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@P5@&G 内容简介 Qnb?hvb"d Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 I;.E}k 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @C [|'[xQ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 rbZ6V : {,C8}8a W 讯技科技股份有限公司 #~-&&S4a.J
}xlmsOHuI 目录 o-<_X&"a|5 Preface 1 oUKbzr/C 内容简介 2 {s'_zSz 目录 i Rpd/9x.)& 1 引言 1 B|$13dHfa 2 光学薄膜基础 2 R$&&kmJ 2.1 一般规则 2 #|1QA3KzO 2.2 正交入射规则 3 =X5&au o 2.3 斜入射规则 6 ~
2oP, 2.4 精确计算 7 3[i!2iL. 2.5 相干性 8 3udIe$.Q 2.6 参考文献 10 Ty:Ir 3 Essential Macleod的快速预览 10 ^(JbJ@m/ 4 Essential Macleod的特点 32 y-q?pqt 4.1 容量和局限性 33 =(5GU<} 4.2 程序在哪里? 33 u#,'ys 4.3 数据文件 35 4_0/]:~5 4.4 设计规则 35 zXU{p\;)\ 4.5 材料数据库和资料库 37 ;fME4Sp 4.5.1材料损失 38 s1$#G!' 4.5.1材料数据库和导入材料 39 qFChZ+3> 4.5.2 材料库 41 'wnY>hN 4.5.3导出材料数据 43 ^o\p|f>f 4.6 常用单位 43 n}'.6 4.7 插值和外推法 46 &u\z
T
P 4.8 材料数据的平滑 50 yBh"qnOT 4.9 更多光学常数模型 54 'nt,+`.y6 4.10 文档的一般编辑规则 55 CvWEXY_P2 4.11 撤销和重做 56 pyJOEL]1F 4.12 设计文档 57 F S+^r\) 4.10.1 公式 58 vK7,O%!S 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 LVl0:!>~ 4.10.3 沉积密度 59 yzR=:0J 4.10.4 平行和楔形介质 60 Hf!4(\yN 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 '#::ba[9w 4.10.4 性能 61 D\*_ulc] 4.10.5 保存设计和性能 64 6="&K_Q7 4.10.6 默认设计 64 at]Q4 4.11 图表 64 o (NyOC 4.11.1 合并曲线图 67 ?s} E<Kr 4.11.2 自适应绘制 68 $uB(@Ft. 4.11.3 动态绘图 68 @W- f{V 4.11.4 3D绘图 69 #R4KBXN 4.12 导入和导出 73 Jxw:Jk
~ 4.12.1 剪贴板 73 nKkTnTSa 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ,O{ 5
4.12.3 不通过剪贴板导出 76 |Z|xM 4.13 背景 77 w=o m7%J@l 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 A@AGu#W 4.15 生成Rugate 84 o`! :Q!+ 4.16 参考文献 91 L([ >yQZ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 pAmI ]( 5.1 Jobs 92 e`1s[ ^B 5.2 创建一个新Job(工作) 93 &7u
Ra1/R 5.3 输入材料 94 bXL a~r4\ 5.4 设计数据文件夹 95 1)Bi>X 5.5 默认设计 95
NX_S 6 细化和合成 97 $KHDS:& 6.1 优化介绍 97 Vho0f<`E 6.2 细化 (Refinement) 98 {5-{f=Rk 6.3 合成 (Synthesis) 100 yS3s5C{C 6.4 目标和评价函数 101 *sVxjZvV 6.4.1 目标输入 102 h
l'k_<a* 6.4.2 目标 103 IOqyqt' 6.4.3 特殊的评价函数 104 LfM(DK 6.5 层锁定和连接 104 bl-s0Ax- 6.6 细化技术 104 ZM`_P!G 6.6.1 单纯形 105 &\[J 6.6.1.1 单纯形参数 106 oe"ShhT 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 @??
6)C 6.6.2.1 Optimac参数 108 :]hfmWC 6.6.3 模拟退火算法 109 x[6Bc 6.6.3.1 模拟退火参数 109 *OcptmY< 6.6.4 共轭梯度 111 ]+9:i!s 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ^IkMRlJh% 6.6.5 拟牛顿法 112 ?=rh= # 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 f+AIxSw 6.6.6 针合成 113 2Jv4l$$;* 6.6.6.1 针合成参数 114 y-k-E/V} 6.6.7 差分进化 114 }C#d;JC 6.6.8非局部细化 115 j,jUg}b 6.6.8.1非局部细化参数 115 n//a;m 6.7 我应该使用哪种技术? 116 O v6=|]cW 6.7.1 细化 116 8;3FTF 6.7.2 合成 117 r'?&VS-Cj 6.8 参考文献 117 kk#d-!
