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>X_5o^s2s 内容简介 O>3f*Cc Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >3?p 23|; 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 DLH|y%" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 EM7Z g 65 @#2KmM~I 讯技科技股份有限公司 >pm`(zLn
EdTR]}8 目录 P[%nD cB Preface 1 1W'0h$5^" 内容简介 2 %PlA9@:IZ 目录 i z'9U.v'M) 1 引言 1 8'*/|)Hn 2 光学薄膜基础 2 dqgH"g 2.1 一般规则 2 c->.eL% 2.2 正交入射规则 3 eL_Il.: 2.3 斜入射规则 6 }0}=-g& 2.4 精确计算 7 Dnp><% 2.5 相干性 8 a7}O.NDf 2.6 参考文献 10 mu{\_JX.A 3 Essential Macleod的快速预览 10 hf\/2Vl 4 Essential Macleod的特点 32 lw43|_'G-t 4.1 容量和局限性 33 uI\6":/u 4.2 程序在哪里? 33 N}ZBtkR 4.3 数据文件 35 +-:o+S`q~ 4.4 设计规则 35 !LJ4
S
4.5 材料数据库和资料库 37 s8
5l 4.5.1材料损失 38 ]P>c{ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 /RI"a^&9A 4.5.2 材料库 41 hrW2#v 4.5.3导出材料数据 43 @xeJ$
rlu 4.6 常用单位 43 ]oLyvG 4.7 插值和外推法 46 V-9\@'gc 4.8 材料数据的平滑 50 DJb9] ,=a 4.9 更多光学常数模型 54 wpg7xx! 4.10 文档的一般编辑规则 55 ldnKV&N 4.11 撤销和重做 56 xEg@Y"NQ 4.12 设计文档 57 DMA`Jx 4.10.1 公式 58 0"{-<Wot} 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Mq='|0, 4.10.3 沉积密度 59 U%n>(!d 4.10.4 平行和楔形介质 60 _+OCI%=: 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 P9)L1l<3I 4.10.4 性能 61 `R*SHy!
_ 4.10.5 保存设计和性能 64 -TS5g1 4.10.6 默认设计 64 W[:CCCDL 4.11 图表 64 $IqubC>O 4.11.1 合并曲线图 67 0ev='v8? 4.11.2 自适应绘制 68 L=dQ,yA 4.11.3 动态绘图 68 yN/g;bQ 4.11.4 3D绘图 69 pM9M8d 4.12 导入和导出 73 ?}U?Q7vx@@ 4.12.1 剪贴板 73 0),fY(D2T 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 $Lz!04 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 3oV2Ek<d 4.13 背景 77 ~gaWZQXyu 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 i>KgkRZL# 4.15 生成Rugate 84 (Q=:ln;kM 4.16 参考文献 91 Wm4C(y@ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 S9[Y1qH>K 5.1 Jobs 92 c-"vQ>ux+ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 *z};&UsF{ 5.3 输入材料 94 ;I*N%a TK 5.4 设计数据文件夹 95 s>)?MB*vb 5.5 默认设计 95 N' CWSf.e 6 细化和合成 97 xXfv({ 6.1 优化介绍 97 CjEzsjqe<I 6.2 细化 (Refinement) 98 qP-_xpu]R 6.3 合成 (Synthesis) 100 g_JQW(_ 6.4 目标和评价函数 101 51-'*Y 6.4.1 目标输入 102 Y`3\Z6KlV 6.4.2 目标 103 %
s@ 6.4.3 特殊的评价函数 104 b~2LD3"3 6.5 层锁定和连接 104 <fE^S 6.6 细化技术 104 ;ik,6_/Y 6.6.1 单纯形 105 nNeCi 6.6.1.1 单纯形参数 106 P)Rq\1: 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 @?RaU4e 6.6.2.1 Optimac参数 108 nd$92H 6.6.3 模拟退火算法 109 "gFw:t"VV 6.6.3.1 模拟退火参数 109 I>q!co9n 6.6.4 共轭梯度 111 Lyz8DwZ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ~NB|BwAh 6.6.5 拟牛顿法 112 OO</d: 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 5gkQ6&m 6.6.6 针合成 113 x3sX=jIW_ 6.6.6.1 针合成参数 114 Cm]\5}Py 6.6.7 差分进化 114 `q`ah_ 6.6.8非局部细化 115 >cpv4Pgm 6.6.8.1非局部细化参数 115 RI+Y+z 6.7 我应该使用哪种技术? 116 {Us^4Xe 6.7.1 细化 116 \4>w17qng 6.7.2 合成 117 xm5?C>vu( 6.8 参考文献 117 K4]#X" 7 导纳图及其他工具 118 4|\ 7.1 简介 118 ^nK 7&]rK 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 EdTL]Xk 7.2.1 四分之一波长规则 119 |~#A?mK- 7.2.2 导纳图 120 `PUxR8y 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 p2< 927z 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 +
