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摘要 |x*{fXdMhr hyM'x* 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 *O!T!J 4n#YDZ
Q %+} s bs[=LW4 本用例展示了...... VjC*(6<Gj •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: ]Jja - 矩形光栅界面 <>SR 4 - 过渡点列表界面 -mE - 锯齿光栅界面 B:B8"ODV - 正弦光栅界面 >0kmRVd •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 w:ORmR.p PbbXi 光栅工具箱初始化 =X)Q7u".7 •初始化 sM#!Xl; - 开始 tZdwy> ; 光栅 oNiToFbQu 通用光栅光路图 i_[^s:*T •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状,
#;5[('&[ 可直接选择特定的光路图。 IlcNT_
5a8 sKe9at^E]>
jl;kcGE fBHkLRFH 光栅结构设置 'LJ %.DJ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 X{5v?4wI
S4#A#a2J •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 } l :mN •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 f}L>&^I) p2pTs&}S
kS@9c _3S A6@+gP< •例如,选择第一个界面上的堆栈。 pb=jvK o 8~f 堆栈编辑器 g\
8#:@at •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 ,Hik (22 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 S(g<<Te Gk{
"O%AE
a}5vY 7i-W*Mb: 矩形光栅界面 . 1{vpX H$k![K6Uj •一种可能的界面是矩形光栅界面。 "ay,Lr •此类界面适用于简单二元结构的配置。 "sX[p •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 902!M65[rG •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 NDs]}5# •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 *pcbwd!/ .d#G]8suF
tj"v0u?zW wzNt c)~i 矩形光栅界面 %S(#cf!HP •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 h-?q6O/| •所选界面在视图中以红色突出显示。 =0@d|LeZ
)|{1&F1 •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 Z?.p%*>`T= •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 :oon}_MdRd {E3<GeHw4 •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 07T;IV3#C5 •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 3IJI5K_ •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 8Y{}p[UFT C%95~\Ds ^?K?\ ard3yNQt
J1c&"Oh bzj!d|T` 矩形光栅界面参数 [)J49 •矩形光栅界面由以下参数定义 >F\rBc& - 狭缝宽度(绝对或相对) Ch \ed|u - 光栅周期 @KXz4PU - 调制深度 FB= •可以选择设置横向移位和旋转。 } TX'Z?Lq
'QekQ];
iRj x];:Vu }ygbgyLa 高级选项和信息 ?%za:{ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 8@LykJbP •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 ]/VIff •可以设置总级次数或衰逝波级次数 ;qVEI/ (evanescent orders)。 xeP;"J} •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 dl7p1Cr •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 Vm1 c-,)3 P B6/<n9# WJFTy+bD s!o<Pd yJK •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 T`'3Cp$q •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 *l?%
o{ •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 >gi{x|/ •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 b1>$sPJ+ ^%*{:0' =<FZ{4 z`r4edk3 过渡点列表界面 D16;6K'{ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 u,SX`6% •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 piiQ •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 yYg&'3 f+*2K^B |xgCV@ 过渡点列表参数 36Z`.E>~L •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 Z%n.:I<%ZV •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 T#^6u) 3]]6z K^i Dp6"I!L<| nu9k{owB T •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 ZE(RvPW •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 eWk2YP! •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 H=BR
- YK+Z0ry
+#db_k z4fK{S 高级选项及信息 i\z0{;f|GX •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 Pk]9.e1_ [3NV #
:8L61d2( ziGL4c0p 正弦光栅界面 o%>nu •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 KIY_EE$? •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 J& SuUh< •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: <gzMDX[^M - 脊的材料:基板的材料 *7V{yK$O| - 凹槽材料:光栅前面的材料 &>4$ [m>n 2}\sj'0& 4GejT(U I,?LZ_pK 正弦光栅界面参数 2m}]z.w# - 正弦光栅界面也由以下参数定义: Cu<ojN- $ •光栅周期 vKLG9ovlY •调制深度 XxQ2g&USk - 可以选择设置横向移位和旋转。 JkEQ@x - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 0vNM#@ ]>!_OCe& S?WUSx*N g+{MvSj$ 高级选项和信息 GDe$p;#"9g •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 Ek\Zi#f< tXGcwoOB
%['F[Mo F&Z>B}; 高级选项及信息 >CA1Ub&ls •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 8[XNFFUZs tjL#?j O3^@" IY 锯齿光栅界面 A#\X-8/ •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
MQI= •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 }0*7bb •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: ^B]t4N2i - 脊的材料:基板的材料 C_;6-Q%V - 凹槽材料:光栅前面的材料 yw^,@' HKf3eC
WocFID:b q9Wtu7/ 锯齿光栅界面参数 r4'Pf|`u •锯齿光栅界面也由以下参数定义: dDTt _B - 光栅周期 |hAGgo/03 - 调制深度 {643Dz<e •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 WbF\=;$=7 •可以选择设置横向移位和旋转。 PI?[ •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 ^8*.r+7p l K%Hb= NiF*h~q ^|2qD:
; 高级选项和信息 \(s";@ •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 xC]/i(+bA "O{sdVS 探测器位置的注释 [VHt#JuN, 关于探测器位置的注释 `,z{7 0 •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 '>8N'* •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 >3/<goXk7 •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 x4(WvQ%O# •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 y+_U6rv[ •可以避免这些干涉效应的不良影响。 "=)`*"rr F$v
G=3
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