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摘要 9feD!0A Jw:Fj{D 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 vx\nr8'k *Nvy+V
&\[Qm{lN 6P%<[Z 本用例展示了...... '?{0z!! •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: ;f".'9 l^ - 矩形光栅界面 < 72s7*Rv - 过渡点列表界面 DL'd&;6 - 锯齿光栅界面 B#HnPUUK - 正弦光栅界面 lnC!g •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 BGB,Gb ",~ b2]ym 光栅工具箱初始化 j}|N^A_ S •初始化 eZ@Gu
- 开始 K[Yc<Q 光栅 =w',-+@ 通用光栅光路图 "C:rTIH •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, ^H5w41 可直接选择特定的光路图。 /Y;+PAy C+/Eqq^(
9USrgY6_ ,pDp>-vI% 光栅结构设置 H/^~<U#p •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 qxf+#
-]Q3/"Q •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 X!U]`Qh •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 /QrA8 2-8YSHlh
}7iUagN J*}VV9H •例如,选择第一个界面上的堆栈。 v$t{o{3 fzLANya 堆栈编辑器 NlA*\vco •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 -`-ACWeNV •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 - waX#UT= 536^PcJlN
IM[54_I $|Q".dD 矩形光栅界面 F`fGz)Mk 2#'rk'X,K •一种可能的界面是矩形光栅界面。 C@ FxB[ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 IgLVn<5n •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 GMEw •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 TRSOO} •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 H!Wis3S3G $TR=3[j
G5!|y#T i B%XBR 矩形光栅界面 1T!cc%ah •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 e-~hS6p( •所选界面在视图中以红色突出显示。 b+W)2rFO
5_v5 •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 0o;k?4aP.c •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 $X`bm* _i-\mR_~ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 !K!)S^^Po? •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 IZ+*`E •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 D=2~37CzQ1 \'[3^/(' W5pn;u- sz =\M)6"}y}
:b"=KQ I9;xz ES 矩形光栅界面参数 VxNXd? •矩形光栅界面由以下参数定义 |B
9t- - 狭缝宽度(绝对或相对) K-Re"zsz - 光栅周期 NK 8<=
n%" - 调制深度 7kdeYr~<1 •可以选择设置横向移位和旋转。 ,cLH*@ 7@JjjV
bdCykG- 0%/,>IR>r 高级选项和信息 B@d1xjp)'] •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 E\ tL •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 64SW •可以设置总级次数或衰逝波级次数 ^#2xQ5h (evanescent orders)。 '[%jjUU •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 d60c$?"]a( •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 2v4W6R wXz\NGW |ribWCv0 5Wo5n7o •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 ;;M"hI3@ •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 2bkJ /u`i •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 k<!<<,Z •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 Ha?G=X X2LV&oi 7vw;Egd@@- E!uJ6\ 过渡点列表界面 /\d(c/, 4 •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 [M`=HhJ4 •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 ,'=hjIel •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 MBlBMUJk |4Qx=x> 04~}IbeJ 过渡点列表参数 |88CBiu} •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 N0nj` •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 jKS!'? W8y$Ve8m @'
d6iYk_ 7H4L-J3 •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 +^Fp&K+^ •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 4oV
{=~V •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 pzi q0 X~Cq
ZvH?3Jy ,[Ag~.T 高级选项及信息 zz&vfO31J •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 pcnl0o~ [z2eCH
|U EC a_MFQf&KV 正弦光栅界面 ';Nu&D#Ph •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 IytDvz*| •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 nZxSMN0] •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: #~S>K3( - 脊的材料:基板的材料 =HS4I.@c_5 - 凹槽材料:光栅前面的材料 \ADLMj`F| T{tn.sT e?P%wqB ~;8I5Sge 正弦光栅界面参数 4vLw?_". - 正弦光栅界面也由以下参数定义: Wxn#Rk#> •光栅周期 z+
ZG1\ •调制深度 T<6GcI>A - 可以选择设置横向移位和旋转。 x9&p!&*&IT - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 n+rM"Gxz gHZqA_*T8U l!:^6i \E77SO,$ 高级选项和信息 j;+["mi
•同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 z&F5mp@ X8Fzs!L`
Pj&A= `;cz;" 高级选项及信息 *gDl~qNRoS •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 M*(H)i;s:w 7&foEJ3q 5z Kqb 锯齿光栅界面 '%&z.{ •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 -=mwy •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 O1'K>teF% •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: WqQU@sA - 脊的材料:基板的材料 7 >bMzdH - 凹槽材料:光栅前面的材料 iD714+N( V&iS~V0.
P#;Th8k{K2 j^ nu| 锯齿光栅界面参数 ~b6GrY"vB •锯齿光栅界面也由以下参数定义: %Kl(>{N - 光栅周期 e2wvc/gG6 - 调制深度 0>FE% •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 'Wp@b678 •可以选择设置横向移位和旋转。 ;MPKJS68@ •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 RG1\=J$:E \=fh-c(J, F>-}*o $8g42LR' 高级选项和信息 J^:n* C
•同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 9.s,:?5e (NaK3_ 探测器位置的注释 p[qg&VKB 关于探测器位置的注释 Ao"C<.gUYP •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 cz(G]{N •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 6 64q~_@B1 •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 12OlrU •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 ~OCZz$qA •可以避免这些干涉效应的不良影响。 ]0-<> YPEnNt+
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