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~f[91m!+ 内容简介 z<s4-GJ)? Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 @-BgPDi.Z 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 'q*:+|" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 UE/N-K)`
+( V+XT 讯技科技股份有限公司 ATf{;S}
Q)ZkUmW 目录 x^JjoI2vf Preface 1 W'M\DKJ? 内容简介 2 }{@RO./)[ 目录 i 0%5x&vx'S 1 引言 1 :@q9ll`6u 2 光学薄膜基础 2 *!x/ia9 2.1 一般规则 2 My\ 2.2 正交入射规则 3 f>C|qDmT 2.3 斜入射规则 6 o)IcAqN$H 2.4 精确计算 7 AZadNuL/ 2.5 相干性 8 4r>buEU 2.6 参考文献 10 9{5 c}bX 3 Essential Macleod的快速预览 10 rFR2c?j8 4 Essential Macleod的特点 32 _\2^s&iJh 4.1 容量和局限性 33 *oz=k 4.2 程序在哪里? 33 QTjOLK$e$ 4.3 数据文件 35 i4oBi]$T 4.4 设计规则 35 rCO:39L- 4.5 材料数据库和资料库 37 d<l-Ldle 4.5.1材料损失 38 Y/w) VV 4.5.1材料数据库和导入材料 39 2-M]!x) 4.5.2 材料库 41 7c Gq.U 4.5.3导出材料数据 43 yy-\$<j 4.6 常用单位 43 Kq`"}&0b\ 4.7 插值和外推法 46 nW
(wu!2 4.8 材料数据的平滑 50 wuTCdBu6hU 4.9 更多光学常数模型 54 iXDQ2&gE* 4.10 文档的一般编辑规则 55 :cK;|{f 4.11 撤销和重做 56 u3H2\< 4.12 设计文档 57 >}ozEX6c2 4.10.1 公式 58 +kTa>U<? 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 8M;G@ Q80 4.10.3 沉积密度 59 q3E_.{t 4.10.4 平行和楔形介质 60 !j.jvI%e; 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 E5 0$y: 4.10.4 性能 61 20f):A6 4.10.5 保存设计和性能 64 /< CjBW: 4.10.6 默认设计 64 GcPhT 4.11 图表 64 <XxFR 4.11.1 合并曲线图 67 >AW=N 4.11.2 自适应绘制 68 cnOk 4.11.3 动态绘图 68 :B'}#;8_
4.11.4 3D绘图 69 ${ ~UA6 4.12 导入和导出 73 m!:7ur:Y 4.12.1 剪贴板 73 (;a
O% 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 )8yee~+TN 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 szwXr 4.13 背景 77 8P!dk5,,O 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 MOG[cp 4.15 生成Rugate 84 ~&~%q u 4.16 参考文献 91 d/(=q 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 j#U?'g 5.1 Jobs 92 43-%")bH 5.2 创建一个新Job(工作) 93 8y!fqXm%) 5.3 输入材料 94 38Z"9 5.4 设计数据文件夹 95 H+3I[`v 5.5 默认设计 95 5
^iU1\(L 6 细化和合成 97 k&DHQvfB 6.1 优化介绍 97 \sC0om, 6.2 细化 (Refinement) 98 )
ZOmv 6.3 合成 (Synthesis) 100 KF'H|)!K 6.4 目标和评价函数 101 x[}e1sXXs 6.4.1 目标输入 102 >UJ&noUD#: 6.4.2 目标 103 c)SSi@<
cv 6.4.3 特殊的评价函数 104 "`"j2{9|e! 6.5 层锁定和连接 104 Xt=& 6.6 细化技术 104 nHKEtKDd 6.6.1 单纯形 105 }C7tlA8,7 6.6.1.1 单纯形参数 106 dtM@iDljj 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 _T5~B"* 6.6.2.1 Optimac参数 108 9zO3KT2 6.6.3 模拟退火算法 109 ,mYoxEB kl 6.6.3.1 模拟退火参数 109 vo`wYJ3W 6.6.4 共轭梯度 111 ].dTEzL9X 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 @?Y^=0 6.6.5 拟牛顿法 112 ]QT0sGl 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 {|xwvTlJ 6.6.6 针合成 113 0uU%jN$ 6.6.6.1 针合成参数 114 /"CKVQ 6.6.7 差分进化 114 @LL&ggV? 6.6.8非局部细化 115 SC2C%.%l` 6.6.8.1非局部细化参数 115 F` I-G~e 6.7 我应该使用哪种技术? 116 EkSTN 6.7.1 细化 116 iW"L!t#\| 6.7.2 合成 117 F41!Dj7 6.8 参考文献 117 rY!uc! 7 导纳图及其他工具 118 ZVp\5V* 7.1 简介 118 0!vC0T[ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