)z5ai0m 7.5 斜入射导纳图 141 (P=WKZMPN 7.6 对称周期 141 g7^|(!Y% 7.7 参考文献 142 0FLCN!i1 8 典型的镀膜实例 143 @eDs)mY 8.1 单层抗反射薄膜 145 lr[T+nQ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 fwmXIpteK 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ]O{i?tyX 8.4 W-膜层 148 MK1#^9Zr 8.5 V-膜层 149 sAPQbTSM 8.6 V-膜层高折射基底 150 J{\(Y#|rHs 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 vexF|'!}0# 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 A,xPA 8.9 四层抗反射薄膜 153 jE=m4_Ntn 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 >ts}\.(] 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 s5 {B1e 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 gK( G1 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 54B`T/>R:E 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 {'[VL;k 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Zy.A9Bh~ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 N8k=c3| 8.17 1/4波长堆栈 162 XR3 dG: 8.18 陷波滤波器 163 Q2)(tB= ) 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 )q.ZzijG/ 8.20 褶皱 165 D?8(n=#[ 8.21 消偏振分光器1 169 =,C]d~ 8.22 消偏振分光器2 171 /I1n${{5 8.23 消偏振立体分光器 172 p~Cz6n 8.24 消偏振截止滤光片 173 xB[W8gQ6fa 8.25 立体偏振分束器1 174 zGNW5S9G 8.26 立方偏振分束器2 177 )_n(u3' 8.27 相位延迟器 178 b|@zjh;]A7 8.28 红外截止器 179 zg@i7T 8.29 21层长波带通滤波器 180 m @lUJY 8.30 49层长波带通滤波器 181 ~7PiIky. 8.31 55层短波带通滤波器 182 bfEH>pQ># 8.32 47 红外截止器 183 $tI<MZ&Z 8.33 宽带通滤波器 184 U$y wO4. 8.34 诱导透射滤波器 186 ==gL!e{ 8.35 诱导透射滤波器2 188 T31F8K3x 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Qx3eEt@X5] 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 P;-.\VRu 8.35 增益平坦滤波器 193 Fw{68ggk 8.38 啁啾反射镜 1 196 a(*"r:/lD 8.39 啁啾反射镜2 198 m/jyc#
L:u 8.40 啁啾反射镜3 199 ixK9/5T 8.41 带保护层的铝膜层 200 UZmUYSu; 8.42 增加铝反射率膜 201 ?'|GGtvm 8.43 参考文献 202 E2t&@t%W 9 多层膜 204 =cb!2%?} 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 dtTfV.y4w 9.2 内部透过率 204 L+T'TC: 9.3 内部透射率数据 205 o8H\l\( 9.4 实例 206 jcvq:i{ 9.5 实例2 210 t#8QyN 9.6 圆锥和带宽计算 212 $aB`A$'hK 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 n7Bv~?DM 10 光学薄膜的颜色 216 isy[RAP< 10.1 导言 216 Gc*=n*@^K 10.2 色彩 216 2L[!~h2 10.3 主波长和纯度 220 OwPHp&{ Y 10.4 色相和纯度 221 =qoOr~ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 bA2[=6 10.6 色差 226 {dP6fr1z 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 #G?#ot2o 10.8 颜色渲染指数 234 =Ti@Y 10.9 色差计算 235 o0F,!} 10.10 参考文献 236 BzH0"xq^ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 rZ5xQ#IA 11.1 短脉冲 238 |,S]EHIy 11.2 群速度 239 @%*@Rar 11.3 群速度色散 241 EAm31v C 11.4 啁啾(chirped) 245 X2 ;72 11.5 光学薄膜—相变 245 "VHT5k 11.6 群延迟和延迟色散 246 [\ Sd*- 11.7 色度色散 246 !>ZBb\EyK 11.8 色散补偿 249 RJd*(!y 11.9 空间光线偏移 256 kka{u[ruA 11.10 参考文献 258 trjeGSt& 12 公差与误差 260 Z%LS{o~LK. 12.1 蒙特卡罗模型 260 ]Ol
