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摘要 \7OJN
~&< 4r68`<mn[ 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 *%P>x}6w3 BG(R=,
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GQ 2GHXn:V 本用例展示了...... 6\NX
5Gh •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: $.suu^>^w - 矩形光栅界面 lBizC5t!o - 过渡点列表界面 8MYLXW6 - 锯齿光栅界面 UE}8Rkt - 正弦光栅界面 P5yJO97 •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 {[YqGv=fF BLl%D 光栅工具箱初始化 tdMP,0u •初始化 Tx|SAa=V - 开始 ,(;p(#F> 光栅 ~#HH;q_7m 通用光栅光路图 /8P4%[\ •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, |o; j0 可直接选择特定的光路图。 }mtC6G41Q J_y<0zF**
uMiD*6,$< +l[Z2mW 光栅结构设置 l`~a}y "n •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 CYTuj>Ww
Z=e[
!c •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 Qwp\)jVi •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 MHpL$g=5_ gLXvw]
*783xEF>f rC1qGzg\a •例如,选择第一个界面上的堆栈。 6.`} &E " kE:T., 堆栈编辑器 o1p$9PL\: •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 ?:{0 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 A^= Hu,"e H(5ui`' s
Y|x6g(b 'EH 矩形光栅界面 "x=@,*Bk 3
4A&LBwC •一种可能的界面是矩形光栅界面。 5wE !_ng>| •此类界面适用于简单二元结构的配置。 9>.<+b(>!' •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 :(S/$^ U •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 ]Nd'%M •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 XCqfAcNQ 7Y @=x#
6%ti B? 1Hk<_no5 矩形光栅界面 3' :[i2[ •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 qu#@F\gX •所选界面在视图中以红色突出显示。 S#0|#Z5qD
LF-+5` •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 Z>MJ0J76] •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 b3 %& P7BJ?x •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 [r~rIb%Zj •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 v^lm8/}NO •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 9q0,K" x) WKYA9BaR > {LJ#Dc6 QF.wtMGF&
GD6'R"tJ /kviO@jm4( 矩形光栅界面参数 E{k%d39> •矩形光栅界面由以下参数定义 CDTk - 狭缝宽度(绝对或相对) sJYKt - 光栅周期 8L9S^ ' - 调制深度 pS|JDMo •可以选择设置横向移位和旋转。 loqS?b C] >*Qk~kv<%
E<m"en&v "6Hjji@A 高级选项和信息 abk:_ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 ;xkf?| •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 .D2ub/er •可以设置总级次数或衰逝波级次数 +[l{C+p (evanescent orders)。 u!EulAl •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 A&_i]o •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 Dil4ut-$ k^%TJ.y@ xzf)_ < { G>+. •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 "F.J>QBd •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 J`D< •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 TXk"[>,:H •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 [r<
Y0|l,m 7QL) }b.H m5Laq'~0_ E6&uZr 过渡点列表界面 D]>86& •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 c.me1fGn •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 `9"jHw`D •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 ~(doy@0M bA9dbe j~j
V`>A 过渡点列表参数 =VI`CBQ/Um •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 ^~kFC/tQ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 ?B31t9 ++RmaZ $/(/v?3][e sAAIyPJts •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 %RF •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 g=' 2~c •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 9Qm{\ ;og<eK
Wv'B[;[) Uc;IPS 高级选项及信息 I
Y-5/ •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 a+Qj[pS Dg4^
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Rn^N+3o'M k`zK 正弦光栅界面 j:<T<8.o •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 sN/Xofh •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 [
^ \) •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: +?eAaC7s - 脊的材料:基板的材料 j
W]c9u - 凹槽材料:光栅前面的材料 :z5Ibas: 46JP1 n7<-lQRaxZ ~bQ:gArk 正弦光栅界面参数 @)B5^[4(; - 正弦光栅界面也由以下参数定义: NNV.x7 •光栅周期 L.&Vi"M <@ •调制深度 \evgDZf - 可以选择设置横向移位和旋转。 pNme jz: - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 {.'g!{SHp fO|u(e
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w(hAPv ^Q:`2C5 高级选项和信息 3]82gZGG •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 q:eAL'OkM j>=".^J
6EGEwx _E-GHj>k
z 高级选项及信息 W|
eG}` •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 oO,p.X% bJ[1'Es` )CU(~s|s 锯齿光栅界面 _e^V\O> •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 667tL( •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 _$x *CP0( •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: Yhdt8[ 2 - 脊的材料:基板的材料 35\0g& - 凹槽材料:光栅前面的材料 Qx#)c%v\\ G4]``
6!V* :.( 5Ww\h 锯齿光栅界面参数 'Pn`V{a •锯齿光栅界面也由以下参数定义: UzRF'<TWf - 光栅周期 g[Y$SgJ - 调制深度 iTyApLV •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 TMs\#
•可以选择设置横向移位和旋转。 X> KsbOZ •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 e6/} M3B qTex\qP b?^<';,5 ?q6eV~P 高级选项和信息 BF#e=p •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 DA\O,^49h Fs~-exY1 探测器位置的注释 Gj0NN: 关于探测器位置的注释 'f!Jh<i •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 vDL/PXNC •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 *GMRu,u2 •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 "d\8OOU •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 IT"jtV •可以避免这些干涉效应的不良影响。 "*WXr$ <;K/Yv'{r
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