kw-/h+lG 7.2.1 四分之一波长规则 119 fSqbGoIQ 7.2.2 导纳图 120 M+hc,;6 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 oLr"8R\d>t 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 X^|oY]D 7.5 斜入射导纳图 141 Etu>z+P! 7.6 对称周期 141 BXfaqYb;Q 7.7 参考文献 142 p fBO5Ys 8 典型的镀膜实例 143 3(5RUI- 8.1 单层抗反射薄膜 145 btOTDqG`a 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 @eTsS%f2 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 "{x~j\< 8.4 W-膜层 148 |Lhz^5/ 8.5 V-膜层 149 T![K
i 8.6 V-膜层高折射基底 150 /2@%:b) 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 amBz75N{ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 rp'fli?0e 8.9 四层抗反射薄膜 153 d(@A 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 b(SV_.4,' 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 b<F 4_WF 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 VNYLps@4H 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 4*+EUJ| 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ,g,jY]o 8.15十五层宽带抗反射膜 159 pK8nzGQl7 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 p_z"Uwp 8.17 1/4波长堆栈 162 -ufmpq. 8.18 陷波滤波器 163 <{) 4gvH 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 MtYP3: 8.20 褶皱 165 nUd\4;J# 8.21 消偏振分光器1 169 *2AQ'%U~ 8.22 消偏振分光器2 171 )2FO+_K?T 8.23 消偏振立体分光器 172 Dz50,*}J 8.24 消偏振截止滤光片 173 gNqV>p 8.25 立体偏振分束器1 174 zJnVO$A' 8.26 立方偏振分束器2 177 Un/fP1 8.27 相位延迟器 178 {;4PP463 8.28 红外截止器 179 _#gsR"FZ$ 8.29 21层长波带通滤波器 180 aqM_t 8.30 49层长波带通滤波器 181 og\XLJ}_ 8.31 55层短波带通滤波器 182 U2AGH2emw 8.32 47 红外截止器 183 t3GK{X 8.33 宽带通滤波器 184 Pu^~]^W) 8.34 诱导透射滤波器 186 *(`.h\+ 8.35 诱导透射滤波器2 188 O5{XT]: 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 s =5H.q%PV 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 iTt=aQjd 8.35 增益平坦滤波器 193 <kSaSW 8.38 啁啾反射镜 1 196 W<LaR,7 8.39 啁啾反射镜2 198 z}8YrVr@ 8.40 啁啾反射镜3 199 "B}08C,? 8.41 带保护层的铝膜层 200 GiZ'IDV 8.42 增加铝反射率膜 201 YW{V4yW 8.43 参考文献 202 pHvE`s"Ea 9 多层膜 204 v 2 GhR* 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 .zAafi0 9.2 内部透过率 204 -{*V)J_Co 9.3 内部透射率数据 205 vs@:L)GW\
9.4 实例 206 s4$m<"~ 9.5 实例2 210 '&QT}B 9.6 圆锥和带宽计算 212 u}1vn} F{ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 7S2F^,w 10 光学薄膜的颜色 216 'U"3'jh 10.1 导言 216 z{g<y^Im+E 10.2 色彩 216 oPy zk7{ 10.3 主波长和纯度 220 8@aS9th$ 10.4 色相和纯度 221 4) 3pa* 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 na3kHx@ 10.6 色差 226 X{xJ*T y' 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 N ]7a= 10.8 颜色渲染指数 234 a1`cI5n 10.9 色差计算 235 arLl8G[ 10.10 参考文献 236 4) iEj 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 G
r|@CZq 11.1 短脉冲 238 OZ;E&IL 11.2 群速度 239 Zax]i,Bx 11.3 群速度色散 241 =+h!JgY/L 11.4 啁啾(chirped) 245 C9H11g7{ 11.5 光学薄膜—相变 245 4_%FSW8- 11.6 群延迟和延迟色散 246 GQ0 (&I 11.7 色度色散 246 G^ZkY 11.8 色散补偿 249 ePRM v 11.9 空间光线偏移 256 ba9<(0` 11.10 参考文献 258 !;*2*WuO; 12 公差与误差 260 U9o*6`"o 12.1 蒙特卡罗模型 260 m90R8 V 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 eH!|MHe 12.2.1 误差工具 267 6&QTVdK'O 12.2.2 灵敏度工具 271 m=.7f9 12.2.2.1 独立灵敏度 271 h==GdS4 12.2.2.2 灵敏度分布 275 `O=;E`ep 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 iB3+KR 12.3 参考文献 276 '}`hY1v 13 Runsheet 与Simulator 277 0*;9CH=BE 13.1 原理介绍 277 !$xEX,vj|W 13.2 截止滤光片设计 277 K}=8:BaUL 14 光学常数提取 289 y [9}[NMZ 14.1 介绍 289 \Tf{ui 14.2 电介质薄膜 289 eAYW%a 14.3 n 和k 的提取工具 295 M}oj!xGB 14.4 基底的参数提取 302 q AVfbcb 14.5 金属的参数提取 306 31sgf5 s 14.6 不正确的模型 306 FJ%R3N\ 14.7 参考文献 311 4Eh BpTg