w6W?% 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ^_V0irv 12.2.1 误差工具 267 ;;rx)|\<R 12.2.2 灵敏度工具 271 uPN^o.,/. 12.2.2.1 独立灵敏度 271 C`3XOth 12.2.2.2 灵敏度分布 275 &'i>d& 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 \fSruhD 12.3 参考文献 276 $!!y v'K 13 Runsheet 与Simulator 277 ]\>MDH 13.1 原理介绍 277 !>!jLZ0 13.2 截止滤光片设计 277 ;14Q@yrZ0 14 光学常数提取 289 -:Fr($^ 14.1 介绍 289 $G}k'[4C 14.2 电介质薄膜 289 7<(U`9W/q 14.3 n 和k 的提取工具 295 #K$0%0=M 14.4 基底的参数提取 302
._;It198f 14.5 金属的参数提取 306 %}-ogi/c 14.6 不正确的模型 306 [;
$:Lr 14.7 参考文献 311 6Fk[wH7 15 反演工程 313 *%_M?^ 15.1 随机性和系统性 313 `WxGU 15.2 常见的系统性问题 314 tj8o6N# 15.3 单层膜 314 2$b1q!g< 15.4 多层膜 314 qC& xuu| 15.5 含义 319 3m21n7F4* 15.6 反演工程实例 319 ){u#
(sW 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 FEopNDy@y 15.6.2 反演工程提取折射率 327 k%sA+= 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 rW~G' 16.1 光学性质的热致偏移 329 iWUxB28 16.2 应力工具 335 Z$m&F0g 16.3 均匀性误差 339 x
0vW9*& 16.3.1 圆锥工具 339 {- MhhRa5 16.3.2 波前问题 341 )[&j&AI 16.4 参考文献 343 prIJjy-F 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 B=X_c5 17.1 引言 345 Aq(, 17.2 操作数 345 (U.VCSn 18 如何在Function中编写脚本 351 =KnHa.% 18.1 简介 351 (tzAUrC 18.2 什么是脚本? 351 cZrJW
18.3 Function中脚本和操作数对比 351 **6X9ZIX[ 18.4 基础 352 %)^0NQv
18.4.1 Classes(类别) 352 ogdAJw6 9 18.4.2 对象 352 <3=k 18.4.3 信息(Messages) 352 TC:t!: 18.4.4 属性 352 .>y3`,0h 18.4.5 方法 353 I3l1 _ 18.4.6 变量声明 353 la]Zk 18.5 创建对象 354 8jLO-^X<< 18.5.1 创建对象函数 355 z!~{3M 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 (~b0-3s 18.5.3 丢弃对象 356 gKPqU @$* 18.5.4 总结 356 uIJ
zz4 18.6 脚本中的表格 357 A/j'{X!z
18.6.1 方法1 357 :O;uP_r9 18.6.2 方法2 357 [t5D d 18.7 2D Plots in Scripts 358 +J}h 18.8 3D Plots in Scripts 359 !#WJ(zSq 18.9 注释 360 ^c sOXP=Yp 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 kh>i#9Ie 18.11 一个更高级的脚本 362 pSpxd|k 18.12 <esc>键 364 5Ak>/QF9 18.13 包含文件 365 &23t/` 18.14 脚本被优化调用 366 *NIhYg6 18.15 脚本中的对话框 368 OnE~0+ 18.15.1 介绍 368 y#lg)nB 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ADA*w 1 18.15.3 输入框函数 370 g8Zf(" 18.15.4 自定义对话框 371 %B Rll 18.15.5 对话框编辑器 371 (*!4O>] 18.15.6 控制对话框 377 j2%#xZ{33 18.15.7 更高级的对话框 380 H<`7){iG 18.16 Types语句 384 @=l.J+lh 18.17 打开文件 385 P?iQ{x}w~ 18.18 Bags 387 -kzg(+sm 18.13 进一步研究 388 NX<Q}3cC 19 vStack 389 T\T>\&nY+| 19.1 vStack基本原理 389 qNbgN{4 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 bLz('mUY 19.3 五棱镜 393 L0xh?B 19.4 光束距离 396 d1d:5b 19.5 误差 399 LO,k'gg< 19.6 二向分色棱镜 399 B]cV|S| 19.7 偏振泄漏 404 JB!KOzw 19.8 波前误差—相位 405 x[YW 3nF 19.9 其它计算参数 405 Dt+uf5o( 20 报表生成器 406 1f5;^T
I 20.1 入门 406 8d\/ 20.2 指令(Instructions) 406 ZL- ` 3x 20.3 页面布局指令 406 s#)tiCSVW 20.4 常见的参数图和三维图 407 L>2gx$f 20.5 表格中的常见参数 408 &vS @-K 20.6 迭代指令 408 k.#[h@Pm 20.7 报表模版 408 G%fNGQwT 20.8 开始设计一个报表模版 409 ~`Rooh3m 21 一个新的project 413 e&XJK*Wf 21.1 创建一个新Job 414 0Y ld!L 21.2 默认设计 415 dw< b}2 21.3 薄膜设计 416 uB3Yl=P 21.4 误差的灵敏度计算 420 N< 7 21.5 显色指数计算 422 14rX:z 21.6 电场分布 424 o7s<G8;? 后记 426 EcmyY,w QU^?a~r (C8r^m|A 对此镀膜书有兴趣,可以扫码加微联系 YH$whJ`W0
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