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摘要 9;Ox;;w #K Xa&C 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 d'$T4yA MP 2~;T}~
/)(#{i* Jesjtcy<* 本用例展示了...... rT5Ycm@ •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: ~UjGSO)z} - 矩形光栅界面 e\JojaV - 过渡点列表界面
{=QiZWu - 锯齿光栅界面 q**G(}K - 正弦光栅界面 /_Z652@ •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 W.0L:3<" :WL'cJ9a 光栅工具箱初始化 "D=P8X&vs •初始化 3*)ig@e6 - 开始 `zXO_@C 光栅 EEZw_ 1 通用光栅光路图 ,|plWIl~ •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, )!:Lzi 可直接选择特定的光路图。 I=9!Rs(QF g[7#w,o
16i"Yg!* mAW,?h 光栅结构设置 *9c!^$V •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 }HYjA4o\A
(BfgwC) •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 uDSxTz{ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 G0;XaL: e-*.Ca
X>.
NFB JEgx@};O •例如,选择第一个界面上的堆栈。 ['*8IWg 0,rTdjH7 堆栈编辑器 m[@Vf9 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 6]pX>Xho •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 Ttc[Q]Ri 0`A~HH}
Xy &uZ
pzgSg[| 矩形光栅界面 $aPfGZ<i _#}n~}d •一种可能的界面是矩形光栅界面。 F.=Bnw/- •此类界面适用于简单二元结构的配置。 a~!G%})'a •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 -,{-bi •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 ^ Dt#$Z •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 qTo-pAG` N**g]T
0`
fb:j%1WF ZzBQe 矩形光栅界面 WJ9cZL •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 ?EK?b
s •所选界面在视图中以红色突出显示。 5W@jfh)
y&= ALx@ •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 h"[+)q%L •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 l-$uHHyu* Z@%HvB7 •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 |xvy')(b •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 W$Yc'E
; •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 PeE/iZ. 1G'`2ATF* y tf b$;| A
&9(mB
G>+1*\c vuFBET, 矩形光栅界面参数 H7kPM[ •矩形光栅界面由以下参数定义 2{.QjYw^ - 狭缝宽度(绝对或相对) z|(+|pV( - 光栅周期 N9<Ujom - 调制深度 +/;*| •可以选择设置横向移位和旋转。 "A)(" ?}Lg)EFH
GzTq5uU& }O4se"xK 高级选项和信息 08m;{+|vY •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 K!mOr •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 nPgeLG"00 •可以设置总级次数或衰逝波级次数 \rV
B5|D? (evanescent orders)。 ,xT?mt}P •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 |J~eLh[d •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 ^v@4|E$ ?<yM7O,4 =0'q!}._! 5Fm=/o1 •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 A;u" <KG? •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 9cv]y# •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 M#@aB"@J> •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 .\qj;20W 7gS1~Q4\V2 1]T`n /d V HOp-P8z 过渡点列表界面 Fv)7c4 •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 j` /&r*zNq •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 Ij'NC C •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 JkA|Qdj~Mr .M4IGOvOS m2Uc>S 过渡点列表参数 N|2y"5 •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 2`=6 %s
•上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 j,2l8? '?yCq$& FCc=e{ 3v!~ cC~cI •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 gX?n4Csy' •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 G 8Y+w •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 Us~ X9n_F )OsLrq/
?Jtg3AY k,Zm GllQ] 高级选项及信息 `4CWE_k •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 dy>|cj C+MSVc
/LQ:Sv7 i$-#dc2qY 正弦光栅界面 [[)_BmS5r •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 6bZ[Kt •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 ^Dx#7bsDZR •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: ^`qPs/b - 脊的材料:基板的材料 ER{3,0U - 凹槽材料:光栅前面的材料 T_OF7? r5/R5Ga^ XvSIWs S C_|A9 正弦光栅界面参数 "L2 m-e6 - 正弦光栅界面也由以下参数定义: *N/hc •光栅周期 qA/bg •调制深度 ?4)v`* - 可以选择设置横向移位和旋转。 u=qPzmywt - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 {sC=J hs- /axTh 1=Ilej1 3,.%
s 高级选项和信息 p#_[ •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 I*1S/o_xI ".2A9]_s
G"S5ki`o C 7nKk/r 高级选项及信息 ;>2#@QP •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 ]X" / yAn iY.eJlfH Ds5NAp:x 锯齿光栅界面 _q Tpy)+ •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 {&nV4c$v •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 < `Z%O<X •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: te2
Iu%5 z - 脊的材料:基板的材料 ~/`X*n& - 凹槽材料:光栅前面的材料 4-:7.I(hq C;sgK
=wA5P@ B2hfD-h,> 锯齿光栅界面参数 T#iU+)-\% •锯齿光栅界面也由以下参数定义: >x'bZ]gm - 光栅周期 *e<_; Kr? - 调制深度 \mXqak,y •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 _@ i>s, •可以选择设置横向移位和旋转。 !.+"4TF •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 _IYY08&(r ~+m,im8} |R'i:= sA_X<>vAKJ 高级选项和信息 <7gMl •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 Z! YpklZ?~ H%Y%fQ~^ 探测器位置的注释 OKQLv+q5K) 关于探测器位置的注释 !s-/0ugZ •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 `)tK^[,<W •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 _
+KmNfR •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 YkbO&~. •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 yH(V&T |