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e&|'I" 内容简介 LiC*@W Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 !fV+z%: 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 7X`g,b! 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 c?(4t67| ^H p; .f. 讯技科技股份有限公司 'Cb6Y#6
jnkR}wAA 目录 I13y6= d Preface 1 J|W<; 内容简介 2 2prU 目录 i @+&LYy72 1 引言 1 P>y@kPi 2 光学薄膜基础 2 m<<+ 2.1 一般规则 2 QGMV}y 2.2 正交入射规则 3 pQyK={7?` 2.3 斜入射规则 6 a
kk NI3 2.4 精确计算 7 fF!Yp iI" 2.5 相干性 8 ]{;gw<T 2.6 参考文献 10 Q4#.X=.d 3 Essential Macleod的快速预览 10 _>o:R$ %} 4 Essential Macleod的特点 32 -vAC"8)S 4.1 容量和局限性 33 aG-vtld 4.2 程序在哪里? 33 3<e=g)F 4.3 数据文件 35 lne|5{h 4.4 设计规则 35 [7:,?$tC 4.5 材料数据库和资料库 37 DHg:8%3x 4.5.1材料损失 38 *[Imn\hu 4.5.1材料数据库和导入材料 39 7zl5yKN 4.5.2 材料库 41 2,y|EpG# 4.5.3导出材料数据 43 77 Q5d"sIi 4.6 常用单位 43 mtpeRVcF 4.7 插值和外推法 46 F0m-23[H 4.8 材料数据的平滑 50 ^7`BP%6 4.9 更多光学常数模型 54 (=FRmdeYl1 4.10 文档的一般编辑规则 55 3xy<tqfr 4.11 撤销和重做 56 WSPI|#Xr% 4.12 设计文档 57 zF@/K` 4.10.1 公式 58 _f7 9wx\B 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 "-E\[@/ 4.10.3 沉积密度 59 _kC-dEGf!y 4.10.4 平行和楔形介质 60 w$>u b@= 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 FBG4pb9=~ 4.10.4 性能 61 oe ~'o' 4.10.5 保存设计和性能 64 #]-SJWf3 4.10.6 默认设计 64
>^O7 4.11 图表 64 tb 5`cube 4.11.1 合并曲线图 67 mwO6g~@` 4.11.2 自适应绘制 68 qRu~$K 4.11.3 动态绘图 68 qfX6TV5J}! 4.11.4 3D绘图 69 mupT<_Y 4.12 导入和导出 73 :S]\0;8] 4.12.1 剪贴板 73 s `e{}\ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 }czrj%6 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ~\r* 4.13 背景 77 ,S\CC{! 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 &L3M] 4.15 生成Rugate 84 O4 w(T 4.16 参考文献 91 1l9G[o
* 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 &Hrj3E 5.1 Jobs 92 D=TvYe 5.2 创建一个新Job(工作) 93 2bz2KB5> 5.3 输入材料 94 V( }:=eK 5.4 设计数据文件夹 95 z,RhYm 5.5 默认设计 95 OUE(I3_ 6 细化和合成 97 )Dms 6.1 优化介绍 97 ]43/`FX 6.2 细化 (Refinement) 98 {.`vs;U 6.3 合成 (Synthesis) 100 Od,=mO*.Q 6.4 目标和评价函数 101 rDtY[ 6.4.1 目标输入 102 SV4E0c> 6.4.2 目标 103 ` #0:gEo 6.4.3 特殊的评价函数 104 *9
{PEx 6.5 层锁定和连接 104 7lTC{7C57 6.6 细化技术 104 5; C| 6.6.1 单纯形 105 ]dVGUG8 6.6.1.1 单纯形参数 106 t6rRU~;} 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Fk7?xc 6.6.2.1 Optimac参数 108 39c2pV[ 6.6.3 模拟退火算法 109 '(6z.
