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摘要 Qp2I[Ioz3 _MWM;f`b 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 ^). ) dY"}\v6
24Z]%+b*E {FN;'Uc 本用例展示了...... V@d)?T •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: 5]1leT - 矩形光栅界面 /D_+{dtE - 过渡点列表界面 1! p/6 - 锯齿光栅界面 Wk^RA_ - 正弦光栅界面 ^MD;"A< •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 Aa?I8sbc FFEfp.T1M 光栅工具箱初始化 gPzL*6OSA •初始化 )4xu^=N&as - 开始 ~#}Dx
:HH 光栅 8u2+tB 通用光栅光路图 &V7>1kD3 •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, G6K
< 可直接选择特定的光路图。 #JA}3] HNa]H;-+5
NHw x:-RH Pw@olG'Ah 光栅结构设置 iA!7E;o •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 t ]c{c#N/
kllQca|$4 •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 'f/Lv@]a •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 ql5x2n W[NEe,.>
?IX!+>.H ZX
b}91rzt •例如,选择第一个界面上的堆栈。 Wv!<bT8r 3Dm8[o$Z 堆栈编辑器 ,]Zp+>{
•在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 #>@z
2K7 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 C9Bh@v%90^ ^_p%Yv
=A[5=
k> oJ*1>7[ J 矩形光栅界面 $e\N+~KNCy F5gObIJtuY •一种可能的界面是矩形光栅界面。 q}L+/+b •此类界面适用于简单二元结构的配置。 {bF1\S]2 •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。
tUE'K.- •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 tPuut\ee •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 )_jSG5k 1
[z'G)v
`GQ{*_- OQlG+| 矩形光栅界面 PfW|77 •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 ]!YtH]} •所选界面在视图中以红色突出显示。 6k])Kl J2;
N4^5rrkL •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 FQeYx-7 •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 !UV5zmS =~FG&rk^ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 Mxz,wfaH> •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 `T!#@&+ •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 x.DzViP/ ^!:"Q3 96|[}:+$&: 9$d.P6|d>
Ruh)^g p{;i& HNdp 矩形光栅界面参数 `U`#I,Ln[ •矩形光栅界面由以下参数定义 0=U70nKr - 狭缝宽度(绝对或相对) Lue|Plm[y - 光栅周期 utO.WfWP - 调制深度 (L69{n •可以选择设置横向移位和旋转。 (fk5' >w'$1tc?+F
?{J!#`tfV EO"C8z'al 高级选项和信息 z[!x:# q8` •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 )3E,D~1e% •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 /NBTvTI •可以设置总级次数或衰逝波级次数 X:q_c =X (evanescent orders)。 #n})X,ip2 •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 gT1P*N;v •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 6* rcR] [e"RTTRfZ #1Z7R/ f{Q p •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 F&@ |M( •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 o42`z>~ •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 +g\;bLT •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 OeTu?d&N h
W.2p+ Gbb\h VWvoQf^+ 过渡点列表界面 ^Vo"fI`=C •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 yFeeG3n3 •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 d/j@_3' •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 E 5kF^P n9}RW;N+u h`?k.{})M 过渡点列表参数 E <@\>y.[ •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 uW[3G •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 ,{<Fz% Di.;<v#FL 8M93cyX vl5){@
•必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 t .=Oj •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 1X@b?6 •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 k=uZ=tUft* ZgF/;8!~V-
w~-X>~ } vgk9b!Xd 高级选项及信息 ^
KAG|r9 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 !J#.!}3 `p|[rS>
#]zhZW4 +qE']yzm! 正弦光栅界面 &z ksRX •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 W78o*z[O •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 dQ6GhS~ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: <IH*\q:7 - 脊的材料:基板的材料 U"x~Jb3]O - 凹槽材料:光栅前面的材料 oFyeH )! Q7k.+2 b;{h?xc6 gb_X?j%p7 正弦光栅界面参数 JN^bo(kb - 正弦光栅界面也由以下参数定义: E\!n49 •光栅周期 kH2oK:lN •调制深度 2FT-}w0; - 可以选择设置横向移位和旋转。 6+ANAk - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 nP
u`;no n_;S2KM )k~1, =h[yAf 高级选项和信息 j0?>w{e •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 uQ1jwYK`7 E0jUewG
MCd F!{ "aA_(Ydzj 高级选项及信息 ||f vKyKW> •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 tQf!|]#J >]?Jrs <i7agEdZD 锯齿光栅界面 \CwtX(6. •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 NxB+? •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 "uS7PplyO •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 25&nwz - 脊的材料:基板的材料 $owb3g(%4 - 凹槽材料:光栅前面的材料 xH@'H? qAORWc
' 3VqkQ4 DUo0w f#D^ 锯齿光栅界面参数 Vku#;:yUb^ •锯齿光栅界面也由以下参数定义: <vLdBfw&N - 光栅周期 xfes_v"" - 调制深度 d}VALjXHX! •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 #!1IP~ •可以选择设置横向移位和旋转。 j $0zD:ppW •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 IO6MK&R 9nO(xJ"e4 !c." N+hedF@ZU 高级选项和信息 ~K%k
0kT •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 *@~`d*d p4y6R4kyT 探测器位置的注释 e@yx}:]h 关于探测器位置的注释 sU0Stg8&b •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 Vp\80D& •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 =kF?_K N •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 i#tbdx# •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 IY03" •可以避免这些干涉效应的不良影响。 F/xCG nP- hi0XVC95
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