG 2.6 参考文献 10 2.2Z'$W 3 Essential Macleod的快速预览 10 ndm19M8Y| 4 Essential Macleod的特点 32 fJCh 4.1 容量和局限性 33 JXlFo3< 4.2 程序在哪里? 33 dv0TJ 0% 4.3 数据文件 35 eh'mSf^=p 4.4 设计规则 35 WRAW%?$ 4.5 材料数据库和资料库 37 g)'tr
' 4.5.1材料损失 38 rI}E2J 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ED/-,>[f 4.5.2 材料库 41 %uGA+ \b 4.5.3导出材料数据 43 !v2,lH 4.6 常用单位 43 KrkZv$u, 4.7 插值和外推法 46 Q:~w;I 4.8 材料数据的平滑 50 (nrrzOax 4.9 更多光学常数模型 54 skcMGEB 4.10 文档的一般编辑规则 55 HHZ!mYr 4.11 撤销和重做 56 *eXO?6f%s^ 4.12 设计文档 57 7atYWz~yG 4.10.1 公式 58 vc2xAAQ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
F!>K8 q 4.10.3 沉积密度 59 nRQIrUNq 4.10.4 平行和楔形介质 60 %:o@IRTRU 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
A!k} 4.10.4 性能 61 >V(2Ke Y 4.10.5 保存设计和性能 64 MatC2-aV1 4.10.6 默认设计 64 Y%:p(f< 4.11 图表 64 8{+~3@T 4.11.1 合并曲线图 67
cM4?Ggn 4.11.2 自适应绘制 68 f
5i`B*/ 4.11.3 动态绘图 68 VP 4t~$" 4.11.4 3D绘图 69 :,q3?l6 4.12 导入和导出 73
3r em"M 4.12.1 剪贴板 73 (P#2Am$ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Xs?7Whc6 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 t=\V&, 4.13 背景 77 qd|*vE 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 X}zKV 4.15 生成Rugate 84 M]` Q4\ 4.16 参考文献 91 a`pY&xq:: 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 <Awx:lw. 5.1 Jobs 92 $fKwJFr 5.2 创建一个新Job(工作) 93 om_&|9B) 5.3 输入材料 94 J|FyY)_ 5.4 设计数据文件夹 95 }2c}y7B,_ 5.5 默认设计 95 ^}1RDdQ"U 6 细化和合成 97 g41Lh3dj 6.1 优化介绍 97 1yB;"q&Xd 6.2 细化 (Refinement) 98 "(efd~.] 6.3 合成 (Synthesis) 100 NuO>zAu 6.4 目标和评价函数 101 ')1sw%[2 6.4.1 目标输入 102 )vU{JY; 6.4.2 目标 103 pO+1?c43 6.4.3 特殊的评价函数 104 3Xh&l[. 6.5 层锁定和连接 104 f[}SS]d:E 6.6 细化技术 104 pV("NJj! 6.6.1 单纯形 105 DpS6>$v8t 6.6.1.1 单纯形参数 106 aq5<Ks `r 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 mTP.W#N 6.6.2.1 Optimac参数 108 '6 'XBL? 6.6.3 模拟退火算法 109 5N/]/ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 a+~o: 5 6.6.4 共轭梯度 111 G>RYQ{O 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 pWx3l5)R 6.6.5 拟牛顿法 112 kxn;; 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 4P~<_]yf 6.6.6 针合成 113 &\X;t|
6.6.6.1 针合成参数 114 ^w12k2a 6.6.7 差分进化 114 RrZjC 6.6.8非局部细化 115 ;ZqFrHI M` 6.6.8.1非局部细化参数 115 ?@#}%<yEq 6.7 我应该使用哪种技术? 116 654%X(:q 6.7.1 细化 116 kTk?[BK 6.7.2 合成 117 |fI%L9 6.8 参考文献 117 Ksp;bfe 7 导纳图及其他工具 118 iE Oyc59 7.1 简介 118 *tO<wp& 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ~Op1NE 7.2.1 四分之一波长规则 119 )ED[cYGx 7.2.2 导纳图 120 hrL<jcv| 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ;p_X7N 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ^]DWrmy 7.5 斜入射导纳图 141 OX`n`+^D 7.6 对称周期 141 Kmnr}Lp9 7.7 参考文献 142 %xfy\of+Nk 8 典型的镀膜实例 143 `?@7 KEl> 8.1 单层抗反射薄膜 145 W^N"y& 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 piG1&* 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 c~'kW`sNV 8.4 W-膜层 148 J9 =gv0 8.5 V-膜层 149 @