$[ 7 导纳图及其他工具 118 <{kj}nxz 7.1 简介 118 0X w?} 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 s:P-F0q!& 7.2.1 四分之一波长规则 119 O0RQ}~$'m 7.2.2 导纳图 120 xw
Qkk 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 5]JXXdt 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 *CSFkWVa 7.5 斜入射导纳图 141 W>Kn*Dy8~ 7.6 对称周期 141 cG6+'=]3< 7.7 参考文献 142 ;ecF~-oku 8 典型的镀膜实例 143 "&F/'';0}E 8.1 单层抗反射薄膜 145 ']x]X, 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 -tZb\4kh 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
t-/^ O 8.4 W-膜层 148 (@9}FHJzi 8.5 V-膜层 149 tvILLR 8.6 V-膜层高折射基底 150 :;QLoZh^ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 4r$t}t
gX 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 T^t`Hp 8.9 四层抗反射薄膜 153 l[Oxf| 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 u05O[>w 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 %# #
bg< 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 QKxuvW 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 []NAV 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 "`zw( 8.15十五层宽带抗反射膜 159 $MHc4FE[ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 1'U-n{fD 8.17 1/4波长堆栈 162 0)#I5tEre 8.18 陷波滤波器 163 u#QQCgrs 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ^m\n[<x^ 8.20 褶皱 165 wqsnyP/m 8.21 消偏振分光器1 169 >n/QKFvV5 8.22 消偏振分光器2 171 Lm/^ 8V+ 8.23 消偏振立体分光器 172 Ff30% 8.24 消偏振截止滤光片 173 zi'?FM[f) 8.25 立体偏振分束器1 174 0vEa]ljS 8.26 立方偏振分束器2 177 j*nCIxF 8.27 相位延迟器 178 }Na*jr0y9{ 8.28 红外截止器 179 3:RZ@~u= 8.29 21层长波带通滤波器 180 E#OKeMK 8.30 49层长波带通滤波器 181 5k @k 8.31 55层短波带通滤波器 182 z^]nP87 8.32 47 红外截止器 183 ^`$KN0PY 8.33 宽带通滤波器 184 a<Ta *:R$0 8.34 诱导透射滤波器 186 [@)|j=:i: 8.35 诱导透射滤波器2 188 BScysoeD 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Z|.. hZG 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 V.}U p+WL 8.35 增益平坦滤波器 193 _]NM@'e 8.38 啁啾反射镜 1 196 x<].mx 8.39 啁啾反射镜2 198 4YJs4CB 8.40 啁啾反射镜3 199 ^?,/_ 3 8.41 带保护层的铝膜层 200 -95`.o 8.42 增加铝反射率膜 201 /D~:Ufw 8.43 参考文献 202 f;*\y!|lg~ 9 多层膜 204 K>-m8.~\E 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 %u#pl=k} 9.2 内部透过率 204 ]yyfE7{q 9.3 内部透射率数据 205 :98Pe6 9.4 实例 206 8K$:9+OY 9.5 实例2 210 CUoMB r 9.6 圆锥和带宽计算 212 w% M0Mu 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 !#3R<bW`R8 10 光学薄膜的颜色 216 '#XP:nqFkK 10.1 导言 216 7dLPy[8";t 10.2 色彩 216 nHhg#wR 10.3 主波长和纯度 220 SYyH_0N 10.4 色相和纯度 221 I".r`$XZ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 tG6 o^ 10.6 色差 226 TE/2}XG) 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 R8axdV9( 10.8 颜色渲染指数 234 JprZ6
> 10.9 色差计算 235 Z#0z #M` 10.10 参考文献 236 mu*wX'.' 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ^+pmZw90 11.1 短脉冲 238 C>LkU |[ 11.2 群速度 239
n1v%S"^ 11.3 群速度色散 241 y|X[NSA 11.4 啁啾(chirped) 245 % 'P58 11.5 光学薄膜—相变 245 ?qdG)jo= 11.6 群延迟和延迟色散 246 &iuc4"' 11.7 色度色散 246 3)=$BSC% 11.8 色散补偿 249 \aG>(Mr 11.9 空间光线偏移 256 R|_?yV[ 11.10 参考文献 258 atYm.qb 12 公差与误差 260 YoXXelO&
12.1 蒙特卡罗模型 260 4bmpMF- 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 z\v\T|C 12.2.1 误差工具 267 4Vt YR 12.2.2 灵敏度工具 271
B1Xn<Wv 12.2.2.1 独立灵敏度 271 .n"aQ@! 12.2.2.2 灵敏度分布 275 J^u8d?>r 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 KktQA*G 12.3 参考文献 276 " #JRw 13 Runsheet 与Simulator 277 DS^PHk39 13.1 原理介绍 277 *@/!h2 13.2 截止滤光片设计 277 h:l\kr|9 14 光学常数提取 289 norWNm(n 14.1 介绍 289 -O{Af 14.2 电介质薄膜 289 J)66\h= 14.3 n 和k 的提取工具 295 aRR*<dY 14.4 基底的参数提取 302 ms<?BgCSz 14.5 金属的参数提取 306 T*z >A 14.6 不正确的模型 306 TfMuQ i'> 14.7 参考文献 311 1Ocyrn 15 反演工程 313 bA1uh]oB 15.1 随机性和系统性 313 poeKY[]. 15.2 常见的系统性问题 314 .aF+>#V=Q 15.3 单层膜 314 +oeO0 15.4 多层膜 314 Qu!Lc:oM? 15.5 含义 319 z>hA1*Ti 15.6 反演工程实例 319 m>~%.
(/x 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 GV * B$ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 we!}"'E; 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Wn< |