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摘要 0A9llE P'MfuTtT& 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 5+Fr/C k+b!Lw!L
"NWILZwEV Is57)(^.- 本用例展示了......
]wb^5H
•如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: rO4R6A - 矩形光栅界面 RC?gozBFJ - 过渡点列表界面 :+#$=4 - 锯齿光栅界面 W>W b|W - 正弦光栅界面 v,]-;V~< •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 a8nqzuI j.or:nF 光栅工具箱初始化 5,dKha •初始化 GYH{_Fq - 开始 89n\$7Ff9 光栅 b$FK}D5 通用光栅光路图 !y_4.&C{ •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, +guCTGD: 可直接选择特定的光路图。 v
*icoj m-?hHdO
gOb"-;Zw 5?l8;xe`{f 光栅结构设置 %[S-"k •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 CZZwBt$P
KEfN!6 •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 ,i RUR8 •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 -So$f-y O1+OE!w
)O+V ft xB4}9zN s •例如,选择第一个界面上的堆栈。 nIZ;N!r=i <cm(QNdcC 堆栈编辑器 POXd ,ON9 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 ~aBf. •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 @=<B8VPJd Yw(O}U 5e
ibP IT!5c xqSoE[<v 矩形光栅界面 ~cv322N )x5t']w`K •一种可能的界面是矩形光栅界面。 8yCt(ms •此类界面适用于简单二元结构的配置。 _w}l, •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 B)/L[ )S •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 Z1}@N/>> •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 1u8 k} $U=j<^R}a
:%[mc-6. ~n=oPm$pR 矩形光栅界面 !P8Y(i •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 [_HY6gr •所选界面在视图中以红色突出显示。 H|)F-aL[
lxsn(- j •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 ;~,)6UX7 •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 +lplQh@RB j
D kBe-` •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 AXpg_JC •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 2WK c;? •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 DuQW?9^232 \/s0p I:6H65(& &>f]
D wfw|h V_3K((P6 矩形光栅界面参数 (nu;o!mo9 •矩形光栅界面由以下参数定义 D_q"|D$SB - 狭缝宽度(绝对或相对) e_YTh^wU - 光栅周期 _]v@Dq VP - 调制深度 Hp>_:2O8s •可以选择设置横向移位和旋转。 %(1Jt"9| 4#,,_\r
OF} ."a _v[gJ(F 高级选项和信息
7NvnCs •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 0`/CoP<U •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 WF_v>g:g •可以设置总级次数或衰逝波级次数 F'-,Ksn (evanescent orders)。 oFb~|>d •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 5?Ukf$)x •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 s<+;5, Q| *X5<]{7c KV)if' ~ o=kW2Y •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 .ah[!O •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ]D&U}n •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 &+0?Xip{Z •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 e3mFO+ #-i#mbZ e O"X:3srJ` ]!]B7|JFJ 过渡点列表界面 LJ6L#es2 •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 ce[
Maw •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 ~h:(9q8NLC •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 QHxof7 y=0)vi{] "ql$Rz8 过渡点列表参数 F9"Xu-g •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 }eF
r,bJ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 N!fjN >cw lMl'+ yy \ Q^grX $h}5cl •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 nu)YN1
* •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 W^7yh&@lU •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 .D*~UI ][KlEE>W2
AB{zkEuK zwU1(?]I{ 高级选项及信息 Xr:s-L •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 xs&xcRR" dBwoAq`'
/M JI^\CA *\@RBJGF 正弦光栅界面 ftKL#9,s( •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 N/'8W9#6 •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 +f%"O? •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: }g@
'^v - 脊的材料:基板的材料 w+r).PS}C - 凹槽材料:光栅前面的材料 r\cY R}v G[*z,2Kb> x4/{XRQ 6$0<&')Yb 正弦光栅界面参数 3 yw$<lm - 正弦光栅界面也由以下参数定义: QT5pn5+ z •光栅周期 UCXRF •调制深度 fs:yx'mxV - 可以选择设置横向移位和旋转。 9 *uK]/c - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 )&O6d . [?hvx} 9^9-\DG ~ g-( 高级选项和信息 0b/@QgJ •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 LF
@_|oI AloL+eN@
alB'l 0w:
3/WO 高级选项及信息 `N&*+!O% •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 wdAKU+tM (w{T[~6 W9pY=9]p+ 锯齿光栅界面 ,Tu.cg •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 ;c>"gW8 •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 j
RcE241 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料:
W~2,J4= - 脊的材料:基板的材料 gL-kI*Ra - 凹槽材料:光栅前面的材料 8zpzVizDG /t<
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7y&6q`y E 'l=>H#}<B 锯齿光栅界面参数 y/ Bo4fM •锯齿光栅界面也由以下参数定义: E
N%{ $ - 光栅周期 `^,E4Q y - 调制深度 #g0_8>t •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 ;ne`ppz0 •可以选择设置横向移位和旋转。 Pc =ei •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 ]{q=9DczG( Ow*va\0 bS2g4]$'po e@
D}/1~= 高级选项和信息 tW4X+d" •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 V8):! _@y uaMoW= 探测器位置的注释 CuH4~6 关于探测器位置的注释 6u #eLs •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 %qz-b. •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 iN.
GC^l •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 /FE+WA}r •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 fkp(M •可以避免这些干涉效应的不良影响。 xGQP*nZ }nX0h6+1
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