toQ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 XE RUo 6.6.4 共轭梯度 111 #I.+aV+2oQ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 5{TsiZh4 6.6.5 拟牛顿法 112 qfF~D0} 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 3qgS&js 7 6.6.6 针合成 113 _1X!EH" 6.6.6.1 针合成参数 114 Xc++b|k 6.6.7 差分进化 114 ?Rb9|`6 6.6.8非局部细化 115 P.se'z)E 6.6.8.1非局部细化参数 115 N>uRf0E> 6.7 我应该使用哪种技术? 116 e}voV0y\v: 6.7.1 细化 116 h#I>M`| 6.7.2 合成 117 s3N'02G 6.8 参考文献 117 8qoMo7-f 7 导纳图及其他工具 118 ]2A^1Del 7.1 简介 118 B^=-Z8 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 -12UN(&&Z 7.2.1 四分之一波长规则 119 @)F )S7 7.2.2 导纳图 120 299H$$WS,Z 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Xfc-UP|} 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 `?H]h"{7Q 7.5 斜入射导纳图 141 2y\E[j A 7.6 对称周期 141 umBICC]CU 7.7 参考文献 142 J`Q>3]wL 8 典型的镀膜实例 143 &N9
a<w8+ 8.1 单层抗反射薄膜 145 Y;eZ9|Ht9 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ^S<Y>Nm] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 u2I*-K 8.4 W-膜层 148 BU)U/A8iS 8.5 V-膜层 149 D>r&}6< 8.6 V-膜层高折射基底 150 7O2/z:$f 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 uh_RGM& 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 O^PKn_OJ 8.9 四层抗反射薄膜 153 "V7K SO 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 k8yEdi` 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 OF>mF~ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ?PxP% $hS 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 .~db4d] 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Y|m+dT6 8.15十五层宽带抗反射膜 159 t?X877z 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 *U- 4Sy 8.17 1/4波长堆栈 162 h8j.( 8.18 陷波滤波器 163 mM~qBrwL 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Mexk~zA^ 8.20 褶皱 165 t,Lrfv]) 8.21 消偏振分光器1 169 :k]1Lm|| 8.22 消偏振分光器2 171 fm%t^)E 8.23 消偏振立体分光器 172 LrfVh-}|:Y 8.24 消偏振截止滤光片 173 dbLZc$vPj 8.25 立体偏振分束器1 174 fb7; |LF
8.26 立方偏振分束器2 177 &AMl:@p9 8.27 相位延迟器 178 LP^$AAy 8.28 红外截止器 179 7Die
FZ? 8.29 21层长波带通滤波器 180 L+F@:H6/0 8.30 49层长波带通滤波器 181 ~NgA 8.31 55层短波带通滤波器 182 y1 DL,%j 8.32 47 红外截止器 183 :VBV&l`
[ 8.33 宽带通滤波器 184 JG.y,<xW 8.34 诱导透射滤波器 186 M^Yh|%M 8.35 诱导透射滤波器2 188 bP#:Oi0v` 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 A 'be8 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 g/_5unI}u 8.35 增益平坦滤波器 193 2|y"!JqE1 8.38 啁啾反射镜 1 196 m 0C@G5 8.39 啁啾反射镜2 198 hag$GX'2k 8.40 啁啾反射镜3 199 @7c?xQVd$ 8.41 带保护层的铝膜层 200 !n!*/[}X 8.42 增加铝反射率膜 201 ,t744k') 8.43 参考文献 202 N% B>M7-= 9 多层膜 204 Es`Px_k 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 F<1fX 7c 9.2 内部透过率 204 nAato\mM 9.3 内部透射率数据 205 G>=*yqo
9.4 实例 206 ?<,l3pwqa 9.5 实例2 210 l30EKoul) 9.6 圆锥和带宽计算 212 \K{
z 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 xu%k~4cB, 10 光学薄膜的颜色 216 >uB?rGcM 10.1 导言 216 zk+9'r`-D 10.2 色彩 216 (m}'4et~L 10.3 主波长和纯度 220 Q*cf( 10.4 色相和纯度 221 2.y-48Nz 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 U>SShpmZA 10.6 色差 226 E=Bf1/c\ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 y<3-?}.aZ 10.8 颜色渲染指数 234 !F-w3
] 10.9 色差计算 235 fbvL7*
( 10.10 参考文献 236 D)P ._? 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 # w4-aJ 11.1 短脉冲 238 ^