tIB'|O 8.6 V-膜层高折射基底 150 "n6Y^ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 +n, BD C; 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 % KA/ 8.9 四层抗反射薄膜 153 E&+^H
on 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 .;:xx~G_Q 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 r9Z/y*q 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 'MUrszOO.e 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 LNZ#%R~r 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 #~x5}8 8.15十五层宽带抗反射膜 159 _'7/99]4g} 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ^8m+*t
8.17 1/4波长堆栈 162 ]2(c$R
8.18 陷波滤波器 163 ' mcJ/9)v 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 1pb;A;F,A 8.20 褶皱 165 Rpk`fxAO 8.21 消偏振分光器1 169 jVINc=o 8.22 消偏振分光器2 171 K|G$s 8.23 消偏振立体分光器 172
n{t',r50 8.24 消偏振截止滤光片 173 [tzSr=,Cg 8.25 立体偏振分束器1 174 T,uIA] 8.26 立方偏振分束器2 177 +*J4q5;E[? 8.27 相位延迟器 178 JC"K{V{ 8.28 红外截止器 179 psC7IE<v 8.29 21层长波带通滤波器 180 lAk1ncx 8.30 49层长波带通滤波器 181 'u[o`31. 8.31 55层短波带通滤波器 182 fqb$_>3Ol 8.32 47 红外截止器 183 8q3TeMYV 8.33 宽带通滤波器 184 .dCP8| 8.34 诱导透射滤波器 186 $ t $f1? 8.35 诱导透射滤波器2 188 RC(D=6+[C 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ikhX5
&e 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 %20-^&zZ 8.35 增益平坦滤波器 193 %5*#c*)R 8.38 啁啾反射镜 1 196 CLfb`rF 8.39 啁啾反射镜2 198 n:'BN([]o 8.40 啁啾反射镜3 199 ~It+|X=Kx 8.41 带保护层的铝膜层 200 5{q/z^] 8.42 增加铝反射率膜 201 d5y2Y/QO 8.43 参考文献 202 qm=F6*@} 9 多层膜 204 d;SRK @ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ~{YgM/c|dt 9.2 内部透过率 204 4p8jV*:@{ 9.3 内部透射率数据 205
-C
ON 9.4 实例 206
_CJr6Evs 9.5 实例2 210 k6L373e#Q 9.6 圆锥和带宽计算 212
sGls^J) 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 `^-Be 10 光学薄膜的颜色 216 X&s\_jQ 10.1 导言 216 3c ^=<i
% 10.2 色彩 216 3cO[t\/up 10.3 主波长和纯度 220 $Q?G*@y 10.4 色相和纯度 221 M3@fc,Ch 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 KOEi_9i} 10.6 色差 226 Z034wn\N 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ev%t5NZ 10.8 颜色渲染指数 234 K4/P(*r` 10.9 色差计算 235 0^.4eX:E_ 10.10 参考文献 236 z%3"d0 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 '&:x_WwVrO 11.1 短脉冲 238 0D3+R1>_D 11.2 群速度 239 UUf1T@- 11.3 群速度色散 241 0nz@O^*g( 11.4 啁啾(chirped) 245 qV8\/7'A0a 11.5 光学薄膜—相变 245 R}X_2"" 11.6 群延迟和延迟色散 246 $v<hW
A]> 11.7 色度色散 246 tW.>D;8 11.8 色散补偿 249 J
s<MJ4r>/ 11.9 空间光线偏移 256 OO\biYh o 11.10 参考文献 258 9=~H6(m> 12 公差与误差 260 "8iiRzt# 12.1 蒙特卡罗模型 260 uM)9b*Vbo 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Ya&\ly
/i 12.2.1 误差工具 267 # 1dTM- 12.2.2 灵敏度工具 271 @52=3 12.2.2.1 独立灵敏度 271 4a.e