15 反演工程 313 b)hOzx 15.1 随机性和系统性 313 l6B ^sc*@ 15.2 常见的系统性问题 314 KvJP(!{ 15.3 单层膜 314 Q xF8=p 15.4 多层膜 314 &Y>~^$`J 15.5 含义 319 VtzmY 15.6 反演工程实例 319 8cBW] \ v 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 _IKP{WNB 15.6.2 反演工程提取折射率 327 9Oo*8wvGG 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ]b~2Dap 16.1 光学性质的热致偏移 329 ioY\8i 16.2 应力工具 335 {8Jk=)(md 16.3 均匀性误差 339 V0'p1J tD 16.3.1 圆锥工具 339 `^bvj]>l 16.3.2 波前问题 341 SeZT4y*= 16.4 参考文献 343 c7l!G~yx' 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 (-'0g@0UA 17.1 引言 345 -m'3L7: 17.2 操作数 345 #:vDBP05.m 18 如何在Function中编写脚本 351 :YJ7J4 18.1 简介 351 [5p7@6:$u 18.2 什么是脚本? 351 KB,~u*~! 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 BtpjQNN 18.4 基础 352 }u3H4S<o 18.4.1 Classes(类别) 352 $>h!J.t 18.4.2 对象 352 kJvy<(iG 18.4.3 信息(Messages) 352 %I|+_ z&x 18.4.4 属性 352 {c\oOM<7 18.4.5 方法 353 ,'1Olu{v[s 18.4.6 变量声明 353 IGK_1@tq 18.5 创建对象 354 w-'D*dOi 18.5.1 创建对象函数 355 'e<HP Ni) 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ]EVe@ 18.5.3 丢弃对象 356 5 <)gCHa 18.5.4 总结 356 KXx@
{cv 18.6 脚本中的表格 357 N+C)/EN$ 18.6.1 方法1 357 wKi}@|0[@ 18.6.2 方法2 357 4l%?mvA^m 18.7 2D Plots in Scripts 358 tJh3$K\ 18.8 3D Plots in Scripts 359 3!"b
guE 18.9 注释 360 YM`:L 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ph8Jn+|E 18.11 一个更高级的脚本 362 -l P ) 18.12 <esc>键 364 '?`@7Eol 18.13 包含文件 365 ER;lkF`RF 18.14 脚本被优化调用 366 l6S19Kv 18.15 脚本中的对话框 368 Rg8m4x w 18.15.1 介绍 368 %<=w [*i 18.15.2 消息框-MsgBox 368 u8<&F`7j 18.15.3 输入框函数 370 s0\f9D 18.15.4 自定义对话框 371 \f /! 18.15.5 对话框编辑器 371 z|G|Y 22 18.15.6 控制对话框 377 /jZaU` 18.15.7 更高级的对话框 380 l`v
+sV^1 18.16 Types语句 384 7z/(V\9B 18.17 打开文件 385 2xL!PR- 18.18 Bags 387 a+YR5*&[OO 18.13 进一步研究 388 Q3NPwM 19 vStack 389 3WO#^}t 19.1 vStack基本原理 389 rR,+G%[(=4 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 |8DH4*y! 19.3 五棱镜 393 6Q.{llO 19.4 光束距离 396
JVUZ}#O 19.5 误差 399 xf V,==uF 19.6 二向分色棱镜 399 08Pt(kzNA 19.7 偏振泄漏 404 ih+*T1#:( 19.8 波前误差—相位 405 7]/dg*A )C 19.9 其它计算参数 405 ,>bGbx 20 报表生成器 406 YM# 20.1 入门 406 .0nn0)" 20.2 指令(Instructions) 406 ;NiArcAS! 20.3 页面布局指令 406 3~[`[4n^ 20.4 常见的参数图和三维图 407 4|zdXS 20.5 表格中的常见参数 408 )K>Eniou 20.6 迭代指令 408 =_$XP 20.7 报表模版 408 tr6jh=
20.8 开始设计一个报表模版 409 w+Z- -@\ 21 一个新的project 413 RLYU\@kK? 21.1 创建一个新Job 414 8iMF 8\ 21.2 默认设计 415 XKz;o^1a^ 21.3 薄膜设计 416 ~-XOvKJb 21.4 误差的灵敏度计算 420 Fb<n0[m 21.5 显色指数计算 422 g
,/a6M 21.6 电场分布 424 [,OJX
N-4s 后记 426 ,s1&O` :r1;}hIA9 Qqd6.F 对此镀膜书有兴趣,可以扫码加微联系 ioB|*D<U2
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