+\dz 11.2 群速度 239 `RW HN/U 11.3 群速度色散 241 }v{LRRi 11.4 啁啾(chirped) 245 MchA{p&Ol 11.5 光学薄膜—相变 245 (lqC[: 11.6 群延迟和延迟色散 246 G!##X: 6' 11.7 色度色散 246 @1j
11.8 色散补偿 249 %2{ye
11.9 空间光线偏移 256 =XQ%t
@z0 11.10 参考文献 258 ,qwuLBW 12 公差与误差 260 C): 1?@ 12.1 蒙特卡罗模型 260 ]/6z;
~3U 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 G*MUO#_iuh 12.2.1 误差工具 267 o/)h"i0P 12.2.2 灵敏度工具 271 G_JA-@i% 12.2.2.1 独立灵敏度 271 q?:dCFw$x5 12.2.2.2 灵敏度分布 275 .Hm>i 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Jpq~ 12.3 参考文献 276 y^*~B(T{ 13 Runsheet 与Simulator 277 r5/0u(\LB 13.1 原理介绍 277 ^76]0`gS 13.2 截止滤光片设计 277 f~[7t:WD* 14 光学常数提取 289 gJ{)-\ 14.1 介绍 289 ?^{Ah}x 14.2 电介质薄膜 289 P+sW[: 14.3 n 和k 的提取工具 295 kTB0b*V 14.4 基底的参数提取 302 i]4I [! 14.5 金属的参数提取 306 gD?l-RT> 14.6 不正确的模型 306 =qIp2c}Rx 14.7 参考文献 311 >=>2m2z= 15 反演工程 313 j$:~Rek 15.1 随机性和系统性 313 ru%y 15.2 常见的系统性问题 314 "sCRdx]_ 15.3 单层膜 314 xo&_bMO 15.4 多层膜 314 <lPG=Xt 15.5 含义 319 _VN?#J)o 15.6 反演工程实例 319 TdMruSY 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 `h\j99 15.6.2 反演工程提取折射率 327 L*+@>3mu) 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ^CX6&d 16.1 光学性质的热致偏移 329 3
i0_hZ 16.2 应力工具 335 +'a^f5 16.3 均匀性误差 339 P@B] 16.3.1 圆锥工具 339 kzLsoZ!I 16.3.2 波前问题 341 ND;#7/$> 16.4 参考文献 343 LL!Dx%JZ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 m
s\} 17.1 引言 345 fr3d 17.2 操作数 345 WT=;: j 18 如何在Function中编写脚本 351 <'*LRd$1 18.1 简介 351 7$=InK 18.2 什么是脚本? 351 VA5xp] 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 f6Ah6tb 18.4 基础 352 HV|,}Wks6s 18.4.1 Classes(类别) 352 RrB&\9= 18.4.2 对象 352 t~XN}gMxw 18.4.3 信息(Messages) 352 NLqzi%s 18.4.4 属性 352 abj Q)=u 18.4.5 方法 353 EQM{ 18.4.6 变量声明 353 cwg"c4V 18.5 创建对象 354 D,feF9 18.5.1 创建对象函数 355 7:1Lol-V 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 jLluj 18.5.3 丢弃对象 356 ICQKP1WFp 18.5.4 总结 356 Lf&kv7Wj 18.6 脚本中的表格 357 5b*C1HS@X 18.6.1 方法1 357 y)@wjH{6 18.6.2 方法2 357 GTd,n= 18.7 2D Plots in Scripts 358 W6Fo6a"< 18.8 3D Plots in Scripts 359 f:}
x7_Q 18.9 注释 360 ]=BB# 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 z}
#JK?u 18.11 一个更高级的脚本 362 0 H:X3y+ 18.12 <esc>键 364 hgq;`_;1, 18.13 包含文件 365 ~DwpoeYX 18.14 脚本被优化调用 366 [(lW^- 18.15 脚本中的对话框 368 H:|uw 18.15.1 介绍 368 ;V!D:5U 18.15.2 消息框-MsgBox 368 MQ2}EY*A 18.15.3 输入框函数 370 2^7`mES 18.15.4 自定义对话框 371 HRA|q 18.15.5 对话框编辑器 371 ~"!fP3"e 18.15.6 控制对话框 377 2,b$7xaf 18.15.7 更高级的对话框 380 l/5
hp. 18.16 Types语句 384 6gDN`e,@ 18.17 打开文件 385 H5|;{q:j 18.18 Bags 387 hZb_P\1X 18.13 进一步研究 388 RA 6w}:sq7 19 vStack 389 ~n_HP_Kf? 19.1 vStack基本原理 389 8s@3hXD& 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 :ws<-Qy 19.3 五棱镜 393 ?@x/E& 19.4 光束距离 396 xmoxZW: 19.5 误差 399 Vurqt_nb 19.6 二向分色棱镜 399 }GM'.yutX 19.7 偏振泄漏 404 ]SEZaT 19.8 波前误差—相位 405 #'`{Qv0,
19.9 其它计算参数 405 ;_=&-mz 20 报表生成器 406 HzsdHH(J 20.1 入门 406 [-w%/D%@ 20.2 指令(Instructions) 406 %]i15;{X 20.3 页面布局指令 406 h";L 20.4 常见的参数图和三维图 407 c71y'hnT 20.5 表格中的常见参数 408 "[N!m1i:{ 20.6 迭代指令 408 {!`6zBsP 20.7 报表模版 408 x+]" 20.8 开始设计一个报表模版 409 2~V*5~fb 21 一个新的project 413 Fr-SvsNFB 21.1 创建一个新Job 414 ['D]>Ot68 21.2 默认设计 415 Lw,h+@0 21.3 薄膜设计 416 zt%Mx>V@ 21.4 误差的灵敏度计算 420 >\8+:oS^ 21.5 显色指数计算 422 LzL
So"n 21.6 电场分布 424 8P`"M#fI 后记 426 *
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