,gitf 12.2.2.2 灵敏度分布 275 O<Sc.@~ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ZYR,8 y 12.3 参考文献 276 (zJ$oRq 13 Runsheet 与Simulator 277 ok%a|Zz+] 13.1 原理介绍 277 #D LT-G0 13.2 截止滤光片设计 277 v8[ek@ 14 光学常数提取 289 D0y,TF 14.1 介绍 289 },EUcVXk 14.2 电介质薄膜 289 :KV,:13`D 14.3 n 和k 的提取工具 295 F `pyhc>1; 14.4 基底的参数提取 302 BRU9LS 14.5 金属的参数提取 306 YNgR1:l 14.6 不正确的模型 306 U~#^ ^ 14.7 参考文献 311 .)^3t~ 15 反演工程 313 G<u.+V 15.1 随机性和系统性 313 @@{_[ir 15.2 常见的系统性问题 314 ;TV'PJ 15.3 单层膜 314 9HNh*Gc= 15.4 多层膜 314 ghobu}wuF 15.5 含义 319 ? W2I1HEy 15.6 反演工程实例 319 IJ_'w[k 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 %YvSHh;c 15.6.2 反演工程提取折射率 327 9u7n/o&8v6 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 RZ)vU'@kx 16.1 光学性质的热致偏移 329 3
!> L? 16.2 应力工具 335 xH`j7qK. 16.3 均匀性误差 339 bV )PT`-, 16.3.1 圆锥工具 339 kJ#[UCqzM 16.3.2 波前问题 341 1YIux,2\ 16.4 参考文献 343 f}lT|.)?VD 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 CdzkMVH 17.1 引言 345 Xs%R]KOwt 17.2 操作数 345 ))CXjwLj; 18 如何在Function中编写脚本 351 Qor{1_h)+9 18.1 简介 351 N1+4bR 18.2 什么是脚本? 351 iUxDEt[t* 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 =Y]'5cn{ 18.4 基础 352 k;K>
,$F 18.4.1 Classes(类别) 352 TM/|K|_ 18.4.2 对象 352 1fO2)$Y 18.4.3 信息(Messages) 352 liCCc;&B; 18.4.4 属性 352 Ft"&NtXeZZ 18.4.5 方法 353
D?\" 18.4.6 变量声明 353 TRySl5jx@ 18.5 创建对象 354 @wEKCn|}o 18.5.1 创建对象函数 355 s`Be#v 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 n $O.> 18.5.3 丢弃对象 356 hk7(2j7B 18.5.4 总结 356 +;:aG6q+ 18.6 脚本中的表格 357 J I+KS 18.6.1 方法1 357 u"#6_-0y 18.6.2 方法2 357 =2;mxJ# o 18.7 2D Plots in Scripts 358 #!8^!}nFO 18.8 3D Plots in Scripts 359 z,}c?BP 18.9 注释 360 t-eKruj+ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 AT%*
~tr 18.11 一个更高级的脚本 362 c#\ah}]Vo 18.12 <esc>键 364 1IOo?e=/bM 18.13 包含文件 365 Z0()pT 18.14 脚本被优化调用 366 e8XM=$@ 18.15 脚本中的对话框 368 PuCwdTan_ 18.15.1 介绍 368 )tN?: l 18.15.2 消息框-MsgBox 368 $,; ;u:- 18.15.3 输入框函数 370 NK 18.15.4 自定义对话框 371 #514a(6 18.15.5 对话框编辑器 371 hapB! ~M? 18.15.6 控制对话框 377 u_}`y1Xu# 18.15.7 更高级的对话框 380 -!'Oy%a# 18.16 Types语句 384 PmPyb>HK=P 18.17 打开文件 385 xUiWiOihr6 18.18 Bags 387 zqHpT^B? 18.13 进一步研究 388 2A*X Hvwb 19 vStack 389
^MWEfPt 19.1 vStack基本原理 389 m0xJ05Zx 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 aW`:)y&f 19.3 五棱镜 393 ?o(ZTlT 19.4 光束距离 396 pgz:F#> 19.5 误差 399 xQNw&'|UU 19.6 二向分色棱镜 399 *<`7|BH 3 19.7 偏振泄漏 404 vHs>ba$" 19.8 波前误差—相位 405 ]+}ZfHp 19.9 其它计算参数 405 `DgaO-Dg3 20 报表生成器 406 71k!k&Im 20.1 入门 406
RL7C
YB 20.2 指令(Instructions) 406 936Ff*%(l 20.3 页面布局指令 406 %|: ;Ti 20.4 常见的参数图和三维图 407 IZ4W_NN 20.5 表格中的常见参数 408 f
pv= P 20.6 迭代指令 408 GN:Ru|n 20.7 报表模版 408 bDciZ7[b 20.8 开始设计一个报表模版 409 NqiB8hZ~ 21 一个新的project 413 n~1tm 21.1 创建一个新Job 414 JDC=J(B 21.2 默认设计 415 Q `e~MD 21.3 薄膜设计 416 |_l<JQvf`E 21.4 误差的灵敏度计算 420 V+qFT3?- 21.5 显色指数计算 422 WW@JVZxK 21.6 电场分布 424 P1(8U% 后记 426 8fJR{jD(s ]%gp?9wy ;Ri 3#*a= 对此镀膜书有兴趣,可以扫码加微联系 MZCL:# R'*<A3^ aqcFY8b
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